【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、少なくとも熱線及び紫外光を含む光を射出する光源部と、前記光源部から射出された光のうち、紫外光を透過し、熱線を吸収する紫外光透過性熱線吸収膜と、前記紫外光透過性熱線吸収膜を保持する波長選択フィルタを有し、所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に前記紫外光を用いた直線偏光を照射する照明部と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出部と、検出部で検出された偏光成分に基づいて、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、照明部または検査部の光路上に、直線偏光または偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設される。 （もっと読む）

【課題】基板の設計データ、または同一設計で製造の複数基板の画像を得ることで、検出された欠陥データから擬似欠陥データを除去して、本来の欠陥のみを効率よく検査する。
【解決手段】欠陥データＰｎの座標を取得する（ステップＳ３０１）。擬似欠陥データＱｍの座標を取得する（ステップＳ３０２）。欠陥データＰｎと擬似欠陥データＱｍの間の距離Ｄを取得する（ステップＳ３０３）。距離Ｄが擬似欠陥判定距離しきい値ｄ以下のとき、欠陥Ｐｎは擬似欠陥と判定（ステップＳ３０４）。擬似欠陥であると判定された欠陥データＰｎを欠陥データＰｎから除外する（ステップＳ３０５）。擬似欠陥であると判定された欠陥データを除外する処理を、欠陥データの全て、および擬似欠陥データの全てについて総当りで実施し、擬似欠陥データの除外を行う。 （もっと読む）

【課題】感度の高い表面検査が可能な表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定のパターンが形成されたウェハ２０の表面に直線偏光Ｌ１を照射する照明部１０と、ウェハ２０から出射される楕円偏光を受光し、直線偏光Ｌ１と振動方向が異なる第２の直線偏光成分のみを通過させる検光子３と、ウェハ２０の像の信号強度を検出し、信号強度に基づいて被検基板の表面におけるパターンが形成されている位置を検出する位置検出部８ｂと、パターンが形成されている位置の信号強度が最小となるように、楕円偏光及び検光子３のいずれか一方を他方に対して相対回転させ、上記位置の信号強度が最小となる楕円偏光に対する検光子３の相対位置を決定し、上記相対位置に相対回転させる回転駆動装置３０と、検光子３を通過した第２の直線偏光成分を検出し、パターンを検査する表面検査部とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定光による検査対象物の損傷等を抑制しながら高い精度で異状検査を行う。
【解決手段】異状検査装置１では、ベルトコンベア２が動くことにより、製造ラインに沿った載置面２ｂ上に載置された検査対象物３が製造ラインに沿って輸送される。検査対象物３が進行方向２ａに進むと同時に、検出ユニット２０の視野領域Ｌ１上に載置された検査対象物３に対してＳＣ（スーパーコンティニューム）光源１１から出射された近赤外光Ｌ１を照射部１２から照射し、検査対象物３からの拡散反射光Ｌ２を分光器２２で分光し受光部２３において検出し、分析部３０において分析を行うことにより、検査対象物３の異状検査が行われる。 （もっと読む）

【課題】深い機械加工痕の有無を検出し、また、その位置、大きさを推定可能とし、以って、検査時間を短縮可能とする。
【解決手段】シリンダブロック５にボーリング加工により形成され研磨されたボア３の内側表面３Ａのデジタル輝度画像７０に基づいて該内側表面３Ａを検査する表面検査装置９において、前記デジタル輝度画像７０に基づいて前記切削加工痕Ｐの方向と直交する方向の１次元パワースペクトル画像７１を前記切削加工痕Ｐの方向に沿って生成し、これらを並列に並べて評価用画像７３を生成する評価用画像生成部５５と、前記評価用画像７３の各画素の画素値に基づいて、前記ボア３の内側表面３Ａの研磨残りＱの有無を評価する評価部５７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】表面の異物の影響を受けずに欠陥を検出し、なおかつ、画像処理すべき範囲を的確に絞り込むことで検査に要する時間を短縮可能とする。
【解決手段】シリンダブロック５にボーリング加工により形成され研磨されたボア３の内側表面３Ａを、レーザ光を照射するセンサヘッド７で走査し、前記レーザ光の反射像に基づいて前記内側表面３Ａのデジタル輝度画像７１を生成し、該デジタル輝度画像７１に対して前記内側表面３Ａの欠陥を検出するための画像処理を施して前記内側表面３Ａを検査する表面検査装置９において、前記内側表面３Ａを走査する渦流探傷センサ２６と、前記渦流探傷センサ２６の出力に基づいて欠陥箇所Ｐを特定し、該欠陥箇所Ｐを含んで画像処理範囲Ｔを決定する画像処理範囲決定部６７と、を備え、前記画像処理範囲Ｔに対して前記画像処理を施して前記内側表面３Ａの欠陥を検出する構成とした。 （もっと読む）

【課題】色調まで含め、表面性状変動が大きい鋼板を検査対象にして、過検出・未検出を抑えた、欠陥部（異常部）の検出を行うことができる、鋼板表面欠陥検査方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光を照射した鋼板表面をカラーカメラにより撮像し、撮像したカラー画像のＲＧＢ各成分の平均輝度、最大輝度、最小輝度、輝度の分散の少なくとも一つの値を算出し、算出した値を所定の設定値と比較して、鋼板表面の欠陥の有無および／または程度を判定する。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】被検基板２０の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光Ｌ１により照明する手段１３と、表面における直線偏光Ｌ１の振動面の方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を斜めに設定する手段１１,１２と、繰り返しパターンから正反射方向に発生した光Ｌ２のうち、直線偏光Ｌ１の振動面に垂直な偏光成分Ｌ４を抽出する手段３８と、偏光成分Ｌ４の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段３９,１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】記録材の表面に光を照射して記録材の表面状態を検出する記録材表面検出装置、及びそれを備える画像形成装置において、その検出精度を向上させ、良好な画像品質を得る。
【解決手段】照射用ＬＥＤ４２、導光体４５Ｌ、ＣＭＯＳラインセンサ４３Ｌ、及び駆動・演算部を有する記録材表面検出装置４０であって、導光体４５Ｌは、記録材Ｐに当接して記録材Ｐを支持する導光体上流部４５Ａ、導光体下流部４５Ｂと、凹部４５Ｓと、を有しており、撮像領域を挟んだ両側の撮像領域外において導光体上流部４５Ａ、導光体下流部４５Ｂが記録材Ｐを支持し、撮像領域が凹部４５Ｓと対向することで撮像領域が導光体４５Ｌに接触せず、導光体４５Ｌによって導かれた光が記録材Ｐの表面に対して斜めから入射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造を肥大化させることなく、良好な光伝達効率または光量ムラ軽減が可能な光伝達素子を提供する。
【解決手段】基端面を光導入面９ａ、先端面を光導出面９ｂ、側周面９ｃを内向きの反射面とし、前記光導入面９ａから内部に導入した光を前記光導出面９ｂから射出する光伝達素子９であって、前後の素材とは屈折率が異なる異屈折率層９３を、軸線Ｃ１を横切るように設け、その異屈折率層９３に接する互いに対向する端面を非平行に構成した。 （もっと読む）

【課題】光の波長が３５０ｎｍ以下であってもクロスニコル光学系を構成できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】所定パターンが形成されたウェハ２０に偏光照明光を照射して照明するための光源１０と、偏光照明光の照明を受けてウェハ２０から反射されて出射される回折光または正反射光を受光し、偏光照明光の偏光方向と略直交する偏光成分のみを通過させる検光子３と、検光子３を通過した光を受光し受光した光から特定波長帯域の光のみを透過させるバンドパスフィルタ３０と、バンドパスフィルタ３０を透過した光からウェハ２０の像の信号強度分布を検出し、信号強度分布によりパターンの形状誤差を検出する信号処理ユニット８とを備えた表面検査装置において、検光子３及びバンドパスフィルタ３０は、被検査基板から反射されて出射される回折光または正反射光の光路に対して挿脱可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ローラ間が狭くても使用でき、導入光の損失がなく高い照度で透光膜表面を照射することができる検査用照明装置を提供する。
【解決手段】基端面から導入された光が前記基端面に対向する先端面から導出される透明な中実の導光板と、射出した光が前記基端面から前記導光板内に導入される位置に設けた光源と、を備えており、前記ローラ間に挿入されて、前記導光板の先端面が前記透光膜を望む位置に設けられているようにした。 （もっと読む）

主支持部材（２１８）であって、第１の端部と第２の端部とを有するベース部材（２２２）と、近位端部と遠位端部（２３４）とを有する第１の部材（２２８）であって、近位端部が、ベース部材（２２２）の第１の端部の第１の端部と接続され、第１の部材が、光源（２０６）を支持するように適合される、第１の部材（２２８）と、近位端部と遠位端部とを有する第２の部材であって、近位端部が、ベース部材の第２の端部と接続され、第２の部材の遠位端部が、カメラ（２０４）を支持するように適合される、第２の部材と、を含む、主支持部材（２１８）と、第１の端部（２９０）と第２の端部（２８６）とを有する位置合わせ（augment）部材（２４０）であって、第１の端部（２９０）が、第１の部材の遠位端部（２３４）と解放可能に接続可能であり、第２の端部（２８６）がベース部材（２２２９と解放可能に接続可能である、位置合わせ部材と、を含み、位置合わせ部材（２４０）が、第１の部材（２２８）と平行な少なくとも１つのスロットを含む、撮像装置を支持するための装置（２０２）。
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【課題】 照明系や受光系を構成する光学素子（凹面鏡）の検査精度を向上させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 ウェハＷの表面を検査するための表面検査装置であって、ウェハＷを支持するステージ１０と、ウェハＷを検査するための光を射出する光源２２と、ステージ１０に支持されたウェハＷの表面を光源２２からの光で照明する照明系２０と、照明されたウェハＷの表面からの光を所定の撮像面上に結像させる受光系３０と、前記撮像面上に結像した像を撮像する撮像部３２と、撮像部３２で撮像された像に基づいてウェハＷ表面の検査を行う検査部（画像処理部４５、中央制御部５０及び表示部６０）と、照明系２０を構成する照明側凹面鏡２６及び受光系３０を構成する受光側凹面鏡３１の少なくとも一方を観察する観察部４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】
分光検出手法を用いて検査対象表面に一様に形成された繰り返しパターンの形状を検出するには、分光検出する波長範囲が、短い波長領域に広いことが有利である。しかし、短い波長領域すなわち紫外領域を含む広い波長範囲で分光検出可能な光学系を比較的簡単な構成で実現することは容易ではない。
【解決手段】
パターン欠陥を検査する装置を、ハーフミラーとして空間的に部分的なミラーを用い、また検査対象へ光の照射および検査対象からの反射光の検出の角度及び方向を制限するための開口絞りを反射型対物レンズ内に設置することにより、深紫外から近赤外までの波長帯域で検出可能な分光検出光学系を備えて構成した。 （もっと読む）

【解決手段】ウェーハ／マスク／レチクルの表面を検査するための検査システムは、モジュラーアレイを含み得る。モジュラーアレイは、複数の時間遅延積分（ＴＤＩ）センサーモジュールを含み得る。各ＴＤＩセンサーモジュールは、ＴＤＩセンサーと、ＴＤＩセンサーの駆動および処理を行うための複数の局所回路とを有する。局所回路のうち少なくとも１つは、ＴＤＩセンサーと関連付けられたクロックを制御し得る。少なくとも１つのライトパイプを用いて、複数のＴＤＩセンサーモジュールに照明源を分配することができる。複数のＴＤＩセンサーモジュールは、同一検査領域または異なる検査領域を取り込むように配置され得る。複数のＴＤＩセンサーモジュールは、同一であってもよいし異なる積分段に対して設けられてもよい。モジュールの間隔は、１回の通過で検査領域の１００％を網羅する処理範囲に対応できるように設定することもできるし、あるいは、処理範囲全体を網羅するのに２回以上の通過が必要となる部分的処理範囲に対応できるように設定することもできる。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法。
【解決手段】 この方法は、基準画像を作り出すためのトレーニングプロセスを備える。トレーニングプロセスは、未知の品質の第１のウェーハの複数の画像を収集するステップを含み、第１のウェーハの複数の画像の各々が所定のコントラスト照明で収集され、および第１のウェーハの複数の画像の各々が複数の画素を備える。トレーニングプロセスはさらに、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々に対する複数の基準強度を決定するステップと、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々の複数の基準強度に対する複数の統計的パラメータを算出するステップと、算出された複数の統計的パラメータに基づいて第１のウェーハの複数の画像から複数の基準画像を選ぶステップとを含む。ウェーハを検査するためのこの方法は、第２のウェーハの画像を収集するステップであって、第２のウェーハが未知の品質であるステップと、複数の基準画像から第１の基準画像を選ぶステップと、第２のウェーハ上の欠陥の存在およびタイプの少なくとも１つをそれによって決定するために第１の基準画像と第２のウェーハの収集画像を比較するステップとを更に含む。
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【課題】 ウェーハを検査するための方法およびシステム。
【解決手段】 このシステムは、光検査ヘッド、ウェーハテーブル、ウェーハスタック、ＸＹテーブルおよび振動絶縁装置を含む。光検査ヘッドは、複数の照明器、画像収集装置、対物レンズおよび他の光学部品を含む。このシステム及び方法は、明視野画像、暗視野画像、３Ｄ形状画像および検査画像の収集を可能にする。収集画像は、画像信号に変換され、かつ処理のためにプログラマブルコントローラに伝送される。ウェーハが動いている間、検査が実行される。収集画像は、ウェーハ上の欠陥を検出するための基準画像と比較される。基準画像を作り出すための例示的な基準作成プロセスおよび例示的な画像検査プロセスもまた、本発明によって提供される。基準画像作成プロセスは、自動プロセスである。 （もっと読む）

【課題】被検査物の内周面の表面状態を検査可能であるとともに、その外周面の表面状態も検査可能である表面検査装置を提供する。
【解決手段】同軸に配置された被検査物１００の内部に対して出没可能に設けられ、外周に設けられた透光窓１６ａから検査光が射出される検査ヘッド１６を有し、検査ヘッド１６がその軸線ＡＸの方向に移動して被検査物１００の内周面１００ａに向けて検査光を照射し、その反射光の光量に基づいて被検査物１００の表面を検査する表面検査装置１であって、被検査物１００から透光窓１６ａが突出する位置にて検査ヘッド１６から射出される検査光の光路を被検査物１００の外周面１００ｂよりも外側で検査ヘッド１６の軸線方向へと変更する第１外周面ミラー８と、第１外周面ミラー８にて変更された光路を被検査物１００の外周面１００ｂに向けて変更する第２外周面ミラー９と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルタの透過波長が変化せず安定した光量の照明光を出射することができる照明装置および該照明装置を備えた表面検査装置を提供する。
【解決手段】照明装置５０は、光源５１から放射された光を特定波長を含む照明用の光と該照明用に光以外の非照明光とに分割するダイクロイックミラー５３と、分割された照明用の光から前記特定波長を有する照明光を抽出する干渉フィルタと、干渉フィルタをウエハ照明光路Ｏｐ１とフィルタ加熱光路Ｏｐ２とに移動させることが可能な第１，第２フィルタ装置５６，５７と、第１，第２フィルタ装置５６，５７により干渉フィルタをフィルタ加熱光路Ｏｐ２に移動させて干渉フィルタに前記非照明光を照射して干渉フィルタを加熱させた後、第１，第２フィルタ装置５６，５７により干渉フィルタをウエハ照明光路Ｏｐ１に移動させて干渉フィルタに前記照明用の光を照射して前記照明光を抽出して出射させる制御を行う制御部とを備えて構成される。 （もっと読む）