【課題】単一の高分子材料を転写材として、厚さ制御性に優れたナノインプリント法及びこれを用いた電子顕微鏡調整用試料を提供することにある。
【解決手段】転写後の転写材の厚さに設計された壁とスタンパ保持面を有し、単一の高分子材料である転写材及びスタンパをとり囲む形状を持つスペーサをナノインプリント時に同時に挟み込む構造とする。 （もっと読む）

【課題】走査型、透過型などの電子顕微鏡で使用する被観察試料の新規な調製方法を得ることを目的とする。
【解決手段】金属元素をイオンとして含む金属イオン含有液を所定濃度で溶解してなる処理水を被観察試料に噴霧または塗布し、ついでこの被観察試料の表面水を放散させることにより調整する。この調製方法によれば、前処理時における真空引きを省略できるので短時間で調製することができ、生物試料（生もの）などもくずれたりすることがなく、経時的にしかもリアルタイムで観察を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
従来よりも加工時間を長くすることなくイオンビームによる試料の断面形成の加工精度を向上せしめ、試料を割断することなく微小試料を分離または分離準備する時間を短縮するイオンビーム加工技術を提供する。
【解決手段】
イオン源１からイオンビームを引き出す軸と、前記イオンビームを第１の試料ステージ１３に載置された試料１１に照射するイオンビーム照射軸とが傾斜関係にある構造とし、さらに、前記試料からイオンビーム加工により摘出した試料片３０３を載置する第２の試料ステージ２４が、傾斜軸周りに回転することによりイオンビームの前記試料への照射角度を可変できる傾斜機能を持ち、前記イオンビーム照射軸に垂直な面に前記イオン源からイオンビームを引き出す軸を投影した線分が、前記第２の試料ステージの傾斜軸を前記イオンビーム照射軸に垂直な面に投影した線分と少なくとも略平行関係とすることが可能な構造であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の位置における断面をより容易かつ確実に取得可能な薄膜積層体の検査方法を提供すること。
【解決手段】基板本体２上に形成された線状パターン１５と、基板本体２上に線状パターン１５と線状パターン１５上で交差するように形成された第１電極層１６とを有する第１ＴＦＤ素子１８の検査方法において、基板本体２を、線状パターン１５の一端辺１５ｃと第１電極層１６の一端辺１６ａとの第１交点Ｐ１と平面視で重なる箇所を支点として応力をかけて、第１ＴＦＤ素子１８のうち少なくとも平面視で線状パターン１５及び第１電極層１６と重なる領域を、第１電極層１６の一端辺１６ａに沿って割断する割断工程を備える。 （もっと読む）

【課題】軸や非点収差の補正を精度良く行うことができる走査型電子顕微鏡調整用試料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】走査型電子顕微鏡調整用試料は、複数の突起部を有する。この突起部は底部から頂上まで階段状の多段構造を形成する複数の段差部を有する。底部及び突起部はネガ型ホトレジストとポジ型ホトレジストが交互に積層された積層構造によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 従来の電子顕微鏡用試料作製技術では、試料の断面薄膜化試料を作製するのみで、薄膜の状態のデバイス試料に電圧を印加し、デバイスを動作させることができなかった。
【解決手段】 収束イオンビーム装置内に複数のプローブを設け、プローブ間には自由に電圧を印加できる構成とする。また、プローブ間の電流を測定し、電流の有無を判定できる検知器を設ける。プローブは半導体デバイスのコンタクトプラグに接触させ、デポジションガスを装置内に導入し、プローブの接触位置に収束イオンビームを照射することで、プローブをコンタクトプラグに接着し、電流導入端子とする。電子顕微鏡の試料ホルダには、この電流導入端子に接触し、電子顕微鏡外部から電圧を印加できる電流導入機構を設ける。 （もっと読む）

小さくデリケートな試料を操作するのに有用な微細加工ツールは、薄いプラスチックフィルムから形成される。上記フィルムは適度に柔軟性があるが、いくらかの硬さを与えるため円筒若しくは平らな支柱の周りに巻くことで好ましくは曲げられるように、僅かな厚さ（好ましくは５〜５０マイクロメートルで、一般的に１０マイクロメートル）及び僅かな横寸法（好ましくは２ｍｍ以下、一般的に０．１〜１ｍｍ）を有する。プラスチックの柔軟性及び薄さは、ツールとの偶然の接触の間における試料の損傷の危険を減じる。その薄さは、光学的に及びＸ線の透過を可能にし、その結果、試料は、操作の間、明らかに視覚化することができ、ツールは、試料からのＸ線データを収集するのに使用可能である。オプションとして、Ｘ線感知蛍燐光体が低濃度でフィルムに組み入れられる。このことは、Ｘ線ビームがマウントつまりツール上に視覚的に位置決めされるのを可能にする。プラスチックは、また、所望の疎水性か親水性を得るために処理され、あるいは機械的に浮き彫りされ又はすりはがされ、あるいは試料の付着を促進するか抑制するフィルム（例えばペグレーション手順によるポリエチレングリコール又はＰＤＭＳの）で覆われることができる。
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【課題】本発明の目的は、微細試料の確実・容易なピックアップ法に関する。
【解決手段】本発明は、デポジション用ガスを供給しながら荷電粒子ビームを照射して形成されるビームアシスト堆積膜により微細試料とマニピュレータを保持し、エッチング用ガスを供給しながら荷電粒子ビームを照射してビームアシスト堆積膜を除去することにより微細試料とマニピュレータを分離することに関する。例えば、マニピュレータプローブと微細試料との接続を炭素を主な成分とするビームアシストデポジション膜で接続し、キャリアへの固定後にプローブと微細試料を分離する際、水を主成分とするアシストガスを用いたビームアシストエッチングにより、前記アシストデポジション膜を選択的にエッチングする、荷電粒子ビーム装置における微細試料のピックアップ方法である。 （もっと読む）

【課題】一般試料または生体細胞の設置のため電子顕微鏡と合わせて利用し観測を行うことが可能な電子顕微鏡用試料ケースを提供する。
【解決手段】内部に収容室１６を有する殻体１１を含み、該殻体１１の頂底部にそれぞれ少なくとも一つの収容室１６と連通する観察孔１７を有し、且つ互いに同軸で相対する殻体１１上面の観察孔１７底端と、殻体１１下面の観察１７孔頂端との距離が５０μｍよりも小さい所に位置する。また、極薄の厚さを有するため、たとえ液体試料を注入しても電子顕微鏡の電子ビームが透過できないということはなく、観測のために提供することが可能であり、一般試料または生体細胞の設置のため、電子顕微鏡と合わせて利用し観測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】極めて薄い液体層を形成することにより電子顕微鏡の観察に適応することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合を提供する。
【解決手段】板体を備える電子顕微鏡用の超薄液体制御板であって、板体は、少なくとも一つの観察孔を有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうちの一段孔壁の親水性が別の一段孔壁の親水性より高く、かつ親水性が比較的高い一段孔壁の高さは５０μｍ以下であり、観察孔から液体を注入した後、親水性が比較的高い一段孔壁は液体を吸引して極めて薄い液体層を形成し、別の一段孔壁は親水性が比較的低く液体の吸引が低減される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、上記問題点を解決すべく、ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りの傾斜を大幅に改善可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度の透過型電子顕微鏡観察ならびに電子線エネルギー損失分光法等の分析を高精度に行うことを目的とし、集束イオンビームによる種々の試料ダメージ層を除去した特定箇所の電子顕微鏡用試料を作製する方法及び装置を提供する。
【解決手段】均一構造物上に不均一なパターンが形成され、その両者が含まれる箇所を断面電子顕微鏡用試料に作製する方法であって、シリコン基板４などの均一構造物上にデバイスパターン５などの不均一なパターンが形成され、均一構造物側からイオンビーム１を照射することにより試料を薄片化する電子顕微鏡試料作製方法を提供する。更に、この試料作製方法を実施するための集束イオンビーム装置および試料支持台などの作製装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】高純度液体のユースポイントへの移送配管を組むことなく配管部材内壁からの微粒子発生傾向を推定することができる微粒子発生の評価方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被測定配管の一部で、内径が２ｃｍ以上、１０ｃｍ以下で、長さが内径の２５倍以上、３００ｃｍ以下の実質的に直線状部位を測定管とし、（ｂ）測定管の一端部を閉じ、（ｃ）測定管に、測定管内容積の７０％以上、９５％以下に相当する量の液体を封入し、（ｃ）測定管のもう一方の端部を閉じ、（ｄ）測定管を水平長手方向に往復振盪させ、（ｅ）測定管から液体を取出し、（ｆ）この液体中の微粒子数を計測する、の各段階を経て配管部材内壁からの微粒子発生傾向を評価する。振盪は、測定配管の長手片道方向に毎秒、内径の０．３倍以上、４０ｃｍ以下の速度で水平に移動させることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】音響振動やフロア振動の影響を受けにくい電子顕微鏡用試料移動装置を実現する。
【解決手段】電子顕微鏡用試料移動装置は、長手方向に変位可能なように支持した棒状の試料ホルダ（２００）の一端側が試料室内に位置するように、試料室壁（３００）を貫通して気密に取り付けられたゴニオメータ（１００）と、試料ホルダおよびゴニオメータの試料室壁の外側となる部分を耐圧的に覆うカバー（５００）と、カバーの内部気圧を大気圧より高くする加圧手段（６００，６０１）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】精度向上を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、ベース１と、このベース１に対向して設けられたプレート２と、このプレート２とベース１が近づくように付勢する付勢手段３、ベース１のプレート２に面する側に設けられた円弧状に形成された溝４と、プレート２の溝４に対向する部位に設けられ、溝４に当接して移動する、離間して設けられた少なくとも２個の球面状の球面体５と、プレート２を円弧状に形成された溝４に沿って移動させる移動手段６とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】
少ない工程数で短時間に平面ＴＥＭサンプルを作製できるようにする。
【解決手段】
半導体集積回路のシリコン基板の裏面側から不良箇所を特定し、その不良箇所を含む領域のシリコン基板を選択的に薄膜化し、シリコン基板の裏面側から、不良箇所を含む矩形領域の周囲に収束イオンビームにより溝を形成して中央部に不良箇所を含む小片を形成する。次にその小片の１つの側面に対し斜め方向から収束イオンビームを照射して小片を切り離すとともに、溝により形成されるシリコン基板の穴内で、その切り離された小片を前記側面の方向に倒す。そして、前記側面とは反対側の側面が上を向くようにシリコン基板を傾け、上を向いた側面に対し垂直方向から収束イオンビームを照射して不良箇所を含む薄膜状の薄片に切り出すことにより、表面に配線層が形成された半導体集積回路から不良箇所を含む平面ＴＥＭサンプルを作製する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス薄膜化時、表面から数μｍの厚さに到達した時点で、所定の膜厚に到達したことを検知する方法及び所定の膜厚までガラス基板を薄膜化する方法を提供する。
【解決手段】 電子線照射でガラス基板の一方の面の表面から所定の厚みまでポーラス構造を形成した後、基板の他方の面から薄膜化加工を行い、薄膜化加工表面がポーラス構造に到達したときの薄膜加工表面の変化により薄膜化加工表面がポーラス構造に到達したことを検知する方法、該検知方法を用いて基板を所定の膜厚まで薄膜化するガラス基板の薄膜化方法、及び、ガラス基板表面に付着した異物をガラス面側から分析するための薄膜化方法であって、電子線照射によりガラス基板の異物が付着した表面から所定の厚みまでポーラス構造を形成し、該検知方法を用いて所定の膜厚まで薄膜化した後、イオンエッチングにより異物のガラス基板に接する面が露出するまで薄膜化するガラス基板の薄膜化方法。 （もっと読む）

【課題】 同一試料上の異なる場所のマーキングを容易に識別可能とする。
【解決手段】 二次電子像を観察する電子顕微鏡で試料を観察する前に該試料を光学顕微鏡で観察し前記電子顕微鏡で観察対象とする箇所の近傍にマーキングを施すマーキングにおいて、第１元素（例えば炭素）を混入した第１インク１９ａと、第１元素と異なる二次電子像が得られる第２元素（例えばタングステン）を混入した第２インク１９ｂとを用意し、少なくとも２箇所にマーキングを施す場合には、一方に第１インク１９ａを用いてニードル１１ａから試料上にマーキングを施し、他方に第２インク１９ｂを用いてニードル１１ｂから試料上にマーキングを施す。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームにより試料体が切除されて観察断面が更新された際に、観察断面に対する電子ビームの焦点を合わせるようにする。
【解決手段】 試料体２００にイオンビームＩＢを照射して観察断面２０２を形成するイオン銃１０２と、イオン銃１０２により形成された観察断面２０２に電子ビームＥＢを照射する電子銃１０４と、観察断面２０２と電子ビームＥＢの焦点との関係を調整する焦点調整部１０６と、イオン銃１０２のイオンビームＩＢの照射による試料体２００の切除量に基づいて、焦点調整部１０６を制御する焦点制御部１０８と、を備えた。 （もっと読む）

本発明者らは、(a)(i)支持媒体；および(ii)支持媒体により支持される量の検出可能実体を含有する参照標準またはその平面切片を提供する工程；ここで検出可能実体は細長い経路を有し、所定の量の検出可能実体が参照標準の横断面の規定された領域に存在する；(b)参照標準、その平面切片、または規定された領域における検出可能実体の存在または量を示す第１の参照シグナルを得る工程；(c)生物学的試料を提供し、生物学的試料、その平面切片、または規定された領域中の検出可能実体の存在または量を示す第２のシグナルを得る工程；および(d)(c)で得られた第２のシグナルに対して(b)で得られた参照シグナルを比較する工程を含む方法を記載する。好ましくは、上記方法は、生物学的試料中の検出可能実体の存在、量または濃度を示すために使用される。
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