【課題】印刷後の画像検査の精度を向上する。
【解決手段】画像検査部では、撮像部により印刷画像が撮像されて検査画像が取得されるとともに、元画像データに基づいて基準画像が生成される。第１積算部では、基準画像中の印刷方向に並ぶ画素の値が積算され、基準積算値分布が取得される。基準積算値分布には、感度補正部により各積算値を増加または減少させる感度補正が行われる。第２積算部では、検査画像中の印刷方向に並ぶ画素の値が積算され検査積算値分布５２が求められる。比較部では、検査積算値分布５２から感度補正後の基準積算値分布５１が減算され、欠陥の検出が行われる。このように、画像検査部では、基準積算値分布５１に対して感度補正を行うことにより、検査精度が向上される。 （もっと読む）

【課題】被検査物に付着した粒子が有機系粒子であっても、レーザ散乱方式における検出感度を向上させることができる粒子検出方法を提供する。
【解決手段】ウェハＷの表面に光を照射し、該表面からの散乱光を受光することによって、前記表面に付着した粒子Ｐを検出する粒子検出方法において、粒子Ｐが損傷しない所定温度範囲でウェハＷの表面に成膜処理を行い、成膜されたウェハＷの表面に光を照射し、前記表面からの散乱光を受光することによって、粒子Ｐを検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面内を均一な検出感度にて検査することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、被検査体移動ステージ、照明装置と、検査座標検出装置、光検出器と、Ａ／Ｄ変換器と、異物・欠陥判定部、を有する。照明装置は、検査座標検出装置によって得られた照明スポットの半径方向の位置に基づいて、照明スポットの円周方向の寸法を変化させるように構成されている。照明スポットが被検査体上を外周部から中心部に移動する間に、照明スポットにおける照射光量密度が一定となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】検査対象が木材である場合に、単純な構成でありながら凹凸欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】欠陥検出装置は、第１の照射装置１と、第２の照射装置２と、撮像装置３と、処理装置４とを備える。第１の照射装置１および第２の照射装置２は、検査対象Ａである木材の拡散反射性を有する被検査面Ｂに斜め方向から光を照射する。撮像装置３は、第１の照射装置１および第２の照射装置２から被検査面Ｂを通った光が入射する。処理装置４は、撮像装置３で撮像された撮像画像を用いて被検査面Ｂの凹凸に関する欠陥を検出する。第１の照射装置１は、照射角度θ１が撮像装置３の視軸角度θ３と同一である。第２の照射装置２は、照射角度θ２が第１の照射装置１の照射角度θ１より低く設定されている。 （もっと読む）

【課題】噴射装置から噴射される流体の噴射方向を精度良く測定することができる噴霧測定方法及び噴霧測定装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、実空間上で噴口３２から燃料を噴射した際に面状光２０上に形成される噴霧断面画像４０を取得し、噴霧断面画像４０上で抽出した噴霧断面像４０ａに対応する重心算出領域Ｄを可変設定するとともに、可変設定された重心算出領域Ｄ内の各画素の輝度を重みとして当該重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇを算出し、重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇと中心位置Ｐｃとが設定誤差範囲内で一致するときノズル３１から重心位置Ｐｇに向かう方向を噴霧方向として特定する。これにより、インジェクタ３０から噴射される燃料の噴射方向を精度良く測定することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で連続的に製造される長尺の被検査対象物の外周面全てを検査することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】延長方向に移動する長尺の被検査対象物の外観検査装置であって、被検査対象物を外側から囲むように配置された複数のカメラと、被検査対象物を延長方向に複数のカメラにより撮像した被検査対象物の外観画像を処理する画像処理手段とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】座標平面上で、データ点分布領域を表現するための情報量を小さくした状態で、データ点分布領域が特定の判定領域に分布しているかどうかを判断する。
【解決手段】対になった２つの変数をもつ複数のデータからなる被判定データ群のデータが点として表される座標平面に判定領域を設定する。その座標平面の領域を任意の点である領域の分割中心点から放射線状に２つ以上の領域に分割する。分割領域ごとに分割中心点から最大距離にあるデータ点をデータ点分布領域の代表点として選定する。代表点が線で連結されて形成される分布代表点領域と、判定領域とが重なる重複領域の有無を判断する。重複領域があるときは被判定データ群が該当データ群であると判定する。 （もっと読む）

【課題】連続して搬送されるタイヤコードの断線部、結節部、表面状態を同時に検出し、精度良くタイヤコードの表面状態を検査することを可能にする判定装置，タイヤコード処理装置及び状態判定方法を提供する。
【解決手段】直線方向に移動するタイヤコード３を所定の周期で撮像するカメラ２０；２１；２２；２３及び当該カメラ２０；２１；２２；２３の出力画像を処理する処理手段からなる判定装置において、タイヤコード３の移動速度を検出する速度検出手段と、カメラ２０；２１；２２；２３によるタイヤコード３の移動方向ｍの有効画素数Ｎをタイヤコード３の移動速度に基づき所定の画素数に設定する有効画素設定手段とを備え、有効画素範囲における現フレームＦ１の後部と次フレームＦ２の前部との移動方向重なりに基づく二重処理領域Ｎ０を、有効画素数Ｎをタイヤコード３の移動速度に基づき制御して最適化する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カラーＬＣＤパネル等の複数の色の絵素を備える表示パネルに表示された画像をカメラで撮像し、表示パネルの欠陥を検出する技術に関し、欠陥が複数の色の絵素を含む場合においても、含まれる色の割合に応じて適切な基準で判断することができる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】
表示パネルを撮像し、画像データとして取得する撮像部と、前記画像データから欠陥部位候補を抽出する欠陥部位検出部と、前記欠陥部位候補についての対象物である絵素の色を特定する色特定部と、前記色によって異なる補正係数を前記コントラスト値に乗じて欠陥度を算出し、前記欠陥度が判定値より大きい場合に欠陥と判定する良否判定部とを備える欠陥検出装置において、前記良否判定部は、１つの欠陥部位候補が複数種類の色の絵素を含んでいる場合に、前記色毎のコントラスト値に前記色によって異なる補正係数を乗じた後に合計し欠陥度を算出する。 （もっと読む）

【課題】超電導線材の欠陥を感度よく検査する
【解決手段】超電導線材の検査装置は、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向に光を照射する青色ＬＥＤ（１）と、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色ＬＥＤ（２）と、超電導線材（２０）からの反射光（Ｂ１）を主として受光し、かつ超電導線材（２０）からの散乱光（Ｃ２）を主として受光するカラーラインセンサ（３）と、カラーラインセンサ（３）にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ（５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】欠陥の種別によらず、確実に欠陥を検出する欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる欠陥検査装置は、同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料３を検査する欠陥検査装置であって、試料３からの光を受光する光検出器５と、光検出器５の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって２値化処理を行って、２値化画像を生成する２値化処理部１２と、同一形状のパターンでの２値化画像の差分を算出して、差分画像を生成する差分処理部１５と、差分画像に基づいて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部１６と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】表面に形成された酸化被膜の厚さの分布を考慮して金属の品質を自動的に評価することができる金属の表面品質評価方法を提供する。
【解決手段】金属の表面品質評価方法は、被検体の表面の画像を撮像し、画像に含まれる複数の画素における色成分情報を求める撮像工程Ｓ１と、予め測定された金属の表面の画像に含まれる画素における色成分情報による色空間上での位置の軌跡、および、金属の表面における色成分情報を求めた位置での酸化被膜の厚さ、の対応関係と、色成分情報の色空間上での位置と、を比較して、画素に対応する酸化被膜の厚さを求める膜厚決定工程Ｓ２と、複数の酸化被膜の厚さに対する特定特徴量を求める特徴量決定工程Ｓ３と、予め測定された良品／不良品となる金属の特徴量と、特徴量決定工程で求められた特定特徴量とを機械学習により比較して、被検体が良品か不良品かを評価する良品評価工程Ｓ４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】金属リング、又は、複数個の金属リングを積層して構成される金属ベルトの側方端面に傷が存在するか否かを確認することを容易にする。
【解決手段】検査装置３０は、第１固定ローラ３２ａ、第２固定ローラ３２ｂ及び可動ローラ３２ｃを備える。これらローラ３２ａ〜３２ｃは、ローラ本体９８ａ〜９８ｃと、該ローラ本体９８ａ〜９８ｃの下方底部に設けられたフランジ部材９６ａ〜９６ｃとを有する。ローラ本体９８ａ〜９８ｃは、フランジ部材９６ａ〜９６ｃに向かうにつれてテーパー状に縮径する。可動ローラ３２ｃが移動することでローラ３２ａ〜３２ｃに掛け渡された金属ベルト１２が緊張した後、ローラ３２ａ〜３２ｃが回転動作されると、該金属ベルト１２の下方側の側方端面２２ａがフランジ部材９６ａ〜９６ｃの上端面に着座する。この着座により、金属ベルト１２を構成する金属リング１８の上方側の側方端面２２ｂの位置が揃う。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物の検査の実行には、多数の検査条件データの設定が必要である。しかし、オペレータが各項目に、検査条件データのパラメータを任意の数値によって設定する方法は作業負担が大きい。また、設定作業に個人差が現れるパラメータもある。
【解決手段】オペレータが必要最低限のパラメータを最初に設定すると、当該パラメータに基づいて検査装置が被検査対象物を自動的に評価し、評価結果から被検査対象物の検査に必要な検査条件データのパラメータを算出し、検査レシピを自動的にセットアップする。 （もっと読む）

【課題】加工孔又は凹部が施された検査対象物の良否を、高感度で、誤検出を抑制して、判定することができない。
【解決手段】撮像手段で撮像した画像をデジタル化した画像データから得られる画像データを構成する輝度配列の座標系を、ｒθ極座標変換の基準点を孔又は凹部中心付近として極座標系輝度配列に変換する画像処理をし、極座標系輝度配列の中で、基準点から半径ｒにおける輝度配列を抽出し、複数箇所の輝度値から輝度配列の位相を特定し、半径ｒの値を変更して位相特定より特定される位相を複数取得し、平均化し、平均化された位相と各半径ｒにおける輝度配列の少なくとも２箇所の輝度値とにより、周期性のある輝度値配列を各半径ｒ毎に新たに生成し、判定基準輝度値配列とし、極座標系輝度配列の各半径ｒにおける輝度配列の値と各半径ｒに対応する判定基準輝度値配列とを照合して良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】被検査対象であるパターンドメディアからなる磁気記録媒体の微細なパターンの形状欠陥を高速で検査できるようにする。
【解決手段】パターンドメディアの欠陥検査方法において、検出された分光波形データをデータベースに記憶しておいたパターン形状が既知の標準試料の分光反射率波形データと比較して、欠陥を検出し、この検出した欠陥の分光波形データと標準試料の分光反射率波形データとの検出波長ごとの差異に基づいて欠陥の種類を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンにおいて、回折光量差によるコントラストからパターン変動発生箇所を精度良く識別し、かつ、その変動発生周期を簡便に導出することによってパターン描画装置の状態監視を実施できるパターン描画装置の状態監視方法を提供する。
【解決手段】描画装置によって周期性パターンが形成された基板に照明光を斜め入射し、周期性パターンにより生じる回折光を用いて画像取得を行い、処理判定を行うパターン描画装置向け状態監視方法であって、前記周期性パターンのパターン情報入力工程と、位置決め工程と、パターンピッチと撮像分解能の関係から撮像倍率を決定するための撮像倍率設定工程と、デフォーカス工程と、デフォーカスさせた位置において、前記基板の周期性パターンを撮像し被処理画像を取得する撮像工程と、前記基板上で発生しているむら欠陥の発生周期を求めるむら欠陥周期算出工程と、前記基板上で発生しているむら欠陥が描画装置起因のものであるかどうかの判定を行う判定工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の精度を高めるとともに、生産性の低下を防止する。
【解決手段】受光ユニット１３を、ウェブ１１を正透過したレーザ光２４を遮光するマスク３７と、レーザ光２４の照射範囲内でウェブ１１の両側方に位置する標準板３９Ｌ，３９Ｒと、ウェブ１１や標準板３９Ｌ，３９Ｒを通った光を受光する受光器３０とで構成する。標準板３９Ｌ，３９Ｒに、レーザ光２４の走査線Ｌに対するマスク３７の中心線のずれに応じて走査線Ｌ上での幅が変化する形状のスリット穴４２，４３を形成する。スリット穴４２，４３を通過したレーザ光２４を受光器３０で検出した結果に基づき、走査線Ｌに対するマスクの中心線のずれが補正されるように、受光ユニット１３の姿勢を調整する。これにより、マスク３７の幅を極力細くして欠陥検出の精度を高めることができ、さらに、表面検査と並行してずれ補正を実施できるので生産性の低下が防止される。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の割れの有無を検査する。
【解決手段】切り折り対象のガラス板の一端面に接触し、当該一端面からその反対側の他端面に向かって移動しながらガラス板の表面に切り折りの起点となる傷を入れ、前記他端面に到達した場合に前記表面及び他端面に対する接触が解除されるカッタを備えた切機を用いて、ガラス基板の割れを検査する検査方法において、前記カッタがガラス基板の一端面に接触したか否かを検出するステップと、前記カッタがガラス基板の一端面に接触した時点の当該カッタの位置を、ガラス基板の一端面の位置として検出するステップと、前記検出したガラス基板の一端面の位置と予め定められた設定範囲とを比較するステップと、前記比較の結果に基づいて、前記検出したガラス基板の一端面に割れが存在するか否かを判定するステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）