【課題】シリカフィラーを含む封止樹脂中の金属細片の大きさおよび個数を検出する方法を提供すること。
【解決手段】シリカフィラーを含む封止樹脂中に含まれる金属細片を検出する方法であって、前記封止樹脂を有機溶剤に溶解する工程、前記樹脂が溶解した前記有機溶剤中の前記シリカフィラーを酸で処理して前記シリカフィラーを選択的に溶解し、前記金属細片を単離する工程、前記金属細片の大きさおよび個数を測定する工程、を含む、検出方法。 （もっと読む）

【課題】水分を含有する試料の形態を損傷せずに試料を乾燥させることができる電子顕微鏡用試料作製装置を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡用試料作製装置１は、試料保持部５によって試料を含む液体を、試料が凍結せずかつ液体が過冷却状態となる温度に保持する。冷却台６は、載置された冷却ブロック７を冷却し、冷却ブロック７を過冷却状態となった試料を含む液体に接触させることで、試料及び試料を含む液体を速やかに最大氷結晶温度より低い温度にして凍結させる。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ安定的な染色が可能な白金ブルーの染色キットを提供する。
【解決手段】液体を収容する収容部を備えた基体と、シスプラチン水溶液と硝酸銀水溶液を混合することにより得られた反応生成物を濾過して生成した第１濾液にチミジンを溶解させて合成することにより濃青色の白金錯体溶液とし、この白金錯体溶液を濾過して生成した第２濾液を濃縮して生成するとともに、濃縮後に所定量ずつ基体の収容部に収容して乾燥させた染色液とを有する染色キットとする。特に、基体には、固定液を収容可能とした第１凹部と、染色液の収容部となる第２凹部と、洗浄液を収容可能とした第３凹部を設け、さらに濾紙を収容する凹部を設ける。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡で観察可能な標識法を提供すること。
【解決手段】電子顕微鏡法により観察すべき細胞中の標的タンパク質の二次元または三次元情報を得る方法であって、
金属結合タンパク質または金属結合ペプチドと標的タンパク質との融合タンパク質を発現させうるコンストラクトを提供する工程、
該コンストラクトを、該細胞に導入する工程、
該細胞中で該コンストラクトから該融合タンパク質を発現させる工程、
該金属結合タンパク質または金属結合ペプチドと結合する金属を、該細胞に供給することにより、該細胞中にて該融合タンパク質中の金属結合タンパク質または金属結合ペプチドと、該金属とのクラスターを形成させる工程、および、
該細胞を電子顕微鏡により観察する工程、
を含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】脱水後乾燥しても、試料の形態や形状の変化することがなく、試料をより生体に近い状態で観察することが可能な生体標本の作製方法を提供すること。
【解決手段】検体から採取した組織又は細胞をエーテルアルコール類又はグリシジルエーテル類を用いて脱水する。従来のアルコールやアセトンと異なり、乾燥後、試料がゆがんだり収縮して形態や形状が変化したりすることがないので、より信頼性の高い病理診断が可能となる。 （もっと読む）

【課題】所望の位置に所望の孔径の孔部を有したマイクログリッドを容易に製造することのできる製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、電子顕微鏡による観察の際に試料支持用として用いられる、グリッドメッシュ１０と、グリッドメッシュ１０上に設けられた、孔部２１を有する薄膜２０と、を備えたマイクログリッド１の製造方法である。基板３０上の所定の位置に、所定の大きさの固形状の凸部を形成してマイクログリッド１のオス型１００を形成する工程と、オス型１００の凸部５０間に薄膜材料２０ａを配する工程と、薄膜材料２０ａを硬化させて、凸部５０に対応する位置に孔部２１を有した薄膜２０を形成する工程と、オス型１００から薄膜２０を剥離させる工程と、オス型１００から剥離した薄膜２０をグリッドメッシュ１０上に設ける工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 短い調製時間で大きいカット深さを実現でき、高い確実性および達成可能な良好な試料品質において高い経済性を達成できるイオンエッチング法を実現する。
【解決手段】 電子顕微鏡検鏡用試料を固体材料から切出す。次いで、試料に構成された試料表面（３）を、イオンビーム（Ｊ）によって所定の入射角度で処理し、かくして、試料（１）のイオンビーム（Ｊ）の投射ゾーン（４）の範囲に、電子顕微鏡による試料（１）の所望範囲の観察（１２）を実現できる所望の観察範囲（２０）が露出されるまで、イオンエッチングによって試料表面（３）から材料を切除する。この場合、イオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）が試料表面（３）において少なくとも互いに接触するか、又は交叉して、上記試料表面に投射ゾーン（４）を形成するよう、少なくとも２つの不動のイオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）を所定の角度（α）で相互に配向して試料表面（３）に導き、試料（１）もイオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）も、移動させず、従って、位置不変の状態で処理する。 （もっと読む）

集積支持フィーチャを有する試料支持構造体ならびに補強された膜を作製する方法およびそれを使用する方法。試料支持構造体は、電子顕微鏡法、光学顕微鏡法、Ｘ線顕微鏡法、ＵＶ−ＶＩＳ分光法および核磁気共鳴（ＮＭＲ）技術などの顕微鏡技術を使用する分析のための試料を支持するために有用である。
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【課題】例えば外径が数十ｎｍ以下の繊維状物質の長さを、短時間で簡便かつ精度よく測定可能な繊維状物質の測長用試料の作成方法及び測長方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る繊維状物質の測長用試料の作成方法は、繊維状物質を揮発性溶媒中に分散させた分散液を作成する分散液作成工程と、導電性基板１上に前記分散液による液滴２を形成する液滴形成工程と、前記導電性基板１上に形成した液滴２を乾燥させて、中央部に比べて周辺部に残留する繊維状物質の密度が高くなるような残留痕２ａを形成させる残留痕形成工程とを有する。
また、本発明に係る測長方法は、上記測長用試料の作成方法で作成した測長用試料における残留痕２ａの中で、繊維状物質の１本毎の長さが観察できる特定の領域に、０．１〜３ｋＶの加速電圧で加速された電子ビームを照射して、そこからの２次電子像を観察することで繊維状物質の１本毎の長さを測定する測長工程を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＡＥＳによる断面加工試料の測定において、断面のエッチングによるクリーニング操作から断面の観察、測定操作までにかかる複雑なステージ操作工程や、さらにＣＭＡを搭載したＡＥＳにおける複数試料観察の際の角度微調節といった工程の削減を可能とする試料台の提供を目的とする。
【解決手段】試料台（１）に傾斜角度５０°〜６０°の傾斜面２面からなる傾斜部分（２）を設けることにより、エッチング後、試料ステージの反転操作を行なわずに観察、測定操作を可能とし、また、傾斜部分（２）に並列に試料（５）を固定できる構造により、観察断面の方向をそろえることを可能とすることで位置調整に要する操作を削減することが出来る。 （もっと読む）

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観
察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片１０の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる
部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片１０を１軸
全方向傾斜試料ホルダに、突起１１の中心軸と試料傾斜軸Ｚを一致させて固定し
、高角に散乱された電子で結像したＴＥＭ像を投影像として用い、再構成を行う
。 （もっと読む）

【課題】速やかなクリーニングを実現できるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】各々の空間部の最上部に試料７０a、７０b、７０cが取り付けられたホルダ３０a、３０b、３０cの各空間部にフィラメント９０a、９０b、９０cが取り付けられ、試料７０a、７０b、７０cを支持している部分には電圧印加用電極８０a、８０b、８０cが設けられている。
そして、一台のフィラメント加熱用電源１００からスイッチング回路１１０を介してフィラメントに電流が流せ、一台の電圧印加用電源１２０からスイッチング回路１３０を介して任意の電極に電圧が印加できる。 （もっと読む）

【課題】アームの動きを止めることなく良好に連続した薄片試料を作成するためのウルトラミクロトームを提供すること。
【解決手段】ダイヤモンドナイフ４ｄを用いて試料ブロック１０の断面を切削することにより薄片試料を作成するためのウルトラミクロトームであって、
前記断面切削時に、前記試料ブロック１０の断面が描く軌道上５１に、前記試料ブロックの断面に付着する水を除去する手段３７を備えることを特徴とするウルトラミクロトーム。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を実現し、かつ、真空容器内の圧力の増加や汚染が無く数μｍの試
料片が固着されるＴＥＭホルダの導入手段を備え、迅速な観察を可能とする試料室容積が
必要最小限の、占有面積の小さい、大口径ウエハ用の試料作製装置を提供すること。
【解決手段】試料を載置する試料ステージと、荷電粒子ビーム照射光学系と、荷電粒子ビ
ームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、該試料から試料片
を分離する試料片分離手段と、該試料を収納するカセットと、該カセットから該試料を該
試料ステージに移載する試料移載手段と、該試料片を固定する試料ホルダと該試料ホルダ
を固定する試料載置部と該試料載置部を保持し、試料ステージ本体部と脱着可能な構成か
ら成るカートリッジと、該カートリッジを収納するカートリッジステーションと、該カー
トリッジステーションから所望の該カートリッジを該試料ステージ上に、該容器の外部か
ら移載する移載手段を備える。 （もっと読む）

【課題】
走査電子顕微鏡の分解能をモニタする場合，計測する分解能指標値のパターン依存性を低減できるようなサンプルの準備と計測アルゴリズムの採用が，電子ビームサイズの変化を高精度に計測するために必要である。
【解決手段】
本発明では，分解能モニタに適した断面形状のパターンを有するサンプルを提供する。分解能モニタに適した形状とは，具体的には，照射された一次電子ビームがパターンの側壁に当たることのない程度に，側壁が傾斜している断面形状のことである。これにより，パターンの断面形状に依存しない分解能モニタを実現した。 （もっと読む）

【課題】広く浅いホローカソードであっても、密度の高いプラズマを形成することが出来、安定して金属被膜を成膜する。
【解決手段】プラズマイオン金属被着装置は、希薄ガス雰囲気に維持される真空チャンバ１内で対向するアノード２とホローカソード３と、これらアノード２とホローカソード３にプラズマ放電のための電圧を印加する電圧印加回路１８と、真空チャンバ１内に原料ガスを供給する原料ガス供給室１０と、ホローカソード３の中に金属被膜を形成する試料７を載せる試料台４とを備える。ホローカソード３のカソード周壁３ｂの上縁からホローカソード３の内側に張り出した円環状の遮蔽壁３ａを設け、このホローカソード３の中に被膜形成用の原料ガスを導入するものである。具体的には、被膜形成用の原料ガスは、ホローカソード３のカソード周壁３ｂ側から試料台４の上のプラズマ領域に導入する。 （もっと読む）

【課題】微細な試料を無用に変質させることなく高精度に微細部位の断面の分析が可能な微細部位解析装置を提供する。
【解決手段】試料を断面加工して解析する微細部位解析装置は、試料台１と集束イオンビーム装置２と回転機構３と電子ビーム装置４と補正部５と分析装置６とからなる。集束イオンビーム装置２は、試料が置かれた試料台に向かって斜め方向の視線を有するよう配置され、試料台に対して斜め方向にターゲットを切断する。回転機構３は、ターゲットを中心に試料台を着眼位置中心回転させる。電子ビーム装置４は、切断するターゲットを探索すると共に回転中のターゲットを観察する。補正部５は、電子ビーム装置により観察されるターゲットの位置を補正する。分析装置６は、集束イオンビーム装置からターゲットの断面に照射される集束イオンビームにより放出される二次イオンを分析する。 （もっと読む）

【課題】製造されたデバイスの内部構造をテストするために薄いサンプルを準備して像形成する。
【解決手段】物体のサンプルを形成し、物体からサンプルを抽出し、真空チャンバーにおいて表面分析及び電子透過度分析を含むマイクロ分析をこのサンプルに受けさせるための方法及び装置が開示される。ある実施形態では、抽出されたサンプルの物体断面表面を像形成するための方法が提供される。任意であるが、サンプルは、真空チャンバー内で繰り返し薄くされて像形成される。ある実施形態では、サンプルは、任意のアパーチャーを含むサンプル支持体に位置される。任意であるが、サンプルは、物体断面表面がサンプル支持体の表面に実質的に平行となるようにサンプル支持体の表面に位置される。サンプル支持体に装着されると、サンプルは、真空チャンバー内でマイクロ分析を受けるか、又はロードステーションにロードされる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトなサイズで多数の検体を収容でき、かつ容易に密封できる顕微鏡観察標本用容器を提供する。
【解決手段】円形状の開口部５と矩形状の収納部２を有する容器本体と、該開口部５に螺着する蓋体６からなる顕微鏡観察標本を収納する樹脂製の容器であって、長辺内側面に支持凸部３が列設され、収納部２の長辺外面に転倒防止部材４が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分析システムにサンプルを導入するためのサンプリング装置（例えばサンプリングバルブ）を提供する。
【解決手段】サンプリング装置は、サンプリング領域３２を備えた回動部材３１を有している。このサンプリング領域３２は、分析されるサンプルを保持できるように構成されている。回動部材３１は、サンプリング領域３２が、サンプル収集のためにサンプル物質３６に露出されている第１の位置と、分析システムによって使用するためにサンプルを解放する第２の位置との間で移動できるように構成されている。 （もっと読む）