【課題】結晶相のみの試料であっても標準試料を要することなく非点収差の補正が可能な、透過型電子顕微鏡の試料ホルダーを提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡の観察位置に試料を位置させるための試料ホルダー（３０）は、内部に段差（１３）を有する第１の開口（１２）が形成された試料ホルダー本体（１０）と、前記段差（１３）によってその周縁の一部が支持されることにより前記第１の開口（１２）内に回転可能に収納されかつ中心部に前記試料（７）を保持するための第２の開口（１５）を有する試料保持部材（１１）と、前記第２の開口（１５）を少なくとも一部を残して被覆する非晶質材料膜を備えたカバー部材（２０）とを備えて構成される。 （もっと読む）

本発明による装置は、ケースを配置するための水平な棚が設けられた少なくとも１つの容器と、前記容器に垂直平面における往復運動を行わせることができるフレキシブルな駆動装置とを含む。駆動装置は、モータ及び少なくとも１つのプーリが設けられた閉回路の形式で組み込まれている。前記装置は、水平なプッシャをも含み、このプッシャは、その作動端部に、ケースを掴んで容器の外側に配置された作業領域へ移動させかつ容器へ戻すための構成と、作業領域の上方の水平面において水平なプッシャの動作に対して垂直な方向に可動な標本ガラスグリッパとが設けられている。
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【課題】FIBによる断面加工や薄片加工に先立って行なわれていたFIBAD膜による試料表面平坦化作業を行なうこと無く、試料表面にFIB照射損傷を与えることなく、SEM試料やSTEM試料を作製する。
【解決手段】試料加工の際に試料表面に作製していた集束イオンビームアシストデポジション（FIBAD）膜の代わりに、対象試料とは別の微小な薄膜の薄板を加工位置に移設固定して保護膜とする。 （もっと読む）

【課題】組織ブロック上における所定（目的）部位の簡単な位置特定及び組織コアの目標が定められた（当該位置特定された目的部位における）採取が可能な組織アレイ作製装置の提供。
【解決手段】被検組織（３）を含む少なくとも１つの供与体ブロック（２）と、該被検組織（３）の標識された１つの組織断片が配される試料支持体（２２）とを用いると共に、該被検組織（３）から試料を採取するための中空ニードル（５）を含んで構成される、組織アレイの作製装置において、前記供与体ブロック（２）の上方において前記中空ニードル（５）を位置決めするために、照準装置（１２）を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】設置面積が小さくて済み、工程間で人手を要することなく、採取した土壌から分析用の土壌試料を短時間で自動的に調製することの可能な装置を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、採取した土壌を入れているサンプルバッド２をサンプル保管箱３から熱風循環式風乾装置４へ移し、風乾後、各サンプルバッド２の試料をホッパー５に順に移入する。試料は、バケットコンベア６等によってトロンメル回転ふるい装置に送られ、異物の除去後に分取された試料が、バケットコンベア１３等によってミキシングホッパー１５に移入される。以上の工程を経た試料が複数移入されると、ミキシングホッパー１５がそれらを混合し、分取された試料だけがバケットコンベア１８等によってミキシングホッパー２０に移入される。そして、以上の工程を経た試料が複数移入されると、それらをミキシングホッパー２０が混合し、分取された試料が分析用の土壌試料になる。 （もっと読む）

【課題】 粘着材上に付着した異物を容易にかつ確実に採取することのできる粘着材上の異物の採取方法を提供すること。
【解決手段】 採取する異物１４の近傍に、鋭角な先端を有する刃１５を配置し、刃１５の先端を前記異物１４の下方の粘着材１２に潜り込むよう前進させ、先細の針状部材１６により前記異物１４を前記刃１５上に押し上げる （もっと読む）

【課題】 デバイス等の不良原因となる１０μｍ以下の微小異物等の分析前処理として、異物等を単離採取する際、周辺の基材を混合することなく目的物のみを採取することを目的としている。
【解決手段】 デバイス表面または膜中埋没異物の分析前処理における目的異物の採取するマイクロサンプリング装置において、切削部、異物採取部、観察部、および試料搬送ステージを有する。さらに切削部と異物採取部とにおいて、観察部で観察した座標を共有化する構成となっている。またマニピュレータ部の刃先をコンピュータからの制御により駆動することができる構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 省スペースで、且つ、搬送時間が短い試料搬送装置を提供する。
【解決手段】 内部を真空状態にして試料を処理する処理室４０と、処理室４０に試料を搬送する内部を真空状態に保った第１の試料搬送室３０と、試料搬送ロボット１１を有し試料収納カセット７０に収納された試料６０を搬送する内部を大気圧状態とする第２の試料搬送室１０と、第１の試料搬送室３０と第２の試料搬送室１０との間に連結され各試料搬送室との境界に試料を搬入出するのに十分な大きさのゲートと該ゲートを開閉するバルブを有し該バルブを閉じてその内部を大気圧状態または真空状態とするロック室２０と、制御装置５０とを有する試料処理装置１において、第２の試料搬送室１０からロック室２０内に設けた試料台２１へ試料を搬送する搬送経路上で試料が横切る位置に複数対の遮光センサ２３を設けた。 （もっと読む）

【課題】ウェハの表面近傍欠陥を容易に解析できる試料作製方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出手段で検出した欠陥の位置座標を基準にして、その近傍にイオンビームなどによってマーキングし、試料を透過型電子顕微鏡で観察して、マーキングと欠陥との相対位置関係から、欠陥部を特定し、目的とする欠陥部を含む試料を確実に作製する。 （もっと読む）

【課題】マニホルドであって、これを通じて延びる所定パターンの流体導管を含むマニホルドと、マニホルドに取付けられたプラテンであって、複数のサンプル受容部分を含み、ここで、サンプル受容部分の各々が、マニホルドの少なくとも１つの流体導管と流体連絡する入口、および少なくとも１つの流体導管と流体連絡する出口を含むプラテン、とを備える、マニホルドアセンブリを提供すること。
【解決手段】自動化組織処理システムのためのマニホルドアセンブリであって、マニホルドであって、これを通じて延びる所定パターンの流体導管を含むマニホルドと、マニホルドに取付けられたプラテンであって、複数のサンプル受容部分を含み、ここで、サンプル受容部分の各々が、マニホルドの少なくとも１つの流体導管と流体連絡する入口、および少なくとも１つの流体導管と流体連絡する出口を含むプラテン、とを備える、マニホルドアセンブリ。 （もっと読む）

【課題】プローブ交換時における装置の停止時間を短縮し、装置稼働率を向上させるマニピュレータを提供する。
【解決手段】真空チャンバにエアロック室を設け、このエアロック室を、本体の真空チャンバと真空ベローズで接続する。エアロック室にはプローブホルダを取り付け、本体に設けた移動機構によりエアロック室ごとプローブを移動する。エアロック室は排気ポートから真空排気を可能とし、エアロック室と真空チャンバの間を真空バルブで仕切る。プローブはエアロック室と真空チャンバの間を移動できるよう、第２の移動機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の加工時の変形・変質を十分に抑制できる試料保持用プローブ及び試料の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の試料保持用プローブは、試料を保持する試料保持部を有するプローブ本体と、該プローブ本体を冷却する冷却部とを備える。 （もっと読む）

本発明は、少量の固体を取り扱う方法及び装置に関する。本発明の特定の実施形態は、少量の固体の自動移動に特に適する。一実施形態では、均一な粉末床が粉末のプラグにわずかに加圧され、分配される。他の実施形態では、固体は、スラリーを形成するために液体媒体中に配置され、分配され、次いで液体成分は除去される。さらに他の実施形態では、固体は、付着性の表面を用いて取り扱われる。 （もっと読む）

【解決手段】 一実施形態において、集束イオンビーム（ＦＩＢ）で基板を切断することにより、前記基板から少なくとも部分的に試料を切断する工程と、把持要素を作動させることにより前記基板試料を捕持する工程と、前記捕持済み試料を前記基板から分離させる工程とを含む方法。前記捕持済み試料は、前記基板から分離して検査用に電子顕微鏡へ移送することもできる。 （もっと読む）

【課題】 効率的な被験物のハンドリング、処理、及び分析を可能にする装置及び方法を提供する。
【解決手段】 化学試料及び／または生体試料をハンドリング及び処理するシステムの一実施形態に基づき、基板と、化学試料及び／または生体試料をするために基板上に形成された液貯めと、バーコードまたは他の適切な装置などのエンコーダとを含むマイクロチャンバを提供する。エンコーダは、基板及び／または液貯めの少なくとも１つの特性を記述する情報を符号化する。
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