【課題】安価な装置構成により、高感度に第１の波長領域の光を検出できる光検出装置を提供する。
【解決手段】光検出装置２は、被対象物４から輻射される第一の波長領域の光を結像する光学系１と、第一の波長領域の光を吸収することにより第二の波長領域の光に対する応答が変化する光学フィルタ６と、第二の波長領域の光を発する光源８と、第二の波長領域の光の周波数を変調する光周波数変調手段１０と、第二の波長領域の光を検出する光検出手段１２と、第二の波長領域の光を二つの光路に分離し、一方の光を光学フィルタ６に導き、光学フィルタ６による反射光と他方の光とを光検出手段１２上で重ね合わせる光学系２と、光検出手段１２により取得した情報から第一の波長領域の光の強さを算出する光学応答解析手段１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】照度検知回路において、高照度時の消費電流を抑制しつつ、低照度時の照度判定を正確に行う。
【解決手段】照度検知回路１１は、照度センサＩＣ２１をアクティブ状態とした後、センサ出力が安定する時刻Ｔｒよりも前の時刻Ｔ１でサンプリングされたセンサ出力が閾値Ｄｒ以上である場合、照度センサＩＣ２１を非アクティブ状態とする。時刻Ｔ１でサンプリングされたセンサ出力が閾値Ｄｒ未満である場合、時刻Ｔｒよりも後の時刻Ｔ２で再度サンプリングする。 （もっと読む）

【課題】多分割レンズの各レンズの第二面側に形成されたレンズ模様を各レンズの第一面側から視認しづらくすることで多分割レンズの外観を高めながらも、外界から第一面へ斜め入射する入射光を利用するレンズの軸外収差の発生を抑制して感度の低下を抑制することが可能であり、且つ低コスト化が可能な光学式検知装置およびそれを用いた機器を提供する。
【解決手段】多分割レンズ１の各レンズ１０１は、第一面１１０とは反対側の第二面１２０が複数のレンズ面１２１を有するフレネルレンズである。複数のレンズ面１２１は、複数のレンズ面１２１のうちの少なくとも１つを、中心軸が第一面１１０の法線に対して斜交する楕円錐の側面の一部により構成する。レンズ１０１は、第一面１１０上の各点の法線のうち楕円錐の側面の一部からなるレンズ面１２１に交差する任意の法線と、当該任意の法線が交差するレンズ面１２１に対応する楕円錐の中心軸とが、非平行である。 （もっと読む）

【課題】ウエハーレベルパッケージされた焦点面アレイを製造する方法を提供する。
【解決手段】ウエハーレベルパッケージされた焦点面アレイの製造方法は、検出器ウエハーを形成する。該形成は、複数の検出器アレイ及び複数の読出し回路を形成する。該方法は又、蓋ウエハーを形成する。該形成は、磁気閉じ込めチョクラルスキー（ＭＣＺ）ウエハーの表面を研磨し、ＭＣＺウエハーにチョクラルスキー・ウエハーを接合し、且つチョクラルスキー・ウエハー内に複数のポケットを形成する。各ポケットはＭＣＺウエハーの研磨面の一部を露出させる。更に、各検出器アレイ及び読出し回路が異なるポケット内で封止されるように蓋ウエハーと検出器ウエハーとを接合する。これにより、複数のウエハーレベルパッケージされた焦点面アレイが形成される。更に、複数のウエハーレベルパッケージ焦点面アレイからウエハーレベルパッケージ焦点面アレイを分離する。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出器の検出感度を向上させること。
【解決手段】 熱型光検出器は、基板１０と、基板に対して空洞部１０２を介して支持される支持部材２１５と、支持部材上に形成され、下部電極２３４と上部電極２３６によって焦電材料層２３２を挟んだ構造を有する熱検出素子２３０と、熱検出素子上に形成されている光吸収層（２７０，２７２）と、熱検出素子２３０と接続部ＣＮによって接続され、平面視で接続部よりも広い面積を有し、少なくとも一部の波長域の光に対して光透過性を有し、かつ光吸収層（２７０，２７２）の内部に形成されている集熱部ＦＬを備える熱伝達部材２６０と、を含み、下部電極２３４は、平面視で、焦電材料層２３２の周囲に延在する延在部分ＲＸを有し、延在部分ＲＸは、熱伝達部材２６０の集熱部ＦＬを透過した光のうちの少なくとも一部を反射する光反射特性を有する。 （もっと読む）

【課題】検出感度を高くすることができる検出装置、センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】検出装置は、検出ノードＮＤと、第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の焦電素子ＰＹ１〜ＰＹｎと、検出回路２０とを含む。焦電素子ＰＹ１〜ＰＹｎは、第１の電源ノードＶＳＳとの間に直列に設けられる。検出回路２０は、検出ノードＮＤに接続される。第１〜第ｎの焦電素子ＰＹ１〜ＰＹｎは、分極方向が同じ方向に設定される。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易で、製造コストを低減し、さらに視野角と気密性を確保した焦電型赤外線センサおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 受光面に照射された赤外線を検知する焦電体板を少なくとも１個以上有するセンサ素子５と、センサ素子５およびセンサ素子５の出力信号をインピーダンス変換して出力するための手段を実装する回路基板４と、回路基板４を覆い開口部２ａを有するケース２と、ケース２に装着された赤外線透過フィルタ３を備える焦電型赤外線センサであって、ケース２は内部方向に開口部２ａを備える段差２ｂを有し、段差２ｂの底面部の少なくとも一部には溝２ｃが形成され、段差２ｂに赤外線透過フィルタ３が装着され、段差２ｂと赤外線透過フィルタ３の間隙は接着剤７で埋められる。 （もっと読む）

【課題】光起電力（ＰＶ）発電システム（１０）を提供すること。
【解決手段】本システムは、複数のＰＶセル（２８）と、複数のセンサ（９６）と、複数のセンサに通信可能に結合された処理デバイス（２６）とを備える少なくとも１つのＰＶモジュール（２０）を含む。処理デバイスは、複数のＰＶセルのそれぞれの電力出力を決定するように、複数のセンサからデータを受信するように、決定された電力出力と受信データとに少なくとも部分的に基づいて、複数のセンサ内の故障センサを識別するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出器の検出感度を向上させること。
【解決手段】 熱型光検出器は、基板１０と、基板に対して空洞部１０２を介して支持される支持部材２１５と、支持部材に支持される熱検出素子２３０と、熱検出素子と接続部ＣＮによって接続され、平面視で接続部よりも広い面積を有し、かつ熱検出素子２３０上に形成されている集熱部ＦＬを備える熱伝達部材２６０と、熱伝達部材２６０と熱検出素子２３０との間において、熱伝達部材２６０に接して形成されている、第１光吸収層２７０と、熱伝達部材２６０上において、熱伝達部材２６０と接して形成されている第２光吸収層２７２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本出願は、燃焼チャンバ（４０）内の燃焼火炎（９０）で使用する光学プローブシステム（１００）を提供する。
【解決手段】本光学プローブシステム（１００）は、燃焼チャンバ（４０）の周りに固定取付けされかつその各々の視界（２１０）内における燃焼火炎（９０）により発生された光を収集するように配置された幾つかの光学プローブ（１１０）を含むことができる。燃焼チャンバ（４０）の外部における１つ又はそれ以上の構成要素（１５０）が、光学プローブ（１１０）の各々の視界（２１０）内における燃焼火炎（９０）により発生された光を示す信号を生成しかつ解析することができる。 （もっと読む）

【課題】広いエリアを検知しながらサーモパイル型赤外線検出装置の格納スペースとして小さく提供する事。
【解決手段】小さい格納スペースにて広い検知エリアを形成するにあたり、サーモパイル型赤外線検出装置の光路上に筒形状の内側部をミラー加工し対象のエリアに対応した曲率を有したミラー部を必要なサイズにカットしたミラー５を設置し、ミラーを固定とし、サーモパイル型赤外線検出装置６をスライド移動する事で、広いエリアを検知可能としている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、照度測定値の分解能を高くすると共に、照度算出値の飽和を抑制することができる明るさセンサおよび、これを用いた照明システムを提供する。
【解決手段】照度に応じた検出値を出力するフォトダイオード１１と、ゲインＧ１〜Ｇ３を用いてセンサ電圧Ｖ１〜Ｖ３を出力する増幅器１２と、照度計測値Ｌ０を取得する照度取得部１５と、センサ電圧Ｖ１〜Ｖ３と照度計測値Ｌ０とが入力される制御部１７と、制御部１７の動作モードを切り替えるモード切替部１６とを備え、制御部１７は、センサ電圧Ｖの単位電圧あたりの照度を示す係数Ｋ１〜Ｋ３を算出する係数算出部１３２と、係数Ｋ１〜Ｋ３を記憶する記憶部１４と、照度算出値Ｌ１〜Ｌ３を算出し、飽和していない照度算出値Ｌのうち、いずれか１つの照度算出値Ｌを外部に出力する照度算出部１３３とで構成される。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサにおけるＭＯＳトランジスタのしきい値のばらつきを小さくすることが可能な赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１の一表面側にシリコン酸化膜３１とシリコン窒化膜３２との積層膜を形成してから、シリコン窒化膜３２のうち熱型赤外線検出部３の形成予定領域Ａ１に対応する部分を残してＭＯＳトランジスタ４の形成予定領域Ａ２に対応する部分をドライエッチングにより除去する。その後、半導体基板１の一表面側に第１のイオン注入を行ってウェル領域４１を形成してから、ＭＯＳトランジスタ４のしきい値電圧を制御するための第２のイオン注入を行う。ウェル領域を形成する工程では、シリコン酸化膜３１のうちＭＯＳトランジスタ４の形成予定領域Ａ２に形成されている部分（シリコン酸化膜５１）の一部をウェットエッチングにより除去してから、シリコン酸化膜３１をマスクとして第１のイオン注入を行う。 （もっと読む）

【課題】標本面の測定領域に照射される単位面積当たり光強度を正確に算出する技術を提供する。
【解決手段】顕微鏡から射出される光の強度を測定する光強度測定ユニット１は、開口絞り３と、視野絞り５と、開口絞り３と視野絞り５の間に配置される少なくとも１枚の測定レンズ４と、顕微鏡に装着するためのインターフェース部２ａとを含んで構成される。開口絞り３は、少なくとも１枚の測定レンズ４の後側焦点面近傍に位置することで、対物レンズの瞳と同様に作用する。視野絞り５は、少なくとも１枚の測定レンズ４の前側焦点面近傍に位置することで、単位面積当たり光強度の算出に用いられる面積を確定する。 （もっと読む）

【課題】リードフレームの開口部のアスペクト比を高めることができ、装置の小型化を実現できるようにした光センサ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】赤外線を検出するＩＲ素子１０と、ＩＲ素子１０に積層された光学フィルタ２０と、貫通した第１の開口部を有する第１のリードフレーム３１と、貫通した第２の開口部を有する第２のリードフレーム３６と、ＩＲ素子１０及び光学フィルタ２０を覆うモールド樹脂５０と、を備え、第２のリードフレーム３６上に第１のリードフレーム３１が配置されて、第１の開口部と第２の開口部とが平面視で重なり、第１の開口部と第２の開口部とが平面視で重なる領域（即ち、開口部５１）に、ＩＲ素子１０及び光学フィルタ２０が配置され、光学フィルタ２０の受光面２１はモールド樹脂から露出している。 （もっと読む）

【課題】 設置作業が容易であると共に、人体等を広範囲において正確に検知することができる赤外線受光装置を提供する。
【解決手段】 焦電体からなる複数の受光素子１６ａ〜１６ｅが支持基材の表面に間隔をあけて配置された焦電体基板と、各受光素子１６ａ〜１６ｅに対応して設けられた集光レンズと、前記焦電体基板および集光レンズを厚み方向に間隔をあけて保持するケーシングとを備える赤外線受光装置１であって、受光素子１６ａ〜１６ｅは、検知領域Ｅ１〜Ｅ５が複数に分割されており、予め設定された複数の空間領域Ｓ１１〜Ｓ１５と検知領域Ｅ１〜Ｅ５との間に生じる重複が、空間領域Ｓ１１〜Ｓ１５毎に異なる受光素子１６ａ〜１６ｅによって生じるように、ケーシングが厚み方向に湾曲している。 （もっと読む）

【課題】超伝導トンネル接合素子（ＳＴＪ素子）が吸収するフォノンの量を多くでき、高い感度でフォトンを検出できる超伝導トンネル接合検出器を提供する。
【解決手段】基板１１のＳＴＪ素子１０を搭載しない側の端面からテラヘルツ波を照射する。基板１１内では、テラヘルツ波の吸収によって格子振動（フォノン）が発生し、このフォノン群は基板１１内を伝播し、フォノンがＳＴＪ素子１０の下部超伝導電極１２に到達することで、電極内のクーパー対を解離して準粒子を生成し、この準粒子の増加に伴うトンネル電流の増加分を信号として検出する。基板１１のテラヘルツ波を照射する側には、単体のＳＴＪ素子１０と基板１１を挟んで対向するように、集光用レンズ２１を配置してある。これにより、テラヘルツ波は、集光用レンズ２１によって単体のＳＴＪ素子１０に向けて集光されることになり、フォトンの集光効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】光の入射方向の検出精度が向上された光センサ装置を提供する。
【解決手段】半導体基板に受光素子が複数形成され、半導体基板における受光素子の形成面上に透光膜が形成され、透光膜に遮光膜が形成され、遮光膜に、受光素子の受光面に入射する光の角度を規定する開口部が形成された光センサと、受光素子の出力信号に基づいて光の仰角と左右角を算出する角度算出部と、を有する光センサ装置であって、対応する開口部によって規定される光の左右角が互いに同一であり、仰角が互いに異なる複数の受光素子によって、受光素子群が複数構成され、複数の受光素子群それぞれの左右角が異なっており、角度算出部は、各受光素子の出力信号の強度を比べることで、最も強い出力信号を出力している受光素子を特定し、特定された受光素子の受光面に入射する光の角度を特定する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光以外の波長を有した露光光を容易に評価する露光量評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一つの実施形態によれば、フォトマスクが、露光光のうちＥＵＶ光よりも長い波長を有した長波長光を反射し且つ前記ＥＵＶ光を吸収する長波長光反射膜を有している。また、フォトマスクは、前記長波長光反射膜の上層側に配置されるとともに前記ＥＵＶ光および前記長波長光を吸収する吸収膜を用いて形成されたマスクパターンを有している。そして、フォトマスクと、レジストが塗布された露光対象の基板と、をＥＵＶ露光装置内にセットする。前記フォトマスクに対し前記マスクパターン側から前記露光光を照射するとともに、前記フォトマスクで反射された露光光を前記基板に照射する。そして、前記基板に照射された露光光の露光量に基づいて、前記基板に照射された長波長光の光量分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】温度追従性及び温度補償性に優れた温度センサを提案する。
【解決手段】温度センサは、熱源の温度に対応した電気信号を出力する検知用感温素子３１と、検知用感温素子３１から引き出される複数のリード配線４１，４２とを備える。複数のリード配線４１，４２は、相互に熱結合する程度に密集する密集部分４０を有する。密集部分４０は、複数のリード配線４１，４２，４３，４４に共通のサーマルグランドとして機能し、各リード配線の熱的条件のばらつきを低減する。これにより、各リード配線の熱的条件は均一化され、温度補償性能が最適化される。 （もっと読む）