【課題】電子内視鏡による視野範囲を広げることで内視鏡を使いやすくする。特に、前方視野と任意方向の側方視野が容易に得られる広視野内視鏡を提供することである。
【解決手段】
内視鏡先端部に設けられた透明な円筒体の一端に、透明な円筒体の軸方向に向かって前方視野を有するように第１の撮像モジュールを装着し、第１の撮像モジュールの後部に配置され、第１の撮像モジュールの光軸に対し側方視方向の光軸を有し、透明な円筒内部で回転自在に装着された第２の撮像モジュールを有する先端構造を持ったことを特徴とし、さらに第２の撮像モジュールの側方視の視野方向を第１の撮像モジュールによる画像内に表示する手段を持った広視野内視鏡。 （もっと読む）

【課題】透明板の欠陥検出方法および装置において、マスキングフィルムを貼り付けた透明板の欠陥の検出精度を向上することができるようにする。
【解決手段】マスキングフィルム１ｂが表面に貼り付けられた透明板１の欠陥検査方法であって、線状光源４を、透明板１を横切るとともに、検査光の光軸Ｏが透明板１の法線Ｎに対して角度θだけ傾斜し、かつラインＣＣＤカメラ３を、光軸Ｏに沿う方向から光照射領域の長手方句に沿って撮像できるように配置し、透明板１を配置せずに線状光源４の光量分布を測定する初期分布測定工程と、補正係数を算出する補正係数算出工程とを行い、その後、透明板１を移動させつつ、光量分布測定工程と、算出された補正係数を用いた光量補正工程と、補正後の光量分布を二値化処理して、閾値以下の部分を欠陥と判定する欠陥判定工程とを順次繰り返す。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのチップ無効領域における自動外観検査を確実にし、プローブ検査時にチップ無効領域に付着した異物によりプローブ装置における探針が破損するのを防止することのできる外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ（Ｋ）の外周付近に形成されたチップ無効領域（ＨＲ）の外観検査を自動的に行う自動外観検査装置（１）であって、チップ無効領域（ＨＲ）を撮像するための撮像光学系（５）と、撮像光学系（５）の光軸（Ｊ１）に対して所定角度（φ１，φ２）傾いた方向からチップ無効領域（ＨＲ）に向けて暗視野照明を行う暗視野照明手段（８）と、暗視野照明手段（８）により暗視野照明された状態で撮像光学系（５）によりチップ無効領域（ＨＲ）を撮像したときに得られる散乱光（Ｌ１’，Ｌ２’）の画像に基づいてチップ無効領域（ＨＲ）における異物（ＩＢ）の有無を判定する判定手段（９Ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が積層構造であり、表面が透過性の有る光沢面であっても、表面の凹凸欠陥を検出することが可能な表面欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照明部１から明暗が交互に存在する線状の光を検査対象物４に照射しその検査対象物４からの反射光をラインカメラ６により撮影して第１の原画像を得る。画像処理部８は、予め、表面に凹凸欠陥が存在しない基準物に照明部１からの光を照射しその基準物からの反射光を撮影して得た第２の原画像を記憶しており、これらの第１と第２の原画像を基に、検査対象物４の表面に存在する凹凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面に長い溝等の凹凸部がある場合の表面検査精度を向上させる。
【解決手段】被測定物Ｗの凹凸部Ｗｅに直交するようにラインファイバ照明１０を配置し、被測定物Ｗからの反射光をラインセンサカメラ１１に入射させて画像信号を得る。凹凸部Ｗｅの斜面ではラインファイバ照明１０からの光の正反射光が少なくなるため、ラインファイバ照明１０の両側に複数の小型のファイバ照明１４、１５を設けて斜め方向から光を照射し、均一な照明による表面検査を行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄で壜が濡れている場合においても、良好な擦傷検出を行う。
【解決手段】ランプ２１は、壜１の壜口を通して壜１の内部に挿入される。ランプ支持部２２は、ランプ２１への給電線を備え、ランプ２１を壜１の内部に支持する。カメラ１０は、エリアＣＣＤを備えており、壜１の外部に配置されている。また、遮光板２３は、ランプからの直接光がカメラ１０に受光されないように、壜１とカメラ１０の間に配置されている。壜１に擦傷部２がある場合には、一部の光は擦傷部２で拡散され、その一部はカメラ１０のエリアＣＣＤに入射し、明るい画像を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】偏光状態の変化そのものを検出することで、より高精度な欠陥検出を行うことが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、所定の繰り返しパターンを有するウェハ１０の表面に直線偏光を照射する照明系３０と、直線偏光が照射されたウェハ１０の表面からの反射光を受光する受光系４０と、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する信号処理ユニット５０と、信号処理ユニット５０による検査結果を表示するモニタ５５とを備え、受光系４０は、互いに透過軸の向きが異なる複数種の偏光素子の領域からなる偏光素子アレイ４４と、反射光のうち偏光素子アレイ４４を透過した光を偏光素子の領域毎に受光する二次元撮像素子４９とを有し、モニタ５５は、繰り返しパターンで反射する際に生じる直線偏光の偏光状態の変化を輝度情報に換算して偏光素子の領域毎に二次元的に表示するようになっている。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に紫外光を用いた直線偏光を照射する照明部と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出部と、検出部で検出された偏光成分に基づいて、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、照明部または検査部の光路上に、直線偏光または偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設される。 （もっと読む）

【課題】狭い空間内に組み込むことができ、特定の波長域の検査光を選択的に出射させるコンパクトな構造の集光レンズ系及び照明装置を実現する。
【解決手段】本発明による集光レンズ系は、光源（２ａ）から出射した広帯域の波長光を集光すると共に所定の波長帯域の波長光を集束性光ビームとして選択的に出射させる集光レンズ系である。当該集光レンズ系は、第１の正レンズ（２０）と、特定の波長域の波長光を選択的に透過させる波長選択フィルタ（２１）と、負レンズ（２２）と、第２の正レンズ（２３）とを順次有する。或いは、第１の正レンズと第２の正レンズとの間に２つの負レンズ（３１，３３）を配置し、これら負レンズ間に波長選択フィルタ（３２）を配置する。光源から出射した照明光が波長選択フィルタに斜めに入射して収差が生じても、当該収差は後段の負レンズにより補正される。この結果、光路長の短い集光レンズ系が実現される。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの短絡を精度良く検出できる透過方式を前提とし、照明光の利用効率を高くし、光源の直接光をカメラに入射させる場合に生じるノイズを除去して検査精度を向上させ、回路パターンの配置方向の影響を受けず、気泡や打痕あるいは傷の寸法による影響を受けず、検査精度を向上させる。
【解決手段】被検査物１０に向かって開く射出口１６４ｅを設け内面を略球面状の拡散反射面とした球面体１６４ａの内側に光を入射し、この入射光をこの球面体１６４ａの内面により反射させて散乱光とし、この散乱光を射出口１６４ｅから被検査物１０に向かって射出し、この散乱光による被検査物１０の透過画像を撮影し、この撮影画像を用いてパターンを検査する。 （もっと読む）

【課題】ディスクの表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク12の面に対し、照明装置112，114,116,118からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ102,104によって撮像する。照明光は、光ファイバーなどのライトガイドを使用して照射パターン形状を整形し、ディスク12のテクスチャの接線方向に沿って照射する。カメラ102,104から得られる画像を解析し、ディスクの中心位置と半径を求めて自動的に各検査面のウインドウを形成する。また、検査画像からエッジ部分における反射形状を認識し、当該反射形状に基づき、塵埃と塵埃以外の要因によるものとを判別して塵埃の検出と測定を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、広視野を暗視野照明を使って低解像度で検査し、その形状の合否判定が難しい小さな異物に関しては、狭視野を明視野光源を使って高解像度に再検査を実行することで、デバイスのセンサー表面や保護ガラス面の異物を高速に検出することができるデバイス外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となるデバイス１００のガラス面／センサー面を暗照明及び明照明で照明して所定の倍率で撮像した基準画像を作成し、基準画像と検査対象となるデバイス１００を同一の条件で撮像した検査画像から差分画像を作成し、差分画像の予め設定されたマスク範囲にある異物の位置及び面積を含む異物一覧情報を保存し、予め設定された閾値等により異物の判定を行う。保存された異物一覧情報に基づいて、所定の第一の撮像条件で撮像し、異物の面積が予め設定された閾値等に合えば、異物の位置で第一の撮像条件とは異なる第二の撮像条件で撮像し、新たに作成した差分画像を検査して異物に関する情報を更新する。 （もっと読む）

【課題】レーザーによる応力改善技術と、レーザー超音波法によるき裂検査技術との保全施工技術は、従来独立した装置として実現されているため、対象となる材料部分に設けられる装置が大型になり、材料が狭あい空間、または狭あいな経路を経由しなければ到達できない空間に位置している場合、保全施工作業が非常に時間がかかり面倒である。
【解決手段】第一のレーザー光源１から発振され、材料Mに照射されて材料Mを改質する第一のレーザー光L1と、第二のレーザー光源６から発振され、材料Mに照射されてその反射成分を検出して該当部位のき裂検査または計測をする第二のレーザー光L2とを共通の統合光学系29を介して材料Mに照射するようにする。第一の光伝送手段３は第一のレーザー光L1を第一のレーザー光源1から統合光学系29まで伝送し、第二の光伝送手段８は第二のレーザー光L2を第二のレーザー光源６から統合光学系29まで伝送する。 （もっと読む）

【課題】発泡体ローラーの表面部と内部に存在する欠陥を１度の検査で得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】投光装置の光源及びシリンドリカルレンズ４を通した光を発泡体ローラー１に投光する。そして、発泡体ローラー１における反射光Ｐを撮像装置１１で撮像すると共に、発泡体ローラー１を透過した透過光を反射板２で反射させて、撮像装置１１で撮像する。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持部などの保持機構で保持した状態であっても、誤認識なくワークの良否判定を行う。
【解決手段】検査装置１では、ワーク２を照明する円環状の光源部３３を有する照明部３と、ワーク２を撮影する撮影部４とが設けられ、ワーク２を保持する保持部５が、照明部３と撮影部４との間に固定もしくは移動可能に配され、照明部３の光源部３３からワーク２に照射した光の照射方向上から外れた位置に、撮影部４が配されている。そして、ワーク２に異物を含む不確定な物がある場合、光源部３３からワーク２に照明した光は、異物を含む不確定な物によりその光路が変更されて撮影部４にて撮影される。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、被検基板の表面に照明光を照射する照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルター６５が光路上に挿入されて、ＵＶカットフィルター６５を透過した光が波長選択機構７０，７５のバンドパスフィルターに照射されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】異なる板厚を持つ複数枚の板材をレーザーで溶接する場合でも溶着状態をリアルタイムでかつ正確に検出することができる溶着状態検出方法を提供する。
【解決手段】板厚の異なる複数枚の板材を準備しＳ１、準備した複数枚の板材を少なくとも一部が重なるように固定しＳ２、固定した複数枚の板材が重なる部分に向けてレーザー光を照射しＳ３、前記レーザー光を移動させＳ４、レーザー照射部に形成されるキーホールが反射したレーザー光を受光しＳ５、受光したレーザー光の強度波形に基づいて前記板材の溶着状態を検出するＳ６。 （もっと読む）

【課題】高いパターン欠陥検出精度を有する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査基板１４に所定の方向に偏光された光を照射する照明光源装置１１と、前記被検査基板で反射された光により、前記被検査基板の表面像を検出する撮像素子１９と、前記撮像素子の光入射側に配置され前記所定の方向と略直交する方向の偏光を透過する検光子１７と、前記照明光源装置と前記検光子との間に配置された反射鏡１３、１５とを有し、前記反射鏡の有効光束に対するＦナンバーが４．５以上である表面検査装置１００。 （もっと読む）

【課題】 光沢のある金属製の棒状ワークの外観検査を高速で正確に検査する。
【解決手段】 第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２による搬送過程において金属製の棒状ワークＣに照明を照射する照明手段Ｒｅと、上記棒状ワークを撮影する撮像手段Ｓ１〜Ｓ６とを備え、第１の回転インデクサＩＤ１の外周に形成された外周溝ｖ１に上記棒状ワークＣの外周表面の半分を露出させる状態で収納し、第２の回転インデクサＩｄ２の外周に形成された外周溝Ｖ２に棒状ワークＣの残りの外周表面を露出させる状態で収納し、上記照明手段Ｒｅを上記棒状ワークの露出表面を囲むように複数の光源が配される円弧型の照明手段Ｒｅとして配し、この円弧型の照明手段Ｒｅによる照明を介して上記外周溝ｖ１（ｖ２）に収納された上記棒状ワークＣを撮像手段Ｓ１〜Ｓ６により撮像する。 （もっと読む）

【課題】従来よりもユーザに掛かる負担を軽減し、表面検査装置による検査作業の自動化及び省力化を促進させることが可能な表面検査装置の検査システムを提供する。
【解決手段】ヘッド本体１６Ａの先端に着脱可能に設けられ、かつミラー１８が組み込まれる軸状の走査部１６Ｂとを備えた検査ヘッド１６を軸線ＡＸの回りに回転させつつ軸線ＡＸに沿って移動させ、検査ヘッド１６内に軸線ＡＸに沿って入射した検査光の光路をミラー１８により変更してワークＷに照射し、ワークＷから検査ヘッド１６に返される反射光の光量に基づいてワークＷの表面を検査する表面検査装置１に適用され、検査ヘッド１６の異常の有無を診断する検査システム１００において、検査ヘッド１６の異常の有無を診断する診断装置２００と、診断装置２００が検査ヘッド１６に異常があると判断した場合に検査ヘッド１６の走査部１６Ｂを交換する交換装置３００とを備える。 （もっと読む）