【課題】小型化及び低コスト化を図ることが可能な輻射センサを提供する。
【解決手段】電気的に絶縁性を有するフィルム２２と、フィルム２２の少なくとも一方の面側に配列された複数の温感素子２１とを備えたセンサデバイス１０において、フィルム２２は、樹脂を主成分とする材料で構成されるとともに、非平面形状の回路基板１１上に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可視光から赤外光までの光を受光して、適切な画像を形成することができる固体撮像素子及び画像入力装置の提供。
【解決手段】第１のフォトダイオード４が、可視光について光電変換を行い、第２のフォトダイオード４’が、第１のフォトダイオード４を通過した赤外光を光電変換する。可視光成分が多い場合でも、第２のフォトダイオード４’の画素が飽和することが抑制され、赤外光の成分が多い場合でも、第１のフォトダイオード４の画素が飽和することが抑制される。第１のフォトダイオード４により光電変換される可視光は、急峻なカットオフ特性のフィルタＦを用いて、各色成分毎に分離することができ、高画質RGB画像を形成できる。第２のフォトダイオード４’全体で光電変換された赤外光を用い赤外光専用センサと同等な解像度の赤外光画像を形成できる。第１のフォトダイオード４と第２のフォトダイオード４’は、別個に露光制御を行うことも出来る。 （もっと読む）

【課題】光検出効率が低いという従来技術における課題を解消し、偏波依存性が小さく、高い光検出効率を有する超伝導光検出素子を提供する。
【解決手段】超伝導光検出素子は、複数のメアンダ（蛇行、雷文、ジクザク）形状の超伝導細線を、結晶基板の表裏、あるいは絶縁膜や接着剤を介して互いに近接かつ細線の方向が互いに直角となるように設置する。この配置構成により、最初のメアンダ細線に直角な偏波を有するため検出されなかった光子は、次のメアンダ細線とは平行な偏波を有するために検出可能となる。すなわち、任意の光子は互いに直角な直線からなる偏波に分解することが可能なため、任意の偏波を有する光子について検出可能となる。また、この配置構成により、偏波による取りこぼしがなくなるため、偏波依存性は小さくなり、光検出効率は従来例に比べて２倍程度向上することができる。 （もっと読む）

【課題】 光吸収膜にて吸収されなかった光を効率よく反射させて光吸収膜に導き、熱型光検出器の検出感度を高めること。
【解決手段】 熱型光検出器１０Ａ〜１０Ｄは、凹部２２の底面が光反射曲面２４となる基板２０と、光吸収膜３２を含む熱型光検出素子３０と、熱型光検出素子を支持する支持部材４０とを有する。基板２０と支持部材４０とは空洞部５０を介して熱分離される。平面視において、光反射曲面２４と光吸収膜３２とが重なり合い、かつ、光反射曲面２４の平面視での投影面積は光吸収膜３２よりも広く形成されている。入射光のうち光吸収膜３２にて吸収されなかった光は、光反射曲面２４にて反射されて、光入射方向とは逆向きの反射光経路を辿って光吸収膜３２に吸収されることで、光検出感度が向上する。 （もっと読む）

【課題】 熱コンダクタンスを低減させる連結構造または支持構造の加工に最適なＭＥＭＳの製造方法等を低起用すること。
【解決手段】 固定部６０上に形成された、第１空洞部３０を有する被エッチング層２２を加工するＭＥＭＳの製造方法は、被エッチング層２２の露出面のうち、被エッチング層２２が第１空洞部３０に臨む少なくとも側壁２２Ａに、マスク層２４を形成する第１工程と、マスク層２４の表面２４Ａ側の第１空洞部３０内に供給されたエッチャントを、マスク層２４の裏面２４Ｂ側に導いて被エッチング層２２を等方性エッチングして、第１空洞部３０に連通する第２空洞部３２をマスク層２４の裏面２４Ｂ側に形成して被エッチング層２２を加工する第２工程とを有する。被エッチング層２２はアンダーカット形状またはアーチ形状に加工される。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出器における熱容量の低減と、機械的強度の確保とを両立すること。
【解決手段】 熱型光検出器は、基板に支持されている支持部材５０を含み、支持部材５０は、熱型光検出素子を搭載する搭載部５１と、一端が搭載部に連結され、他端が基板に支持された少なくとも一本のアーム部５２と、を有し、搭載部および少なくとも一本のアーム部に含まれる第１アーム５２ａ、の少なくとも一方は、基板側に設けられる、横断面形状の横幅が第１幅に設定されている第１部材４１と、熱型光検出素子側において第１部材に対向して設けられ、横断面形状の横幅が第１幅に設定されている第２部材４５と、第１部材と第２部材とを連結すると共に、少なくとも一つの横断面の形状の高さが所定高さに設定され、その横幅が第１幅よりも小さい第２幅に設定されている第３部材４３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】赤外線撮像素子の構造の改良に依らずに、赤外線カメラの撮像画像に残像が生じることを防止した車両周辺監視装置を提供する。
【解決手段】画像入力回路から出力される今回の制御周期における各画素の輝度値Ｉ_k(x、y)に対して、前回の制御周期における同一位置の画素の輝度値Ｉ_k-1(x、y)に、赤外線カメラ１の赤外線撮像素子の赤外線吸収膜の熱容量と熱コンダクタンスに基づく熱時定数τを用いて設定された変数ｅ^-t/τを乗じた輝度値を減じる第１の補正を行う輝度補正部１２を備え、輝度補正部１２は第１の補正がなされた各画素の輝度値Ｓb^(x、y)のデータを用いて、補正撮像画像Ｉm(k)_cを生成する。 （もっと読む）

【課題】電源投入から回路動作が安定するまでの時間が短く、且つ回路動作時に外来ノイズが印加されても速やかに復帰可能な赤外線検出型人体検知装置を提供する。
【解決手段】赤外線検出型人体検知装置において、焦電素子１は一端をグランドに接続し、他端を演算増幅器２の反転入力端子に接続し、演算増幅器２の出力端子−反転入力端子間には、コンデンサからなる帰還容量Ｃｆを接続して交流帰還回路を構成し、演算増幅器２の出力端子−反転入力端子間には、さらに直流帰還回路３と入力抵抗Ｒｉとの直列回路を設けて、入力抵抗Ｒｉによって帰還を行う。そして、リミッタ回路４を入力抵抗Ｒｉに並列接続して、入力抵抗Ｒｉの両端の電位差を制限する。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサのチップの収量を増やすことが可能で、且つ、多数の赤外線センサを形成したシリコンウェハから個々の赤外線センサに分離する際のパーティクルの発生を抑制できる赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】保護膜６０を形成する前に積層構造部の一部を構成する複数の絶縁膜（第１のシリコン酸化膜３１とシリコン窒化膜３２とで構成される第１の絶縁膜、第２の絶縁膜５１、第３の絶縁膜５２、第４の絶縁膜５３、第５の絶縁膜５０）それぞれをパターニングする複数の絶縁膜パターニング工程では、シリコンウェハ１０においてダイシングレーンＤＬ内で当該ダイシングレーンＤＬに対応する格子状部に沿った所定の格子状領域を含む部位に対応する部分が開口されたマスク層を形成し、マスク層をマスクとして絶縁膜をウェットエッチングするようにしてシリコンウェハ１０の格子状領域が露出したときの撥水にてエッチングの終点検出を行う。 （もっと読む）

【課題】光学系と、良好に熱を伝導するフレーム形式の支持体を用いて引っ張る形で固定した膜上に熱電対を備えたチップとを有し、この支持体が垂直又はほぼ垂直な壁を有する、筐体内の赤外線温度センサーに関する。小さいチップサイズで高い温度分解能、高い面利用率及び速い応答速度を有する、モノリシックシリコン微細加工技術によるサーモパイル式赤外線センサーを提示する。
【解決手段】センサー構造が、センサーセル毎の少数の長い熱電対から構成され、これらの熱電対が、吸収層５の上の温接点９を熱電対の冷接点８と互いに接続する接続ブリッジ６上に配置されていることと、膜３が、一つ以上の接続ブリッジ６によって吊るされていることと、膜３が、長い熱電対の両側に幅の狭いスリットを有し、これらのスリットが、中央の領域４と支持体２の両方から接続ブリッジ６を分離していることと、少なくとも中央の領域４が吸収層５によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】接合材の流れを制御することにより、赤外線ウインドウ−金属製缶接合部において信頼性の高い接合面を得ることが可能とし、また、接合材の流れ込みにより発生する動作不良、熱型赤外線センサの感度特性低下の発生を防ぐことが可能な、高信頼性・高性能の赤外線検出器を得ることを目的とする。
【解決手段】金属製缶の窓（孔）に凹型溝構造を具備し、メタライズ膜が成膜された赤外線ウインドウ部サイズを金属製缶の凹型溝構造部最外寸法よりも小さく、最小寸法よりも大きくすることで接合材の流れを制御することが可能となり、接合状態が安定し、信頼性の高い接合面を得ることを可能とする。
また、赤外線ウインドウの外縁部に形成されるメタライズ膜を、金属製缶の窓（孔）サイズに対し、同一サイズ以上の外側のエリアに成膜する事により、金属製缶と赤外線ウインドウの接合の際のパッケージ内部への接合材の流れ込みを防ぐ事を可能とする。 （もっと読む）

【課題】ノイズの低減及び検出精度の向上を図るとともに製造コストの低減を図ることができる赤外線センサ及び赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】減圧封止された空洞部２２を有し、赤外線を透過する第１基板２０と、該第１基板２０において外部から赤外線が入射する側とは反対側に設けられ、前記空洞部２２を通過した赤外線を受光することにより出力変化を生じる検知部２１と、第１基板２０との間に検知部２１を囲む減圧空間３３を形成する凹部３１と、検知部２１に受光されずに第１基板２０を通過した赤外線を検知部２１に向けて反射集光可能に構成された反射面３２と、を有し、第１基板２０に積層される第２基板３０と、該第２基板３０において検知部２１に対して反射面３２を挟んだ位置に設けられ、検知部２１の出力を増幅または積分する演算回路４１と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】静止した生体の検出を、熱的な外乱による誤検出をすることなく、簡素な構造で、高精度に行う温度センサーを提供でき、高精度で小型な温度センサーを低コストに作成することが可能とする。
【解決手段】輻射線を感受した第１，第２の電界効果トランジスタのそれぞれのゲート電極の仕事関数差を当該輻射線の検知信号として出力する仕事関数差型輻射線検知素子を用いた温度センサーとして、正の出力温度係数を持つ第１の仕事関数差型輻射線検知素子１５１６と、第１の仕事関数差型輻射線検知素子１５１６と出力温度係数の絶対値が等しい負の出力温度係数を持つ第２の仕事関数差型輻射線検知素子１５１７とを少なくとも一組有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】照度検出回路を有する表示装置を提供する。
【解決手段】照度検出回路を有する表示装置であって、前記照度検出回路は、外光照度に応じて光電流が変化するホトセンサと、前記ホトセンサに前記光電流が流れることにより電荷が放電されるコンデンサと、前記コンデンサの電圧が入力されて動作する反転回路と、出力が前記コンデンサの一端に接続され、前記反転回路の出力信号レベルに応じて前記コンデンサを充電するスイッチとを備え、前記反転回路の前記出力信号レベルに応じて前記コンデンサの他端の電圧レベルを変化させる。 （もっと読む）

【課題】熱ノイズを低減し、高精度で信頼性の高い赤外線検出を行うことが可能な赤外線センサアレイ装置を提供する。
【解決手段】 本発明の赤外線センサアレイ装置は、基板１０上に所定の間隔でセルが２次元配列され、セル毎に赤外線信号を受信する赤外線センサ素子３０と、前記赤外線センサ素子３０の出力を処理し、２次元平面温度として出力する信号処理回路素子４０と、前記赤外線センサ素子３０から所定の距離を隔てて設けられ、外部の赤外線信号を前記赤外線センサ素子３０に結像するためのレンズ２２などの光学系を備えた入射窓を有し、前記赤外線センサ素子３０および前記信号処理回路素子４０を収容する金属製のケース２０と、前記赤外線センサ素子３０と、前記ケース２０および前記信号処理回路素子４０との間に、前記光学系を介して入射する前記赤外線信号を前記赤外線センサ素子３０に導く透光部５１を有するセンサカバー５０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成により適切に対象監視処理を行う。
【解決手段】遠赤外領域に感度を有する複数の第１のセンサセルが並べられて構成された第１のセンサ群２０と；第１のセンサ群２０に近接して設けられると共に、第１のセンサ群２０と略同一製造工程において製造され、遠赤外領域に感度を有しない複数の第２のセンサセルが並べられて構成された第２のセンサ群３０と；第１のセンサセルの各出力信号と第２のセンサセルの各出力信号とを１対１に対応させて複数の差分信号を得る差分信号取得手段４０と；複数の差分信号から最大値信号を求める最大値検出手段５０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】熱ノイズを低減し、高精度で信頼性の高い赤外線検出を行うことが可能な赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】本発明の赤外線センサモジュールは、基板１０上に配置され、赤外線信号を受信する赤外線センサ素子３０と、前記赤外線センサ素子３０の出力を処理する信号処理回路素子４０と、前記赤外線センサ素子３０から所定の距離を隔てて設けられ、外部の赤外線信号を前記赤外線センサ素子３０に結像するための光学系（レンズ２２）を備えた入射窓を有し、前記赤外線センサ素子３０および前記信号処理回路素子４０と、前記基板１０とを収容する金属製のケース２０とを具備し、前記ケース２０は、内壁面に沿って反射防止部材としての内装ケース６０を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】干渉光とそうでない波長帯の光とを検出することのできる赤外線センサ等の光センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板２と、干渉光を吸収する吸収膜９と、吸収膜９と第一の絶縁層８を介して対向する金属反射膜７とを備え、光線の吸収を感知するセンサ１において、第一の絶縁層８が、それ自体吸収波長帯を有し、吸収膜９の共振吸収状態及び第一の絶縁層８の固有振動励起に伴う光吸収状態の少なくともいずれか一方を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板表面からのエッチングと同等の高い開口率の電子素子デバイスを製造する方法であって、高価な製造装置や追加の工程を要することなくしかもスティッキングを生じることもない方法を提供する。
【解決手段】基板１の第一の主面に電子素子２を搭載するとともに、電子素子２が覆われるように部分的にマスク材で保護する工程と、基板１の第二の主面全体を露出させた状態で基板１の第一の主面と第二の主面とを同時に結晶異方性エッチングし、第一の主面からエッチングされた領域と第二の主面からエッチングされた領域とが重なることにより貫通孔が形成された後、エッチングを終了する工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱型赤外線検出素子の検知エリアの広角化を図りながらも器体の薄型化を図れ、しかも、デザイン性が損なわれるのを防止できる電子機器を提供する。
【解決手段】人体Ｈから放射される赤外線を検出する熱型赤外線検出素子１が器体１０１内に配置されたディスプレイからなる電子機器１００であって、人体Ｈから放射される赤外線を検出する焦電素子からなる熱型赤外線検出素子１と、熱型赤外線検出素子１の前方に配置され熱型赤外線検出素子１の受光面に赤外線を集光する非球面レンズからなる赤外線レンズ３とを備える。赤外線レンズ３を構成する非球面レンズが半導体レンズであり、器体１０１における赤外線レンズ３の前方部位に複数の点状の微細孔１０３を分散して設けることで形成され赤外線を赤外線レンズ３に入射させる赤外線入射窓部１０３を有する。 （もっと読む）