【課題】 基板中央部のセルギャップが基板外周部のセルギャップよりも大きい場合以外の場合についてもセルギャップを均一になるように調整可能とする基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法を提供する。
【解決手段】 基板貼り合わせ装置１において、基板Ｂを保持する定盤３０と、基板Ａを保持する定盤２０と、定盤３０に保持された基板Ｂを定盤３０側に吸引する吸引部９と、定盤３０に保持された基板Ｂを定盤３０から離間する方向に加圧する加圧部１０と、基板Ｂと基板Ａとが貼り合わされるように定盤３０と定盤２０とを向かい合わせる駆動部４とを備え、定盤３０は、互いに面一の複数のブロック４１〜４９を有すると共に、各ブロック毎に吸引部９及び加圧部１０にそれぞれ開閉弁６１〜６９，７１〜７９を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】照射物の温度差を小さくさせて高出力で紫外線照射することができる光照射装置を提供することである。
【解決手段】光透過性部材により覆われた放電ランプが複数並列に配置された光照射装置において、各放電ランプは光透過性部材との隙間に冷却風が当該放電ランプの長手方向に沿って流れるとともに、当該冷却風が流れる方向が放電ランプごとに交互に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表示媒体作製により生じた膜厚ムラによる影響に起因する表示媒体に画像を記録するときのばらつきを抑制すること。
【解決手段】本発明の実施形態に係る電子ペーパ２００は、液晶層２５０と透明電極２６０とに挟まれて設けられる中間層２８０であって、液晶層２５０より誘電率の低い中間層２８０が存在する領域と、中間層２８０が存在しない領域とを有することによって、液晶層２５０に発生する電界の強度は、中間層２８０に対応する領域とそれ以外の領域とで異なるものとなる。したがって、透明電極２２０、２６０間に特定の電圧が印加されると、領域によって液晶層２５０の配向状態が異なるものとなり、中間階調の制御が容易になる。 （もっと読む）

【課題】基板の斜め方向からスパッタリング粒子が供給される反応性のスパッタリング装置において、良好な成膜レートを確保できるスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板ホルダー６を有し基板ホルダー６が搬送可能に設けられた成膜室２と、成膜室２に連通しターゲット１０が配置されるスパッタリング室３と、を備え、スパッタリング室３から成膜室２に放出されたスパッタリング粒子と反応ガスとの反応により基板Ｗ上に反応生成膜を形成させるスパッタリング装置であって、ターゲット１０が基板ホルダー６の搬送経路に対して斜めに配置され、ターゲット１０の外周より大きな穴部を有する箱体２０がスパッタリング室３に設けられ、箱体２０の第１開口部２１を通してターゲット１０の表面が箱体２０の内面を向き、ターゲット１０が向かい合う箱体２０の面の一部にスパッタリング粒子が通過する第２開口部２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】滴下方式で液晶を封入する液晶表示装置において、液晶が過剰となる、あるいは過少となる現象を防止し、基板の変形、気泡の発生を防止し、シール部の信頼性を向上させる。
【解決手段】表示領域におけるＴＦＴ基板１００と対向基板２００の間隔は、柱状スペーサ２０５によって規定され、シール部においてもＴＦＴ基板１００と対向基板２００の間隔は柱状スペーサ２０５によって規定される。表示領域内においては、柱状スペーサの下には、カラーフィルタが１層形成されており、シール部においては、島状のカラーフィルタが２層形成されている（２０１Ｇ、２０１Ｂ）。これによって、表示領域とシール部とで、ＴＦＴ基板１００と対向基板２００の間隔を同等に保つことが出来る。また、柱状スペーサ２０５の形成のプロセスが変動しても、表示領域とシール部におけるＴＦＴ基板と対向基板との間隔の差が変動することを無くすことが出来る。 （もっと読む）

【課題】吸水シートの消費量を低減しつつ、良好な拭き取り性を維持できる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する塗布装置１００であり、基板に溶液を吐出するノズル１２を含むヘッドユニット１０と、ノズル１２をワイピングするワイピングユニット２０とを備える。ワイピングユニット２０は、ノズル１２の吐出面１２ａを拭き取る拭き取り部２２を有し、拭き取り部２２は、吸水シート２１からなる凸状形状を有している。ワイピングユニット２０には、拭き取り部２２が溶液を吸収して重くなった時に、拭き取り部２２の凸状形状を支えるガイド壁２６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の周辺領域に堆積する粉塵を除去することができる液晶装置の製造装置及び
液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】一対の基板に挟持された液晶層と、一対の基板のうち一方の基板に設けられ
配向処理が施される配向膜とを有する液晶装置の製造装置であって、被処理基板１０１を
少なくとも１つ載置する基板載置領域を有するステージ７３と、ステージ７３上で一方の
基板に設けられた配向膜をラビング処理するラビングロール７５と、基板載置領域の周辺
に、基板載置領域の少なくとも一辺に沿って配置された吸引口７６ａを有する第１吸引部
７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】均一な配向処理を施すことが可能な液晶装置の製造方法、液晶装置の製造装置を提供すること。
【解決手段】本適用例の液晶装置の製造方法は、一対の基板のうちの一方の基板としての対向基板２０に設けられた配向膜２２を回転ラビング処理する配向処理工程を備え、配向処理工程は、ラビング布２０５が捲回されたラビングローラー２０４に対して、ラビングローラー２０４の回転軸に沿った方向と、回転軸に対して交差する方向とに対向基板２０が複数配置され、ラビングローラー２０４の周上におけるラビング布２０５の継ぎ目２０５ｂと配置された対向基板２０の端部とが接触しないように、ラビングローラー２０４の回転速度とラビングローラー２０４に対する複数の対向基板２０が載置されたステージ２０１の相対的な移動速度とを制御する。 （もっと読む）

【課題】液晶セルが多数形成されたマザー基板において、外周シール材および液晶表示装置を本硬化させる際、液晶セルシール材が剥離する現象を防止する。
【解決手段】マザーＴＦＴ基板と液晶セルシール材と外周シール材が形成されたマザー対向基板を加熱プレート５００による遠赤外線によって加熱し、液晶セルシール材と外周シール材を仮硬化させる。加熱プレート５００内のラバーヒータを８分割し、分割されたラバーヒータに対応する加熱プレート部分の温度を熱電対６Ａ〜６Ｈによって測定し、加熱プレート５００の温度分布を制御することによって液晶セルシール材および外周シール材を均一に仮硬化せる。これによって、本硬化において発生するマザー基板内のガスの圧力によるシール材の剥がれを防止する。 （もっと読む）

【課題】基板に対し非定常状態も含めて加熱処理条件に不均一性が発生することを緩和し、加熱処理条件が基板内で不均一となることによる不具合を防止して加熱処理することが可能となる。
【解決手段】本発明の基板加熱処理方法においては、ホットプレート２の加熱面２ａ上に突出し基板１を保持する基板保持有効位置と基板より離れた基板保持無効位置との間を移動可能な複数個のプロキシミティピン３を備え、一部のプロキシミティピン３を基板保持有効位置に配置し基板保持に有効な有効プロキシミティピンとし、基板１を加熱面２ａ上に所定の間隔をあけて保持することにより加熱処理し、加熱処理中において有効プロキシミティピンの少なくとも一部を移動して有効プロキシミティピンと無効プロキシミティピンを順次入れ替えるものである。 （もっと読む）

【課題】ノズルの先端が乾燥することを防ぎつつ、基板の端部から塗布処理を開始することができる浮上搬送式の基板塗布処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗに塗布処理を行うための塗布ステージは塗布前ステージ４０と塗布後ステージ４１とに分かれており、空気の噴出及び排気を行って、基板Ｗを浮上させるための空気流を形成する小孔が、それぞれのステージに形成されている。基板Ｗは先端が塗布前ステージ４０と塗布後ステージ４１との境界線上に位置して停止しており、塗布後ステージ４１上方に配置されたスリットノズル５５が下降し、基板端部の塗布開始位置に向けて移動する。このとき、塗布後ステージ４１からの空気の噴出および吸引は一時的に停止される。 （もっと読む）

【課題】洗浄工程を終えた基板から水分の除去を効果的に行って塗布基板を作製することができる塗布装置システムを提供する。
【解決手段】液体洗浄された基板に対して前処理を行う前処理装置と、前処理がされた基板に対して塗布液を塗布する塗布装置本体３とを備えている。前記前処理装置は、液体洗浄された基板に、プラズマによって生成されたラジカルを照射するプラズマ処理機５と、このプラズマ処理機５のヘッド部と基板とを相対的に基板の面方向に沿って移動させる駆動機構６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】大型の液晶ディスプレイ部品を高温で急速に昇温させることができる液晶ディスプレイ部品の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】液晶ディスプレイを構成する液晶ディスプレイ部品の製造装置であり、液晶ディスプレイ部品を加熱する板状の炭化ケイ素を含むヒータ１を複数枚配置したヒータユニットを備え、ヒータユニットのうちの、各ヒータ１をそれぞれ個別に制御し、所定の温度まで液晶ディスプレイ部品の温度を上昇させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ガラス基板やフィルム基板等の基板どうしを貼り合わせる際に、両基板の間隔が不均一にならず、液晶表示のコントラストが不均一になる等の問題が生じにくい粘着チャック装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 粘着チャック装置１は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ベース部材１１上に、粘着部材１２を有する。ベース部材１１には貫通孔１３を複数有し、該貫通孔１３は後述するように、ガラス基板やフィルム基板等の基板を粘着部材１２から剥離する際に使用する気体等を供給するためのものである。実施形態においては、粘着部材１２は凹部１４を有し、上記剥離する際に使用する気体等が供給しやすいようになっている。基板を保持する前記粘着部材１２が伸縮する。前記粘着部材１２は、粘着部と非粘着部を有し、ウレタンゲルを含むことが好ましい。また、前記粘着部材１２内に押圧部材を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】インクジェット塗布法で機能性材料を基板上に塗布し、液晶表示素子を製造するにあたり、インクジェット塗布装置に特別な機構、機能を付加することなく、塗布品質を安定させ、製品の信頼性を向上させる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】インクジェットヘッドのノズルの詰まりを低減するため、インクジェットヘッドの１回の基板送り方向への移動の間、少なくとも１回、インクジェットヘッドの全ノズルから吐出を行わせるダミーパターンを塗布データに設ける。また、ダミーパターンを撮影する撮影手段をさらに設ける。 （もっと読む）

【課題】サセプタの貫通孔内においてリフトピンを滑らかに昇降させることのできる構成を有する電気光学装置の製造装置を提供する。
【解決手段】チャンバー６０と、チャンバー６０内に設けられ、基板１０’が載置されると共に、貫通孔６３が設けられたサセプタ６１と、貫通孔６３内に挿通され、基板１０’を昇降自在に支持するリフトピン６２と、リフトピン６２における下端６２ｉ側の外周面６２ｇに形成された、貫通孔６３の内周面６３ｎに接触する接触部位６２ｐ１と、リフトピン６２における上端６２ｔ側の外周面６２ｇに貫通孔６３の長さよりも短く形成された、貫通孔６３の内周面６３ｎに対し非接触となる非接触部位６２ｐ２と、リフトピン６２の下端６２ｉに当接した状態でリフトピン６２を昇降させ、リフトピン６２の上端６２ｔに支持された基板１０’を昇降させるリフトバー６５と、を具備していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ジグザグ欠陥の修正力をより向上させるための電圧印加方法を提案する。
【解決手段】一対の基板と、前記一対の基板間で強誘電性液晶分子を垂直配向させる配向膜と、無電界下でキラルスメクチックＣ相を形成する強誘電性液晶層と、前記一対の基板間で強誘電性液晶層の厚さを規制する複数のスペーサーと、前記強誘電性液晶層に対して垂直な方向に電界を発生させる電極とを有する強誘電性液晶表示素子の製造方法において、強誘電性液晶表示素子内に強誘電性液晶を注入する際に、強誘電性液晶を等方相転移温度以上に加熱し、注入した強誘電性液晶が等方相の温度からキラルスメクチックＣ相を形成する温度以下に冷却される期間中、印加する電圧の周波数を設定することで液晶分子が実現できるコーン角以上の電圧を印加し、ジグザグ欠陥の除去効果を高めること強誘電性液晶表示素子の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドに設けられた複数のノズルから滴下される配向膜材料の液滴の量を均一にすることができる配向膜形成装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッドが液晶表示パネル用の基板に対して滴下移動方向に相対的に移動可能に設けられ、インクジェットヘッドの滴下移動方向と交差する方向に沿って配設された複数のノズルから基板表面に滴下された配向膜材料の液滴の広がりにより配向膜を形成する配向膜形成装置であって、基板表面に形成された配向膜の膜厚を滴下移動方向と直交する方向に沿って測定する膜厚測定手段と、膜厚測定手段により測定された各ノズルの配向膜材料滴下位置での膜厚と所望膜厚との差に基づいて各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる滴下量調整手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】シランカップリング剤の加水分解に必要な水分が不足することを防止して、未反応の官能基が被膜の表面に残存することを防止できる表面処理方法および表面処理装置を提供する。
【解決手段】大気圧よりも低い圧力下で処理剤を気化させ、処理剤の雰囲気に被処理基板を晒すことで被処理基板上に処理剤の被膜Ｃ１を形成する表面処理工程を有し、表面処理工程の後に、被処理基板を冷却する冷却工程と、被処理基板の表面に水分を供給する水分供給工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】吐出不良の発生を抑制して、配向膜を良好に形成できる配向膜の形成方法を提供する。
【解決手段】配向膜の形成方法は、配向膜形成用材料及び複数種類の溶媒を含むインクをインクジェットヘッドの吐出口より基板に供給して、基板に配向膜を形成する工程を含む。形成方法は、複数種類の溶媒のうち、インクに占める割合が最も高い第１溶媒を、吐出口に通ずるインクジェットヘッドの内部流路に供給する第１工程と、第１工程後、内部流路が第１溶媒で満たされた状態で、第１溶媒及び配向膜形成用材料を含む溶液を、内部流路に供給する第２工程と、第２工程後、内部流路が溶液で満たされた状態で、インクを内部流路に供給する第３工程とを含み、第３工程後、吐出口より基板にインクを供給する。 （もっと読む）