【課題】基板の欠陥修正において、基板に塗布されたペーストへのゴミの付着を回避する。
【解決手段】欠陥修正装置では、基板２０上に塗布されたペースト６に対して、ペースト６の焼成用のレーザー光１ａが照射されるとともに、当該レーザー光１ａが照射される角度とは異なる角度から、供給管４０を介して、窒素ガス４ａが放出される。なお、窒素ガス４ａは、イオナイザによって除電された後、基板２０上に供給される。 （もっと読む）

【課題】切断予定線を境界として脆性板状物を製品部と非製品部とに分割する際に、製品部に微小欠陥が形成される可能性を可及的に低減する切断方法を提供する。
【解決手段】支持部材４により下方側から横姿勢で支持された脆性板状物Ａ（積層体１０）の切断予定線ＣＬに沿ってレーザビームＬＢを照射し、切断予定線ＣＬを境界として積層体１０を製品部Ｍと非製品部Ｎとに分割する切断装置１である。支持部材４は、製品部Ｍおよび非製品部Ｎをそれぞれ支持可能な第１支持部６および第２支持部７を有する。支持部材４を構成する第１支持部６の支持面６ａは、第２支持部７の支持面７ａよりも上方に位置しており、製品部Ｍを非製品部Ｎよりも上方に位置させた状態で切断予定線ＣＬの切断が完了する。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工方法及びレーザ加工装置において、ハーフトーン露光により基板に形成されたハーフトーン部の欠陥を修正する。
【解決手段】レーザ加工方法は、基板上の欠陥の画像を取得する画像取得工程（Ｓ２）と、前記画像と予め格納されている参照情報とに基づいて欠陥情報を抽出する欠陥抽出工程（Ｓ３）と、前記欠陥情報から前記欠陥がハーフトーン露光により基板に形成されたハーフトーン部の欠陥であるか否かを判定する判定工程（Ｓ４）と、前記判定工程（Ｓ４）にて前記欠陥がハーフトーン欠陥であると判定された場合に前記ハーフトーン部の高さを測定する高さ測定工程（Ｓ９，Ｓ１２）と、この高さ測定工程で高さを測定したハーフトーン部にレーザ光を照射するレーザ光照射工程（Ｓ１０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、撮影した複数の赤外線画像から欠陥位置特定に適した画像を抽出して、短絡欠陥部の位置を正確に特定することを目的とする。
【解決手段】 本発明の配線検査方法は、基板に形成された配線の短絡欠陥部の有無を検査する配線検査方法であって、配線に電圧を印加して前記短絡欠陥部を発熱させる発熱工程（Ｓ３〜Ｓ６）と、基板を撮影して複数の時刻毎の赤外線画像を取得する画像取得工程（Ｓ２〜Ｓ５）と、所定時刻の赤外線画像を用いて発熱領域を認識する発熱領域認識工程（Ｓ８）と、発熱領域から短絡欠陥部の位置を特定できるか判定する発熱領域判定工程（Ｓ９）と、発熱領域から短絡欠陥部の位置を特定する欠陥位置特定工程（Ｓ１０）とを含み、発熱領域認識工程はさらに、発熱領域判定工程において短絡欠陥部の位置を特定できないと判定されたとき、所定時刻と異なる別時刻の赤外線画像を用いて、発熱領域を認識することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクの変形を補正することによって転写精度を向上させる液晶露光装置を提供する。
【解決手段】ステージ機構４２，４３と、フォトマスク７１を支持するフォトマスク支持フレームと、フォトマスク支持フレームの歪みを検出する歪み検出手段と、フォトマスク７１の変形を補正する補正手段と、フォトマスク７１の変形パターンと歪みの分布とが対応して記憶されている変形パターン記憶手段と、歪み検出手段によって検出された歪み分布と、変形パターン記憶手段から読み出した変形パターンの歪み分布とを比較して、フォトマスク７１の変形パターンを推定し、推定した変形パターン、及び、歪み検出手段によって検出された歪み量に基づいて、フォトマスク７１の変形を打ち消す補正量を算出し、当該補正量に対応する電圧を補正手段に対して出力する制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板載置装置を用いて基板を位置決め状態で載置する基板載置方法を提供する。
【解決手段】リフトピン８を上昇させるとともに、基板除給材部２０を駆動させて基板１７を作業開始位置に向けて搬入開始するステップと、基板１７を基板テーブル６の作業開始位置の直上に位置させて基板１７の搬入を完了させ、基板保持アーム２１を下降させて基板１７をリフトピン８上に載置するステップと、基板保持アーム２１の後退を開始するとともに第１のカメラ７５ａにより基板１７の位置を検出し第１補正量を計算するステップと、リフトピン８を下降させるとともに、第１補正量に基づき基板１７の位置を補正する第１位置補正ステップと、基板テーブル６に基板１７を吸着するステップと、第２のカメラ７５ｂにより基板１７の位置を検出し第２補正量を計算するステップと、第２補正量に基づき基板１７の位置を補正する第２位置補正ステップと、を含む基板載置方法。 （もっと読む）

【課題】電気的検査と光学像による観察とを行うＴＦＴ液晶基板検査において、装置構成を小型化し、基板アレイ検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴ液晶基板検査装置は、検査チャンバーから電気的検査によって欠陥位置を取得したＴＦＴ液晶基板を、検査チャンバーから基板交換チャンバーに搬出する際に、ＴＦＴ液晶基板上の欠陥位置に撮像装置を移動させて光学像を取得する構成とすることによって、光学像を取得的するために要するスペースを不要として装置構成を小型化すると共に、ＴＦＴ液晶基板の搬出と同時に光学像を取得することによって、光学像のみを取得するための時間を不要としてＴＦＴ液晶基板検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイ検査装置において、基板内で絶縁破壊（ＥＳＤ）を生じさせることなく、基板に帯電した電荷を放電する。
【解決手段】プローバーを基板に配置し、プローバーを介して検査信号を基板に供給し、基板上に形成されたＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、ＴＦＴアレイ検査時にプローバーを基板に配置した際に、基板をプローバーを介して接地された高抵抗の放電用抵抗に接続することによって、基板に帯電する電荷をプローバーおよび放電用抵抗を介して放電させる。基板に帯電する電荷を、基板からプローバーを介して放電用抵抗に導くことによって、ＴＦＴアレイ検査装置内において格別な機構を設けることなく基板に帯電する電荷を放電することができる。 （もっと読む）

【課題】表示装置に３Ｄパネルやタッチパネルを組み立てるために、簡単な構成で高精度の組立を行うと共に、生産効率の向上を図った組立装置を提供する。
【解決手段】３Ｄパネル又はタッチパネルと表示パネルとを貼合せるために、仮貼合室３で上下基板を上テーブルと下テーブルに保持して、上下基板の位置合わせと、凹凸のある加圧面のある上下テーブルで所定の加圧力での仮貼合せを行い、本貼合室７で、仮貼合された基板を搬送フィルム上に搭載して搬送し、搬送用フィルムに載置した状態で仮貼合された基板を加熱すると共に、仮貼合室で加えた加圧力の約８倍の加圧力で本貼合せを行う構成とした。 （もっと読む）

【課題】撮像装置とキャリブレーションマークとの位置関係に係わらず、撮像装置をキャリブレーションするに十分な、キャリブレーションマークの撮像画像を取得する。
【解決手段】単一のキャリブレーションマークを複数回撮像することによって、複数の基準マークが配置されたキャリブレーションを撮像したときと同様の画像マークを取得し、この画像マークに基づいて撮像装置について中心位置、取り付け角度、分解能等のキャリブレーションを行う。単一のキャリブレーションマークを異なる撮像位置で複数回撮像して画像マークを取得する撮像工程と、複数回の撮像で取得したキャリブレーションマークの各画像マークを用いて、複数個の画像マークを有した撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、撮像画像の画像マークの位置と撮像画像上の基準位置とに基づいて、撮像装置のキャリブレーション情報を算出するキャリブレーション情報算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】レンチキュラレンズ・シートのように表面に凹凸のある光学シートを、曲率ヘッドを用いて前記光学シートを前記基板に貼り合わせる際に、前記光学シート保持面の粘着力により、当該光学シート保持面の終端部の上昇に伴って前記基板が持ち上げられるのを防止する。
【解決手段】曲率ヘッド２０の光学シート保持面に、光学シートを保持できる粘着力を持つ第１領域３０ａと、それよりも弱い粘着力を持つ第２領域３０ｂを持つ粘着シート３０を装着する。粘着シート３０の第１領域３０ａに、光学シート１０の表面を粘着させて保持（仮固定）してから、光学シート１０の裏面全体を基板５０に粘着させる。その後、曲率ヘッド２０をさらに転動させて前記光学シート保持面から光学シート１０を離隔する工程で、前記光学シート保持面に装着された粘着シート３０の第２領域３０ｂが、基板５０に対向せしめられる。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤモジュール組立装置において、表示パネル基板の搭載部材にＡＣＦを貼り付ける際に、気泡の発生を抑制し、ＡＣＦの接着特性を改善する。
【解決手段】テープ上に形成された搭載部材を打ち抜いて、ＡＣＦにより表示パネル基板の周縁部に搭載して、ＦＰＤモジュールを製造するＦＰＤモジュール組立装置で、仮圧着工程において、上刃と下刃とで挟み込み、加熱・加圧することにより、搭載部材にＡＣＦを貼り付ける際に、上刃の搭載部材に接する面に、例えば、シリコンゴムなどの弾性体からなる保護材を、下刃のＡＣＦの下面に接する面に同じくシリコンゴムなどの弾性体からなる緩衝材を設ける。上刃の保護材、下刃の緩衝材は、例えば、それぞれにはめ込まれたＴ型パッドとして形成する。 （もっと読む）

【課題】支え部材によってＰＣＢ及び搭載部材を傷つけないようにすることができるＰＣＢ接続装置及びＦＰＤモジュール組立装置を提供する。
【解決手段】ＰＣＢ接続装置７０は、基板保持部９４と、本圧着部７６と、ＰＣＢ支持部９５とを備える。基板保持部９４は表示基板１０１を保持し、本圧着部７６は基板保持部９４に保持された表示基板１０１に搭載されている搭載部材１０２にＰＣＢ１０３を接続する。ＰＣＢ支持部９５は、基板保持部９４に設けられており、搭載部材１０２に接続されたＰＣＢ１０３を支える支え部材９７と、支え部材を移動させる移動機構９８とを有する。そして、移動機構９８は、支え部材９７がＰＣＢ１０３の下面に当接する支持位置と、支持位置の下方に設けられた待機位置との間で支え部材９７を移動させる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の均一な洗浄が行え、かつダメージを低減できる超音波洗浄装置を実現すること。
【解決手段】超音波洗浄装置は、被洗浄物８を洗浄液７で浸した洗浄槽２と、前記洗浄槽２の底面に配置され、前記洗浄液７を振動させる複数の超音波振動素子３０２と、前記素子毎の共振周波数を記憶するメモリ部４０９と、発振周波数を切り替え可能な発振部４０２と、前記素子３０２をランダムに切り替えて、前記メモリ部４０９に記憶された素子毎の共振周波数に基づいて前記発振部４０２を制御し、前記素子に高周波電力を供給する制御部４０１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 基板の搬送速度を変更した場合においても、基板を均一に処理することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板１００を水平方向に搬送する搬送ローラ９と、処理液吐出口２１が形成され、この処理液吐出口２１とガラス基板１００の表面との間が処理液の液膜により液密状態となる位置に配置された処理液吐出ノズル２と、処理液保持面３１を備え、処理液吐出口２１と処理液保持面３１との間に処理液の液溜まりを形成可能となる位置に配置された液溜まり保持部材３と、ガラス基板１００の表面に供給された処理液がガラス基板１００の搬送方向に対して上流側に流出することを防止するためのエアナイフ５と、ガラス基板１００の裏面に洗浄液を供給する一対の裏面洗浄部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルをワーク搬送機構のアームとワークステージ間で受け渡す際、液晶パネルがピンからずり落ち液晶パネルに異常な負荷が加わるのを防止すること。
【解決手段】液晶パネルが、ワーク搬送機構により搬入されピン１Ａ，１Ｂに受け渡される。ワークステージ駆動機構３によりワークステージ２が上昇し、液晶パネルはワークステージ２に受け渡される。プローブＰＢから液晶パネル２０に電圧が印加されるとともに、光源部１０から紫外線が照射され液晶パネルの処理が行われる。処理が終わると、ワークステージ２が下降し、液晶パネルをピン１Ａ，１Ｂに受け渡し、ワーク搬送機構に保持されて搬出される。ワークステージ２が移動して液晶パネルを受け渡すので、振動等により液晶パネルがピン１Ａ，１Ｂからずり落ちるのを防ぐことができる。また、ピン１Ｂは板状に形成されており曲がりにくく、液晶パネルがずり落ちるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】治具を使用することなくガラス基板に対して化学研磨処理を施すことが可能な枚葉式の化学研磨装置を提供する。
【解決手段】化学研磨装置１０は、搬送部および研磨処理部を少なくとも備える。搬送部は、ガラス基板１００の底面を支持しつつ水平方向に搬送するように構成された複数の搬送ローラ５０を備える。研磨処理部は、第１〜第４の処理チャンバ１６，１８，２０，２２、第１〜３の中継部２８，３０，３２を備える。第１〜第４の処理チャンバ１６，１８，２０，２２は、それぞれがガラス基板に対して同一組成の化学研磨液を噴射するように構成される。第１〜３の中継部２８，３０，３２は、各処理チャンバを連結するように構成される。第１〜第４の処理チャンバ１６，１８，２０，２２のそれぞれは、ガラス基板１００の搬送方向に直交する方向に揺動可能な噴射ノズルを有する。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理における異物の発生を防止する。
【解決手段】配向層となる高分子膜が層設されていない長尺のポリマーフィルム３２を搬送し、このポリマーフィルム３２の一方のフィルム面３２ａをラビングローラ３５により擦ってラビング処理を行う。ラビングローラ３５は、周面が金属からなる。ラビングローラは、ローラ本体３５ｂと、このローラ本体３５ｂの断面円形の中心に設けられた回転軸３５ａとを備える。ローラ本体３５ｂの周面には、回転軸３５ａの長手方向に沿って山部６１と谷部６２とが交互に形成されている。山部６１と谷部６２とは、それぞれ略周方向に延びている。山部６１のピッチＰｍは１０μｍ以上５００μｍ以下の範囲である。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルに偏光フィルムを容易に且つ高精度で貼付できる偏光フィルムの貼付方法を提供する。
【解決手段】光源５の前に、液晶パネル１０の裏面用の第２の偏光フィルム４と表面用の第１の偏光フィルム３とを向かい合わせて配置し、光源５から出射した照明光を２枚の偏光フィルム４，３に透過させる。そして、一方の偏光フィルム４を固定し、他方の偏光フィルム３を回転させて、透過光の光量を測定し、光量が最大又は最小となった時点で他方の偏光フィルム３の回転を停止させ、両偏光フィルム３，４に位置合わせ用のマーク３ａ，４ａを形成する。そして、このマークを指標として、第１の偏光フィルム３及び第２の偏光フィルム４を夫々液晶パネル１０に貼付するので、偏光フィルム３，４相互間で偏光軸の向きが精度よく調節され、偏光フィルムの貼り合わせも容易である。 （もっと読む）

【課題】基板がエアー洗浄部に接触することにより損傷を受けることを防止可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】上側エアー洗浄部５は、搬送路の途中に設けられた洗浄領域４の上方に配置され、基板２の上面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。下側エアー洗浄部は、搬送路の下方において上側エアー洗浄部５と対向する位置に配置され、基板２の下面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。上側エアー洗浄部５および下側エアー洗浄部は、端辺３が伸びる方向に対して基板２上において交差するようにカーテン状にエアーを噴き付ける。洗浄領域４には基板案内部１３が配置され、下側エアー洗浄部によるエアーの吸入によって基板２が下側エアー洗浄部に接触することを、基板案内部１３が基板２の下面を支持することによって防止する。 （もっと読む）