【課題】光学部材の欠点を効果的に回収する。
【解決手段】第１ローラ４２及び第１ナイフエッジ４１に掛けまわされて回動する無端ベルト４０と、無端ベルト４０が回収対象の光学部材（不良貼合シートＦ１２）と接触するように第１ローラ４２を移動することによって、光学部材（不良貼合シートＦ１２）を無端ベルト４０に付着させる第１移動部４５と、第１ナイフエッジ４１で無端ベルト４０から剥離した光学部材（不良貼合シートＦ１２）を回収する第１回収部４６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 一対の大判透明基板１をエッチングした後でも、以降の工程において安全にハンドリングができ、且つ端面にクラックの入り難い液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の液晶パネルがレイアウトされた大判の透明基板を用いて、複数の液晶パネルを一括して作製する液晶表示装置の製造方法であって、対向する一対の透明基板１の少なくとも一方をエッチングにより薄型化する工程を含むとともに、エッチング工程よりも前に、対向する一対の透明基板の少なくとも一方の基板の外表面の外周部にマスキング処理８を施すこととした。 （もっと読む）

【課題】裏面洗浄の際に洗浄液が基板裏面に付着するのを抑制して洗浄効率の向上を図れるようにすると共に、装置の小型化を図れるようにする。
【解決手段】基板Ｇを水平状態に保持する基板保持部１０、基板保持部を鉛直軸回りに回転する回転駆動部２０、基板保持部にて保持された基板の裏面に洗浄液を吐出する洗浄液供給部５０とを具備する基板洗浄装置において、基板保持部は、基板を支持する支持部材１４を立設する環状部材１３と、回転駆動部に連結される中空回転軸１１の頂部に設けられるボス部１２と、ボス部と環状部材とを連結する複数の中空状スポーク１６と、を具備する。洗浄液供給部は、洗浄液供給源５３に接続され、中空回転軸内に遊貫される洗浄液供給筒軸５１と、洗浄液供給筒軸内を流れる洗浄液をスポークの中空部１６ａに案内すべくボス部に設けられる連通流路５４と、スポークの軸方向に沿って設けられる複数の裏面洗浄ノズル５５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いて、対象物の所定箇所をさらに正確にかつ能率よく加工し、修正を行う
【解決手段】基板を載置するステージと、基板を加工する加工部となる局所排気領域と、ステージに向けてガスを噴射することにより該ステージから浮上するためのガス供給部と、ステージに向けて噴射したガス及び局所排気領域から該ステージ側に供給されたガスを排気する排気部とを備えた局所排気装置を有する。
局所排気装置は、局所排気領域に繋がる流路を、薄膜形成用の原料ガスを供給する原料供給部と、エッチングにより局所排気領域内に発生したダストを排出する局所排気部とに切り換えて連通させる切換手段を備える。そして、基板に薄膜を形成する場合には、切換手段により局所排気領域に繋がる流路が原料供給部に連通され、基板をエッチングする場合には、切換手段により局所排気領域に繋がる流路が局所排気部に連通される。 （もっと読む）

【課題】ガラス板に破損を生じさせることなく、ガラス板に対して端面から所定の距離を置いた位置に簡単かつ確実にスクライブ線の開始点を設定するスクライブ方法およびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ガラス板１の端面１ａに案内板４の端面４ａを当接させる。案内板４の端面４ａの一部をガラス板１の表面から上方に突出させ、ガラス板１と案内板４との境界部に段差６を形成する。この状態で、ホイールカッター３を案内板４の表面からガラス板１の表面に向かって走行させる。そして、段差６によって、境界部に到達したホイールカッター３を、ガラス板１の端面１ａから所定の距離を置いた位置でガラス板１の表面に乗り移らせ、スクライブ線２の開始点をガラス板１の端面から離間させる。 （もっと読む）

【課題】光量損失を良好に抑えつつ周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置を用いて、適切な照明条件のもとで微細パターンを忠実に且つ高スループットで転写する。
【解決手段】入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子１０。たとえば水晶のような旋光性を有する光学材料により形成されて周方向に変化する厚さ分布を有する。厚さ分布は、ほぼ単一方向に偏光方向を有する直線偏光状態の光を、ほぼ周方向に偏光方向を有する周方向偏光状態の光に変換するように設定されている。周方向に分割された複数の領域１０Ａ〜１０Ｄを有し、この複数の領域において隣り合う任意の２つの領域の厚さが互いに異なる。また、複数の領域において対向する任意の２つの領域は、互いにほぼ等しい旋光角度を有する。 （もっと読む）

【課題】水平方向のサイズがコンパクトで、かつ、高精度な位置合わせを可能とする露光マスク保持装置及びこれを用いる露光装置を提供する。
【解決手段】マスク保持装置２１は、リニアガイド機構２４ａが設けられたフレーム２３と、フレーム２３に対し鉛直方向に上下移動するＺ軸移動部２５と、Ｚ軸移動部２５の鉛直下方に位置すると共にＺ軸移動部２５に支持され、Ｚ軸移動部２５に対して鉛直軸周りの回転位置が調整されるθ軸移動部２７と、θ軸移動部２７の鉛直下方に位置すると共にθ軸移動部２７に支持され、θ軸移動部２７に対して水平面に対する傾きが調整されるチルト軸移動部２９と、チルト軸移動部２９の鉛直下方に位置すると共にチルト軸移動部２９に支持され、チルト軸移動部２９に対しＹ軸方向での位置が調整されると共に、下面で露光マスクＭを保持する水平方向移動部３１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ガラス・シリコン薄膜・フイルム等の大面積基板の薬液反応において、薬液との接液を面状態とし、さらに節液状態で行える超音波薬液反応装置を提供することにある。
【解決手段】 薬液供給口２１，３２より薬液６０を上下薬液槽２０，３０に送り、上部薬液槽２０の液吸引パイプ２３からの流量バランスで、基板出入り口になる上下槽間の空隙部１２に薬液６０を保持する。薬液６０には下部槽３０より超音波定在波１３が付加され、振動波の最大振幅位置と一致させた空隙レベルに基板５０をローラー４０で搬送し、キャビテーション効果で基板表裏の薬液反応を促進化させる。液吸引パイプ２３の位置を振動波の最小振幅位置と一致させ液面レベルを反射面として機能させる。 （もっと読む）

【課題】プローブ装置の接触電極が被検査体の電極に対して位置ずれすることを防止すること。
【解決手段】プローブ装置は、可撓性を有する配線シートと、該配線シートを支持する支持体と、配線シートに取り付けられた間隔維持部材とを含む。前記配線シートは、該配線シートの一方の面に設けられた複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える。前記間隔維持部材は、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有し、前記配意線シートに取り付けられて、前記配線シートが膨張した状態で前記複数の配線相互の間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】 光学特徴の欠陥を識別でき、かつ検査工程においてパネル表面の異物を除去でき、また検査中のパネルに電力が供給できる光学検査装置を提供すること。
【解決手段】 第１方向に延伸する検査台と、前記第１方向に被検査物のいずれかを載置する少なくとも１つの載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、前記検査台に設置され、前記第１方向と垂直な第２方向に延伸する第１スキャナとを有する光学検査装置。前記第１スキャナは、少なくとも１つの載置板に載置される少なくとも１つの物品を検査するために用いられ、前記投入口と前記払出口の間に第２方向に延伸する第１検出器を含む。前記第１スキャナと前記投入口の間に前記第１方向と垂直な第２方向に延伸する第１ローラセットを有し、当該第１ローラセットは少なくとも１つの前記物品の表面に力をかけるために用いられる。 （もっと読む）

【課題】第１の保持体の保持面に保持された複数の部品を、第２の保持体に各部品ごとに対応して予め定めれた所定の移載位置に移載する処理時間の短縮を図れる技術を提供する。
【解決手段】ダイシングテープ６の保持面およびガラス基板８の部品実装面８ａが対向して支持された状態で、ダイシングテープ６に保持された当該部品７がガラス基板８の部品実装面８ａに押圧されることで、当該部品７がダイシングテープ６からガラス基板８の部品実装面８ａに設けられた移載位置に移載されるため、ダイシングテープ６の保持面からの部品７の取り出しと、取り出された部品７のガラス基板８の部品実装面８ａへの移載が同一工程で行われるので、処理時間の短縮を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】プロジェクターを天吊投写中にシャッターの開閉動作を行う。
【解決手段】投写光を遮断する開閉式のシャッター５を備えたプロジェクター１を、プロジェクター１のシャッター５を開閉操作するシャッター開閉部３１を備えた天吊装置３０で天吊支持し、プロジェクター１は、ユーザーの遠隔操作を受け付ける操作部２３に所定の操作が入力された場合に、天吊装置３０にシャッター開閉部３１の開閉動作を指示することを特徴とする、プロジェクターシステム。 （もっと読む）

【課題】エッチングエンドのタイミングを確実に判別し、エッチングに必要な薬液の使用量を低減する。
【解決手段】エッチング室の入口から導入された処理基板を傾斜した状態で搬送する送りローラと、エッチング室内において送りローラによって搬送される処理基板に向けてエッチングに必要な薬液を吐出する吐出ノズルと、エッチング室内の入口側に設けられ傾斜した状態で搬送される処理基板の傾斜上方に位置する一端部に対向する第１センサ、エッチング室内の入口側に設けられ傾斜した状態で搬送される処理基板の傾斜下方に位置する他端部に対向する第２センサ、エッチング室内の出口側に設けられ処理基板の一端部と他端部との間の中央部に対向する第３センサを含むセンサ群と、センサ群に含まれる第１乃至第３センサの各々からの出力信号に基づいてエッチングエンドを判別する演算装置と、を備えたエッチング装置。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造工程において、ＴＦＴ基板上に着色層（ＲＧＢ他）およびブラックマトリックス（ＢＭ）などのカラーフィルタが形成されたカラーフィルタオンアレイ（ＣＯＡ・ＢＯＡ）におけるレーザー修正において、修正箇所のレーザーアブレーションに伴う下地であるＴＦＴ基板上の保護膜の損傷を発生させることなく、選択的にカラーフィルタ層のみを修正することができるカラーフィルタの欠陥修正方法、及び、その欠陥修正方法によって欠陥部分が修正されたカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ＴＦＴ基板上に少なくとも着色層、ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、予め前記カラーフィルタの欠陥修正部分を炭化着色させる段階と、その後前記欠陥修正部分にレーザー光を照射して前記欠陥修正部分をレーザーアブレーションにより除去する段階と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】製造ライン全体としての滞留状況を早期に検知するためのシステムを備え、効率的にカラーフィルタの製造が可能な多色混流型カラーフィルター製造装置を提供する。
【解決手段】各種処理を行う複数種の処理別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して直列に搬送装置を介して配置され、この処理別処理装置は処理に応じて複数個の個別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置された多色混流型カラーフィルタ製造装置であって、製造ライン内に存在する各種処理工程の基板在荷状況を管理し、分岐／合流箇所での滞留や交互化処理の失敗により顕著化する各工程基板分布の偏りを、分布マップとして視覚化するシステムを備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板又はＴＦＴ基板上に着色層（ＲＧＢ他）およびブラックマトリックス（ＢＭ）などのカラーフィルタが形成されたカラーフィルタ製造におけるレーザー修正において、修正箇所のレーザーアブレーションに伴う下地の損傷を発生させることなく、効率的に、且つ、選択的にカラーフィルタ層のみを修正することができるカラーフィルタの欠陥修正方法、及び、その欠陥修正方法によって欠陥部分が修正されたカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも着色層、ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、予め前記カラーフィルタの欠陥修正部分にレーザーを照射して、前記欠陥修正部分を熱分解・熱変性に起因する炭化作用により着色させる段階と、その後前記欠陥修正部分にレーザー光を照射して前記欠陥修正部分をレーザーアブレーションにより除去する段階と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】装置構成が簡単で、かつ修正対象の基板の撓みを抑制することが可能な基板支持装置およびこれを用いたパターン修正装置を提供する。
【解決手段】基板支持装置４は、基板３を搬送する搬送装置のハンド部が進入可能な隙間１３を形成するように互いに離れて配置され、基板３を保持する複数の副ステージ１２と、隙間１３内を移動可能なように隣り合う副ステージ１２の間に配置され、基板３を保持する補間ステージ１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
ディスプレイ装置のベゼルや表示パネルの横幅や厚み等のサイズによらず、センサユニットを表示画面に近接させて、周囲の外光の影響を受け難い状態で表示画面の光学特性の測定を行い、測定後にセンサユニットを表示画面から退避させる。
【解決手段】
光測定器本体２と、被測定画面を測定する光センサ８と、光センサ８が一方側に内蔵されたセンサユニット３と、センサユニット３の他方側に取り付けられて当該センサユニット３を回動可能に支持するシャフト５と、シャフト５を回動させる第１のフォロア１１と、シャフト５を前後動させる第２のフォロア１９と、カム１７ｂと、コイルバネ７２と、第１のフォロア１１と連動するギア機構７，６４と、ギア機構７，６４を駆動する駆動モータ６からなる。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去する基板処理方法および基板処理装置において、スループットの低下を招くことなく、しかも優れた面内均一性でパーティクル等を除去する。
【解決手段】基板Ｗの回転中心Ｐ（０）から基板Ｗの外縁側に離れた初期位置Ｐ（Ｒin）の上方に冷却ガス吐出ノズル７を配置し、回転している基板Ｗの初期位置Ｐ（Ｒin）に冷却ガスを供給して、初期位置Ｐ（Ｒin）および回転中心Ｐ（０）を含む初期領域に付着するＤＩＷを凝固させる。そして、初期凝固領域ＦＲ0の形成に続いて、ノズル７から冷却ガスを供給しながら初期位置Ｐ（Ｒin）の上方から基板Ｗの外縁部の上方まで移動させることによって、凝固される範囲を基板Ｗの外縁側に広げて基板表面Ｗｆに付着していた全ＤＩＷ（凝固対象液）を凝固して液膜ＬＦ全体を凍結する。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いることなく、１つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を精度良く形成する。
【解決手段】光ビーム照射装置（２０）から斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板（１）を走査して、基板に塗布された配向膜に液晶の配列方向を整える配向特性を付与する。チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出し、基板の表面の高さの変位に応じて、光ビーム照射装置の駆動回路（２７）へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する。あるいは、チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出し、検出した基板の表面の高さの変位分だけ、チャックと光ビーム照射装置とを相対的に基板の表面に垂直な方向へ移動する。 （もっと読む）