【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光反射強度に含まれる迷光成分を低減し、パターンドディスク表面のパターン形状を精度よくまたはパターン欠陥を確実に検出できるハードディスクメディアの検査装置または検査方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、パターンが形成されたハードディスクメディアの表面に複数の波長を含む光を照射し、波長毎に検出される反射光の強度を前記ハードディスクメディアからの反射光を検出する検出器に発生する迷光成分の強度で補正し、前記補正された反射光の強度から分光反射率を算出することを第１の特徴とする。前記補正は、前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を前記反射光の短波長領域をカットした状態とカットしない状態で波長毎に検出し、両者の前記反射光の強度との差に基づいて行なうことを第２の特徴とする （もっと読む）

【課題】計測した光学検出器の光電子増倍係数を基に計算した補正印加電圧を用いて光学検出器を駆動して補正値を検査することにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】表面検査装置において、個々の光学検出器８ａ〜８ｃの光電子増倍係数を計測し、計測した光電子増倍係数を基に制御部１１が補正印加電圧を計算する。表面検査装置に組み込まれた検出器８ａ〜８ｃのそれぞれについて、計算した補正印加電圧を用いて光学検出器８ａ〜８ｃを駆動して補正値を検査する。これにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置は、錠剤に光を照射する照明装置と、その反射光を撮像するカメラと、カメラから出力される画像信号を処理する画像処理装置とを備えている。画像処理装置は、所定の三次元計測法により錠剤の三次元データを取得し、それに基づき、錠剤の複数の断面部の輪郭を抽出し、各断面部の輪郭上の所定点における接線が当該断面部の輪郭上に他の接点を有するか否かを判定し、所定点における接線が他に接点を有する場合に、当該接線と輪郭により囲まれた領域を欠け領域として認識し、当該欠け領域の連結成分である欠け空間の大きさを認識し、欠け空間の大きさが許容範囲内か否かを判定することで良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】積重した基板収納用トレイ１０に適切な頻度で洗浄を施すために、適切な時点を外部から容易に判別できるパレットを提供する。
【解決手段】基板収納用トレイを積重するパレット７０の側面部に測定部４０と情報出力部５０で構成される微小異物測定装置６０が備えられ、測定部は定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が閾値を越えたときモニター５２は適切な時点であると表示する。 （もっと読む）

【課題】 診断対象を変質させない非破壊検査で診断できて、現場で簡便に実施でき、かつ劣化度を高精度に定量的に評価できるようにする。
【解決手段】 原画像のデータを処理し、防水シートの劣化に伴って現れる要素として定められた画像の複数種類の特徴量抽出する。この抽出した各種類の特徴量を、重回帰分析によって解析し、防水シートの破断時の伸び率の保持率である残存品質を求める。画像処理では、クラック領域と非クラック領域とに２値化処理によって領域分割する。前記複数種類の特徴量として、クラックの大きさに係る特徴量である、クラック領域の占める面積比率、距離変換で得る平均幅を用い、さらに局所的最大値による特徴量、および隣接ピクセルを比較することによって得られる特徴量を用いる。 （もっと読む）

【課題】円筒部材に塗布された塗布物を確実に精度よく検出して、塗布物の塗布状態の検査精度を向上させる。
【解決手段】検査装置内で、円筒部材１０に塗布された塗布物１１を検出する検出センサ４０を、円筒部材１０の軸方向Ｃの外側に、かつ、軸方向Ｃに対して傾斜させて円筒部材１０の塗布面に向けて配置する。検出センサ４０により、円筒部材１０の軸方向Ｃに対して傾斜した方向から円筒部材１０の塗布物１１を検出し、検出センサ４０の検出結果に基づき、塗布物１１の塗布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】異物の付着した面が被検物の２面のうちのいずれの面であるかを検出することが可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置は、被検物に検査光を投光する投光部と、検査光が投光されることによって被検物から生じる散乱光の強度を検出する検出器を含む受光部と、制御部とを備える。検出器は、偏光方向が第１の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第１の散乱光の強度と、偏光方向が第２の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第２の散乱光の強度とを検出する。制御部は、検出器により検出された第１の散乱光の強度および第２の散乱光の強度の比が基準値より大きいか小さいかによって異物が付着した面が第１面および第２面のいずれであるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】積み重なったシートの紙頭（前縁）の位置がすべて揃っているか否かを正確かつ自動的に検出する検査装置を提供することを目的としたものである。
【解決手段】本発明に係る検査装置２００は、積み重なったシートＳの側面を撮像する電子式カメラ２１０と、電子式カメラ２１０により形成された画像における各画素の階調とこれに隣接する画素の階調との差に基づいて、シートの連続性を検出する画像処理装置２２０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜の壜口部に存在し得る重要な欠陥を安定した精度で確実に検出する。
【解決手段】本発明の検査方法では、ガラス壜Ｂの壜口部Ｂ１に向けて光源１６から赤外光を照射し、そこで反射した赤外光を撮像手段（１７）に取り込んで壜口部Ｂ１を撮像する。そして、撮像された画像に基づいて、壜口部Ｂ１の欠陥の有無を判定する。上記光源１６から照射される赤外光のピーク波長は、８００〜９００ｎｍの範囲内の値であることが好ましく、より好ましくは、８２０〜８５０ｎｍの範囲内である。 （もっと読む）

【課題】不良と判定されたガラス壜を適正かつ確実に排出する。
【解決手段】本発明の検査装置は、ガラス壜の状態を検査する検査装置本体１と、検査装置本体１で検査されたガラス壜Ｂを所定方向に搬送する下流側コンベア３と、上記検査装置本体１により不良と判定されたガラス壜Ｂを上記下流側コンベア３から取り除く排出機５とを備える。上記排出機５は、センサ値に基づくフィードバック制御が可能なリニアサーボ式のアクチュエータ５０と、このアクチュエータ５０により進退駆動される突き当て部５６とを有し、上記不良と判定されたガラス壜Ｂに上記突き当て部５６が突き当てられることにより、上記下流側コンベア３からガラス壜Ｂが排出される。 （もっと読む）

【課題】従来方法では検出できない偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥を、液晶パネルを駆動させない状態で、検出できる方法を提供する。
【解決手段】偏光板を貼合した液晶パネルに、液晶パネルを駆動させない状態で、一方の面から光を照射し、他方の面からの透過光を検出し、信号処理して偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥を検査する方法において、近赤外線を照射して検査することを特徴とし、従来の可視光を照射して検査する方法では検出できない欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】数十μｍから百数十μｍ程度の孔径の孔においても正確な検査が実施できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、孔基板に形成された孔の状態を検査する検査方法であって、孔基板における第一の面の方向から撮影した孔の孔画像を取得する画像取得工程と、孔画像から孔の状態を判定する状態判定工程と、を有し、状態判定工程は、孔画像における孔基板の第一の面と反対側の第二の面から孔の壁面にかけて形成された膜の端面の部分の端面画像から、端面の位置である膜端位置を取得する膜端位置取得工程と、膜端位置によって膜の第二の面からの入り込み量を判定する入り込み量判定工程と、を有す。 （もっと読む）

【課題】透明体の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透過光の偏光方向が変化する特性を有する透明体１１４を含む第一領域を撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、透明体１１４を載置する載置台１１３と、カメラ１２から載置台１１３を挟んで、第一領域のうち少なくとも透明体１１４を含んで撮影される第二領域の範囲を含む位置に設置された偏光フィルタ１１２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明体を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板と屈折率が同等もしくは近い異物を高感度に検出できる基板の検査方法及び基板の検査装置を提供する。
【解決手段】プリズム１６の表面１６ａに形成された金属膜１５に対して基板２０に形成された凹凸パターンを近接させた状態で、プリズム１６の表面１６ａと金属膜１５との界面側から金属膜１５に光を照射して光の反射特性を取得する工程を複数の基板２０について行い、複数の基板２０間で反射特性を比較する。 （もっと読む）

【課題】数十μｍから百数十μｍ程度の孔径の孔においても正確な検査が実施できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、孔基板に形成された孔の状態を検査する検査方法であって、孔基板における第一の面の方向から撮影した孔の孔画像を取得する画像取得工程と、孔画像から孔の状態を判定する状態判定工程と、を有し、状態判定工程は、孔画像における孔基板の第一の面と反対側の第二の面から孔の壁面にかけて形成された膜部分のグレー値である膜部グレー値を取得するグレー値取得工程と、膜部グレー値の値によって、膜の第二の面からの入り込み量を判定する入り込み量判定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 多数枚の透光性基板ＯＢの検査を短時間でできるようにする。
【解決手段】 複数のガラス基板ＯＢの一部に対してライン状の光を照射し、このライン状の光が照射される設定枚数のガラス基板ＯＢを検査対象ブロックとする。検査対象ブロック内のガラス基板ＯＢがカメラ２１の被写界深度内に入るように、治具１１の位置を調整して撮影する。撮影画面における輝度データに基づいて、検査対象ブロック内に欠陥が存在するガラス基板ＯＢがあるか否かを判定し、欠陥が存在するガラス基板ＯＢがある場合には、カメラ位置をガラス基板ＯＢの法線方向に細かく切り替えて撮影し、カメラ位置に対する輝度値と関連する値の変化曲線から欠陥が存在するガラス基板ＯＢを判別する。 （もっと読む）

【課題】繰り返し同一絵柄が印刷された印刷物の印刷欠陥を検査するための印刷物検査装置を提供する。
【解決手段】印刷された印刷物の１画像フレーム内の印刷絵柄に任意の検査箇所及び任意の検査領域を設定すると共に、それらの検査箇所と検査領域毎に印刷欠陥の検査条件を設定するための領域別検査条件決定手段と、撮像用トリガ信号を発生する信号発生手段と、撮像用トリガ信号を得て印刷物を１画像フレーム毎に撮像するための撮像手段と、この撮像手段によって撮像されて得られた１画像フレーム毎の被検査画像情報と基準となる基準絵柄が形成されている１画像フレームを撮像することによって取得した基準画像情報とを各検査箇所及び検査領域別に設定された検査条件に基づいて印刷欠陥を検出するための印刷欠陥検出手段とを備えてなる印刷物検査装置。 （もっと読む）

【課題】従来の絶縁回路基板の外観検査方法では不良を確実に且つ高速で検査することはできなかった。
【解決手段】本発明の絶縁回路基板の外観検査方法においては、絶縁回路基板を撮像手段により撮影し、撮影された検査画像を所定の閾値で２値化することにより回路パターン部と絶縁部とに分け、前記回路パターン部において回路パターンの島を抽出しその数を数え、予め登録された良品画像の回路パターン部の回路パターンの島の数とが一致した場合を合格品とする検査工程１と、前記絶縁部において絶縁の島を抽出しその数を数え、予め登録された前記良品画像の絶縁部の絶縁の島の数と一致した場合を合格品とする検査工程２と、予め登録された前記良品画像の前記回路パターン部の前記回路パターンの島を１個含む検査範囲画像を設定し、前記検査範囲画像に相当する範囲内で、回路パターンの島を抽出してその数を数え、前記回路パターンの島の数が１個である場合を合格品ととする検査工程３を有することを特徴とする。 （もっと読む）