【課題】広いダイナミックレンジと負数の表示が可能であり、微小粒子から発生する光の強度を適切に反映したスペクトルチャートを得るための技術の提供。
【解決手段】測定対象物からの光を検出波長域が異なる複数の受光素子により検出して取得された前記光の強度値を含む測定データから、線形関数と対数関数とを関数要素として含み、前記強度値を変数とする解析関数を用いて、解析データを生成する処理部を有するスペクトル解析装置を提供する。このスペクトル解析装置は、前記解析データを、一の軸を前記検出波長域に対応する値とし、他の一の軸を前記解析関数の出力値とするスペクトルチャートによって表示することで、負値を含む広いダイナミックレンジを表示し、分散を抑制して測定対象物の光学特性を適切に表現するスペクトルを表示する。 （もっと読む）

【課題】測定領域の上流側に位置する装置において所定の時刻に発生し、測定領域を流通する目的ガスの濃度等の時間変化を測定する際に、測定領域やその近傍の吸着ガスによる影響を排除し、目的ガスの濃度等の時間変化をリアルタイムで決定する。
【解決手段】予め測定領域１３の下流側で吸引しつつ測定領域１３の上流側で所定時刻に発生する目的ガスの濃度等を、測定領域１３に所定波長の光を入射し、測定領域１３を通過した光を検出することにより測定する装置において、目的ガスの発生前に参照範囲設定部２３が使用者に設定させた参照範囲内の時系列データに基づいて、ベースライン演算部２４がベースラインを作成する。 （もっと読む）

【課題】濃度センサの取り付け誤差の影響を正反射成分及び乱反射成分の２つに分けて取り除けるようにすると共に、画像の濃度を高精度に検知できるようにする。
【解決手段】ベルト素面に測定光Ｌ０を照射して正反射成分の反射光Ｌｐ及び乱反射成分の反射光Ｌｓを受光し、反射光Ｌｐ，Ｌｓを各々光電変換して２成分のＰ波検知信号Ｓｐ及びＳ波検知信号Ｓｓを出力する濃度センサ７１と、ベルト素面と濃度センサ７１の取り付け面との間の離隔距離を測定して測距検知信号Ｓ８２を出力する測距センサ８２と、この測距検知信号Ｓ８２に基づいてベルト素面に対する濃度センサ７１の取り付け誤差を算出し、ベルト素面の濃度値に対する濃度検知電圧をプロットした正反射及び乱反射成分の電圧検知特性を各々作成する演算部７０７とを備える。濃度センサ７１の取り付け誤差に基づいて各々の電圧検知特性を補正し、第１及び第２のオフセット除去特性を作成するものである。 （もっと読む）

【課題】光学的手法を用いて被処理基板の構造をより高精度に評価することができるプロセスモニター装置を提供する。
【解決手段】プロセスモニター装置１１は、光を出射する光源部と、光の強度を検知可能な光検知部と、光源部から出射された光をウェハＷまで導き、ウェハＷから反射した反射波を光検知部まで導く第一光経路２１と、第一光経路２１と同等の光伝搬特性を有するように構成され、光源部から出射された光を、ウェハＷを経由することなく光検知部まで導く第二光経路と、第二光経路を通して光検知部により検知された光の強度情報に基づいて、第一光経路２１を通して光検知部により検知された光の強度情報を補正し、ウェハＷの構造を解析するコントローラ１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】濃度測定センサの近傍を試料ガスの雰囲気で満たすことにより、測定環境雰囲気の変動によらずに試料ガス中の測定対象物の濃度を安定かつ正確に測定する。
【解決手段】試料ガス中の測定対象物の濃度を測定するガス濃度測定装置であって、光源が配置された光源ユニットと、前記光源の光路上に配置され、試料セルユニットと、前記光源の光路上に配置され、前記試料セルユニットを透過した前記光源の光を受光して前記測定対象物の濃度を測定する濃度測定センサが配置されたセンサユニットと、前記濃度測定センサ近傍に前記試料ガスを導入する導入手段とを備えたガス濃度測定装置。 （もっと読む）

【課題】測定対象物以外のノイズ成分の散乱光の影響を低減し、受光信号のＳ／Ｎ比特性を改善可能な自動分析装置を実現する。
【解決手段】複数の検出器２０４〜２０６で複数の角度でデータを取得する。検出データ選択部１８ａにより、その中の一つの検出器によって取得した信号を基準信号として選択する。第１選択データ処理部１８ｂの近似式選択部１８ｂ１で適用する近似式を選択し、選択した近似式を用いて近似式計算部１８ｂ２により近似式が計算される。変動率計算部１８ｂ３により基準信号の変動率が求められる。検出器２０５の信号は第２選択データ処理部１８ｃにより保持され、データ補正部１８ｄにより基準信号の変動率で除されることによって行われる。補正した信号データを用いて濃度演算処理部１８ｅにより濃度演算が行われ、結果出力部１８ｆによりＣＲＴ等に結果が出力される。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、フィードバック制御による照射出力の安定化を行わずに短時間で計測の高精度化を図り、照射出力の安定化によるコ-ストアップと計測装置の大型化をもたらすことのない反射率計、反射濃度計の反射率校正方法を提示することにある。
【解決手段】本発明の校正機能を備えた反射率及び反射濃度を計測する方法は、反射率が既知の２種類の校正用反射率基準板を用い、予めそれぞれについての照射光量に対応する反射光量センサ出力との特性を測定し、その関係式と変動因子との関係を把握してその特性をメモリに記憶しておき、校正時にはその際の照射光量を検出し、その値と記憶した因果関係から２種類の校正用反射率基準板に基づく校正時の正確関係式を確立し、次に被測定物の反射光量センサ出力値Ｓを測定し、反射率及び反射濃度を算出する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑制しつつ、多種類の成分の分析に対応可能な分析装置を提供する。
【解決手段】分析装置１は、発光部１０と、透過型の分光フィルタ２２と、光検出器２３と、分析部３１とを備える。分光フィルタ２２は、光透過性の基板と、基板の一方の面上に第１の金属材料で形成された複数の凸部と、第１の金属材料よりも屈折率の高い第２の金属材料によって、凸部と共に一方の面を覆うように形成された金属膜とを備える。凸部は、凸部間に存在する金属膜が回折格子となり、凸部が導波路となるように配置される。回折格子の格子周期、凸部の高さ、金属膜の厚みは、分光フィルタの透過光の波長が部分毎に変化するよう、部分毎に異なる値に設定される。光検出器２３は、各受光素子２４が、分光フィルタの透過光を受光するように配置される。分析部３１は、受光素子２４の出力信号から対象物４０のスペクトルを取得する。 （もっと読む）

【課題】ノイズ源の影響を排除して高精度な火災判別ができる減光式煙感知器を得る。
【解決手段】本発明に係る減光式煙感知器は、検煙空間５と、検煙空間５を横断するように形成された検煙用光路７と、補償用光路９と、発光素子１１と、検煙用光路７及び補償用光路９を通過した光を受光可能に配設された受光素子１３と、検煙用光路７に設けられて通過する光の遮光と透光を切り換えるシャッタ手段１５と、基準状態においてシャッタ手段１５によって検煙用光路７を遮光及び透光して受光素子１３によって受光された受光量を第一及び第二の基準値とし、また、監視状態においてシャッタ手段１５によって検煙用光路７を遮光及び透光して受光素子１３によって受光された受光量を第一及び第二の監視値とし、前記第一の基準値と第一の監視値とに基づいて受光素子１３の受光量の変化率を求め、当該変化率と前記第二の基準値と第一及び第二の監視値とに基づいて火災の判別を行う火災判別手段１７ａとを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 サンプル信号スキャンを受け取りかつ処理するステップを含む方法が提供される。
【解決手段】 このサンプル信号スキャンを処理するステップには、内積演算をサンプル信号スキャンと複数の固有ベクトルのそれぞれに適用して、複数の対応する係数を発生するステップ、及びこのサンプル信号スキャンを固有ベクトルと対応する係数との１次結合から減算して、これにより補正されたサンプル信号スキャンを発生するステップが含まれる。この点で、複数のバックグラウンド基準信号スキャンを特異値分解技術に基づいて分解することによって、固有ベクトルが発生される。信号スキャンには、周波数の別個のセットにおける複数の電磁信号測定値が含まれる。ここで、電磁信号がベース媒体だけを含む（バックグラウンド基準信号スキャン用）、又はベース媒体とサンプル媒体との両方を含む（サンプル信号スキャン用）サンプル・セルを通過する分光計システムによって取得される。 （もっと読む）

【課題】
キセノンフラッシュランプを用いた分光光度計において、過去の蓄積データとの照合が可能な分光光度計、及びその性能測定方法を提供する。
【解決手段】
通常は、キセノンフラッシュランプ１からの光束２を用い、凹面鏡３を介して分光器４で任意の波長に分光し、試料５を透過した光束を光検知器６で検出することで、分光分析を行う。性能測定を行うときは、キセノンフラッシュランプ１と分光器４との間の光束２上に低圧水銀ランプ９を配置し、シャッター機構を構成する遮光板１１を作動して遮光及び透過させて光強度を検出することで、低圧水銀ランプ９の輝線スペクトルを用いた「波長正確さ」または「分解」の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】メチルメタクリレート系共重合体（Ａ）からなる成形体表面に存在するメチルメタクリレート系共重合体異物（Ｂ）と、上記メチルメタクリレート系共重合体（Ａ）とが同一であるかを判定する方法を提供する。
【解決手段】下記の工程（１）〜（３）を含む、メチルメタクリレート系共重合体異物を判定する方法。
工程（１）：メチルメタクリレート系共重合体（Ａ）について、顕微ＩＲスペクトル測定によりパラメータ（イ）〜（ハ）を測定し、それぞれの上限値と下限値決定する工程。
工程（２）：メチルメタクリレート系共重合体異物（Ｂ）について、顕微ＩＲスペクトル測定によりパラメータ（イ）〜（ハ）を測定する工程。
工程（３）：メチルメタクリレート系共重合体異物（Ｂ）について測定した上記パラメータ（イ）〜（ハ）とメチルメタクリレート系共重合体（Ａ）の対応するパラメータ（イ）〜（ハ）の上限値、下限値とを比較する工程。 （もっと読む）

【課題】生体および脳機能計測信号から個々人の注意・記憶といった内部状態を推定もしくは予測し、ヒューマンエラーの起こりやすい状態を検出および警告することで、ヒューマンエラーを予防および防止する。
【解決手段】機械を用いた作業場において、操作者の生体計測信号からの内部状態（視覚的注意・作業記憶・スキル習熟度など）を機械学習のアルゴリズムを適用して推定する。そして、ヒューマンエラーの起こりやすい状態を予測・検出し、過失の危険度が高い状態にあると推定される場合に、視覚・聴覚・触覚のいずれか若しくはそれらを組み合わせで操作者にフィードバックすることにより過失を事前に防ぐ。 （もっと読む）

【課題】光源ドリフトの補償、他成分干渉の補正、サンプルセル５の透過窓の汚れによる光量低下の補正、感度ドリフトの低減を一挙に実現可能な吸光分析計１を提供する。
【解決手段】波長帯域の異なる２つの光源と、基準となるリファレンスセル４と、サンプルが供給されるサンプルセル５と、前記光源からの光を分割して、前記リファレンスセル４及び前記サンプルセル５に一端側から導入する光案内機構６と、前記リファレンスセル４及び前記サンプルセル５の他端側に設けられ、それらセルを透過した光を検出する光検出部７と、前記２つの光源２、３を交互点灯させるとともに、前記光検出部７が前記２つの光源２、３のそれぞれが点灯しているときの透過光を検出するように制御する制御部８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】より正確で安定した吸光スペクトル測定できる分光分析装置を実現すること。
【解決手段】 被測定対象に投光する光源と、被測定対象からの反射光である測定光又は参照光のスペクトルを測定して被測定対象を分析する分析手段を備えた分光分析装置において、前記測定光または前記参照光を前記分析手段に導く導光手段と、前記光源からの光を反射可能または反射不可能な位置に移動可能な光分岐手段と、前記光分岐手段の位置を移動制御する制御手段と、前記光分岐手段からの光を反射しこれを前記参照光とする標準反射手段とを備え、前記光分岐手段は、前記光源からの光を反射して前記標準反射手段に照射し前記標準反射手段により反射された参照光を前記導光手段に入射させる位置（以下、第１の位置という）に移動可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

サンプル中の標的分子２０の存在を検出するセンサ装置１が開示される。センサ装置は、標的分子２０及び検出可能な標識４０を含む第１の他のモイエティとの結合カップルを形成する第１のモイエティ１６を含む測定センサ２と、他の検出可能な標識４０'を含む第２の他のモイエティとの他の結合カップルを形成する第２のモイエティ５０を含む基準センサ３と、を有する。センサ装置は、第１のモイエティ１６に結合される第１の他のモイエティの検出可能な標識４０の検出から、第１の検出信号１４を生成し、第２のモイエティ５０に結合される第２の他のモイエティの他の検出可能な標識４０'の検出から、第２の検出信号１４'を生成するように構成される。第２の他のモイエティは、少なくともセンサ装置の動作中、第２のモイエティに対する第２の他のモイエティの結合反応が期待通りに行われる場合に第２の検出信号１４'の値が期待される信号値ウィンドウ内に入るように、予め規定された量で存在する。このようなセンサ装置を有する装置、該装置及びセンサ装置の動作方法、並びにセンサ装置と共に使用されるサンプルもまた開示される。
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【課題】種々の計測箇所において内部品質を計測することを良好に行え、しかも、長期間に亘って内部品質を適正に計測することが可能な粉粒体の内部品質測定装置を提供する。
【解決手段】粉粒体収納容器Ｕが装填される装填箇所Ｐに向けて計測用光を投光する投光手段１と、装填箇所Ｐからの光を受光する受光手段２と、受光手段２にて受光されて導かれる光を分光する分光手段３３、及び、その分光手段３３にて分光された光の強度を波長毎に検出する光強度検出手段４を備えた分光部３０と、光強度検出手段４の検出結果に基づいて内部品質を求める内部品質評価手段１００が、可搬型のケーシングＷの内部に収納され、装填箇所Ｐが、ケーシングＷの外壁部に形成した挿脱孔４６を通して粉粒体収納容器Ｕを挿脱可能な状態で、且つ、ケーシングＷの内部と仕切り壁１１Ｄ、１１Ｂ、１１Ｌ、１１Ｕ、１２にて区画された状態で設けられている。 （もっと読む）

モニタ対象の領域（３８）内の粒子を検出するために協働して作動する光源（３２）と、受信器（３４）と、ターゲット（３６）とを含むビーム検出器（１０）。ターゲット（３６）は入射光（４０）を反射して、反射光（３２）を受信器（３４）に戻す。受信器（３４）は、その視界を横切る複数の点における光強度を記録して報告できる。好ましい形態では、検出器（１０）は、第１の波長域の第１の光線（３６１４）と、第２の波長域の第２の光線（３６１８）と、第３の波長域の第３の光線（３６１６）と、を放射し、ここで、第１および第２の波長域は実質的に等しく、第３の波長域とは異なっている。
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【課題】分光分析法により、被検固体の面上の化学種を精度よく定量する。
【解決手段】被検固体の面上の予め定められた領域を分割した単位領域上の化学種を分光分析により定量し、この定量結果に基づき、前記予め定められた領域における化学種を定量する。そして、前記単位領域毎の定量結果を比較し、この比較に基づいて、前記単位領域での定量結果を前記予め定められた領域における化学種を定量するデータとして採用するか否かを判断する。化学種が劣化により生成するものであれば、劣化度を診断することができる。また、分光分析を固体断面に適用すれば、深さ方向の化学種の分布を検出することができ、深さ方向の反応速度や化学種が含まれるサンプルの厚さを検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】近赤外線分光法において、推定精度の高い検量線を得て、また、検量線の推定精度を低下させる不要な情報を削減して、目的成分濃度を高精度かつ迅速に非破壊計測する方法ならびに装置を提供する。
【解決手段】波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの範囲またはその一部範囲の波長光を測定対象の野菜、果物、肉類などの食物に照射し、その透過光及び／又は反射光を検出して吸光度スペクトルを取得し、測定全波長あるいは特定波長の吸光度から検量線を用いて測定対象の目的成分濃度を計測する非破壊計測法において、測定対象に対する波長光の照射範囲を所定領域に限定する。例えば、野菜内硝酸イオン濃度等の計測において、測定対象が株、葉、葉片と小さくなるにつれて計測精度が向上する。また、測定対象に照射すべき必要最小限の波長光を選択することができる。これにより、測定時間の短縮だけでなく、推定精度の高い検量線を得る。 （もっと読む）