【課題】 撮像カメラの処理能力に制約を受けることなく、検査時間を短縮することができる自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】 テーブル部、走査ステージ部、ストロボ照明部、鏡筒部、撮像部並びに、予め登録しておいた検査条件に基づいて、撮像された検査対象物の画像の良否判断をする検査部とを備え、
走査ステージ部には、テーブルの現在位置を計測する位置計測手段が備えられており、
鏡筒部には、観察光を一部透過させると共に、角度を変えて一部反射させる、
光分岐手段が備えられており、
鏡筒部には、光分岐手段で分岐された光を各々撮像することができるように、撮像部が複数取り付けられており、
制御部は、ストロボ発光させる毎に、撮像に用いる撮像部を逐次変えて撮像を行う機能を備えていることを特徴とする、自動外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】現在の手動検査プロセスを置き換える自動化検査システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】自動化欠陥検査システム（１０）が発明され、これはパターン化されたウェハ、全ウェハ、破損ウェハ、部分ウェハ、ワッフルパック、ＭＣＭなどを検査するために使用される。この検査システムは、特に、スクラッチ、ボイド、腐食およびブリッジング、などの金属化欠陥、ならびに拡散欠陥、被覆保護層欠陥、書きこみ欠陥、ガラス絶縁欠陥、切込みからのチップおよびクラック、半田隆起欠陥、ボンドパッド領域欠陥、などの欠陥のための第二の光学的ウェハ検査のために意図され、そして設計される。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを連続して搬送される開口を塞ぐシール部を有する被検査物に対して、特殊領域特定のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査性能に優れた検査装置を提供する。
【解決手段】容器を搬送する手段と、第一の光学手段と、第一の光学手段の容器搬送方向の下流に設けられた第二光学手段と、第一の特殊領域特定手段と、第一の特殊領域に基づいてシール部の液漏れ欠陥を検出する第一の検査手段と、前記エッジ座標と、第一の撮像手段と第二の撮像手段の取り付け角度の角度差と、第一の撮像手段と第二の撮像手段から得られた撮像画像における検査領域の中心座標から、第二の撮像手段によって得られた画像の第二の特殊領域を特定する第二の特殊領域特定手段と、第二の撮像手段によって撮像した画像の第二の特殊領域に基づいて容器の異物欠陥を検出する第二の検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】被測定物の状態によらず、高い検出感度を得るための調整が容易であり、検出感度の劣化要因となる照明光の発生を防ぐことが可能な照明装置、および光学装置を提供すること。
【解決手段】一定の領域１を照明するように構成され、光源として複数のＬＥＤを有し、その複数のＬＥＤと一定の領域１との間に、互いに異なる偏光方向１５、２５、３５をそれぞれ有する複数の偏光子１２、２２、３２を有し、複数のＬＥＤは、それぞれ数個〜十数個のＬＥＤからなる複数のＬＥＤ群１０、２０、３０に分割して駆動することができるように構成され、各ＬＥＤ群の出射光はそれぞれ１つの偏光子のみを通過するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを連続して搬送される被検査物に対して、特殊領域検出のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査装置を提供する。
【解決手段】開口を塞ぐシール部を有する容器の欠陥を検査する検査装置であって、容器を搬送する手段と、容器を照明する手段と、容器を撮像する手段と、撮像するタイミングを出力する手段と、撮像した画像から特殊領域を検出する手段と、特殊領域内の複数の領域に対して異なる閾値で欠陥を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でガラス基板の表面の画像を高精度かつ迅速に取得する。
【解決手段】表面検査装置１０は、被検査対象物（ガラス基板１４）の移動方向に沿う複数の異なる位置にそれぞれ照明光を照射可能な複数の光源（３つの線光源１１，１２，１３）を有する照明手段と、被検査対象物（１４）を照明手段に対して相対移動させる駆動手段（駆動ローラ４）と、複数の光源（１１，１２，１３）によってそれぞれ照明された被検査対象物（１４）を所定のタイミングで撮像し、複数の異なる画像を取得する撮像手段（ラインセンサカメラ１５）と、照明手段と駆動手段（４）とを制御し、被検査対象物（１４）を相対移動させた状態で被検査対象物（１４）の異なる位置に照明光を所定のタイミングで照射するとともに所定のタイミングで複数の異なる画像を取得するよう撮像手段（１５）を制御する制御手段５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】検査経路を搬送される容器に照射した光が容器壁部を漏光するのを検出して、容器に生じた小孔を検査する場合に、容器の胴部及び底部の両方を同時に検出可能な容器検査方法及び容器検出装置を提供すること。
【解決手段】容器Ｗを保持して周回するとともに搬送する小孔検査検出回転体と、前記容器Ｗの開口部Ｗ１側を支持するとともに遮光する開口部側支持体と、前記容器Ｗの底部Ｗ２側を支持して前記容器Ｗを前記開口部側支持体に押し付ける押圧部材４０と、前記容器Ｗに光を照射する光源と、前記開口部Ｗ１が遮光された容器内部に配置された光センサ５１Ａを有し前記光源が照射した光の漏光を前記容器Ｗの内部で検出する光検出部とを備えた容器検査装置であって、前記押圧部材４０の前記容器Ｗの底部Ｗ２と当接する部分には、光透過性を有する当接部材４１を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被写体の周期的な動きを撮影し、その各周期の動きを評価しながら、通常とは異なる画像のみを記録可能とする。
【解決手段】画像取得手段で取得した入力動画像を保持する一次記憶手段５３と、被写体の基準となる動きを表す、基準動きパターンを取得する基準動きパターン取得手段３７と、入力動画像の各フレームを、基準動きパターンの各フレームから計算される評価用データと比較することで、入力動画像と基準動きパターン同士の各フレームの異常度を算出し、これに基づいて入力動画像と基準動きパターン同士の全体の異常度を演算する異常度解析手段３８と、異常度解析手段３８で演算された異常度に基づき、異常度の高いフレームから順に一次記憶手段５３に残し、一次記憶手段５３の空きがなくなったら異常度の低いフレームから順に削除する保存画像抽出手段３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送される被検査物に対してエリアカメラを使用した場合に発生する撮像画像の歪みを補正し、更に、検査領域を設定し、欠陥検出のために複雑な処理を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査装置を提供する。
【解決手段】搬送装置によって搬送される被検査物を撮像し、被検査物に付着した異物や汚れの付着、内容物の漏れを検査する検査装置であって、被検査物を撮像する撮像タイミングを検出する手段と、検出された撮像タイミングで被検査物を撮像し、且つ、被検査物の移動方向と撮像水平方向が並行に設けられたローリングシャッタ方式の撮像カメラと、撮像された被検査物の画像の歪を補正する手段と、歪が補正された被検査物の検査領域を設定する手段と、前記歪が補正され検査領域が設定された被検査物の画像を検査することを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】 被検対象の物体にはない特定成分を確実に選択できるようにして異物を確実に特定できるようにし、物体中に異物が混入しているか否かを確実に判別できるようにして判別精度の向上を図る。
【解決手段】 被検対象の物体に、物体を構成する成分以外の特定成分を含む異物が混入しているか否かの判別を行なうものであって、予め、異物有りのサンプル物体と異物無しのサンプル物体とに近赤外線を照射し、サンプル物体からの反射光あるいは透過光を受光し、受光した光の吸光度における二次微分スペクトルの統計学的解析により特定成分に起因する帰属波長に係る判別式を算出しておき、被検対象の物体に近赤外線を照射し、被検対象の物体からの反射光あるいは透過光を受光し、受光した光の吸光度を測定し、これらの吸光度と判別式とから算出された算出結果から物体中の異物の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】従来技術では、偏光状態の違いにより正しく欠陥と、異物との弁別を行うことができない場合も考えられる。
【解決手段】上記課題を達成するために、本発明の第１の特徴は、試料を載置する搬送系と、前記試料の第１の領域に第１の光を照射し、前記試料の第２の領域に第２の光を照射する照射光学系と、前記試料からの光を受光する受光系と、前記照射光学系での時間遅れを記憶する記憶部と、前記受光結果と、前記時間遅れとを用いて、試料に由来する欠陥と異物とを弁別する処理部とを有することにある。本発明の第２の特徴は、前記第１の光の状態と、前記第２の光の状態とを観察する光学条件観察部と、前記光学条件観察部での観察結果をフィードバックする観察結果フィードバック部と、前記フィードバックを用いて前記第１の光と、前記第２の光との光学条件を同じにする光学条件制御部とを有することにある。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記バンドパスフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記ＵＶカットフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】スミヤやブルーミング等を抑えて適切な検査を行い、バックライト光の範囲を調節して誤判定を抑制する。
【解決手段】被検査パネルの非点灯検査を行う非点灯検査装置である。搬送装置に臨ませて設けられ、当該搬送装置で搬送される前記被検査パネルの画像を取り込むラインカメラと、前記ラインカメラに臨ませて配置され前記被検査パネルに光を照射するバックライトと、前記搬送装置で搬送されてくる前記被検査パネルの位置を、前記ラインカメラの上流側で検知するパネルセンサと、前記バックライトからの光を制御して効率的に前記ラインカメラに入射させる光制御板と、前記被検査パネルが前記ラインカメラの視野に入るまでの設定時間後に前記バックライトを点灯させる制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】タイヤの例えば内面や外面の外観検査において、効率よくタイヤを撮像することにより検査にかかる処理時間を短縮し、かつ、撮像された画像を精度よく合成することができるタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】周方向に相対的に位置ずれして配置され、かつ互いにタイヤの幅方向に撮像位置がそれぞれ異なるように設定された複数のカメラ１１〜１３により撮像して得られるタイヤの内周面の各撮像画像を合成して検査するタイヤの検査装置において、タイヤが複数のカメラ１１〜１３と相対的に周方向に回転されて、撮像動作が全カメラ１１〜１３で行われるときに、全カメラ１１〜１３の撮像画像中に同一時刻でマーカを入れて、全カメラ１１〜１３が撮像した撮像画像を合成するときに、このマーカを各撮像画像の基準位置として用いて、カメラ１１〜１３間の周方向の相対的位置ずれ量に見合うように撮像画像を位置合わせして合成するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布された着色膜に生じる微小な濃度変動を光学フィルターによって強調することでＳ／Ｎ比を向上させ、きわめて小さな濃度変動の良否判定を行う基板検査装置および基板観察装置を提供すること。
【解決手段】撮像素子をもつカメラ２２と、基板を把持するステージと、ステージ後方から基板を照明する照明手段２４と、カメラのシャッターを制御する制御手段と、カメラの撮像レンズ又は／及び照明手段の前面に、基板の光透過率の低い波長域のみを透過する光学フィルター２１と、カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、画像を元に良否判定を行う判定手段とを有すること。 （もっと読む）

【課題】試料に付着した異物の存否のみならず、異物の種類をも簡易に識別できる異物の識別方法を提供する。
【解決手段】既知の物質に異なる励起波長の紫外線を照射し、各励起波長における試料からの蛍光強度と波長を分析して、蛍光強度がピークとなるときの励起波長を基準励起波長とし、蛍光強度がピークとなった蛍光波長を基準蛍光波長とするとき、次の過程を含む。（Ａ）試料に前記基準励起波長の紫外線を照射して、試料からの蛍光波長を分析する過程。（Ｂ）その試料からの蛍光波長が前記基準蛍光波長と合致すれば、試料に前記既知の物質が異物として存在すると判定し、合致しなければ試料に既知の物質がないと判定する過程。 （もっと読む）

【課題】 検査対象のスクリーン製版におけるピンホールなどの欠陥を容易に検出することができるスクリーン製版の検査装置の提供。
【解決手段】 スクリーン製版の検査装置は、被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、検査対象スクリーン製版が垂直面内において移動自在に移動する移動機構と、検査対象スクリーン製版が前記移動機構により移動するよう、垂立状態で保持する可動保持機構と、この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）