【課題】投光用ファイバの透過光量を簡易な構成によってモニタできるファイバセンサを提供すること。
【解決手段】ファイバセンサ１は、投光素子１３と、投光素子からの光を導き、被検出物Ｗに向けて光を投光する投光用ファイバ２１と、被検出物からの光を受け取る受光用ファイバ２３と、受光用ファイバからの光を受光する受光素子１８と、受光素子の受光量に基づいて被検出物を検出する検出手段１１とを備える。さらに、投光用ファイバの先端に配置され、導かれた光の一部を投光用ファイバに向けて反射し、反射しない残りの光を透過する反射手段２２と、投光素子と投光用ファイバとの間に配置され、反射手段２２によって反射された光を反射するビームスプリッタ１５と、ビームスプリッタによって反射された光を受光可能に配置されるモニタ用受光素子１６と、モニタ用受光素子の受光量に基づいて投光素子からの投光量を制御する投光量制御手段１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】感光物（レジスト・フィルム等）への露光によるマーキングを観察できるようにするには、現像プロセスやエッチングプロセスが必要である。その為に、マーキングされたデータコードの品質評価には、現像やエッチングのプロセスを必要とし、プロセスの影響も受けた。本発明は、マーキングする対象物を必要とせず、リアルタイム且つ迅速にマーキングの品質を評価する方法を提供する。
【解決手段】照射光強度を受光素子で直接受光するステップ、照射光をデータ化してマーキングパターンを読み取るステップ、予め定められた基準パターンと比較判断するステップを有するマーキング評価方法において、照射光強度を電荷の蓄積として捉えるステップと画像データを形成し、マーキングパターンを再現するステップを有するマーキング評価方法。 （もっと読む）

【課題】アナログ出力回路におけるゲインおよび／またはオフセットを自動調整し得る機能を備えたセンサ装置を提供する。
【解決手段】検出対象の変化を検出する検出部と、この検出部の出力を増幅して外部出力するアナログ出力回路と、このアナログ出力回路のゲインおよびオフセットを設定する調整手段とを具備し、特に検出対象が所定の状態にあるときに入力されるトリガ信号を受けて作動して前記検出部または前記アナログ出力回路の出力値を検出し（モニタ手段）、検出した出力値に基づいて前記アナログ出力回路の出力を予め定めた出力仕様に合わせるに必要なゲインおよび／またはオフセットを算出する演算手段を備える。 （もっと読む）

【課題】検出素子の寄生容量を見かけ上低減して、光量検出時に検出素子自体の寄生容量の影響を抑制すること。
【解決手段】本発明は、表示領域の周辺の光量を検出するフォトセンサＰＳと、フォトセンサＰＳの出力と所定の基準値との比較を行うコンパレータ１０２と、コンパレータ１０２による比較結果に応じて表示エリアへ与える光量を制御するバックライトコントローラ１０５とを備える表示装置において、フォトセンサＰＳの受光部と絶縁膜を介して存在する金属に、プリチャージ電位の印加を制御するスイッチＳＷが接続されているものである。 （もっと読む）

【課題】被検出物体の有無の検出以外に光電センサから被検出物体の反射率を判別することができる反射型光電センサを提供する。
【解決手段】図２（ａ）に示すように投光手段から被検出物体に照射する光Ｐｆを第１〜第６のパルス光Ｐｆ１〜Ｐｆ６に分割し、各パルス光の投光量Ｅを相違させて、変化率ε１の光Ｐｆを被検出物体に照射する。被検出物体から反射されたパルス光を受光手段により受光し、図２（ｂ）に示すパルス光Ｐｇの受光量Ｗの変化率ε２を判別する。被検出物体の反射率δが異なると、図２（ｂ）又は図２（ｃ）に示すようにパルス光Ｐｇの受光量Ｗの変化率ε２も変化するので、この両者の相関データに基づいて、判定されたパルス光Ｐｇの受光量Ｗの変化率ε２に応じた被検出物体の反射率δを選択して判別する。 （もっと読む）

【課題】光センサにおいて、精度の高い補正処理を容易に実行できる技術を提供する。
【解決手段】紙葉類識別装置１００の検出部２００は、光センサとして第１と第２の発光素子２１０、２２０と、第１と第２の受光素子２３０，２４０を備えている。光センサの発光量の基準信号値を補正するための処理を実行するために、第１と第２の発光素子２１０，２２０からの透過光Ｌ１ｔ，Ｌ２ｔをそれぞれ第２と第１の受光素子２４０，２３０に受光させる。また、第１と第２の発光素子２１０，２２０からの反射光Ｌ１ｒ，Ｌ２ｒをそれぞれ第２と第１の反射基準板ＲＳ２，ＲＳ１に反射させて第１と第２の受光素子２３０，２４０に受光させる。第１と第２の受光素子２３０，２４０のそれぞれの透過光及び反射光についての受光信号値に応じて第１と第２の発光素子２１０，２２０の発光量のレベルを補正する。 （もっと読む）

【課題】高輝度物体の影響を受けずに等価光幕輝度を測定可能にする。
【解決手段】視認対象を撮影した撮影画像２０の撮影画像データに対し、前記撮影画像を構成する各画素の階調値Ｇに基づいて前記画素ごとの輝度値Ｌｂを示す輝度分布データを生成し、前記輝度分布データに基づいて、前記視認対象の等価光幕輝度Ｌｅｑを算出する等価光幕輝度測定装置３において、前記撮影画像に含まれる高輝度物体のみの等価光幕輝度Ｌｅｑ２を、前記輝度分布データに基づいて算出する高輝度物体等価光幕輝度算出部１１と、前記撮影画像から前記高輝度物体を除いた全体の等価光幕輝度Ｌｅｑ１を、前記輝度分布データに基づいて算出する非高輝度物体等価光幕輝度算出部１０と、それぞれの等価光幕輝度Ｌｅｑ１及びＬｅｑ２を合算し、前記視認対象の等価光幕輝度Ｌｅｑを算出する合算部１２とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】
広範囲の照度に対して、光電変換器の出力電流範囲や周囲温度によらず、光電流を電圧に変換することができる電流電圧変換回路を提供する。
【解決手段】
フォトダイオード２によって生成される光電流Ｉｐをダイオード４によって電圧Ｖｐに変換し、可変電流源３によって発生される基準電流Ｉｒｅｆをダイオード５によって電圧Ｖｒｅｆに変換した後、電圧Ｖｐと電圧Ｖｒｅｆとの差信号を差動増幅器６によって増幅する。光電流Ｉｐが対数特性を有する電圧信号Ｖｐに変換されることで、低い照度に対する出力を確保することができる。また、ダイオード４の温度特性による誤差をもつ電圧信号Ｖｐは、差動増幅器６において、同様にダイオード５の温度特性による誤差を持つ電圧信号Ｖｒｅｆと差動増幅されることで、周囲温度に影響されない出力を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】受光量の変動に対処する機能を有せず、かつ閾値が固定である汎用フォトＩＣを用いて、受光量が変動しても対象物の検出精度が劣化しない光電センサおよび光電センサの受光ユニットを提供する。
【解決手段】汎用フォトＩＣ１１の内部では、受光素子５は検出領域から入射される光を受光して受光量に応じた大きさの信号を出力し、増幅器６は受光素子５から出力される信号を増幅し、閾値出力部４は大きさが固定の閾値信号を出力し、信号比較部８は増幅された信号と閾値信号とを比較し、第１の出力端子１２は増幅された信号を外部に出力する。汎用フォトＩＣ１１の外部では、Ａ／Ｄ変換部２１は第１の出力端子１２から増幅された信号を取込み、投光量制御部２２は増幅された信号に基いて、受光素子５の受光量が所定の範囲となるように、投光素子１の投光量を変化させる投光量制御信号を投光ユニット３０へ送る。 （もっと読む）

【課題】車両等の投光器において、光源における付着物を、専用のセンサ等を設けることなく検出する。
【解決手段】付着物検出装置は、光を投光可能な投光手段（１１０）と、投光及び非投光を相前後して行うように投光手段を制御する投光制御手段（１２０）と、投光時及び非投光時の夫々に、投光手段により光が投光される範囲内にある被撮像物に係る画像を撮像する撮像手段（１３０）と、投光時に撮像された画像の輝度である投光時輝度と非投光時に撮像された画像の輝度である非投光時輝度とを相互比較することにより、投光手段に付着物が存在するか否かを判定する判定手段（１６０、１８０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】信号対雑音比を向上する。
【解決手段】光センサを動作させる方法であって、直列に接続されたｎ個（ｎ＞１）の光検知素子８を備える光センサ１２にバイアス電圧を印加するステップと、光センサ１２への印加バイアス電圧によって、光センサ１２がその信号対雑音比が最高となる点またはそれに近い点に保たれている時に、光センサ１２に流れる電流を測定するステップとを含む方法。この方法は、光センサ１２への印加バイアス電圧が、ｎ×Ｖ_ｂｉ（暗状態で、その電圧付近で光検知素子８の一つに流れる電流の符号が変化するバイアス電圧；光検知素子８がフォトダイオードである実施形態ではフォトダイオードの「ビルトイン」電圧）に等しいまたはほぼ等しい時に、光センサ１２に流れる電流を測定することによって、容易に実行できる。直列に接続されたｎ個のフォトダイオードが照射されたときに生成される光電流は一つのフォトダイオードが照射されたときに生成される光電流とほぼ等しいが、直列に接続されたｎ個のフォトダイオードの漏洩電流（暗電流）は一つのフォトダイオードの漏洩電流よりも著しく低いので、信号対雑音比が顕著に向上する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロリソグラフィー投影露光装置用の照明システムに関するものであって、その場合に照明システムが、射出瞳面（１２１）を照明するための、波長領域≦１００ｎｍ、特にＥＵＶ波長領域内の光を放出する、光源、および射出瞳面（１２１）内で少なくとも１つの第１の照明（２２）を第２の照明（２４）へ変化させることができる素子と光を検出するための少なくとも１つの検出器（１０６．１、１０６．２）を有し、その場合に、照明システムが、検出器（１０６．１、１０６．２）の少なくとも１つの光強度信号を記録して、少なくとも記録した光強度信号に従って制御信号（１６６）を提供する装置（１６４）を有しており、前記制御信号によって、マイクロリソグラフィー投影露光装置の像面（２２１）内で感光性の物体のスキャン速度を調節することができることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】実態に即したメンテナンスを行うことが可能な撮像素子検査システムにおける光源の調整方法を提供する。
【解決手段】まず、検査対象となる撮像素子１２と同一品種の光源調整用撮像素子であって、撮像素子１２の検査を行う際の理想的な撮像条件と同じ条件下での撮像により得られる撮像データＡが既知の光源調整用撮像素子を準備する。光源１３のメンテナンスのタイミングになると、検査工程が一時中断され、光源調整用撮像素子が載置部１１へと搬送されて載置され（Ｓ１）、撮像素子１２を検査する際の撮像条件と同じ条件で、光源調整用撮像素子により撮像が行われる（Ｓ２）。光源調整用撮像素子から撮像データＢが出力されると、撮像データＢと撮像データＡが比較され、両者が一致していない場合（Ｓ３：ＮＯ）は、光量調整用信号が生成されて光源１３の光量調整が行われる（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】高強度の紫外線を長時間にわたって正確にモニタリングすることが可能な紫外線モニタリングシステム及び紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】この紫外線モニタリングシステム４は、電力を供給する電源装置１１と、電源装置１１から電力を得ることにより紫外線を照射する紫外線源１２と、受光した紫外線の強度に応じた量の電荷を生成する検知部としてのダイヤモンド層２２を有し、そのダイヤモンド層２２で生成された電荷から上記紫外線の強度に応じた電気信号を出力する紫外線センサ１３と、その電気信号に基づいて電源装置１１の電力供給を制御することにより、紫外線源１２の紫外線の出力を制御する制御部１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】投光素子の投光量をより短時間で安定させることができる検出センサを提供する。
【解決手段】光電センサ１０は、被検出物へ向けて所定周期のパルス光を照射する投光素子１１と、投光素子から被検出物へ向けて照射された光を受光する検出用受光素子１３と、投光素子から照射される光を直接受光するモニタ用受光素子２３と、所定周期ごとの検出用受光素子の受光量に基づいて被検出物の検出を行い、その検出結果の出力を行う受光回路１４と、投光素子へ投光電流を供給して所定のデューティ比にて該投光素子をパルス駆動するとともに、モニタ用受光素子の受光量が一定レベルとなるように、投光素子へ供給される投光電流を調整する投光回路１２及び制御回路１５とを備える。駆動開始時の所定期間において、投光素子は、所定のデューティ比よりも大きなデューティ比でパルス駆動される。 （もっと読む）

【課題】光量をほとんど低下させずに、光センサが精度良く検出できる光量を確保する。
【解決手段】可視光を放射する光源１０１と、光源１０１の光を光均一化部１０３に集光する集光部１０２と、光を均一化する光均一化部１０３と、光均一化部１０３内を全反射する光の一部を取り出す光取得部１０４と、光取得部１０４が取り出した光を受光する光センサ１０５と、光センサ１０５の出力に応じて光源１０１の光量を調節する光源光量コントローラ１０６を備える光源装置。 （もっと読む）

【課題】発光ダイオードの光が遮られたか否かをフォトダイオードで検出することで物体の有無を検出するような物体検出装置において、低温から高温まで幅広い範囲で検出感度の低下が無いような物体検出装置および物体検出方法を提供する。
【解決手段】発光ダイオードＬＥＤに所定の順電流を流すときに発光ダイオードＬＥＤの温度をサーミスタ６で検出し、検出された温度と予めマイクロコントローラ５に記憶した発光ダイオードＬＥＤの順電流−デューティ比特性のデータから所定の順電流を流すことのできるデューティ比をマイクロコントローラ５で算出し、算出したデューティ比でトランジスタＴｒのオン／オフを行うことで発光ダイオードＬＥＤに算出したデューティ比で順電流が流れる。 （もっと読む）

【課題】小型で多機能を有し、低消費電力であって、低コストで製造ができ、かつディスプレイを認識するときの操作が簡単である折りたたみみ式情報通信機器を提供する。
【解決手段】ヒンジ部によって開閉可能に連結された第１の筐体と第２の筐体とを有し、第１の筐体には、第１の表示部と第２の表示部とが異なる面に設けられ、第２の筐体には、操作部が設けられ、第１の表示部と操作部が互いに向き合うように折りたたみ可能であり、第１の筐体及び第２の筐体が開いた状態において、第１の表示部側の照度を検出する第１の手段と、第１の手段の検出結果によって第１の表示部の輝度を制御して表示する第２の手段と、第１の筐体及び第２の筐体が折りたたまれた状態において、第２の表示部側の照度を検出する第３の手段と、第３の手段の検出結果によって第２表示部の輝度を調節して表示する第４の手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】受光デバイスに流れる電流を正確に検出可能な電流検出回路を提供する。
【解決手段】第１トランジスタＱ１は、フォトトランジスタ２１０の電流経路上に設けられる。第１抵抗Ｒ１０は、第１トランジスタＱ１の一端と、電源ライン間に設けられる。第２トランジスタＱ２は、第１トランジスタＱ１とともにカレントミラー回路を構成し、第１トランジスタＱ１に流れる電流を所定係数倍し、一端の電位が固定された充電キャパシタＣｃｈｇを充電する。第２抵抗Ｒ１２は、第２トランジスタＱ２の一端と、電源ライン間に設けられる。 （もっと読む）

【課題】
導光ロッドの個体差を無くし、内部欠陥やキズに依存する漏光量を測定することなく、導光ロッドから出力される検出光の光量を増加させて検出精度を向上させると共に、導光ロッドからは均一の光量分布の光を出射できるようにする。
【解決手段】
光源（２）から被照射物に至る光路中に、光入射端面（７in）となる片端側から入射した光を均一化して光出射端面（７out）となる他端側から出射する多角柱状のロッドインテグレータから成る導光ロッド（７）が配され、光出射端面（７out）のエッジ部（９）の外周面に該エッジ部（９）で散乱して外部に出射する光をさらに拡散させる光拡散体（１０）が設けられると共に、光拡散体（１０）で拡散された光の光量を照射光量として検出する光センサ（１５）を設けた。 （もっと読む）