【課題】複数の半導体発光素子を用いて露光光を形成する際、露光光の強度を一定に保ちながら、各半導体発光素子の寿命を均一化する。
【解決手段】露光光照射装置３０から照射される露光光の強度を検出すると共に、各半導体発光素子４２の温度を検出する。各半導体発光素子４２の温度の検出結果に基づき、所定温度又は所定温度範囲より低い温度の半導体発光素子の点灯時間を、所定温度又は所定温度範囲より高い温度の半導体発光素子の点灯時間より長くし、または、所定温度又は所定温度範囲より低い温度の半導体発光素子の駆動電流を、所定温度又は所定温度範囲より高い温度の半導体発光素子の駆動電流より大きくして、検出した露光光の強度の変化を補う。 （もっと読む）

【課題】マスクのパターンによるマスクの有無の誤検出を防止するとともに、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることを確認して、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損を予防する。
【解決手段】マスク２を収納するマスクストッカー４０に、マスク２の下面の縁を支持するマスク支持部４４ａと、マスク支持部４４ａより盛り上がったマスク落下防止部４４ｂとを有する複数のマスク受け４２を設ける。少なくとも１つのマスク受け４２のマスク支持部４４ａに、マスク２の下面への接触の有無によりマスク２の有無を検出するマスク検出機構５１，５２，５３，５４，５５，５６を設ける。マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク２を載せるハンドリングアーム３１を有するマスク搬送装置３０により、マスク２を複数のマスク受け４２に搭載し、またマスク２を複数のマスク受け４２から持ち上げる。 （もっと読む）

【課題】大型化した装置に対して、メンテナンス時の作業性を向上させる。
【解決手段】リペア対象板が載置されるワークテーブルと、当該ワークテーブルの両側に配置されたガイドレールと、当該各ガイドレールに移動可能に支持されて上記ワークテーブル上に架け渡される門型ステージと、当該門型ステージに上記ガイドレールと直交する方向にスライド可能に支持されて上記ワークテーブル上の上記リペア対象板をリペアするリペアユニットとを備えたリペア装置のメンテナンス機構である。このメンテナンス機構を、上記各ガイドレールにそれぞれ嵌合する足台と、当該各足台に載置されて上記ワークテーブル上に架け渡される天板とから構成した。 （もっと読む）

【課題】
液晶露光装置において、フォトマスクの変形に伴うガラス基板上のパターンの変形を避けて液晶パネルの品質を向上させると共に、フォトマスクとガラス基板間の圧力変動によって生じるマスク変形が小さくなるまで待つことなく露光開始可能とすることで生産性をも向上する。
【解決手段】
フォトマスク５１１と対向するガラス基板５１３を支えるチャック５１５の裏面にひずみ測定手段６０１を設置し、フォトマスク５１１とガラス基板５１３との間隔を調整するときの圧力変動を前記ひずみ測定手段６０１で測定し、このひずみ値が、予め設定したひずみ値になり、かつ、その時間微分値が負の値をとるときにフォトマスク５１１のパターンをガラス基板５１３に転写する。 （もっと読む）

【課題】光ビーム照射装置の空間的光変調器の傾きとヘッド部の傾きとを容易に判別して、光ビームの歪みを抑制し、描画精度を向上させる。
【解決手段】光ビーム照射装置２０から照射される光ビームを受光する受光装置５１をチャック１０に設け、光ビーム照射装置２０のヘッド部２０ａを回転する回転機構２８を設ける。回転機構２８によりヘッド部２０ａを回転する前と回転した後に、光ビーム照射装置２０から照射された光ビームを受光装置５１により受光する。ヘッド部２０ａを回転する前後の、受光装置５１により受光した光ビームの位置の変化から、光ビーム照射装置２０の空間的光変調器２５の傾きとヘッド部２０ａの傾きとを判別し、判別結果に基づき、空間的光変調器の傾き又はヘッド部２０aの傾きを補正する。 （もっと読む）

【課題】携帯機器用の液晶表示パネルの大きさに合わせて効率的にマイクロレンズアレイを使用し、基板材料の無駄を低減することができるマイクロレンズアレイを使用した露光装置を提供する。
【解決手段】マスク２０は、形成するパネルと同一の幅Ｗｐのパターンが形成されたパターン領域２０ａを有し、各パターン領域は、製造せんとするパネルの第２方向２の配列ピッチＰの整数ｎ（ｎ≧２）倍のピッチｎＰで配置されている。パターン２０ａの正立等倍像を基板上に結像させるマイクロレンズアレイは、パターン領域２０ａと同数のマイクロレンズアレイチップ２２を第２方向２に配列したものであり、各マイクロレンズアレイチップ２２は、第２方向の長さがパターン２０ａの第２方向の幅Ｗｐよりも長く、各パターン領域２０ａの透過光は、対応するマイクロレンズアレイチップ２２により基板に照射されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板のダメージを抑制することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板Ｗを水平に保持するスピンチャックと、基板Ｗの上面内の噴射領域Ｔ１に吹き付けられる処理液の液滴を生成する液滴ノズル５と、基板Ｗを保護する保護液を基板Ｗの上面に向けて吐出する保護液ノズル６とを含む。保護液ノズル６は、保護液が基板Ｗの上面に沿って噴射領域Ｔ１の方に流れるように基板Ｗの上面に対して斜めに保護液を吐出し、噴射領域Ｔ１が保護液の液膜で覆われている状態で処理液の液滴を噴射領域Ｔ１に衝突させる。 （もっと読む）

【課題】被着体への貼着作業性に優れ、被着体との間に空気が入り込むのを抑制可能な機能性シートを提供する。
【解決手段】シート本体２０の一方の面には被着体５０に粘着可能な粘着層を有すると共に、その粘着層を剥離可能に覆うアプリケータシートを備え、アプリケータシートは、粘着層を剥離可能に覆う剥離シート部１３と、この剥離シート部１３から延びると共に再剥離粘着層を有してその再剥離粘着層によって被着体５０に粘着可能な先行貼着シート部４０と、再剥離粘着層を剥離可能に覆う補助剥離シート部４１と、先行粘着シート部４０と剥離シート部１３との境界部分に設けられ補助剥離シート部４１を除去して再剥離粘着層を被着体５０に貼着した後に引っ張ることにより先行貼着シート部４０を被着体５０から剥がし取ると共に剥離シート部１３をシート本体２０の粘着層から剥がし取ることが可能な摘み部１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】スクライブ装置において短時間でチップを交換できるようにすること。
【解決手段】チップホルダ１０にチップ１４を回転自在に取付ける。チップホルダ１０を円筒形とし、その先端に取付部１６を設ける。ホルダジョイント２０に開口２３を設け、マグネットによってチップホルダ１０を吸着させ平行ピン２５で位置決めして取付けることによって、着脱を容易にする。又チップホルダ１０の面に、チップのオフセットデータを２次元コード１７として記録する。チップホルダの交換時にオフセットデータを読出してスクライブ装置に入力することにより、オフセットを打ち消す。こうすればチップホルダを着脱する際に補正に関連して必要だった操作を省いて、短時間の装置停止の間にチップを交換することができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄対象である搬送中の板状部材２の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段３ａ、３ｂを備え、板状部材２に洗浄液を供給しつつ洗浄手段３ａ、３ｂを回転させて搬送中の板状部材２を洗浄する洗浄装置１であって、複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段３ａと、該洗浄手段３ａと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段３ｂとからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段３ａ、３ｂは、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板が薄板の場合でも基板たわみによる基板と基板受けピンとの干渉がない基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】処理装置間で基板の受け取り、受け渡しを行う基板搬送ロボットであって、基板の裏面に接して基板を支持する基板支持体Ａを固定して備えたロボットハンドと、基板の裏面に接して基板を支持する基板支持体Ｂを有する基板たわみ防止手段を備えたロボットハンドと、を有することを特徴とする基板搬送ロボット。 （もっと読む）

【課題】 表示パネルに表示される画像における輝度ムラの発生箇所を高い精度で検出し画質の向上を図る。
【解決手段】 検査対象となる表示パネルを保持するパネル保持部と、パネル保持部に保持された表示パネルを撮像して画像データを取得する撮像部とを備え、表示パネルに画像を形成するための最小単位である所定の色を表示する複数の絵素が設けられ、撮像部に絵素を撮像するための複数の画素が設けられ、絵素の１色のみの表示が撮像部によって撮像されて画像データが取得され、取得された画像データに基づいて絵素毎の画素に対する基準位置が設定され、設定された絵素の基準位置に基づいて画像データのモアレ成分を除去するためのモアレ補正係数が算出され、算出されたモアレ補正係数に基づいてモアレ成分が除去されて画像データから輝度ムラ検出データが生成され、生成された輝度ムラ検出データと予め定められた基準データとを比較して表示パネルに表示される画像の輝度ムラの発生箇所を検出する。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストや設備投資の増大、さらにはガラス基板の生産性低下を極力招くことなく、ガラス基板の有効面を効果的に清浄化することができる技術を提供する。
【解決手段】搬送されるガラス基板Ｇの有効面に対し、洗浄液２１を供給しつつ、洗浄ヘッド１５を回転させながら押し当てることにより、ガラス基板Ｇの有効面に付着した異物を取り除く洗浄工程において、洗浄ヘッド１５または洗浄ヘッド１５を保持する第１保持部材１３の少なくとも一方の膨張収縮を利用して、ガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を調整する。具体的には、洗浄ヘッド１５がある程度摩耗したときに、洗浄液２１の供給温度を上昇させて、洗浄ヘッド１５または第１保持部材１３の少なくとも一方を熱膨張させ、洗浄ヘッド１５の摩耗によって低下したガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を再度高める。 （もっと読む）

【課題】紫外線の照射エネルギーを維持する紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、保持部、光源ヘッド、駆動部、測定部及び制御部を備えた紫外線照射装置が提供される。保持部は、紫外線反応性の樹脂を含む被処理体を保持する。光源ヘッドは、樹脂に紫外線を照射する複数の光源を有する。駆動部は、保持部及び光源ヘッドの少なくともいずれかを、光源ヘッドから保持部に向かう第１軸と、第１軸に対して垂直な複数の軸と、に沿って相対的に移動させる。測定部は、光源から放射される紫外線の強度を測定する。制御部は、複数の光源が紫外線を樹脂に照射する際に、駆動部に、測定部により測定された紫外線の強度が第１値のときは、光源と樹脂と間の第１軸に沿う距離を第１距離に設定させ、強度が第１値よりも低いときは、上記の距離を第１距離よりも短く設定させる。 （もっと読む）

【課題】電気光学パネルに対して防塵部材を精度よく位置決めすることが可能な電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】治具フレーム２００に電気光学パネルを挿入する第１工程と、治具フレーム２００に開口部４０１を有するスペーサー４００を挿入し、スペーサー４００を電気光学パネル上に配置する第２工程と、電気光学パネルのスペーサー４００の開口部４０１から露出した部分に接着部材４１０を配置する第３工程と、スペーサー４００の開口部４０１に防塵部材３０を嵌め込む第４工程と、防塵部材３０を電気光学パネルに向けて押圧して接着部材４１０を硬化させる第５工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バックライトがパルス駆動の場合においても正確な応答速度を算出することができる表示装置の応答速度算出システム、および応答速度算出方法を提供する。
【解決手段】パルス駆動する第１の光源と、前記第１の光源の波長範囲と異なる波長範囲で発光する第２の光源と、前記第１の光源が発する光を透過し、入力画像信号に応じて透過量を変化させて画像を表示する表示部と、前記第２の光源が発する前記表示部を透過した光の光量を測定するために前記表示部の表示面側に取り付けられる測定部と、前記測定部による測定結果に基づいて前記表示部の応答速度を算出する応答速度算出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの天井面などに処理液や蒸気などが付着しない枚葉式の基板処理装置を提供する。
【解決手段】ハウジング１と、前記ハウジング１内に基板３を保持する保持手段２と、前記基板３の処理面３ａに対して処理液を供給する供給手段８と、前記ハウジング１内に気体を取り込む取り込み口１ａと、前記ハウジング１内の処理液の蒸気を当該ハウジング１から排出する排出口１ｃとを備え、前記保持手段２は前記処理面３ａを前記ハウジング１の底部１ｂに向けて前記基板３を保持し、前記取り込み口１ａから前記排出口１ｃへ向かう気流を形成し、前記気流によって処理液の蒸気を当該ハウジング１から排出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プロジェクターのライトバルブに用いられる液晶パネル１０のコントラストの検査時間を短縮する。
【解決手段】検査前に、液晶パネル１０の代わりに鏡を保持させるとともに、位相差補償板６０の代わりに１／４波長板を保持させて、受光部８０の照度情報が最大値となるように、第１偏光子４０の回転角θ、偏光ビームスプリッター５０の回転角θ、第２偏光子７０の回転角θをそれぞれ調整する。液晶パネル１０を検査するときには、鏡を当該液晶パネル１０に、１／４波長板を位相差補償板６０に、それぞれ交換する。そして、受光部８０の照度情報が最大値となるように、液晶パネル１０の回転角ｘ、回転角ｙ、位相差補償板６０の回転角θを調整する。 （もっと読む）

【課題】処理作業の異常時にパネルをバックアップから退避しパネルの変形を防止することが可能なＦＰＤモジュールの組立装置を提供する。
【解決手段】 パネルの作業辺に対して各種処理作業を行う処理ヘッドを有する複数の処理ユニットと、複数の処理ユニットの作業位置にパネルを搬送する搬送ステージと、処理ユニットに配設され、パネルの作業辺を含む少なくとも２つの周縁辺を吸着することによりパネルを保持するパネル保持部と、を備える。そして、パネル保持部に設けられ、各種処理作業またはパネルの搬送の異常時に、パネルを作業位置よりも上昇可能に支持すると共に、異常の解除時に、パネルを作業位置に下降可能に支持するパネル昇降機構を備えた。 （もっと読む）

【課題】気体供給手段から供給される乾燥用気体の供給量を制御することにより、基板へのパーティクル等の付着を防止し、基板の処理環境を一様にできる
【解決手段】ステップＳ４の基板搬出動作において、チャンバー１１内を陽圧にすべきか、負圧にすべきかが判断される（ステップＳ４２）。チャンバー１１内を陽圧にすべきと判断された場合、ドライエア供給装置３１に内蔵された発生器内インバータを調整して、ドライエアの供給量を増加させるとともに、電動ダンパ３７及び流量制御弁４３の開口が絞られる（ステップＳ４３）。チャンバー１１内を負圧にすべきと判断された場合、制御部４５は、ドライエア供給装置３１に内蔵された発生器内インバータを調整して、ドライエアの供給量を減少させるとともに、電動ダンパ３７及び流量制御弁４３を開放している（ステップＳ４４）。 （もっと読む）