【課題】分析精度に優れ、かつ、簡便に透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析できる装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面汚染分析装置１００は、透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する装置である。この表面汚染分析装置１００は、外部からの光を遮断する遮光容器１１０と、遮光容器１１０の中に配置され、透明板状部材を保持する保持部１２０と、透明板状部材の一方の端面に光を照射して、透明板状部材の内部に光を透過させる照明部１３０と、透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する表面分析手段１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 透明な物体の表面に付着した微小な異物、及び透明な物体の表面の微小な欠陥を精度良く検出することができる観察装置を提供する。
【解決手段】 表面観察装置は、光源装置、偏光変換装置、ハーフミラー、レンズ、受光モジュール、回路基板、筐体、処理装置などを備えている。受光モジュールは、偏光フィルタ１５１、マイクロレンズアレイ１５３、イメージセンサなどを有している。そして、偏光フィルタ１５１の＋Ｚ側の面とマイクロレンズアレイ１５３との間隙Ｄｉｎｔは、マイクロレンズアレイ１５３におけるレンズピッチＰｍｌ以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】１台のカメラで検査対象物の複数箇所の画像を取得しながらも、検査時間の短縮が可能な画像処理装置を提供する。
【解決手段】制御部１５は、エリア画像内において互いに離間した複数の領域を抽出領域とするように設定データを決定し、設定記憶部１３に書き込む。画像取込部１１１は、これら複数の抽出領域の全てについてカメラ２から部分画像を取り込み、抽出領域ごとに部分画像を記憶部１１２に記憶する。これにより、記憶部１１２には、各抽出領域について、時間経過に伴って取り込まれた複数の部分画像が記憶されることになる。画像生成部１１４は、抽出領域ごとに複数の部分画像を時系列に沿って並べて二次元画像を生成し、画像記憶部１１５に二次元画像を抽出領域ごとに記憶する。 （もっと読む）

【課題】粉体の塗布が異常となった不良箇所を容易に特定することが可能な電線の製造方法を提供する。
【解決手段】適量の粉体離型材９が塗布された状態の絶縁コア１の画像におけるコア絶縁層５の色相の画素数を適正画素数範囲として設定しておく適正画素数範囲設定処理と、粉体離型材９を塗布した絶縁コア１の粉体塗布後画像Ｇｂを撮影する塗布後撮影処理と、粉体塗布後画像Ｇｂにおける絶縁コア１の色相の画素数を計数する計数処理と、を行い、粉体塗布後画像Ｇｂの絶縁コア１の色相の画素数の変化から粉体離型材９の塗布量をモニタしながら電線を製造する。粉体塗布後画像Ｇｂにおけるコア絶縁層５の色相の画素数が適正画素数範囲内に入っているか否かを判定する判定処理と、粉体塗布後画像Ｇｂにおけるコア絶縁層５の色相の画素数が適正画素数範囲から外れた絶縁コア１の区間を記憶する異常区間記憶処理とを行う。 （もっと読む）

【課題】 印刷と同期したリアルタイムな印刷物の検品システムにおいて、精度とパフォーマンスを両立した画像位置合わせ手段が求められる
【解決手段】 印刷原稿の複数の紙端を検知して斜行角度を計測する。位置ズレ補正のために、印刷データの印刷内容と、その印刷物の撮像データから特徴点を抽出し、特徴点同士のフィッティング処理を行うことで線形ズレ量を見積もる。その際、斜行角度を参照することでフィッティング処理時間の高速化を実現する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上の欠陥によって散乱される光は非常に弱く、その微弱光を高速かつ高感度に測定する検出方法としてはＰＭＴやＭＰＰＣがある。上記検出方法では、微弱光を光電変換して、電子を増倍する機能があるが、光電変換の量子効率が５０％以下と低いため、信号光を損失し、Ｓ／Ｎ比を低下させるという課題がある。
【解決手段】そこで、本発明では、光電変換をする前に直接光を増幅する光増幅に着目した。光増幅とは、信号光と励起用光源の光とを希土類を添加したファイバに導入し、誘導放出を起こして信号光を増幅する増幅方法である。本発明は、この光増幅を利用することを特徴とする。また、本発明は、この増幅率を様々な条件により変えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 修理ラインで直すことができる欠陥と製造ラインを止めなければならない欠陥であるかを判定できる表示デバイス（５０）の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 表示デバイスの欠陥検出方法は、表示デバイスを部分領域ごとに特徴量を計測し（Ｐ３２）、計測された領域の特徴量に基づいて欠陥領域と判定された領域をカウントする欠陥カウントステップ（Ｐ３６）と、欠陥カウントステップで第１閾値より欠陥数が多い場合には表示デバイスの製造ラインを停止するステップ（Ｐ３８，Ｐ４２）と、欠陥カウントステップで第１閾値より欠陥数が少ない場合に所定面積内の欠陥密度を計算する欠陥密度計算ステップ（Ｐ３８）と、欠陥密度計算ステップで第２閾値より欠陥密度が高い場合には表示デバイスの製造ラインを停止するステップ（Ｐ４０，Ｐ４２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】接着剤中に散在する多くの気泡について、精度良くそのサイズを表し得る情報を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置を提供することである。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、貼り合せ板状体１０を介してラインセンサカメラ５０に向けて照明する照明手段５１、５２と、前記照明手段により照明がなされている状態でラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体走査する際に当該ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記ラインセンサカメラからの映像信号に基づいて生成される画素単位の濃淡値からなる検査画像情報から得られる暗リングを横切る方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部間の検査画像上での距離に基づいて気泡サイズ情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【解決手段】
プリプレグ材１の欠陥認識方法は、第１横断クロスライン４ｂを、プリプレグ材１内の欠陥領域２の境界の始まり３ｂに引く。第２横断クロスライン４ｅは、欠陥領域２の境界の終わり３ｅに同様に引かれる。クロスライン４ｂ、４ｅは、プリプレグ材１の移動方向５に対して、角度αを形成する。
欠陥領域２の始まり及び終わりを区切る、各横断クロスライン４ｂ、４ｅは、識別コードＢ_ｉ、Ｅ_ｉを有している。 （もっと読む）

【課題】効率良く検査を行なうことができ、また、精度良く表面欠陥の検出を行なうことができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置であって、走行する被検査物を支持する円柱形状を有する複数の検査ロールと、検査ロール上の被検査物の表面に光を照射する光源と、被検査物の表面から反射した光を検出する検出ユニットと、を備え、複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、溝部と柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、検出ユニットは、被検査物において柱面部上に位置する領域を検出領域とし、柱面部の位置が、複数の検査ロールそれぞれにおいて軸方向に異なる。 （もっと読む）

【課題】ベルトの幅方向の傷の検出精度を向上させるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】所定方向に形成された内側平坦部２０及び外側平坦部２２と、湾曲側部２９ａ、２９ｂとを輪郭とする略矩形断面を呈する薄型金属ベルト１８の表面に存在する傷を検査するベルト検査装置３０にあって、前記所定方向に沿って、第１照明光を前記湾曲側部２９ａ、２９ｂに出力する緑色光源５６、５８と、湾曲側部２９ａ、２９ｂによって反射された照明光を湾曲側部２９ａ、２９ｂの正面から撮影するカラーカメラ４０、４２と、カラーカメラ４０、４２が照明光を撮影した画像に基づいて薄型金属ベルト１８の表面状態を判定する表面状態判定部７８とを備え、表面状態判定部７８は、撮影された照明光の幅を計測し、該照明光の幅に基づいて、薄型金属ベルト１８に、内側平坦部２０及び外側平坦部２２間を幅方向とする傷があるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】麺類におけるクラックの発生の程度を容易に検出することができる麺類のクラック検出装置を提供する。
【解決手段】麺類からなる試料Ｓの軸方向に対して光源部１から垂直に照明光が照射され、試料Ｓの透過光により撮像部２で試料Ｓの画像が取得され、この画像に基づき画像解析部４で濃度ヒストグラムが作成され、判定部５で濃度ヒストグラムから濃度レベルの平均値ＭＥＮ、コントラスト値ＣＮＴ、分散値ＶＡＲ、エネルギー値ＥＧＹおよびエントロピ値ＥＰＹのうち少なくとも１つが評価値として演算されると共に、演算された評価値をクラックの発生量が既知である基準の麺類について予め演算された基準評価値と比較することにより試料Ｓにおけるクラックの発生量が検出される。 （もっと読む）

【課題】棒鋼等の長手方向に連続的に存在する表面欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】本発明の表面検査装置１５は、長尺の被検査材２の表面を照明する照明手段１６と、被検査材２の表面を撮像する撮像手段１７と、撮像手段１７により撮像された画像を処理して欠陥を検出する画像処理手段１８とを備えた表面検査装置１５において、被検査材２の周囲に撮像手段１７との挟み角が異なる２台の照明手段１６を配置している。照明手段１６を交互に点灯させて欠陥を検出すると、欠陥の位置によりいずれかの照明手段１６を点灯させて欠陥を追随して検出する。 （もっと読む）

【課題】ベルトの深さ方向の傷の検出精度を向上させるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】所定方向に形成された内側平坦部２０及び外側平坦部２２と、湾曲側部２９ａ、２９ｂとを輪郭とする略矩形断面を呈する薄型金属ベルト１８の表面に存在する傷を検査するベルト検査装置３０であって、内側平坦部２０側から照明光を湾曲側部２９ａ、２９ｂに出力する赤色光源４８、５０と、外側平坦部２２側から、前記湾曲側部によって反射された照明光を撮影するカラーカメラ４０、４２と、カラーカメラ４０、４２が照明光を撮影した画像に基づいて薄型金属ベルト１８の表面状態を判定する表面状態判定部７８とを備え、表面状態判定部７８は、撮影された照明光の幅を計測し、該照明光の幅に基づいて、薄型金属ベルト１８に、所定方向を深さ方向とする傷があるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】検査走査終了時にレビューを完了した欠陥の数を増加させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、被検査物と検査光学系とを第１方向に相対移動させると同時に、前記検査光学系を用いて前記被検査物を撮像して第１欠陥を検出する第１欠陥検出工程と、前記被検査物と前記検査光学系とを前記第１方向と直交する第２方向に相対移動させると同時に、前記被検査物と前記検査光学系とを前記第１方向と反対方向に相対移動させる移動工程と、レビュー光学系を用いて前記第１欠陥を撮像して第２欠陥を検出する第２欠陥検出工程と、を有し、前記第１欠陥検出工程と同時に前記第２欠陥検出工程を実施し、前記移動工程と同時に前記第２欠陥検出工程を実施することを特徴とする欠陥検出方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】テープに貼り付けられた検査対象物を透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることのできる検査装置を提供する。
【解決手段】観察面Ｆｐが設定される観察光学系（１１）と、観察光学系側から観察面Ｆｐを照明する反射照明機構１２と、観察光学系とは反対側から観察面Ｆｐを照明する透過照明機構１４と、観察面Ｆｐに沿う平坦面（３５ａ）を形成する保持機構１３と、を備える検査装置１０である。保持機構１３は、透過照明機構１４からの照明光の透過を許しかつ平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材（３５）と、透過部材を取り囲んで保持する保持部材（３４）と、を有し、保持部材は、観察光学系側へと突出しつつ平坦面を取り囲む環状突部３４ｈと、それと平坦面とにより規定される内方凹所３４ｌを外部に連通させる吸引孔３８と、を有し、吸引孔３８には、内方凹所３４ｌの空気を吸引する吸引装置３６が接続されている。 （もっと読む）

【課題】複数個所の検査と、０．１ｍｍ位の異物とか欠けの検査がより簡単に且つ安価になる画像検査装置を提供する。
【解決手段】ロボット１のハンド部３がワーク４を把持。ハンド部３の構造としては把持した状態の繰り返し位置ずれを少なくする把持子１４を持つ。さらに当該位置ずれを少なくするためにロボット１が把持したワーク４をレーザセンサ１１又はカメラ５にかざしワーク４の位置を、予め当該ワーク４の良品をレーザセンサ１１又はカメラ５にかざしたデータと比較する。このデータを基にワーク４を、ロボット１が座標変換プログラムにより位置修正する。そしてワーク４をカメラ５にかざしトリガ信号をだして撮像する。予め当該ワークの良品を登録した画像と比較して画像検査し良品であれば良品シューター９位置にワーク４を開放し、不良品であれば不良品シューター１０位置に開放する。 （もっと読む）

【課題】 シート材を高速搬送させても短時間で観察画像を取得することができ、シート材が搬送方向と垂直な方向であって、前記観察部の視野内にある前記シート材の搬送方向と直交する方向（つまり、シート材の厚み方向や幅方向）にバタツキや揺動を生じたとしても、観察画像の品質及び評価の質が損われることを防ぐことができる、シート材端部の観察・評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 観察対象となるシート材の端部を搬送させながら観察し、
観察視野範囲の一部分を観察領域として登録し、当該領域を別個に複数登録でき、当該観察部の外部から複数の部分観察領域を選択するかを指示して、複数登録された中から一つの部分観察領域に切り替える部分観察領域切替機能を有し、
シート端部位置検出器から得られた信号に基づいて観察部に対して部分観察領域が切り替わるように信号出力する、シート材端部の観察評価装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】試料に実在する欠陥に起因する輝度変化を、各種ノイズから分離して検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、試料表面上に主走査方向に整列した複数個の走査スポットを形成し、試料表面の同一の部位を、主走査方向に整列したｎ個の走査スポットにより所定の時間間隔で順次走査する。ｎ個の走査スポットからの反射ビームをそれぞれ光検出素子により受光する。信号処理装置は、ｎ個の光検出素子から出力される輝度信号中に、所定の閾値を超えると共に互いに時間的又は位置的に対応する輝度変化が存在する場合、試料上に欠陥が存在するものと判定する。本発明によれば、試料表面上に形成された欠陥に起因する輝度変化は、光源ノイズや光検出器の熱雑音から分離して検出されるので、疑似欠陥が増大することなく、欠陥の検出感度を高く設定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】投光器および受光器の診断機能を有する鋼帯の穴欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】連続的に搬送される鋼帯１を挟んだ上下に配置された投光器２および受光器３と、これらより少し上流に配置された溶接穴検出器５と、トラッキング装置６と、穴欠陥検出制御装置７と、表示装置８とからなる。穴欠陥検出制御装置７は、鋼帯１に穴欠陥があるかどうかを常時検出する穴欠陥検出部７１と、投光器２を常時診断する投光器診断部７２と、受光器３を所定のタイミングで診断する受光器診断部７３を有する。受光器診断部７３は、鋼帯１のコイル間の溶接部に設けた穴が穴欠陥として検出されたタイミングとほぼ同時か、前記穴が前記受光口の上を通過し前記溶接部が前記受光口の上に存在すると予測されたタイミングで、受光器の光検出器に診断光を入射して、受光器の光検出器からの光検出信号に基づいて受光器を診断する。 （もっと読む）