【課題】２つの基板を貼り合わせるシール剤の破損の発生を抑えつつ、貼り合わせた基板に設ける、穴をあける加工領域をより小さくできるようにする技術を提供する。
【解決手段】装置本体５１は、裁置台５３上に裁置された貼り合わせフィルム４３に対し、加熱ヘッド５２を用いて、穴をあける加工領域を含む部分を先に加熱し、その加熱部分に含まれるシール剤をより硬化させる。その加熱は、加熱ヘッド５２を貼り合わせフィルム４３に向けて下降させて行う。その後、装置本体５１は、ツール５１ａの先端部分が裁置台５３の穴５３ａ内に挿入するように上下動させて、加熱部分内に穴をあける。加熱ヘッド５２は、ツール５１ａを上下動させている間に移動前の位置への移動を開始させる。 （もっと読む）

【課題】刃先と脆性基板との間のグリップ性が良好であり、スクライブした脆性基板の端面強度を向上させることができるスクライビングホイールを提供する。
【解決手段】本発明のスクライビングホイール１０は、ディスク状ホイールの円周部に沿ってＶ字形の刃の稜線部が連続する刃先１２ａとなるように形成され、かつ、Ｖ字形の刃の傾斜面１２に刃先１２ａから所定距離離間した位置から切欠凹部１３が形成され、Ｖ字形の刃の先端部分に薄肉部１２ｂと厚肉部１２ｃが交互に形成され、切欠凹部１３は、刃先１２ａの角度をθ１、切欠凹部１３を形成する面の刃先側部分と刃の傾斜面１２との間の角度をθ２としたとき、１８０°＞θ２＞１８０°−（θ１）／２となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 貼合精度が高い製品パネルを連続的に製造することができる製品パネルの連続製造方法を提供する。
【解決手段】 本方法は、シート状偏光フィルムのフィルム前端部を矩形パネルとの貼合位置に近づけてフィルム前端部を検出し、検出されたフィルム前端部の位置の情報に基づいてシート状偏光フィルムと矩形パネルとを位置合せし、シート状偏光フィルムと矩形パネルとを貼り合せることを含む。フィルム前端部を検出するために、シート状偏光フィルムの送り方向の上流側から、フィルムの送り方向に対して鋭角をなす光軸を持つ光をフィルム前端部に向かって照射し、光が照射された領域を撮像して画像を取得し、フィルム前端部の像と該フィルム前端部以外の部分の像との輝度の差に基づいてフィルム前端部を識別する。 （もっと読む）

【課題】平板表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】レーザーでガラス密封材料を溶かしてマザーガラスを接合させる時に、マザーガラスに加えられるストレス偏差を最小化するためのものであって、互いに対向した第１基板と第２基板との間に複数の発光部を形成する工程であって、各発光部別に単位ディスプレイ素子にする工程と、第１基板と第２基板との間に複数の壁を形成する工程であって、各壁は各発光部を取り囲むように配置される工程と、壁にレーザービームを照射する工程であって、第１方向に配列された複数の壁に対して同時にレーザービームを照射する工程と、レーザービームを第１方向と異なる第２方向にスキャニングする工程と、第１基板及び第２基板を各単位ディスプレイ素子別に切断する工程を含む平板表示装置の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】排気効率およびスペース効率を改善し、液切り乾燥直後の乾いた基板にミストが付着するのを十全に防止する。
【解決手段】上部および下部エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌがそれらの間を通過する基板Ｇに対してナイフ状の鋭利な高圧エア流を吹き付けることにより、両エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌの上流側の空間に多量のミストが発生する。基板Ｇの上で発生したミストの大部分は、下流側のＦＦＵ１３６から隙間Ｋを通って廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に上部排気口１２４に吸い込まれる。基板Ｇの下で発生したミストは、その全部がＦＦＵ１３６から廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に下部排気口１２６，１２８に吸い込まれる。 （もっと読む）

【課題】微細な画素欠陥に対応した微細且つ高精度な遮光膜を効率的に形成する。
【解決手段】画素欠陥２５の位置に対応する透明基板１２の外表面にレジスト４５を塗布した後、レジスト４５にレーザーを照射して画素欠陥２５のサイズに対応した穴４６を形成し、その穴４６に遮光材料４１を充填することで遮光膜４０を形成する。レジスト４５は、遮光膜４０の形成後に除去するか、透光性材料であれば除去せずにそのまま残しておいてもよい。 （もっと読む）

【課題】基板の清浄度を向上させること。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗを保持するスピンチャック３と、スピンチャック３に保持されている基板Ｗの外周より外側に配置されているカップ６とを含む。カップ６は、気体吐出口から基板Ｗ上に向けて気体を吐出することにより、基板Ｗの上面に沿って流れる気流を形成する。この気流によって基板Ｗの上面がパーティクルやミストから保護される。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムで高速にラスタデータへ変換できる露光装置を提供する。
【解決手段】重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリ１と、シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段４と、前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段５と、前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバ１１と、を備える露光装置である。 （もっと読む）

【課題】特に大きなサイズの基板を研磨する際、スラリー流量を減らすことなく、中央付近の研磨量を確保し背厚を低減して正常な研磨を行うとともに、スラリーの循環を良くすることで、研磨した基板の成分が基板の被研磨面に再付着することを抑制する。
【解決手段】一辺の長さが１０００ｍｍ以上の板状体を保持する板状体保持手段と、前記板状体保持手段に保持された前記板状体に対向して設置された研磨パッドと、を有し、前記研磨パッドは、前記板状体の対向面に形成され、前記研磨パッドと前記板状体との当接部にスラリーを供給する複数のスラリー供給孔と、前記板状体の対向面の中央部のみに形成され、前記当接部に供給された前記スラリーを吸引するスラリー吸引孔と、が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液晶ディスプレイ等の製造工程におけるガラス基盤面の急速且つ高精度にて調温する調温装置を新規に提供するものである。
【解決手段】 本発明はラス基盤面に成膜と露光とエッチングを順に行う流れ工程において、成膜と露光の間に設けるガラス基盤面の調温装置であって、大小のガラス基盤面のすべてをカバーする大きさの調温風循環タンクと、該タンクの下部に平角筒体形でその下面の中間に帯熱した調温風を戻し入れする回収口を設けた複数本の平角筒体を横断渡設し、該タンク下の至近に走行し入ったガラス基盤面に該タンク内の調温風を各平角筒体間の狭い間隙から吹き付けによる吹き付け調温と該回収口にまわり流入するまでガラス基盤面に接面する接面調温とにてガラス基盤面を急速且つ高精度にて調温するようにした調温装置にある。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル面と偏光フィルムとの間に異物が混入することを抑制する、液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子の製造システムを提供する。
【解決手段】連続ロールからキャリアフィルムを搬送し、当該キャリアフィルムから剥離されつつある当該光学フィルムまたは剥離された当該光学フィルムを前記粘着剤を介して液晶パネルの第１パネル面および第２パネル面に貼り付けて液晶表示素子を得る液晶表示素子の製造方法であって、第１パネル面に、フィルム幅方向に透過軸を有する第１光学フィルムを貼り付ける第１貼付工程と、液晶パネルを回転する回転工程と、前記第１光学フィルムに、フィルム幅方向と直交する方向に透過軸を有する第２光学フィルムを貼り付ける第２貼付工程と、前記液晶パネルの前記第２パネル面に、フィルム幅方向に透過軸を有する第３光学フィルムを貼り付ける第３貼付工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 グレイトーンマスクを用いたＴＦＴ基板の製造工程において、高画質かつ低価格の液晶パネルを高い歩留まりで生産し続けることが可能な露光装置および露光方法を提供すること。
【解決手段】 照明光学系と投影光学系を有する露光装置において、照明光学系内部に有効光源形状を変化させる有効光源形状調整手段と、投影光学系内部に静止ディストーションのばらつきを変化させる静止ディストーションばらつき調整手段と、プレートステージ上にあってマスク上のパターンを結像する２次元センサと、２次元センサが撮像した結果に基づき前記有効光源形状調整手段もしくは前記静止ディストーションばらつき調整手段のうち、少なくとも一つを調整する調整部を持つ。調整部は同一パターン内の光強度分布を調整することにより有効光源形状調整手段もしくは静止ディストーションばらつき調整手段を調整する。 （もっと読む）

【課題】ガラスフィルムの損傷を防止しつつ、ガラスフィルムの取扱い性を向上させる。
【解決手段】ガラスフィルム積層体１は、支持フィルム２と、粘着層３と、粘着層３を介して支持フィルム２と接合されたガラスフィルム４と、ガラスフィルム４の長手方向に沿ってガラスフィルム４の長手方向端部に連接された端部フィルム５と、支持フィルム２とガラスフィルム４および端部フィルム５との間に介在され、且つ、ガラスフィルム４および端部フィルム５に粘着された第１のテープ部材６と、を備える。支持フィルム２及び粘着層３の長手方向端部は、第１のテープ部材６の端部より外方へ突出すると共に、端部フィルム５上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】高精度な駆動回路又は薄膜トランジスタを可撓性の基板に形成する表示素子用の製造装置を提供する。
【解決手段】表示素子の製造装置（１００）は、可撓性の基板（ＦＢ）を第１方向に搬送する搬送部（ＲＬ）と、可撓性の基板に基準マークを形成するマーク形成部（１０）と、可撓性の基板に隔壁を形成する隔壁形成部（１０）と、基準マークに基づいて隔壁に対して所定の位置に導電部材を塗布する塗布部（２０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズアレイを使用した露光装置において、重ね合わせ露光時に複数のレイヤーで熱処理が行われてガラス基板が変形して従前のパターンに歪みが発生しても、高精度で重ね露光することができるマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置を提供する。
【解決手段】露光パターン５０ｆの領域を上層レイヤーが露光する際、基板１の熱歪みに合わせて、マスク３を露光光の光軸の周りに回転させ、マイクロレンズアレイ２をスキャン方向５に垂直の面内で傾動させる。これにより、スキャン方向及びスキャン方向に垂直の方向に関して、上層レイヤーのパターンの倍率を調節して、高精度で重ね露光することができる。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板を反らすことなく安価に高速に加熱することが課題である。特に、当該基板表面に薄膜を付着させて、それを高速で高温でアニールしても当該基板を反らせないことが課題である。
【解決手段】高温に加熱したガスのビームを大型ガラス基板に吹き付けながら、当該基板を移動させる方式で、基板表面に付着させた薄膜を高速アニールできる。このとき、当該ビームを当該基板の表面と裏面から吹き付け、当該ビームの温度とガス流量を調整することにより、当該基板の反りを減少させることが可能である。 （もっと読む）

【課題】チップに切り屑が付着している場合でもチップを確実に吸着することができるコレット、ピックアップ装置、チップのピックアップ方法、および電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】ピックアップ装置５００において、コレット５０の吸着部５５では、外周縁から内側に離間した位置で圧縮気体噴出口５１が開口しており、かかる圧縮気体噴出口５１は、真空吸着の際に吸気口として利用される。吸着部５５は、吸着部５５の外周縁に沿って延在する突条部５６を備えている。このため、圧縮気体噴出口５１から気体を噴出した際、突条部５６と液晶パネル３との間を圧縮気体が通過する際の流速が高いので、液晶パネル３において突条部５６が接する部分から切り屑Ｋを確実に除去した後、コレット５０によって液晶パネル３を吸着することができる。 （もっと読む）

【課題】変形が生じている剥離フィルムの端面のうち、ナイフエッジ側の辺とナイフエッジとが接触する部分の摩擦を低減する。
【解決手段】本発明に係るナイフエッジ７は、剥離フィルムを２ｂを含む積層フィルム２から、剥離フィルム２ｂを剥離するナイフエッジであり、搬送される積層フィルム２と向かい合う下面２２と、下面２２に繋がる先端部２１とを備え、先端部２１には、回転自在なローラ２５が組み込まれていると共に、ローラ２５は下面２２から突出している。 （もっと読む）

【課題】 修理ラインで直すことができる欠陥と製造ラインを止めなければならない欠陥であるかを判定できる表示デバイス（５０）の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 表示デバイスの欠陥検出方法は、表示デバイスを部分領域ごとに特徴量を計測し（Ｐ３２）、計測された領域の特徴量に基づいて欠陥領域と判定された領域をカウントする欠陥カウントステップ（Ｐ３６）と、欠陥カウントステップで第１閾値より欠陥数が多い場合には表示デバイスの製造ラインを停止するステップ（Ｐ３８，Ｐ４２）と、欠陥カウントステップで第１閾値より欠陥数が少ない場合に所定面積内の欠陥密度を計算する欠陥密度計算ステップ（Ｐ３８）と、欠陥密度計算ステップで第２閾値より欠陥密度が高い場合には表示デバイスの製造ラインを停止するステップ（Ｐ４０，Ｐ４２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】全体工程時間を短縮できる基板処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態による基板処理装置は、基板を支持する基板支持ユニットと、前記基板に第１処理液を吐出するインクジェットノズルと、前記基板に第１処理液と異なる第２処理液を吐出するコーティングノズルと、前記基板支持ユニットに対して前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとの位置が変更されるように前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを第１方向に直線移動させるジェントリーユニットと、を含む。 （もっと読む）