【課題】異常の原因を特定することが可能な検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、加工によりウェハ１０の表面に設けられた構造体を照明する照明光学系２０と、当該構造体で反射した照明光を検出するＣＣＤカメラ４０と、それぞれ異なる加工条件で設けられた構造体を対象として、複数の照明条件若しくは反射条件で検出される検出値を加工条件ごとに記憶するデータベース部４６と、複数の照明条件若しくは反射条件に含まれる少なくとも２条件で被検物である構造体から検出される検出値と、データベース部４６に記憶された検出結果との関連性に基づいて、構造体に対する加工の条件を求める画像処理検査部４５とを有している。 （もっと読む）

【課題】紫外線を用い、空間分解能数ミクロン以下で液体ナトリウム中の可視化が行えるようにする。
【解決手段】フッ化マグネシウム窓２８を備えナトリウム中に浸漬可能な紫外線照射・検出装置１０、及びナトリウムバウンダリ外に設置される画像化装置１２を具備し、紫外線照射・検出装置は、ナトリウムバウンダリ外から供給される外部エネルギーにより波長１００〜１３０ｎｍの真空紫外線を発生し、その紫外線をフッ化マグネシウム窓を通して液体ナトリウム中の被検査体に向けて照射する紫外線発生部２２と、該被検査体からの反射・散乱光をフッ化マグネシウム窓を通して検出し可視光へ変換する紫外線検出部２４を備えた構造とする。紫外線検出部２４で得られた光信号は、多チャンネル光ファイバケーブル１４によって前記画像化装置へ送られ、可視化できる状態となる。 （もっと読む）

【課題】炭化珪素基板又は炭化珪素基板に形成されたエピタキシャル層に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥を分類する検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、微分干渉光学系を含む走査装置を用いて、炭化珪素基板の表面又はエピタキシャル層の表面を走査する。炭化珪素基板からの反射光はリニアイメージセンサ（２３）により受光され、その出力信号は信号処理装置（１１）に供給する。信号処理装置は、炭化珪素基板表面の微分干渉画像を形成する２次元画像生成手段（３２）を有する。基板表面の微分干渉画像は欠陥検出手段（３４）に供給されて欠陥が検出される。検出された欠陥の画像は、欠陥分類手段（３６）に供給され、欠陥画像の形状及び輝度分布に基づいて欠陥が分類される。欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第１の分類手段（５０）と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第２の分類手段（５１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】微小な表面欠陥を検査する表面検査装置に対して適切な校正を行うべく、信頼性の高い性能評価を行うことができる表面検査装置の評価装置及び表面検査装置の評価方法を提供する。
【解決手段】校正装置３０は、表面検査装置１０のリング照明１１及びカメラ１３を検査時の相対位置関係を保ったまま後退させて検査面１ａから離反させ、そこに校正板４０を配置する。このとき、校正板４０からリング照明１１までの距離を、検査時における検査面１ａからリング照明１１までの距離と同じにする。また、校正板４０には、検査対象の微小表面欠陥と同等レベルの穴４１を形成しておく。この状態で、カメラ１３によって校正板４０の表面画像を撮像し、検査時と同様の画像処理を行って、校正板４０の穴４１を適切に検査できているか否かを確認することで、表面検査装置１０の検査性能を評価する。 （もっと読む）

【課題】炭化珪素基板又は炭化珪素基板に形成されたエピタキシャル層に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥を分類する検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、微分干渉光学系を含む走査装置を用いて、炭化珪素基板の表面又はエピタキシャル層の表面を走査する。炭化珪素基板からの反射光はリニアイメージセンサ（２３）により受光され、その出力信号は信号処理装置（１１）に供給する。信号処理装置は、炭化珪素基板表面の微分干渉画像を形成する２次元画像生成手段（３２）を有する。基板表面の微分干渉画像は欠陥検出手段（３４）に供給されて欠陥が検出される。検出された欠陥の画像は、欠陥分類手段（３６）に供給され、欠陥画像の形状及び輝度分布に基づいて欠陥が分類される。欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第１の分類手段（５０）と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第２の分類手段（５１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】パターンの形成状態を高コントラストで検査可能にする。
【解決手段】カラーフィルタ基板４上に線状に形成されたシールライン５の形成状態を検査するパターン検査装置であって、シールライン５を撮影する検査カメラ２と、検査カメラ２の撮影領域を照明する照明光学系３と、を備え、照明光学系３によりカラーフィルタ基板４に照射される照明光の光線の光軸Ｌ_axに対する最大角度θ₁が検査カメラ２の画角θ₂の半角θ₂／２に略等しくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１０は、被検物体２０に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する照明手段１３と、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を０以外の所定値に設定する設定手段１１と、繰り返しパターンからの正反射光のうち、前記直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を抽出する抽出手段３８と、受光手段３９から出力される前記正反射光の光強度に基づいて、前記繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段１５とを備え、前記設定手段は、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を、前記表面の正常部分からの光強度と前記表面の欠陥部分からの光強度との差が最大となるように設定する。 （もっと読む）

【課題】被検査面の微小な表面欠陥を地合ノイズの影響を受けずに安定して検査することのできる表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源２から鋼板１の表面に照射された照明光の反射光を受光して鋼板表面の画像信号を得る撮像装置３の空間分解能を０．２ｍｍ以下にするとともに、照射位置での鋼板１の法線方向１ａを基準として撮像装置３を光源２と同じ側に配置し、かつ光源２から鋼板表面への照明光の入射角度αを６０°〜８０°の間の角度に設定するとともに、撮像装置３の受光角度β１を２０°〜αの間の角度に設定した。 （もっと読む）

【課題】分解性及び組立性に優れた外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｋを一列に整列して供給する整列供給装置と、供給された被検査物Ｋを搬送する搬送装置２０と、その搬送路上に設定された撮像領域内に達した被検査物Ｋの画像を撮像する第１撮像ユニット４０と、撮像領域と第１撮像ユニットとの間の光学路をつなぐ第１光学ユニット６０と、被検査物Ｋの画像を解析してその良否を判別する画像処理装置と、判別結果にしたがい、被検査物Ｋを良品と不良品とに選別する選別装置とを備える。第１撮像ユニット４０と第１光学ユニット６０とが、底部プレート７を挟んで対峙するようにそれぞれ底部プレート７に着脱自在に接続されている。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな搬送装置を用いて異物を移動させたり異物を液中に引き込んだりする必要がなく、液面と容器内面が接触して盛り上がった箇所にある異物を精度良く検出することができる液面浮遊異物検出装置及び方法を提供する。
【解決手段】容器１内に充填された液体の液面又は液面付近に浮遊した異物を検出する検査方法において、容器１の首部または肩部の斜め上方に配置された照明３から、照明光を前記容器１内の液面Ｓに照射し、容器の側方に配置されたカメラ４によって、前記液面又は液面付近からの光を撮像し、前記カメラ４には、液面又は液面付近に異物が存在する場合には異物からの反射光が入射し、異物が存在しない場合には入射する光がない。 （もっと読む）

【課題】検査装置においては検査速度を向上させるためにウェハ表面に細長い光を照明し、照明領域の像を光検出器で結像して、検査を行う方式も考えられる。しかし、光検出器に照明領域の像を正しく結像させるのは容易ではない。従来技術ではこの点に配慮なされていなかった。
【解決手段】本発明は、光ファイバの束を有する結像光学系を有し、さらに前記光ファイバの束の集光側を回転させる機構を有することを特徴とする。本発明によれば、照明領域からの散乱光を正しく光検出器に結像させることができる。 （もっと読む）

【課題】より早く高精度に発泡体ローラーの表面を測定する。
【解決手段】測定方法は、発泡体ローラー１に光を照射する光源２と、発泡体ローラー１で反射した反射光を受光する受光装置４と、を用いて発泡体ローラー１の表面を測定する。この測定方法は、光源２の光軸Ａと受光装置４の光軸Ｂとの間の角度αを、発泡体ローラー１で反射した反射光の光量が最大になるときの該反射光の光量の７０％以上の光量の反射光が得られるように設定する光軸設定工程と、光軸設定工程で設定した角度αを維持した状態で、光源２から発泡体ローラー１に光を照射して、発泡体ローラー１からの反射光を受光装置４で受光する受光工程と、受光装置４により得られた発泡体ローラー１の表面の画像を解析して、発泡体ローラー１の表面の表面形状を解析する解析処理工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】農産物Ａ内部の偏った部分に局所的な障害がある場合でも、的確に検査できる内部品質検査装置を提供する。
【解決手段】本願発明の内部品質検査装置は、農産物Ａを載せた受け皿Ｐを搬送するコンベヤ装置１０の挟んだ一側方に、前記農産物Ａに測定光を照射する投光部４３を配置する。他側方には、前記農産物Ａからの検出光を検出する受光部４４を配置する。前記受光部４４の検出結果に基づき前記農産物Ａの内部品質を検査する。前記コンベヤ装置１０のうち少なくとも前記投光部４３及び前記受光部４４の間に、前記受け皿Ｐを一方向に横回転させる横回転付与手段２３，２４を備える。 （もっと読む）

【課題】容器に光を照射して、容器壁部の漏光を光センサにより検出して、容器に生じた小孔等の欠陥を検査する場合に、容器に生じた大きな小孔から小さな小孔までを、効率的かつ確実に検出可能な容器検査方法及び容器検出装置を提供すること。
【解決手段】容器Ｗに光を照射し、前記容器Ｗの壁部の漏光に基づいて、前記容器Ｗの小孔を検出する容器検査装置１００であって、容器Ｗを支持して回転させる小孔検出回転体２、３を有する回転搬送機構１と、前記回転搬送機構１に支持される容器Ｗに光を照射する光源５０と、前記容器Ｗの検査経路Ｍに配置された複数の光検出部５１とを備え、前記光検出部５１は、それぞれ検出感度の異なる光センサが設置されて、前記光検出部５１毎に段階的に異なる大きさの小孔を検出するように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を用いて３次元計測結果の表示が可能で、また２次元計測が可能な外観検査装置及び印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】印刷半田検査装置１は、検査対象物１００に対し斜め上方であって対向する２方向から位相変化光を照射可能な一対の第１照明装置２と、前記検査対象物に対し上方からＲＧＢ光を照射可能な第２照明装置３と、前記検査対象物を白黒画像で撮像可能な撮像装置４と、を備えている。そして、前記検査対象物の同一撮像面に対し前記２方向の位相変化光を照射して撮像し、該撮像の前又は後にて前記検査対象物の同一撮像面に対し前記ＲＧＢ光を順次照射して撮像し、各画像を合算した画像により前記検査対象物の外観を検査する。 （もっと読む）

【課題】より高い精度で異物や不良品の検出を行う。
【解決手段】異状検査システム１００（検出装置）は、検査対象物３を撮像する光源ユニット１０及び検出ユニット２０と、撮像により得られたスペクトル画像をサポートベクターマシンを用いて解析し検査対象物３中に混在する異物または不良品を検出する分析ユニット３０と、を備える。この異状検査システム１００では、サポートベクターマシンを用いてスペクトル画像を解析して、異物また不良品を検出するため、従来の主成分分析と比較して、例えば正常部分と異状部分とのスペクトルの差が微弱であっても検出が可能となるため、より高い精度で異状部分の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被写体の周期的な動きを撮影し、その各周期の動きを評価しながら、通常とは異なる画像のみを記録可能とする。
【解決手段】画像取得手段で取得した入力動画像を保持する一次記憶手段５３と、被写体の基準となる動きを表す、基準動きパターンを取得する基準動きパターン取得手段３７と、入力動画像の各フレームを、基準動きパターンの各フレームから計算される評価用データと比較することで、入力動画像と基準動きパターン同士の各フレームの異常度を算出し、これに基づいて入力動画像と基準動きパターン同士の全体の異常度を演算する異常度解析手段３８と、異常度解析手段３８で演算された異常度に基づき、異常度の高いフレームから順に一次記憶手段５３に残し、一次記憶手段５３の空きがなくなったら異常度の低いフレームから順に削除する保存画像抽出手段３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドや焦点距離が変更された場合でも、その変更に対応して自己の動作状態を診断できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、検査ヘッド１０から照射された検査光を反射面８１によって検査ヘッド１０に向けて反射できる反射鏡８０と、検査ヘッド１０の移動経路上に配置され、検査ヘッド１０が通過可能な貫通孔６１が形成されたカバー部材６０と、貫通孔６０を開閉できるシャッター部材７１と、を備え、反射鏡８０がシャッター部材７１に設けられており、シャッター駆動機構７２によって反射鏡８０の反射面８１から軸線Ａｘまでの距離を調整する。 （もっと読む）

【課題】被検査物表面の微細な欠陥を検出可能な表面検査装置の検査ヘッドを提供する。
【解決手段】レーザーダイオード１４から射出された検査光を導いて被検査物１００の表面に投光し、その反射光を受光して反射光の強度を検出するフォトディテクタ１５に反射光を導く投受光ファイバ１１を有し、フォトディテクタ１５の検出結果に基づいて被検査物１００の表面を検査する表面検査装置の検査ヘッド１であって、投受光ファイバ１１が、２本の光ファイバ１１ａ、１１ｂの一部を熔融延伸接合した熔融延伸部１１ｃを有する光ファイバカプラであり、熔融延伸部１１ｃから分岐した一方の光ファイバ１１ａはレーザーダイオード１４からの検査光を導き、他方の光ファイバ１１ｂはフォトディテクタ１５に反射光を導き、熔融延伸部１１ｃの端面１１ｆから検査光が被検査物１００の表面に投光され、その反射光を端面１１ｆが受光する。 （もっと読む）

【課題】長期的に安定した検出感度を得ることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象が無い状態のラインＣＣＤカメラの各素子の出力値と目標値とから各素子のＳ補正係数を算出する第１のＳ補正係数算出部と、検査対象が有る状態のラインＣＣＤカメラの出力値が所定の範囲になるように照明光を調整する照明調光部と、ラインＣＣＤカメラの各素子に対する第１のＳ補正係数による補正後の出力値と目標値とから第２のＳ補正係数を算出する第２のＳ係数算出部と、ラインＣＣＤカメラの各素子に対する第２のＳ補正係数による補正後の出力値と予め設定された％閾値とから欠陥検査を行うための閾値を設定する閾値設定部とを備える。 （もっと読む）