【課題】欠陥検出精度を向上する。
【解決手段】投光器４から出力されたレーザ検査光３は、走査装置６によりフィルム５の幅方向に走査される。走査増倍管演算回路２５は、レーザ検査光３の走査に同期して、正透過光３ａが入射する光電子増倍管２１ｄを順次演算する。制御部２４は、走査増倍管演算回路２５で演算された光電子増倍管２１ｄのスイッチ２３ａをオフにし、その他のスイッチ２３ａをオンにする。レーザ検査光３は、走査されてフィルム５の欠陥部３９に入射すると、正透過光３ａと散乱光３ｂとに分かれる。散乱光３ｂが入射した光電子増倍管２１ｄから出力された受光信号は、欠陥判定回路３７に入力され、正透過光３ａが入射した光電子増倍管２１ｄから出力された受光信号は、欠陥判定回路３７に入力されない。欠陥判定回路３７は、受光信号が入力されたときには、フィルム５表面に欠陥があると判定する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観異常を検査するに際し、装置の大型化や検査効率の低下を抑制しつつ、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置は、均一光Ｔ１を照射する第１照射装置２２ａと、スリット光Ｔ２を照射する第２照明装置２２ｂと、カメラと、画像処理装置とを備えている。カメラの撮像素子２３ｂは、均一光Ｔ１の照射領域を撮像する二次元撮像用撮像領域Ｋ１と、スリット光Ｔ２の照射領域を撮像する三次元計測用撮像領域Ｋ２とを有している。画像処理装置は、二次元撮像用撮像領域Ｋ１より得たデータを基に錠剤５の輝度画像を生成し、三次元計測用撮像領域Ｋ２より得たデータを基に錠剤５の形状画像を生成する。そして、輝度画像及び形状画像を基に、錠剤５の外観異常が検査される。 （もっと読む）

【課題】微小点状欠陥の検出を精度良く行うことができる。
【解決手段】リング状の光出射部３Ａと、光出射部３Ａと鋼板２との間に、光出射部３Ａと同心円状で、かつ、光出射部３Ａの内径より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板３Ｂとを有したリング照明装置３と、遮光板３Ｂの開口部の中心線Ｃ上に配置され、該開口部を介して鋼板２の表面を撮像する撮像部４と、を備え、撮像部４が撮像する鋼板２表面上の撮像領域Ａには、光出射部３Ａから照射された光のうち遮光板３Ｂの開口部縁部で回折した光のみが照射され、光出射部３Ａと鋼板２表面との間の距離Ｈは、撮像領域Ａ内の平均輝度レベルが所定レベル以上で、かつ、撮像領域Ａ内の輝度レベル差が所定範囲内となるように設定される。 （もっと読む）

【課題】基板内の全ての欠陥に対して複数の閾値によって欠陥画像を処理して欠陥の種類の判別と良否判定を行う事により、顕微鏡による確認作業負荷を削減する事を可能とし、作業効率を向上させる検査システムを提供する。
【解決手段】基板の欠陥不良を検出する検査システムであって、基板の製造工程内あるいは製造後に予め自動欠陥検査装置によって検出された欠陥の欠陥検出情報に基づいて、前記基板を搬送する手段と、前記基板を照明する手段と、前記欠陥を撮像する手段と、前記撮像した欠陥の画像を処理する画像処理手段と、を備え、かつ、前記処理された欠陥画像を複数の閾値で２値化する機能と、前記２値化された欠陥の位置座標から同一欠陥を判別する機能と、前記同一欠陥と判別された欠陥の欠陥種類判別と良否判定する機能と、を備えたことを特徴とする検査システム。 （もっと読む）

【課題】低コストで、比較的小径の金属管の内部においても、スケールを適切に検出することができるスケール検出方法、及びスケール検出装置を提供する。
【解決手段】金属管１の内部において、光源３からの光を、第１偏光素子４を透過させて直線偏光Ｌ１とし、直線偏光Ｌ１のうち、金属管１の内面５にて反射された光Ｌ２を、第１偏光素子４の透過軸の方向と異なる方向で、且つ直線偏光Ｌ１がスケール２を透過した後の光を優先的に透過する方向に、透過軸を沿わせた第２偏光素子６を透過させて、受光部７にて受光する。 （もっと読む）

【課題】噴射装置から噴射される流体の噴射方向を精度良く測定することができる噴霧測定方法及び噴霧測定装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、実空間上で噴口３２から燃料を噴射した際に面状光２０上に形成される噴霧断面画像４０を取得し、噴霧断面画像４０上で抽出した噴霧断面像４０ａに対応する重心算出領域Ｄを可変設定するとともに、可変設定された重心算出領域Ｄ内の各画素の輝度を重みとして当該重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇを算出し、重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇと中心位置Ｐｃとが設定誤差範囲内で一致するときノズル３１から重心位置Ｐｇに向かう方向を噴霧方向として特定する。これにより、インジェクタ３０から噴射される燃料の噴射方向を精度良く測定することができる。 （もっと読む）

【課題】電子回路基板の製造と共にマスク欠陥検査装置自体の検査を実行可能なフォトマスクを製造するフォトマスク製造方法、そのフォトマスクを用いたフォトマスク欠陥検査装置判定方法、及びフォトマスク欠陥検査装置判定装置を提供する。
【解決手段】電子回路基板を製造する際に用いられるフォトマスクの欠陥を検査するフォトマスク欠陥検査装置の検査をするための欠陥検査用パターンを、前記電子回路基板における電子回路領域を避けて配置したマスクパターンを示すマスクパターンデータを作成する作成段階と、前記作成段階により作成されたマスクパターンデータが示すマスクパターンを、フォトマスクに転写する転写段階と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光学画像のパターンと基準画像のパターンとの位置合わせを高い精度で行いつつ、且つ、高速で欠陥検出のできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】画像センサから試料の光学画像を取得する工程と、光学画像および判定の基準となる基準画像のいずれか一方について、そのＸ方向とＹ方向の移動量をそれぞれα（０≦α＜１）とβ（０≦β＜１）として、αおよびβと光学画像と基準画像の差分の２乗和との関係を表す方程式を求める工程と、この方程式から得られる差分の２乗和が最小となる（α，β）の組から、位置合わせに最適な移動量を求める工程とを有する。この方程式についてαおよびβの偏微分を解くことにより、位置合わせに最適な移動量を求めてもよい。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】欠陥の種別によらず、確実に欠陥を検出する欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる欠陥検査装置は、同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料３を検査する欠陥検査装置であって、試料３からの光を受光する光検出器５と、光検出器５の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって２値化処理を行って、２値化画像を生成する２値化処理部１２と、同一形状のパターンでの２値化画像の差分を算出して、差分画像を生成する差分処理部１５と、差分画像に基づいて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部１６と、を備えるものである。 （もっと読む）

【目的】予め歪ませたパターンが形成された被検査対象試料をダイーダイ検査する際に、高精度な検査が可能なパターン検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査装置１００は、複数の同一パターンが形成位置にそれぞれ歪みをもって形成された被検査試料の光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記光学画像データを複数の部分光学画像データに切り出す切り出し部７２と、前記被検査試料に形成されたパターンの歪み量を取得可能な歪情報を用いて、前記複数の部分光学画像データの位置を補正する補正部７４と、補正された前記複数の部分光学画像データ同士を画素毎に比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】実際の対象物と撮像手段との関係を確認する作業や、対象物と画像処理結果とを比較する作業を、モニタを用いることなく容易に行うことができるようにする。
【解決手段】撮像部１内に、ＬＣＤ１２を含む投光部１１をＣＣＤ１０と同軸になるように配備し、ＬＣＤ１２に表示された画像がＣＣＤ１０の視野に向けて投影されるようにする。処理部２では、ＣＣＤ１０により生成された画像を用いてワークＷ０の欠陥Ｄを検出し、その欠陥を含む領域Ｒに対応する領域ＲＰに周囲より明るい画像データが設定された投影用画像５０を生成し、これを投影部１１に与えて投影させる。この投影により、ワークＷ０の表面のうち、画像処理により欠陥として検出された範囲が、領域ＲＰの投影像によるマーキングパターンＭにより明示される。 （もっと読む）

【課題】金属リング、又は、複数個の金属リングを積層して構成される金属ベルトの側方端面に傷が存在するか否かを確認することを容易にする。
【解決手段】検査装置３０は、第１固定ローラ３２ａ、第２固定ローラ３２ｂ及び可動ローラ３２ｃを備える。これらローラ３２ａ〜３２ｃは、ローラ本体９８ａ〜９８ｃと、該ローラ本体９８ａ〜９８ｃの下方底部に設けられたフランジ部材９６ａ〜９６ｃとを有する。ローラ本体９８ａ〜９８ｃは、フランジ部材９６ａ〜９６ｃに向かうにつれてテーパー状に縮径する。可動ローラ３２ｃが移動することでローラ３２ａ〜３２ｃに掛け渡された金属ベルト１２が緊張した後、ローラ３２ａ〜３２ｃが回転動作されると、該金属ベルト１２の下方側の側方端面２２ａがフランジ部材９６ａ〜９６ｃの上端面に着座する。この着座により、金属ベルト１２を構成する金属リング１８の上方側の側方端面２２ｂの位置が揃う。 （もっと読む）

【課題】対象物が有する視覚的なむらに影響を及ぼしている周期成分を知ることのできる、むらの視認性判定技術を提供する。
【解決手段】判定装置１００は、画像入力部１０、記憶部２０および判定部５０を少なくとも備えている。画像入力部１０は、対象物の画像データＩＭＧの入力を受け付ける。記憶部２０は、周期的なむらに対する人の視認感度を表す感度データ２２を記憶する。判定部５０は、入力された画像データＩＭＧと感度データ２２とに基づいて、対象物が有するむらにおける、人が視認可能なむらの周期成分を判定する。これにより、画像データＩＭＧに含まれる視覚的なむらのうち、どの周期成分が視認性に影響を及ぼしているかを知得することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光反射強度に含まれる迷光成分を低減し、パターンドディスク表面のパターン形状を精度よくまたはパターン欠陥を確実に検出できるハードディスクメディアの検査装置または検査方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、パターンが形成されたハードディスクメディアの表面に複数の波長を含む光を照射し、波長毎に検出される反射光の強度を前記ハードディスクメディアからの反射光を検出する検出器に発生する迷光成分の強度で補正し、前記補正された反射光の強度から分光反射率を算出することを第１の特徴とする。前記補正は、前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を前記反射光の短波長領域をカットした状態とカットしない状態で波長毎に検出し、両者の前記反射光の強度との差に基づいて行なうことを第２の特徴とする （もっと読む）

【課題】舗装道路のひび割れ検出は、現場を撮影した画像を検査所に持ち帰り、分析機器を使って分析・評価しているが、全長が何百キロメータ以上にも及ぶ道路のひび割れ検出には処理画像の量が膨大で人的作業に適さず、評価も技術者の経験による主観的判断によっているため、客観的かつ定量的に行うことが不可能である。
【解決手段】本発明に係る舗装路面のクラックの抽出と損傷レベルの評価方法は、遺伝的プログラミングによる並列型画像フィルタ自動生成システムにサイズ依存型交叉を導入して複数の実舗装画像からクラック(1)の抽出が困難と思われる箇所をフィルタ構築の訓練データに選定採用することで様々なタイプの画像からクラックの抽出用画像フィルタ(4)を自動的に構築する。そして、評価対象舗装領域の画像全体を格子状に分割した個々のブロック(6)に該抽出用画像フィルタ(4)を適用して評価する。 （もっと読む）

【課題】 診断対象を変質させない非破壊検査で診断できて、現場で簡便に実施でき、かつ劣化度を高精度に定量的に評価できるようにする。
【解決手段】 原画像のデータを処理し、防水シートの劣化に伴って現れる要素として定められた画像の複数種類の特徴量抽出する。この抽出した各種類の特徴量を、重回帰分析によって解析し、防水シートの破断時の伸び率の保持率である残存品質を求める。画像処理では、クラック領域と非クラック領域とに２値化処理によって領域分割する。前記複数種類の特徴量として、クラックの大きさに係る特徴量である、クラック領域の占める面積比率、距離変換で得る平均幅を用い、さらに局所的最大値による特徴量、および隣接ピクセルを比較することによって得られる特徴量を用いる。 （もっと読む）

【課題】 小さなサイズの残留物から大きなサイズの残留物まで様々なサイズの残留物を同時に検出することが可能な画像処理を行うことで測定精度を向上させた残留物測定方法を提供する。
【解決手段】
濾過フィルタ上の残留物 (屑や粉等)を撮像し、取得した画像データを分岐させて、分岐した画像データのうち一方の画像データに対して直ちにラベリング処理を施して、画像処理領域の画素サイズをＰ以下として所定サイズの前記残留物を検出する特徴抽出を行い、かつ、他方の画像データに対してオープニング処理とクロージング処理のいずれか１種以上の処理を行ってからラベリング処理を施して、画像処理領域の画素サイズをＱ以上とし当該ＱとＰはＱ＜Ｐの関係とすることで、前記所定サイズよりも大きなサイズの前記残留物を検出する特徴抽出を行い、引き続き、これら特徴抽出された画像処理領域同士を結合した後に再度のラベリング処理を行う。 （もっと読む）

【課題】背景や障害物を含むコンクリート構造物の画像から、誤差となるコンクリート面以外の背景や障害物を除去すること。
【解決手段】コンクリート構造物の色と同じ色であって、コンクリート構造物のテクスチャと同じテクスチャの画素をコンクリート候補領域として構造物抽出部１３１で抽出し、Ｃａｎｎｙエッジ抽出法を用いてコンクリート候補領域から当該コンクリート候補領域内に前景として存在する障害物のエッジを抽出し、コンクリート候補領域内の各画素の輝度値を用いて中央画素に対する１６個の近傍画素のテクスチャ量Ｓ_ｋをそれぞれ計算し、最大のテクスチャ量を有する近傍画素が位置ｋ＝９にあって、１６個のテクスチャ量の分散値が０．０００１以上である場合に、当該中央画素をコンクリート領域として抽出し、モルフォロジーのＤｉｌａｔｉｏｎ領域拡大法を用いてコンクリート領域を障害物のエッジに到達するまで拡大する。 （もっと読む）