【課題】例えば欠陥を探しての試料の検査のあいだ、試料を照射する方法および装置を提供する。
【解決手段】ある局面において、照射装置は、それぞれ第１端および第２端を有する光ファイバの束を含む。照射装置は、１つ以上の入射ビームを、光ファイバの１つ以上の対応する第１端に選択的に伝達することによって、選択された１つ以上の入射ビームがファイバの１つ以上の対応する第２端から出力されるようにする照射セレクタをさらに含む。照射装置は、ファイバの対応する１つ以上の第２端から出力された選択された１つ以上の入射ビームを受け取り、選択された１つ以上の入射ビームを試料に向けて導くレンズ構成も含む。レンズ構成およびファイバは、ファイバの第２端において試料の画像化平面を画像化するよう互いに対して構成される。ある局面において、入射ビームはレーザビームである。本発明の具体的な応用例において、試料は、半導体デバイス、半導体ウェーハ、および半導体レチクルからなるグループから選択される。 （もっと読む）

【課題】ＦＤＰ基板に実装されるＰＣＢ基板上へのテープ部材の貼着の有無を認識率の向上を図るテープ部材の貼着検査方法と装置を提供する。
【解決手段】テープ状の部材を貼着した後のＰＣＢ基板２１に対して照明光を照射するリング状照明装置５０と、照明光によって照明されたＰＣＢ基板の表面上の電極２２と、その表面に貼着されたＡＣＦ１００の画像を結像するレンズ７０や、画像を撮像するカメラ８０とを備えており、更に、リング状照明装置とＰＣＢ基板の表面との間には、互いに対向する一辺を、電極が延長する方向、及び、電極が延長する方向に直交する方向に沿って配置された４枚の板６１、６２が配置され、当該方向からの光を遮光する。 （もっと読む）

【課題】ランプ交換に伴う集光型放電ランプの光軸ずれを防止できる光源装置を提供すること。
【解決手段】集光型放電ランプ４４を交換自在に内蔵する装置本体４を備え、当該装置本体４に設けた口金６から光を出力するする光源装置１において、前記集光型放電ランプ４４を着脱自在に保持するランプ取付台５０を備え、前記ランプ取付台５０には、前記集光型放電ランプ４４のネック部６１Ａを受けるＵ字状の切欠が形成された台座５２と、光軸Ｋと垂直な面を成し前記集光型放電ランプ４４の集光型反射鏡６２のフランジ部分６２Ａが当接する板状のフロント板５４とを設け、前記台座５２で受けたネック部６１Ａを押さえる押さえ部５７と、前記集光型放電ランプ４４を前記フロント板５４に向けて付勢しフランジ部分６２Ａを密着させる押さえバネ５６とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】金属パターン間の樹脂表面を、容易かつ精度よく観察でき、不良品の判別を精度よく行うことが可能な金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び、金属パターン形成樹脂基板の製造方法を提供する。
【解決手段】金属パターン形成樹脂基板１に前記樹脂材料表層で吸収される波長を有する励起光を照射し、金属パターン形成樹脂基板１の表面から発せられる光を、励起光に対する感度を有さず、蛍光又は燐光に対する感度を有する検出系で検出する。樹脂基板２が、芳香族ポリイミド、イミド基を含むポリウレタン、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミドなどから、励起光が、波長４３０ｎｍ以下の光であることが好ましい。そして、このようにして金属パターン形成樹脂基板の樹脂表面を検査し、不良品を除いて金属パターン形成樹脂基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】金属パターン間の樹脂表面及び金属パターン表面を同時に観察でき、不良品の判別を精度よく行うことが可能な金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び、金属パターン形成樹脂基板の製造方法を提供する。
【解決手段】金属パターン形成樹脂基板１に励起光ａ１及び可視光ａ２を同時に照射し、金属パターン形成樹脂基板１の樹脂表面２から発せられる光及び金属パターン３が反射する可視光を、励起光に対する感度を有さず、前記蛍光又は燐光、及び可視光に対する感度を有する検出系で検出する。金属パターン形成樹脂基板１に照射する可視光ａ２の強度を、金属パターン形成樹脂基板１に照射する励起光ａ１の強度の０．０００１〜１％とすることが好ましい。そして、このようにして金属パターン形成樹脂基板の樹脂及び金属の表面を検査し、不良品を除いて金属パターン形成樹脂基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】金属パターン間の樹脂表面及び金属パターン表面を同時に観察でき、不良品の判別を精度よく行うことが可能な金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び、金属パターン形成樹脂基板の製造方法を提供する
【解決手段】金属パターン形成樹脂基板１に励起光ａ１を照射し、金属パターン形成樹脂基板１の樹脂表面２から発せられる光及び金属パターン３が反射する励起光ｂ１を、蛍光又は燐光に対する感度に対して前記励起光に対する感度が低減された検出系で検出する。そして、このようにして金属パターン形成樹脂基板の樹脂及び金属の表面を検査し、不良品を除いて金属パターン形成樹脂基板を製造する。 （もっと読む）

光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が加工対象物（１２）をノンストップで移動させる。照明装置（４０）が、ライトパイプを含み、第一及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。第一（３）及び第二（５）のカメラ（２）アレイが、加工対象物（１２）の立体画像化を提供するために配設されている。第一のカメラアレイ（３）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイ（５）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第四の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供する。
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【課題】簡単な構造で、所定の深度範囲を一括して照明可能なミラーユニットおよびこれを備えた孔内検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】撮像カメラに周設したリング照明の照射光を、撮像カメラの光軸上に所定の深度範囲を存して集光するミラーユニットであって、光軸と同軸上に配設され、照射光を反射するコーン状のミラー部を備え、ミラー部は、周方向において照射光の角度が段階的に変化するように並べた扇状の複数のミラー片部を有したミラーユニットを提供する。 （もっと読む）

【課題】目視によるブレードの確認が容易になる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像とテンプレート画像とを比較する。ＣＰＵ３４ｃは、ブレード画像の中から、画像比較の結果に基づいて一部のブレード画像を選択し、選択したブレード画像に基づいてブレードの表面形状を計測する。モニタ２２は、計測された表面形状を表示する。 （もっと読む）

【課題】 塗膜形成ムラを検出することが出来るとともに、装置内の調整を容易に行なうことが可能な塗膜形成ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】 塗膜形成ムラ検出装置１００は、表面に膜を塗布した基板Ｗを保持し回転する回転テーブル５と、基板Ｗに光を照射する光照射手段２と、光照射手段２による基板Ｗ表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段４と、を備える。そして、回転テーブル５上には調整用画像５０が描かれている。調整工程において画像処理装置６の調整処理部６２は、調整用画像５０の反射光量の電気信号を出力し表示する。よって、その信号から調整内容を簡単に判断することができ、調整作業が可能になる効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】単純な手順で短時間に検査対象物の表面を検査することができる表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象物に形成した孔の周縁部表面を検査する表面検査方法であって、孔を画像認識する画像認識手段を検査対象物の表面に焦点を合わせた状態で、孔を、表面側から画像認識手段の光軸と同軸の第１の波長成分の第１照明手段で照明して撮像すると共に、第１の波長成分と異なる第２の波長成分を含む第２照明手段で斜めに照明して撮像する撮像工程Ｓ１と、撮像した第１の波長成分の画像を画像処理して、孔の処理画像を生成すると共に、第２の波長成分の画像を画像処理して、周縁部表面の処理画像を生成する画像処理工程Ｓ３と、孔の処理画像と周縁部表面の処理画像とを合成して、検体画像を生成する画像合成工程Ｓ４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】端子の一端側部分を良好に観察できるようにすること。
【解決手段】撮像部２０と、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａと対向する位置に配設可能であると共に、一側面９６ａからの光線を撮像部２０に導く第１導光部材４２を有する導光部４０と、第１導光部材４２を、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａに対して端子Ｔの長手方向Ｌ複数位置で対向させるように、導光部４０を端子Ｔの長手方向Ｌに沿って移動可能な移動機構部６０と、画像処理部８０と、を備え、画像処理部８０は、撮像部２０により端子Ｔの一端側部分９６の長手方向に沿った複数位置で撮像された複数の画像を合成し、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａの合成画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】 比較的大きな塗膜形成ムラを簡単に早く検出することが出来る塗膜形成ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】 塗膜形成ムラ検出装置１００は、表面に膜を塗布した基板Ｗを保持し回転する回転テーブル５と、基板Ｗに光を照射する光照射手段２と、光照射手段２による基板Ｗ表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段４と、を備える。そして、基板Ｗの回転中心を含んで回転中心から半径方向の一走査分の電気信号の同一の距離の一週分の検出値を加算して複数の同心円加算値を求め、複数の同心円加算値から変化点を判断する。したがって、全基板Ｗ上においてムラ領域を簡単に判断することができ、処理効率の良い塗布ムラの検出が可能になる効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記ＵＶカットフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ブレードを撮像した画像におけるブレードの領域を検出することができる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像から、テンプレート画像に対して所定のフレーム数だけ離れた参照画像を抽出する。ＣＰＵ３４ｃは、テンプレート画像と参照画像との差分を抽出し、その差分に基づいてブレード領域を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記バンドパスフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、
前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設されると共に、前記密閉部材３６のうちの前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、少なくとも熱線及び紫外光を含む光を射出する光源部と、前記光源部から射出された光のうち、紫外光を透過し、熱線を吸収する紫外光透過性熱線吸収膜と、前記紫外光透過性熱線吸収膜を保持する波長選択フィルタを有し、所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に前記紫外光を用いた直線偏光を照射する照明部と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出部と、検出部で検出された偏光成分に基づいて、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、照明部または検査部の光路上に、直線偏光または偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設される。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンをもつ被検査体のムラ検査をする検査装置の、ムラ欠陥検出能力やムラ欠陥の周期性を検出・解析する能力を評価することが可能な、評価用パターンおよびその評価用パターンを形成したフォトマスクを提供することを目的とする。
【解決手段】所定形状の単位パターンが２次元配列状に配置された周期性パターンであって、所定の複数の列の前記単位パターンが、サイズずれまたは／および位置ずれを起こし、かつ、そのサイズずれまたは／および位置ずれの量は同一で、前記サイズずれまたは／および位置ずれを起こしている単位パターンの列は所定数が隣接して一つの領域として形成されており、さらに、このサイズずれまたは／および位置ずれを起こしている単位パターンのある領域は、正常な単位パターンが形成されている領域を挟んで所定の周期長で配置されていることを特徴とする評価用パターン。 （もっと読む）

【課題】検出光量低下防止表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、欠陥の有無を検査する検査部とを備え、前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により配設されると共に、前記密閉部材３６の前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成され、更に前記透過領域の周辺領域に熱線吸収膜、熱線反射膜と熱線吸収膜との積層膜、熱伝導性膜と熱線吸収膜との積層膜、熱線反射膜と熱伝導性膜との積層膜のいずれか一つが形成されている。 （もっと読む）