【課題】ウェハの端部近傍を高速に検査可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ウェハ１０を回転可能に支持するステージ１５と、照明系２０と、受光系３０および撮像装置３５と、画像処理部４０と、制御部４５とを備え、受光系３０および撮像装置３５は、ウェハ１０の表面に対する照明光の正反射方向に近くて正反射光を検出しない方向を向くように配設されて、ウェハ１０の端部近傍で生じた散乱光を検出し、画像処理部４０は、撮像装置３５により検出された散乱光の情報に基づいて、ウェハ１０の端部近傍における異常の有無を検査し、制御部４５は、ステージ１５に照明光に対して繰り返しパターンで回折光が検出されない回転角度位置にウェハ１０を回転させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】
ガウシアン分布を有する照明光で検査領域よりも広い領域を照明しても微細な欠陥の位置をより正確に求めることが可能にする光学式の磁気ディスク欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】
光学式の磁気ディスク欠陥検査装置を、複数の画素を並べて配列した検出面を有する検出器を備えた正反射光検出手段と、磁気ディスクの検査領域からの正反射光を検出した検出器の各画素からの出力信号に加えて半径方向に隣り合う１回転前及び１回転後の検査領域をからの正反射光を検出した複数の画素のうちの一部の画素の出力信号も用いて欠陥の位置を求めるとともに欠陥の種類を判定する処理手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】タイヤ表面をカメラにより撮像する外観検査において、検査装置の装置構成を増やすことなく、撮像された検査画像の輝度落ちとして検出された画素を効率良く補間してタイヤの外観検査を行うことができるタイヤの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を撮像して得られた検査画像を画像処理してタイヤ表面のキズの有無を判定するタイヤの検査方法であって、検査画像を構成する画素の輝度落ちを隣接する画素の輝度の変化量が閾値以上のときに輝度落ちとして検出する検出処理ステップと、輝度落ち画素を包囲する少なくとも外側２画素分の輝度の平均値を求めて輝度落ち画素に仮補間したのちに、インペインティング処理により輝度落ち画素の輝度を補間処理する補間処理ステップとを含むようにし、輝度落ち画素と輝度落ち画素を包囲する画素の輝度の標準偏差値の変化量が閾値以内になったときに補間を終了するようにした。 （もっと読む）

【課題】鋼板の圧延プロセスにおけるロール疵を軽度なものから重度のものまで精度よく検出する圧延性ロール疵検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱延ラインの仕上げ圧延機１１の最終スタンドとダウンコイラ１４前のピンチロール１３との間の、冷却帯１２の後のランナウトテーブル上に、圧延性ロール疵検出装置１５を設置し、その投光部は、被検査体の幅方向斜めより被検査体の検査対象面上に光を照射する （もっと読む）

【課題】光線に指向性を与えることで、多くの光量が要求されるライン状撮像体に対し十分な光量を供給して微細欠陥の検出力の向上も図れるライン状照射体および該ライン状照射体を含む被検査基板外観検査用撮像ユニットの提供。
【解決手段】正反射側照射灯３２と暗視野側照射灯３３として用いられるライン状照射体１１と、正反射側照射灯３２と暗視野側照射灯３３との間に配置されるライン状撮像体３５とで構成され、正反射側照射灯３２は、射出口２７を搬送方向での下流側から被検査基板Ｐの検査位置Ｓに向けて、暗視野側照射灯３３は、射出口２７を被検査基板搬送方向での上流側から被検査基板Ｐの検査位置Ｓに向けてそれぞれ配置され、ライン状撮像体３５は、搬送方向と直交する垂直軸Ｌから上流側に向けて１５度程度後傾させた位置で受光できるようにその撮像面３５ａを位置させて配置した。 （もっと読む）

【課題】電子写真装置用のブレードの表面における、緩やかな凹凸や、極微小なキズ及びムラ、微妙なコントラストを効率的に検出する。
【解決手段】電子写真装置用のブレード１の表面を照明し、ブレード１を照明に直交する方向に搬送しつつ、複数の画素が配列されたラインセンサー１１によって前記表面を撮像する第１ステップと、ラインセンサー１１の１つの画素４が出力する像情報信号に、この１つの画素４と連続する複数の画素４からなる所定領域における各画素がそれぞれ出力する各像情報信号を加算して１つの画素４における加算像情報信号とする加算処理を画素毎に行うことで画像処理する第２ステップと、画像処理された結果に基づいてブレード１の表面状態を判定する第３ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】例えば欠陥を探しての試料の検査のあいだ、試料を照射する方法および装置を提供する。
【解決手段】ある局面において、照射装置は、それぞれ第１端および第２端を有する光ファイバの束を含む。照射装置は、１つ以上の入射ビームを、光ファイバの１つ以上の対応する第１端に選択的に伝達することによって、選択された１つ以上の入射ビームがファイバの１つ以上の対応する第２端から出力されるようにする照射セレクタをさらに含む。照射装置は、ファイバの対応する１つ以上の第２端から出力された選択された１つ以上の入射ビームを受け取り、選択された１つ以上の入射ビームを試料に向けて導くレンズ構成も含む。レンズ構成およびファイバは、ファイバの第２端において試料の画像化平面を画像化するよう互いに対して構成される。ある局面において、入射ビームはレーザビームである。本発明の具体的な応用例において、試料は、半導体デバイス、半導体ウェーハ、および半導体レチクルからなるグループから選択される。 （もっと読む）

【課題】現在の手動検査プロセスを置き換える自動化検査システムを提供すること。
【解決手段】自動化欠陥検査システムが発明され、これはパターン化されたウェハ、全ウェハ、破損ウェハ、部分ウェハ、ワッフルパック、ＭＣＭなどを検査するために使用される。この検査システムは、特に、スクラッチ、ボイド、腐食およびブリッジング、などの金属化欠陥、ならびに拡散欠陥、被覆保護層欠陥、書きこみ欠陥、ガラス絶縁欠陥、切込みからのチップおよびクラック、半田隆起欠陥、ボンドパッド領域欠陥、などの欠陥のための第二の光学的ウェハ検査のために意図され、そして設計される。 （もっと読む）

【課題】透明な接着剤の塗布状態を確実に検査し得る塗布接着剤の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 基板Ｓの粗面に塗布された透明な接着剤Ｌの検査方法であって、基板表面に沿う方向に光を照射して接着剤Ｌに到達させ、少なくとも接着剤によって反射された光を接着剤塗布箇所の上方で受光し、受光した光の強度分布に基づいて基板上の接着剤Ｌの位置情報を取得することを特徴とする塗布接着剤の検査方法及び該方法を実施するための検査装置。 （もっと読む）

【課題】欠陥内の輝度変化が大きく二値化によって分断される可能性が高い場合でも、同一の欠陥とみなせる欠陥候補領域を連結することにより欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】モノクロのラインセンサカメラにより木材の表面を撮像した濃淡画像が画像処理装置４に入力される。濃淡画像を二値化した二値画像を用いて欠陥候補抽出手段１２により欠陥候補領域が抽出される。さらに、ピース３２ごとに設定されるしきい値を用いて二値化した二値画像を用いて欠陥候補再抽出手段１５により欠陥候補領域が再抽出される。欠陥判定手段１６は、再抽出された欠陥候補領域について欠陥を判定する。欠陥判定手段１６により欠陥と判定されなかった欠陥候補領域は、連結評価手段１７により連結可能か否かが評価され、連結可能である欠陥候補領域は連結され、再判定手段１９により欠陥か否かが再判定される。 （もっと読む）

【課題】対象物を撮像し、その画像に基づいて行う局所的な位置補正の精度を高める。
【解決手段】検査装置は、複数の検査対象要素を有する被検査体を撮像して検査する。この検査装置は、被検査体画像において検査対象要素を相互に接続するパターンから特徴点を生成し、特徴点の基準位置からの変位に基づいて被検査体画像の位置ずれを補正する位置補正部と、位置が補正された被検査体画像を検査する検査部と、を備える。位置補正部は、パターンを表す折れ線上に特徴点を生成してもよい。位置補正部は、パターンを表す折れ線に含まれる線分の延長線上に特徴点を生成してもよい。 （もっと読む）

【課題】周囲との濃淡度が小さい木材を検査対象としながらもカラー画像を用いることなく欠陥の詳細な情報を得ることを可能にする。
【解決手段】モノクロのラインセンサカメラにより木材の表面を撮像した濃淡画像が画像処理装置４に入力される。濃淡画像は二値化手段１１により二値化され、欠陥候補抽出手段１２により二値画像から欠陥候補領域が抽出される。分割手段１４は、欠陥候補領域を含む所定領域を分割して微小エレメントを生成し、再二値化手段１６では、微小エレメントごとに設定されるしきい値を用いて微小エレメントごとに輝度を二値化する。再二値化手段１６により生成された二値画像からは欠陥候補再抽出手段１７により欠陥候補領域が再抽出され、欠陥判定手段１８は、再抽出された欠陥候補領域の輝度と周囲の輝度との輝度差を用いて欠陥候補領域について欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】 光が正反射する被検体の表面欠陥を検査する際に、光源が映り込んで発生する光の影響を抑制できる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】
第１照明光を発生させる第１光源と、第２照明光を発生させる第２光源と、被検体が照らされるように第１照明光及び第２照明光を反射するハーフミラーと、第１照明光が被検体から反射した第１反射光を受光して得られた第１画像、及び第２照明光が被検体から反射した第２反射光を受光して得られた第２画像を撮像する撮像部と、第１画像、及び第２画像を分離する画像分離部と、第１画像及び第２画像のそれぞれに対し、閾値以上の光強度を有する画素を特定する画素特定部と、第１画像において特定された前記画素を、第２画像の対応画素で補完し、第２画像において特定された画素を、第１画素の対応画素で補完する画素補完部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】製造ライン内に組み込まれたインライン基板検査装置の光学系の校正作業を製造ラインを停止させることなく実施できるようにする。
【解決手段】この発明は、上流ラインから下流ラインヘ基板の受け渡しを行う機能を有する検査ステージもしくは搬送コンベア等の検査エリア以外の場所に光学系の校正作業を実施するための校正作業（メンテナンス）エリアを設け、光学系の移動ストロークをこの校正作業エリアまで移動可能とし、光学系の校正作業を検査エリア外で実施可能とした。校正作業エリアでは、実際の基板の移動と同じ状態で移動する標準粒子付基板を用いて検査することによって光学系の校正作業を正確に行なうようにした。標準粒子付基板の高さを検査エリア内の基板の高さに合わせるようにして、校正作業を正確に行なえるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で的確に表面の欠陥を検査する表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体Ｗの加工された被検査面Ｗｆに拡散光を照射する面状の照明装置２と、照明装置２から照射された光のうち被検査面Ｗｆの平坦面で正反射した光を受光しない位置に設置された被検査面Ｗｆを撮影するカメラ３と、カメラ３により撮影された画像を取得する画像取得部と、画像に基づいて被検査体の欠陥の有無を判定する欠陥判定部を備えた。 （もっと読む）

【課題】円形レンズの輪郭部に存在する欠陥を精度よく検出することができる円形レンズの検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】暗視野照明で円形レンズを撮像し（Ｓ１）、得られたカラー画像から青プレーン画像を抽出してグレースケール変換し（Ｓ２）、２値化、ラベリングして円形レンズの中心座標を算出した後（Ｓ３）、輪郭部のデータを直線状に展開する（Ｓ４）。輪郭部が直線状に延びたデータに対し、輪郭部の幅方向の射影データを算出し（Ｓ５）、輪郭部の長さ方向に３画素、７画素、１５画素、３１画素にわたる射影データの平均データをそれぞれ算出し（Ｓ６）、これら平均データの互いの差分を算出し（Ｓ７）、この差分を所定のしきい値と比較して差分がしきい値以上になったときに欠陥が存在すると判定する（Ｓ８）。 （もっと読む）

ワークピース（１０）を検査するための光学検査システムが提供される。システムは、ワークピース（１０）をノンストップで輸送するように構成されたワークピース輸送機構（２６）を含む。照明装置（４５）が、第一のストロボ照明野タイプ及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。照明装置（４５）は、ワークピース（１０）に近い第一端及び第一端とは反対側にあり、第一端から離間した第二端を有するライトパイプを含む。ライトパイプはまた、少なくとも一つの反射性側壁（７０）を有する。第一端は出口アパーチャを有し、第二端は少なくとも一つの第二端アパーチャ（５０）を有して、それらを通してワークピース（１０）の視認を提供する。カメラアレイ（４）が、ワークピース（１０）をデジタル式に画像化するように構成されている。カメラアレイ（４）は、第一の照明野を用いてワークピース（１０）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いてワークピース（１０）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、照明装置（４５）及びカメラアレイ（４）に操作可能に結合され、第一及び第二の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供するように構成されている。
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光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が加工対象物（１２）をノンストップで移動させる。照明装置（４０）が、ライトパイプを含み、第一及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。第一（３）及び第二（５）のカメラ（２）アレイが、加工対象物（１２）の立体画像化を提供するために配設されている。第一のカメラアレイ（３）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイ（５）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第四の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供する。
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【課題】エッジ画像に含まれるエッジの位置関係を用いてエッジを連結することにより、クラックに相当するエッジをノイズから精度よく分離する。
【解決手段】エッジ抽出手段１１は、検査対象物Ｗを撮像した濃淡画像からエッジを抽出し、候補領域抽出手段１２は、エッジ抽出手段１１により抽出したエッジ上の画素のうち規定の条件を満たす画素群をクラック候補領域として抽出する。クラック候補領域が複数抽出された場合には、ラベリング手段１３が、各クラック候補領域にそれぞれラベルを付与し、クラスタリング手段１４が、着目する各一対のクラック候補領域の位置関係に基づいて両クラック候補領域が１つのクラックに属すると判断すると両クラック候補領域を連結する。判定手段１５は、連結されたクラック候補領域の長さ寸法が規定の基準値よりも大きいときに検査対象物にクラックが生じていると判定する。 （もっと読む）

【課題】部品数の増加及び装置の大型化を伴うことなく、短時間でビーム照射位置の調整が可能なビーム調整装置を実現する。
【解決手段】調整用ミラー１９ａ、１９ｂはチルト機構１０１により回転され、シフト機構１０２により直線的に移動される。光１８はビーム調整機構１０で調整後、集光レンズ移動機構１２１でレンズ１２を移動させレンズ１２通過後の光及びレンズ１２を通過しない光がＣＣＤカメラ１３に照射される。レンズ１２とＣＣＤカメラ１３の受光面との距離は焦点距離でありレンズ１２中心とＣＣＤカメラ中心との位置を合せておく。チルト調整量を算出しビーム調整機構１０で平行光となるように補正し、その後にレンズ１２を通過させずにＣＣＤカメラ１３に光を入射させビームのシフト調整量を算出しビーム調整機構１０でＣＣＤカメラ１３の中心に光が収束するようにビームのシフト、チルトを補正する。 （もっと読む）