基板載置方法
【課題】基板載置装置を用いて基板を位置決め状態で載置する基板載置方法を提供する。
【解決手段】リフトピン８を上昇させるとともに、基板除給材部２０を駆動させて基板１７を作業開始位置に向けて搬入開始するステップと、基板１７を基板テーブル６の作業開始位置の直上に位置させて基板１７の搬入を完了させ、基板保持アーム２１を下降させて基板１７をリフトピン８上に載置するステップと、基板保持アーム２１の後退を開始するとともに第１のカメラ７５ａにより基板１７の位置を検出し第１補正量を計算するステップと、リフトピン８を下降させるとともに、第１補正量に基づき基板１７の位置を補正する第１位置補正ステップと、基板テーブル６に基板１７を吸着するステップと、第２のカメラ７５ｂにより基板１７の位置を検出し第２補正量を計算するステップと、第２補正量に基づき基板１７の位置を補正する第２位置補正ステップと、を含む基板載置方法。
【解決手段】リフトピン８を上昇させるとともに、基板除給材部２０を駆動させて基板１７を作業開始位置に向けて搬入開始するステップと、基板１７を基板テーブル６の作業開始位置の直上に位置させて基板１７の搬入を完了させ、基板保持アーム２１を下降させて基板１７をリフトピン８上に載置するステップと、基板保持アーム２１の後退を開始するとともに第１のカメラ７５ａにより基板１７の位置を検出し第１補正量を計算するステップと、リフトピン８を下降させるとともに、第１補正量に基づき基板１７の位置を補正する第１位置補正ステップと、基板テーブル６に基板１７を吸着するステップと、第２のカメラ７５ｂにより基板１７の位置を検出し第２補正量を計算するステップと、第２補正量に基づき基板１７の位置を補正する第２位置補正ステップと、を含む基板載置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板載置装置を用いて基板を位置決め状態で載置する基板載置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のリフトピンに支持された状態の基板を、リフトピンを下降させることにより基板テーブルに位置決め状態で載置する基板載置装置を用いた基板載置方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の基板載置方法で用いられる基板載置装置は、基板が載置される載置面を有する基板テーブルと、載置面から出没自在に設けられた複数のリフトピンと、を有する基板載置部と、基板を保持する基板保持部を有し、基板の基板載置面への搬入や搬出をおこなう基板除給材部と、基板の位置を検出する基板位置検出部と、を有している。
この基板載置装置を用いた基板載置方法では、リフトピンを上昇させ、基板除給材部を駆動させて基板保持部に保持した基板を作業開始位置に向けて搬入を開始し、基板を作業開始位置の直上に位置させて基板の搬入を完了させてから、基板保持部を下降させて基板をリフトピン上に載置し、基板保持部を後退させ、位置検出手段により基板の位置を検出し、検出した基板の位置と、所望の作業開始位置との差を補正し得る補正量を計算し、その補正量に基づき基板の位置を補正し、リフトピンを下降させて基板を基板テーブルに載置して吸着固定して、基板載置工程を終了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３３３１０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載された基板載置装置を用いた基板載置方法では、基板載置装置の基板除給材部、リフトピン昇降機や基板位置検出部などを含む基板載置部などの各部の複数の動作を含んでいるので、各動作の待ち時間が発生し、タクトタイムが延びてしまうという問題があった。
また、一回の基板位置補正を行なった後に、その基板をリフトピン上に載置し、それからリフトピンを下降させて基板テーブル上に保持する構成となっているので、基板除給材部による作業開始位置への基板の載置作業の機械的な誤差に起因する基板位置ずれ量が大きい場合に位置補正動作エラーが起こり得たり、また、リフトピン下降から基板テーブル保持の間に位置がずれる可能性があったりするなど、位置補正時間が延びたり、基板載置位置の位置精度が劣化する虞があるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る基板載置方法は、基板が載置される載置面を有する基板テーブルと、前記載置面から出没自在に設けられ、前記載置面よりも突出した状態で前記基板を支持し、前記基板テーブル内に退避した状態で前記基板を前記載置面の作業開始位置に載置させる複数のリフトピンと、全ての前記リフトピンを昇降させるリフトピン昇降機と、を有する基板載置部と、前記基板を保持する基板保持部を有し、前記基板の前記載置面への搬入、および、前記載置面からの搬出をおこなう基板除給材部と、前記作業開始位置に載置した前記基板の位置を検出する基板位置検出部と、を有する基板載置装置を用いて、前記基板を前記作業開始位置に位置決め状態で載置する基板載置方法であって、前記リフトピンを上昇させるとともに、前記基板除給材部を駆動させて前記基板保持部に保持した前記基板を作業開始位置に向けて搬入開始するステップと、前記基板保持部に保持した前記基板を前記載置面の前記作業開始位置の直上に位置させて前記基板の搬入を完了させてから、前記基板保持部を下降させて前記基板を前記リフトピン上に載置するステップと、前記基板保持部の後退を開始するとともに、前記基板位置検出部により前記基板の水平方向の位置を検出し、検出された前記基板の位置と、所望の前記作業開始位置との差を補正し得る第１補正量を計算するステップと、前記リフトピンを下降させるとともに、前記第１補正量に基づき前記基板の位置を補正する第１位置補正ステップと、前記基板テーブルに前記基板を吸着するステップと、前記基板位置検出部により前記基板テーブルに吸着された前記基板の水平方向の位置を検出し、検出した前記基板の位置と、所望の前記作業開始位置との差を補正し得る第２補正量を計算するステップと、前記第２補正量に基づき前記基板の位置を補正する第２位置補正ステップと、を含むことを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、基板載置方法の各ステップにおける基板載置装置の各部の動作において、第１位置補正と第２位置補正とによる基板の位置補正に支障が及ばないようにしながら、同時に実行可能な動作を並行して実行する構成としている。即ち、載置面への基板の搬入において、リフトピン上昇と、基板保持部に保持された基板の作業開始位置への搬入とを同時に実行する。また、リフトピン上に基板を載置後の基板保持部の基板待機位置近傍への後退と、基板位置検出部による第１の基板位置情報取得とを同時に実行している。
これにより、基板載置装置を用いた基板載置方法のタクトタイムを短縮することができる。
また、本適用例によれば、リフトピン上に保持された状態の基板位置を検出して第１補正量を計算して第１位置補正を行なった後で、リフトピンを下降させて基板を基板テーブル上に載置した状態で基板位置を検出して第２補正量を計算し、第２位置補正を行なう構成となっている。したがって、第１位置補正により、基板除給材部による作業開始位置への基板の載置作業の機械的な誤差に起因する基板位置ずれを補正してから、載置面に載置された状態の基板の位置を補正する第２位置補正を行なう構成としている。
これにより、一回の基板位置補正を行なった場合に、位置ずれ量が大きいときに起こり得る位置補正動作エラーを回避できるとともに、第２位置補正の時間が短縮するなど、効率的で位置精度の高い基板載置が可能な基板載置方法を提供することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に係る基板載置方法において、前記基板位置検出部がカメラであって、前記第１補正量を計算するための基板位置の検出には、所定の倍率を有する第１のカメラが用いられ、前記第２補正量を計算するための基板位置の検出には、前記第１のカメラよりも高倍率を有する第２のカメラを用いることを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、第１位置補正により、基板除給材部による作業開始位置への基板の載置作業の機械的な誤差に起因する基板位置ずれを補正してから、高倍率の第２のカメラ用いた第２位置補正を行なう。
これにより、一回の基板位置補正のみの場合に、位置ずれ量が大きいときに起こり得る位置補正動作エラーを回避することができるので、結果としてアライメントの時間が短縮するなど、効率的で位置精度の高い基板載置を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】基板載置装置の概略構成を模式的に示す斜視図。
【図２】基板載置装置の基板載置部の概略構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側断面図。
【図３】基板吸着機構の詳細図。
【図４】基板載置部の電気的構成を示すブロック図。
【図５】基板載置装置による基板載置方法を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の各図においては、各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各部材の尺度を実際とは異ならせている。
【００１３】
（基板載置装置）
まず、基板載置装置の構成について説明する。図１は、本実施形態に係る基板載置装置の概略構成を模式的に示す斜視図である。また、図２は、基板載置部の要部の構成を示し、図２（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、側断面図である。なお、図２（ｂ）では、基板載置部の下方部分の図示を省略している。
図１に示すように、基板載置装置１は、基板１７を載置する基板テーブル６を備えた基板載置部７と、基板載置部７上に配置され第１のカメラ７５ａおよび第２のカメラ７５ｂを含む基板位置検出部としてのカメラ部７５と、基板保持アーム２１を備えた基板除給材部２０と、を有している。
【００１４】
基板載置部７は、ベース３と、ベース３上に載置されたＸＹθテーブル１５０と、を有している。ＸＹθテーブル１５０は、ベース３と、ベース３上に載置されたＹ軸テーブル４、Ｘ軸テーブル５、および、θテーブルとしての基板テーブル６を有している。
さらに詳述すると、基板載置部７において、ベース３上には、Ｙ軸リニアモーター（例えば可動コイル型リニアモーター）３５と、Ｙ軸リニアモーター３５の両側に並行させて載置された下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６，３６が配置されている。Ｙ軸リニアモーター３５は、Ｙ軸方向に移動自在に走行しＹ軸リニアモーター３５の可動子としてのＹ軸テーブル４との接続に供する三相コイルとしてのＹ軸可動子接続部（不図示）を有している。
ベース３上に配置されるＹ軸テーブル４のベース３と対向する底面側には、ベース３の下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６，３６に対応する上側Ｙ軸リニアモーターガイド４４，４４が設けられている。本実施形態では、下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６，３６が断面矩形状のレールであるのに対して、上側Ｙ軸リニアモーターガイド４４，４４は下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６を嵌め込み可能な凹部を有する断面コの字形状のレールとなっている。
また、Ｙ軸テーブル４の底面側には、ベース３の上記Ｙ軸可動子接続部が連結・固定される取付け部（不図示）が設けられている。この取付け部にＹ軸可動子接続部が連結・固定され、且つ、下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６，３６に対して上側Ｙ軸リニアモーターガイド４４，４４がＹ軸方向に移動自在な状態で嵌め合わせられる。これにより、Ｙ軸リニアモーター３５を駆動させることによって、Ｙ軸テーブル４はベース３に対してＹ軸方向の走査が可能になっている。
【００１５】
また、Ｙ軸テーブル４上には、Ｘ軸リニアモーター（例えば可動コイル型リニアモーター）４５と、Ｘ軸リニアモーター４５の両側に並行させて載置された下側Ｘ軸リニアモーターガイド４６，４６が配置されている。Ｘ軸リニアモーター４５は、Ｘ軸方向に移動自在に走行しＸ軸リニアモーター４５の可動子としてのＸ軸テーブル５との接続に供する三相コイルとしてのＸ軸可動子接続部（不図示）を有している。
Ｙ軸テーブル４上に配置されるＸ軸テーブル５のＹ軸テーブル４と対向する底面側には、Ｙ軸テーブル４の断面矩形状の下側Ｘ軸リニアモーターガイド４６，４６に対応する断面コの字状の上側Ｘ軸リニアモーターガイド５４，５４が設けられている。
また、Ｘ軸テーブル５の底面側には、Ｙ軸テーブル４の上記Ｙ軸可動子接続部が連結・固定される取付け部（不図示）が設けられ、この取付け部にＹ軸可動子接続部が連結・固定され、且つ、下側Ｘ軸リニアモーターガイド４６，４６に対して上側Ｘ軸リニアモーターガイド５４，５４がＸ軸方向に移動自在な状態で嵌め合わせられる。これにより、Ｘ軸リニアモーター４５を駆動させることによって、Ｘ軸テーブル５はベース３に対してＸ軸方向の走査が可能になっている。
【００１６】
また、図２（ｂ）に示すように、Ｘ軸テーブル５上の中央にはθ軸１５が配置され、そのθ軸１５上に基板テーブル（θテーブル）６が設置されている。θ軸１５には、図示しないθ軸回転式モーターが接続され、そのθ軸回転式モーターを駆動させることにより基板テーブル６をθ軸１５を中心に回転させることができる。
以上、説明した構成のＸＹθテーブル１５０により、基板テーブル６に載置された基板１７の位置をアライメントカメラ（図示せず）等の情報をもとに補正することができる。
【００１７】
ここで、基板載置装置１の要部としての基板載置部７の基板テーブル６の周辺部分の構成について詳細に説明する。
図２において、基板載置部７の基板テーブル６には複数の貫通穴９が形成されている。本実施形態における貫通穴９は、円柱形状の穴を有している。また、各貫通穴９を通じるリフトピン８が配置されている。本実施形態におけるリフトピン８は円柱形状を有している。そして、貫通穴９とリフトピン８の間に間隙４０が形成されている。
各リフトピン８は、リフトピン昇降部１８に接続されている。リフトピン昇降部１８には、図示しない第２モーターが接続されており、当該第２モーターを駆動させることにより、リフトピン昇降部１８が昇降移動する。そして、リフトピン昇降部１８の昇降移動に伴い、リフトピン８が昇降移動するように構成されている。
【００１８】
また、基板載置部７は、基板テーブル６の載置面６ａで基板１７を吸着させる基板吸着部１０を備えている。図３は、基板吸着機構の詳細図である。図３に示すように、基板吸着部１０は、基板テーブル６の載置面６ａに形成された吸着溝１０ａと、基板テーブル６を貫通する吸着穴１０ｂと、吸着穴１０ｂに接続された真空発生機器１０ｃ等で構成されている。そして、真空発生機器１０ｃを駆動させることにより、吸着溝１０ａおよび吸着穴１０ｂから空気が吸引され、基板１７が基板テーブル６の載置面６ａに載置された状態で、基板１７を載置面６ａに固定することができる。また、図３に示すように、吸着溝１０ａの溝幅Ｇ１、溝深さＧ２、および、吸着穴１０ｂの穴径Ｈ１をバランスよく調整することにより、基板１７が薄い場合でも基板１７の変形を抑えながら、十分な吸引圧力にて基板１７を載置面６ａ上に載置し、正確な位置に機能駅を塗布させることができる。
【００１９】
図１に戻り、基板載置部７上には、第１のカメラ７５ａ、および、第２のカメラ７５ｂを含むカメラ部７５が配置されている。カメラ部７５は、基板載置部７の基板テーブル６上の基板１７の位置を画像として検出するものである。第１のカメラ７５ａと第２のカメラ７５ｂとは、カメラの解像度と焦点の位置とが異なる。本実施形態では、第１のカメラ７５ａは、リフトピン８上に載置された基板１７の表面（上面）に焦点が合わされており、後述する粗アライメントを行なうステップでの画像取り込みに用いられる。また、第２のカメラ７５ｂは、第１のカメラ７５ａよりも高倍率のレンズを有し、基板テーブル６上に載置された基板１７の表面に焦点が合わされており、後述する精密アライメントを行なうステップでの画像取り込みに用いられる。
【００２０】
また、図１において、基板載置装置１の基板除給材部２０は、図示を省略したＸＹＺ軸ロボットから水平方向に延びて、ＸＹＺ軸方向に制御して移動自在に設置された基板保持部としての基板保持アーム２１を備えている。基板保持アーム２１には図示しない吸着手段が備えられ、その吸着手段により基板保持アーム２１上に基板１７を吸着させて水平に保持することができる。基板除給材部２０は、図示しない基板待機位置にセットされた基板１７を、基板保持アーム２１を用いてＸＹθテーブル１５０の基板テーブル６上に基板１７を移載する給材を行なったり、基板テーブル６上の作業済みの基板１７を基板保持アーム２１を用いて前記基板待機位置に移動させる除材を行なう。
【００２１】
次に、基板載置部７の電気的構成について概略を説明する。図４は、基板載置部７の電気的構成を示すブロック図である。基板載置部７は、制御部５０を備えている。制御部５０は、リフトピン昇降部１８に接続された第２モーター部、ＸＹθテーブル１５０の駆動系（Ｙ軸リニアモーター３５、Ｘ軸リニアモーター４５、θ軸１５）に接続された第１モーター部、および基板吸着部１０に接続された真空発生機器（第２ポンプ）１０ｃのそれぞれの駆動を制御する。制御部５０は、ＣＰＵ５０ａやメモリー５０ｂ等を備え、例えば、メモリー５０ｂに格納された動作プログラムに基づいて、ＣＰＵ５０ａが各種演算を行い、各部材に駆動信号を送信し、各部材を駆動させる。
【００２２】
（基板載置方法）
次に、基板載置装置１を用いた基板載置方法について図面に沿って説明する。図５は、基板載置装置１を用いた基板載置方法を示すフローチャート（一部）である。
【００２３】
まず、図５のステップＳ１に示すように、リフトピン８を上昇させるとともに、基板除給材部２０を駆動させて基板保持アーム２１に保持させた基板１７を、基板載置部７の基板テーブル６に向けて搬入開始する。リフトピン８上昇について詳述すると、リフトピン昇降部１８に接続された第２モーター部を駆動させ、リフトピン昇降部１８を所定位置まで上昇させる。これにより、リフトピン昇降部１８に接続されているリフトピン８が所定の位置まで上昇する。
【００２４】
次に、ステップＳ２に示すように、基板保持アーム２１上の基板１７が基板テーブル６の作業開始位置の直上の位置まで移動させて基板保持アーム２１の搬入を完了させ、その後、基板保持アーム２１を下降させて基板１７をリフトピン８の頂部に載せる。これにより、リフトピン８上において、基板１７は、基板テーブル６の載置面６ａの作業開始位置と平面視で重なる位置に保持される。
【００２５】
次に、ステップＳ３に示すように、リフトピン８の先端位置よりも下方に下降させた基板保持アーム２１を上記基板待機位置の近傍に後退させるとともに、リフトピン８上に載置された基板１７の上面に焦点が合わされたカメラ部７５の第１のカメラ７５ａにより、基板１７に設けられたアライメント用の基準マークの位置を画像として取得し（第１の基板位置情報取得）、取得した基板の位置と、基板１７の所望の作業開始位置との差を検出して、その差を補正し得る第１補正量の計算を行なう。この第１補正量の計算の結果から、基板１７の位置の補正が必要であるか否かについて判定する（ステップＳ４）。即ち、基板１７の位置が所望の作業開始位置に対して許容範囲から外れた場合は第１位置補正が必要であり、許容範囲内であれば第１位置補正はする必要がないと判断できる。
【００２６】
ステップＳ４で第１位置補正が必要であると判断された場合（ステップＳ４でＹＥＳ）、次に、ステップＳ５−１に示すように、リフトピン８を降下させながら、ステップＳ３で算出した第１補正量に基づいて基板１７の位置を所望の作業開始位置に補正する第１位置補正としての粗アライメントを行なう。
具体的には、リフトピン昇降部１８に接続された第２モーター部を駆動させ、リフトピン昇降部１８を所定位置まで降下させる。これにより、リフトピン昇降部１８に接続されているリフトピン８が基板１７とともに所定の位置まで降下する。
リフトピン８を降下させながら、上記第１補正量に基づいて第１部を駆動させ、ＸＹθテーブルの駆動系（Ｙ軸リニアモーター３５、Ｘ軸リニアモーター４５、θ軸１５）を操作して基板１７の位置ずれを補正する粗アライメントを行なう。
また、ステップＳ４で第１位置補正の必要がないと判断された場合（ステップＳ４でＮＯ）には、ステップＳ５−２に示すように、リフトピン８の下降のみを行なう。
【００２７】
次に、ステップＳ６に示すように、基板吸着部１０の真空発生機器１０ｃを作動させて基板テーブル６に基板１７を吸着させることにより、基板１７を基板テーブル６の載置面６ａ（作業開始位置）に保持する。
【００２８】
次に、ステップＳ７に示すように、基板テーブル６上に真空吸着により保持された基板１７の上面に焦点が合わされたカメラ部７５の第２のカメラ７５ｂにより、基板１７に設けられたアライメント用の基準マークの位置を画像として取得し（第２の基板位置情報取得）、取得した基板の位置と、基板１７の所望の作業開始位置との差を検出して、その差を補正し得る第２補正量の計算を行なう。ここで、第２のカメラ７５ｂは、上記第１補正量の算出の際に用いた第１のカメラ７５ａよりも高い倍率を有したレンズが用いられているので、第１補正量の算出の際よりも精緻な基板位置検出をすることができる。
この第２補正量の計算の結果から、基板１７の位置の補正が必要であるか否かについて判定する（ステップＳ８）。
【００２９】
ステップＳ８で第２位置補正が必要であると判断された場合（ステップＳ８でＹＥＳ）、次に、ステップＳ９に示すように、ステップＳ７で算出した第２補正量に基づいて基板１７の位置を所望の作業開始位置に補正する第２位置補正としての精密アライメントを行なう。具体的には、上記第２補正量に基づいて第１モーター部を駆動させ、ＸＹθテーブル１５０の駆動系（Ｙ軸リニアモーター３５、Ｘ軸リニアモーター４５、θ軸１５）を操作して基板１７の位置ずれを補正する精密アライメントを行なう。
なお、ステップＳ８で第２位置補正の必要がないと判断された場合（ステップＳ８でＮＯ）には、基板載置装置１による基板載置方法を終了する。
【００３０】
以上の工程を経て、基板載置装置１を用いた一連の基板載置方法を終了する。
その後、基板１７に対して所定の作業が実施される。
所定の作業が終了後に基板１７を除材する場合には、まず、基板吸着部１０の真空発生機器１０ｃの作動を停止させ、リフトピン昇降部１８に接続された第２モーター部を駆動させ、リフトピン昇降部１８を駆動させ、リフトピン昇降部１８を所定位置まで上昇させる。これにより、基板１７とともにリフトピン８が所定位置まで上昇する。そして、基板除給材部２０を駆動させて基板保持アーム２１を基板１７の下方まで進入させた後に、基板保持アーム２１を上昇させて基板１７を基板保持アーム２１に保持させ、基板１７を保持した基板保持アーム２１を上記基板待機位置の近傍に後退させ、基板載置部７から基板１７を除材させる。
【００３１】
上記実施形態の基板載置方法によれば、各ステップにおける基板載置装置１の各部の動作において、第１位置補正としての粗アライメントと第２位置補正としての精密アライメントによる基板１７の位置補正に支障が及ばないことを考慮しながら、同時に実行可能な動作を並行して実行する構成としている。即ち、ステップＳ１では、リフトピン８上昇と、基板保持アーム２１に保持された基板１７の作業開始位置への搬入とを同時に実行している。また、ステップＳ３では、リフトピン８上に基板１７を載置後の基板保持アーム２１の基板待機位置近傍への後退と、第１のカメラ７５ａによる第１の基板位置情報取得とを同時に実行している。
これにより、基板載置装置１による基板載置方法（基板載置工程）のタクトタイムの短縮を図ることができる。
【００３２】
また、上記実施形態では、第１位置補正としての粗アライメントにより、基板除給材部２０による作業開始位置への基板１７の載置作業の機械的な誤差に起因する基板１７位置ずれを補正してから、高倍率の第２のカメラ７５ｂを用いた第２位置補正としての精密アライメントを行なう構成としている。
これにより、粗アライメントをせずに一回の基板位置補正（精密アライメント）を行なう場合に、位置ずれ量が大きいときに起こり得る位置補正動作エラーを回避できるとともに、精密アライメントの時間が短縮するなど、効率的で位置精度の高い基板載置を行なうことができる。
【００３３】
以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。
【００３４】
例えば、上記実施形態の基板載置装置１では、ＸＹθテーブル１５０を備えた基板載置部７を含む構成とした。
これに限らず、基板載置装置１により所定の位置に載置した基板１７に所定の作業を行なう作業部が有する構成によっては、Ｚ軸テーブルを加えた構成の基板載置部が必要になる場合もあり、また、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、およびθ軸の、いずれか一つ、いずれか二つ、あるいはいずれか三つの場合もある。
なお、上記実施形態の基板載置方法において、ステップＳ５−１の粗アライメント、および、ステップＳ９の精密アライメントでは、ＸＹθテーブル１５０を駆動させて基板位置の補正を行なう構成を説明したが、上記したように、基板載置部の種々構成への変更により、アライメントのために駆動させるモーター軸等は変更される。
【００３５】
また、基板載置装置１の基板除給材部２０の構成についても、上記実施形態に限らず、基板１７を基板載置部７の作業開始位置に移載可能な構成であればよい。
また、基板位置検出部としてのカメラ部７５の構成、即ち、カメラ仕様、および、その数や配置についても、上記実施形態の構成には限らず、所望の基板位置精度に応じて適宜に変更してもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１…基板載置装置、３…ベース、４…Ｙ軸テーブル、５…Ｘ軸テーブル、６…基板テーブル、６ａ…載置面、７…基板載置部、８…リフトピン、９…貫通穴、１０…基板吸着部、１０ａ…吸着溝、１０ｂ…吸着穴、１０ｃ…真空発生機器（第２ポンプ）、１５…θ軸、１７…基板、１８…リフトピン昇降部、２０…基板除給材部、２１…基板保持部としての基板保持アーム、３５…Ｙ軸リニアモーター、３６…下側Ｙ軸リニアモーターガイド、４４…上側Ｙ軸リニアモーターガイド、４５…Ｘ軸リニアモーター、４６…下側Ｘ軸リニアモーターガイド、５０…制御部、５０ａ…ＣＰＵ、５０ｂ…メモリー、５４…上側Ｘ軸リニアモーターガイド、７５…基板位置検出部としてのカメラ部、７５ａ…第１のカメラ、７５ｂ…第２のカメラ、１５０…ＸＹθテーブル。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板載置装置を用いて基板を位置決め状態で載置する基板載置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のリフトピンに支持された状態の基板を、リフトピンを下降させることにより基板テーブルに位置決め状態で載置する基板載置装置を用いた基板載置方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の基板載置方法で用いられる基板載置装置は、基板が載置される載置面を有する基板テーブルと、載置面から出没自在に設けられた複数のリフトピンと、を有する基板載置部と、基板を保持する基板保持部を有し、基板の基板載置面への搬入や搬出をおこなう基板除給材部と、基板の位置を検出する基板位置検出部と、を有している。
この基板載置装置を用いた基板載置方法では、リフトピンを上昇させ、基板除給材部を駆動させて基板保持部に保持した基板を作業開始位置に向けて搬入を開始し、基板を作業開始位置の直上に位置させて基板の搬入を完了させてから、基板保持部を下降させて基板をリフトピン上に載置し、基板保持部を後退させ、位置検出手段により基板の位置を検出し、検出した基板の位置と、所望の作業開始位置との差を補正し得る補正量を計算し、その補正量に基づき基板の位置を補正し、リフトピンを下降させて基板を基板テーブルに載置して吸着固定して、基板載置工程を終了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３３３１０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載された基板載置装置を用いた基板載置方法では、基板載置装置の基板除給材部、リフトピン昇降機や基板位置検出部などを含む基板載置部などの各部の複数の動作を含んでいるので、各動作の待ち時間が発生し、タクトタイムが延びてしまうという問題があった。
また、一回の基板位置補正を行なった後に、その基板をリフトピン上に載置し、それからリフトピンを下降させて基板テーブル上に保持する構成となっているので、基板除給材部による作業開始位置への基板の載置作業の機械的な誤差に起因する基板位置ずれ量が大きい場合に位置補正動作エラーが起こり得たり、また、リフトピン下降から基板テーブル保持の間に位置がずれる可能性があったりするなど、位置補正時間が延びたり、基板載置位置の位置精度が劣化する虞があるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る基板載置方法は、基板が載置される載置面を有する基板テーブルと、前記載置面から出没自在に設けられ、前記載置面よりも突出した状態で前記基板を支持し、前記基板テーブル内に退避した状態で前記基板を前記載置面の作業開始位置に載置させる複数のリフトピンと、全ての前記リフトピンを昇降させるリフトピン昇降機と、を有する基板載置部と、前記基板を保持する基板保持部を有し、前記基板の前記載置面への搬入、および、前記載置面からの搬出をおこなう基板除給材部と、前記作業開始位置に載置した前記基板の位置を検出する基板位置検出部と、を有する基板載置装置を用いて、前記基板を前記作業開始位置に位置決め状態で載置する基板載置方法であって、前記リフトピンを上昇させるとともに、前記基板除給材部を駆動させて前記基板保持部に保持した前記基板を作業開始位置に向けて搬入開始するステップと、前記基板保持部に保持した前記基板を前記載置面の前記作業開始位置の直上に位置させて前記基板の搬入を完了させてから、前記基板保持部を下降させて前記基板を前記リフトピン上に載置するステップと、前記基板保持部の後退を開始するとともに、前記基板位置検出部により前記基板の水平方向の位置を検出し、検出された前記基板の位置と、所望の前記作業開始位置との差を補正し得る第１補正量を計算するステップと、前記リフトピンを下降させるとともに、前記第１補正量に基づき前記基板の位置を補正する第１位置補正ステップと、前記基板テーブルに前記基板を吸着するステップと、前記基板位置検出部により前記基板テーブルに吸着された前記基板の水平方向の位置を検出し、検出した前記基板の位置と、所望の前記作業開始位置との差を補正し得る第２補正量を計算するステップと、前記第２補正量に基づき前記基板の位置を補正する第２位置補正ステップと、を含むことを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、基板載置方法の各ステップにおける基板載置装置の各部の動作において、第１位置補正と第２位置補正とによる基板の位置補正に支障が及ばないようにしながら、同時に実行可能な動作を並行して実行する構成としている。即ち、載置面への基板の搬入において、リフトピン上昇と、基板保持部に保持された基板の作業開始位置への搬入とを同時に実行する。また、リフトピン上に基板を載置後の基板保持部の基板待機位置近傍への後退と、基板位置検出部による第１の基板位置情報取得とを同時に実行している。
これにより、基板載置装置を用いた基板載置方法のタクトタイムを短縮することができる。
また、本適用例によれば、リフトピン上に保持された状態の基板位置を検出して第１補正量を計算して第１位置補正を行なった後で、リフトピンを下降させて基板を基板テーブル上に載置した状態で基板位置を検出して第２補正量を計算し、第２位置補正を行なう構成となっている。したがって、第１位置補正により、基板除給材部による作業開始位置への基板の載置作業の機械的な誤差に起因する基板位置ずれを補正してから、載置面に載置された状態の基板の位置を補正する第２位置補正を行なう構成としている。
これにより、一回の基板位置補正を行なった場合に、位置ずれ量が大きいときに起こり得る位置補正動作エラーを回避できるとともに、第２位置補正の時間が短縮するなど、効率的で位置精度の高い基板載置が可能な基板載置方法を提供することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に係る基板載置方法において、前記基板位置検出部がカメラであって、前記第１補正量を計算するための基板位置の検出には、所定の倍率を有する第１のカメラが用いられ、前記第２補正量を計算するための基板位置の検出には、前記第１のカメラよりも高倍率を有する第２のカメラを用いることを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、第１位置補正により、基板除給材部による作業開始位置への基板の載置作業の機械的な誤差に起因する基板位置ずれを補正してから、高倍率の第２のカメラ用いた第２位置補正を行なう。
これにより、一回の基板位置補正のみの場合に、位置ずれ量が大きいときに起こり得る位置補正動作エラーを回避することができるので、結果としてアライメントの時間が短縮するなど、効率的で位置精度の高い基板載置を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】基板載置装置の概略構成を模式的に示す斜視図。
【図２】基板載置装置の基板載置部の概略構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側断面図。
【図３】基板吸着機構の詳細図。
【図４】基板載置部の電気的構成を示すブロック図。
【図５】基板載置装置による基板載置方法を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の各図においては、各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各部材の尺度を実際とは異ならせている。
【００１３】
（基板載置装置）
まず、基板載置装置の構成について説明する。図１は、本実施形態に係る基板載置装置の概略構成を模式的に示す斜視図である。また、図２は、基板載置部の要部の構成を示し、図２（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、側断面図である。なお、図２（ｂ）では、基板載置部の下方部分の図示を省略している。
図１に示すように、基板載置装置１は、基板１７を載置する基板テーブル６を備えた基板載置部７と、基板載置部７上に配置され第１のカメラ７５ａおよび第２のカメラ７５ｂを含む基板位置検出部としてのカメラ部７５と、基板保持アーム２１を備えた基板除給材部２０と、を有している。
【００１４】
基板載置部７は、ベース３と、ベース３上に載置されたＸＹθテーブル１５０と、を有している。ＸＹθテーブル１５０は、ベース３と、ベース３上に載置されたＹ軸テーブル４、Ｘ軸テーブル５、および、θテーブルとしての基板テーブル６を有している。
さらに詳述すると、基板載置部７において、ベース３上には、Ｙ軸リニアモーター（例えば可動コイル型リニアモーター）３５と、Ｙ軸リニアモーター３５の両側に並行させて載置された下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６，３６が配置されている。Ｙ軸リニアモーター３５は、Ｙ軸方向に移動自在に走行しＹ軸リニアモーター３５の可動子としてのＹ軸テーブル４との接続に供する三相コイルとしてのＹ軸可動子接続部（不図示）を有している。
ベース３上に配置されるＹ軸テーブル４のベース３と対向する底面側には、ベース３の下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６，３６に対応する上側Ｙ軸リニアモーターガイド４４，４４が設けられている。本実施形態では、下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６，３６が断面矩形状のレールであるのに対して、上側Ｙ軸リニアモーターガイド４４，４４は下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６を嵌め込み可能な凹部を有する断面コの字形状のレールとなっている。
また、Ｙ軸テーブル４の底面側には、ベース３の上記Ｙ軸可動子接続部が連結・固定される取付け部（不図示）が設けられている。この取付け部にＹ軸可動子接続部が連結・固定され、且つ、下側Ｙ軸リニアモーターガイド３６，３６に対して上側Ｙ軸リニアモーターガイド４４，４４がＹ軸方向に移動自在な状態で嵌め合わせられる。これにより、Ｙ軸リニアモーター３５を駆動させることによって、Ｙ軸テーブル４はベース３に対してＹ軸方向の走査が可能になっている。
【００１５】
また、Ｙ軸テーブル４上には、Ｘ軸リニアモーター（例えば可動コイル型リニアモーター）４５と、Ｘ軸リニアモーター４５の両側に並行させて載置された下側Ｘ軸リニアモーターガイド４６，４６が配置されている。Ｘ軸リニアモーター４５は、Ｘ軸方向に移動自在に走行しＸ軸リニアモーター４５の可動子としてのＸ軸テーブル５との接続に供する三相コイルとしてのＸ軸可動子接続部（不図示）を有している。
Ｙ軸テーブル４上に配置されるＸ軸テーブル５のＹ軸テーブル４と対向する底面側には、Ｙ軸テーブル４の断面矩形状の下側Ｘ軸リニアモーターガイド４６，４６に対応する断面コの字状の上側Ｘ軸リニアモーターガイド５４，５４が設けられている。
また、Ｘ軸テーブル５の底面側には、Ｙ軸テーブル４の上記Ｙ軸可動子接続部が連結・固定される取付け部（不図示）が設けられ、この取付け部にＹ軸可動子接続部が連結・固定され、且つ、下側Ｘ軸リニアモーターガイド４６，４６に対して上側Ｘ軸リニアモーターガイド５４，５４がＸ軸方向に移動自在な状態で嵌め合わせられる。これにより、Ｘ軸リニアモーター４５を駆動させることによって、Ｘ軸テーブル５はベース３に対してＸ軸方向の走査が可能になっている。
【００１６】
また、図２（ｂ）に示すように、Ｘ軸テーブル５上の中央にはθ軸１５が配置され、そのθ軸１５上に基板テーブル（θテーブル）６が設置されている。θ軸１５には、図示しないθ軸回転式モーターが接続され、そのθ軸回転式モーターを駆動させることにより基板テーブル６をθ軸１５を中心に回転させることができる。
以上、説明した構成のＸＹθテーブル１５０により、基板テーブル６に載置された基板１７の位置をアライメントカメラ（図示せず）等の情報をもとに補正することができる。
【００１７】
ここで、基板載置装置１の要部としての基板載置部７の基板テーブル６の周辺部分の構成について詳細に説明する。
図２において、基板載置部７の基板テーブル６には複数の貫通穴９が形成されている。本実施形態における貫通穴９は、円柱形状の穴を有している。また、各貫通穴９を通じるリフトピン８が配置されている。本実施形態におけるリフトピン８は円柱形状を有している。そして、貫通穴９とリフトピン８の間に間隙４０が形成されている。
各リフトピン８は、リフトピン昇降部１８に接続されている。リフトピン昇降部１８には、図示しない第２モーターが接続されており、当該第２モーターを駆動させることにより、リフトピン昇降部１８が昇降移動する。そして、リフトピン昇降部１８の昇降移動に伴い、リフトピン８が昇降移動するように構成されている。
【００１８】
また、基板載置部７は、基板テーブル６の載置面６ａで基板１７を吸着させる基板吸着部１０を備えている。図３は、基板吸着機構の詳細図である。図３に示すように、基板吸着部１０は、基板テーブル６の載置面６ａに形成された吸着溝１０ａと、基板テーブル６を貫通する吸着穴１０ｂと、吸着穴１０ｂに接続された真空発生機器１０ｃ等で構成されている。そして、真空発生機器１０ｃを駆動させることにより、吸着溝１０ａおよび吸着穴１０ｂから空気が吸引され、基板１７が基板テーブル６の載置面６ａに載置された状態で、基板１７を載置面６ａに固定することができる。また、図３に示すように、吸着溝１０ａの溝幅Ｇ１、溝深さＧ２、および、吸着穴１０ｂの穴径Ｈ１をバランスよく調整することにより、基板１７が薄い場合でも基板１７の変形を抑えながら、十分な吸引圧力にて基板１７を載置面６ａ上に載置し、正確な位置に機能駅を塗布させることができる。
【００１９】
図１に戻り、基板載置部７上には、第１のカメラ７５ａ、および、第２のカメラ７５ｂを含むカメラ部７５が配置されている。カメラ部７５は、基板載置部７の基板テーブル６上の基板１７の位置を画像として検出するものである。第１のカメラ７５ａと第２のカメラ７５ｂとは、カメラの解像度と焦点の位置とが異なる。本実施形態では、第１のカメラ７５ａは、リフトピン８上に載置された基板１７の表面（上面）に焦点が合わされており、後述する粗アライメントを行なうステップでの画像取り込みに用いられる。また、第２のカメラ７５ｂは、第１のカメラ７５ａよりも高倍率のレンズを有し、基板テーブル６上に載置された基板１７の表面に焦点が合わされており、後述する精密アライメントを行なうステップでの画像取り込みに用いられる。
【００２０】
また、図１において、基板載置装置１の基板除給材部２０は、図示を省略したＸＹＺ軸ロボットから水平方向に延びて、ＸＹＺ軸方向に制御して移動自在に設置された基板保持部としての基板保持アーム２１を備えている。基板保持アーム２１には図示しない吸着手段が備えられ、その吸着手段により基板保持アーム２１上に基板１７を吸着させて水平に保持することができる。基板除給材部２０は、図示しない基板待機位置にセットされた基板１７を、基板保持アーム２１を用いてＸＹθテーブル１５０の基板テーブル６上に基板１７を移載する給材を行なったり、基板テーブル６上の作業済みの基板１７を基板保持アーム２１を用いて前記基板待機位置に移動させる除材を行なう。
【００２１】
次に、基板載置部７の電気的構成について概略を説明する。図４は、基板載置部７の電気的構成を示すブロック図である。基板載置部７は、制御部５０を備えている。制御部５０は、リフトピン昇降部１８に接続された第２モーター部、ＸＹθテーブル１５０の駆動系（Ｙ軸リニアモーター３５、Ｘ軸リニアモーター４５、θ軸１５）に接続された第１モーター部、および基板吸着部１０に接続された真空発生機器（第２ポンプ）１０ｃのそれぞれの駆動を制御する。制御部５０は、ＣＰＵ５０ａやメモリー５０ｂ等を備え、例えば、メモリー５０ｂに格納された動作プログラムに基づいて、ＣＰＵ５０ａが各種演算を行い、各部材に駆動信号を送信し、各部材を駆動させる。
【００２２】
（基板載置方法）
次に、基板載置装置１を用いた基板載置方法について図面に沿って説明する。図５は、基板載置装置１を用いた基板載置方法を示すフローチャート（一部）である。
【００２３】
まず、図５のステップＳ１に示すように、リフトピン８を上昇させるとともに、基板除給材部２０を駆動させて基板保持アーム２１に保持させた基板１７を、基板載置部７の基板テーブル６に向けて搬入開始する。リフトピン８上昇について詳述すると、リフトピン昇降部１８に接続された第２モーター部を駆動させ、リフトピン昇降部１８を所定位置まで上昇させる。これにより、リフトピン昇降部１８に接続されているリフトピン８が所定の位置まで上昇する。
【００２４】
次に、ステップＳ２に示すように、基板保持アーム２１上の基板１７が基板テーブル６の作業開始位置の直上の位置まで移動させて基板保持アーム２１の搬入を完了させ、その後、基板保持アーム２１を下降させて基板１７をリフトピン８の頂部に載せる。これにより、リフトピン８上において、基板１７は、基板テーブル６の載置面６ａの作業開始位置と平面視で重なる位置に保持される。
【００２５】
次に、ステップＳ３に示すように、リフトピン８の先端位置よりも下方に下降させた基板保持アーム２１を上記基板待機位置の近傍に後退させるとともに、リフトピン８上に載置された基板１７の上面に焦点が合わされたカメラ部７５の第１のカメラ７５ａにより、基板１７に設けられたアライメント用の基準マークの位置を画像として取得し（第１の基板位置情報取得）、取得した基板の位置と、基板１７の所望の作業開始位置との差を検出して、その差を補正し得る第１補正量の計算を行なう。この第１補正量の計算の結果から、基板１７の位置の補正が必要であるか否かについて判定する（ステップＳ４）。即ち、基板１７の位置が所望の作業開始位置に対して許容範囲から外れた場合は第１位置補正が必要であり、許容範囲内であれば第１位置補正はする必要がないと判断できる。
【００２６】
ステップＳ４で第１位置補正が必要であると判断された場合（ステップＳ４でＹＥＳ）、次に、ステップＳ５−１に示すように、リフトピン８を降下させながら、ステップＳ３で算出した第１補正量に基づいて基板１７の位置を所望の作業開始位置に補正する第１位置補正としての粗アライメントを行なう。
具体的には、リフトピン昇降部１８に接続された第２モーター部を駆動させ、リフトピン昇降部１８を所定位置まで降下させる。これにより、リフトピン昇降部１８に接続されているリフトピン８が基板１７とともに所定の位置まで降下する。
リフトピン８を降下させながら、上記第１補正量に基づいて第１部を駆動させ、ＸＹθテーブルの駆動系（Ｙ軸リニアモーター３５、Ｘ軸リニアモーター４５、θ軸１５）を操作して基板１７の位置ずれを補正する粗アライメントを行なう。
また、ステップＳ４で第１位置補正の必要がないと判断された場合（ステップＳ４でＮＯ）には、ステップＳ５−２に示すように、リフトピン８の下降のみを行なう。
【００２７】
次に、ステップＳ６に示すように、基板吸着部１０の真空発生機器１０ｃを作動させて基板テーブル６に基板１７を吸着させることにより、基板１７を基板テーブル６の載置面６ａ（作業開始位置）に保持する。
【００２８】
次に、ステップＳ７に示すように、基板テーブル６上に真空吸着により保持された基板１７の上面に焦点が合わされたカメラ部７５の第２のカメラ７５ｂにより、基板１７に設けられたアライメント用の基準マークの位置を画像として取得し（第２の基板位置情報取得）、取得した基板の位置と、基板１７の所望の作業開始位置との差を検出して、その差を補正し得る第２補正量の計算を行なう。ここで、第２のカメラ７５ｂは、上記第１補正量の算出の際に用いた第１のカメラ７５ａよりも高い倍率を有したレンズが用いられているので、第１補正量の算出の際よりも精緻な基板位置検出をすることができる。
この第２補正量の計算の結果から、基板１７の位置の補正が必要であるか否かについて判定する（ステップＳ８）。
【００２９】
ステップＳ８で第２位置補正が必要であると判断された場合（ステップＳ８でＹＥＳ）、次に、ステップＳ９に示すように、ステップＳ７で算出した第２補正量に基づいて基板１７の位置を所望の作業開始位置に補正する第２位置補正としての精密アライメントを行なう。具体的には、上記第２補正量に基づいて第１モーター部を駆動させ、ＸＹθテーブル１５０の駆動系（Ｙ軸リニアモーター３５、Ｘ軸リニアモーター４５、θ軸１５）を操作して基板１７の位置ずれを補正する精密アライメントを行なう。
なお、ステップＳ８で第２位置補正の必要がないと判断された場合（ステップＳ８でＮＯ）には、基板載置装置１による基板載置方法を終了する。
【００３０】
以上の工程を経て、基板載置装置１を用いた一連の基板載置方法を終了する。
その後、基板１７に対して所定の作業が実施される。
所定の作業が終了後に基板１７を除材する場合には、まず、基板吸着部１０の真空発生機器１０ｃの作動を停止させ、リフトピン昇降部１８に接続された第２モーター部を駆動させ、リフトピン昇降部１８を駆動させ、リフトピン昇降部１８を所定位置まで上昇させる。これにより、基板１７とともにリフトピン８が所定位置まで上昇する。そして、基板除給材部２０を駆動させて基板保持アーム２１を基板１７の下方まで進入させた後に、基板保持アーム２１を上昇させて基板１７を基板保持アーム２１に保持させ、基板１７を保持した基板保持アーム２１を上記基板待機位置の近傍に後退させ、基板載置部７から基板１７を除材させる。
【００３１】
上記実施形態の基板載置方法によれば、各ステップにおける基板載置装置１の各部の動作において、第１位置補正としての粗アライメントと第２位置補正としての精密アライメントによる基板１７の位置補正に支障が及ばないことを考慮しながら、同時に実行可能な動作を並行して実行する構成としている。即ち、ステップＳ１では、リフトピン８上昇と、基板保持アーム２１に保持された基板１７の作業開始位置への搬入とを同時に実行している。また、ステップＳ３では、リフトピン８上に基板１７を載置後の基板保持アーム２１の基板待機位置近傍への後退と、第１のカメラ７５ａによる第１の基板位置情報取得とを同時に実行している。
これにより、基板載置装置１による基板載置方法（基板載置工程）のタクトタイムの短縮を図ることができる。
【００３２】
また、上記実施形態では、第１位置補正としての粗アライメントにより、基板除給材部２０による作業開始位置への基板１７の載置作業の機械的な誤差に起因する基板１７位置ずれを補正してから、高倍率の第２のカメラ７５ｂを用いた第２位置補正としての精密アライメントを行なう構成としている。
これにより、粗アライメントをせずに一回の基板位置補正（精密アライメント）を行なう場合に、位置ずれ量が大きいときに起こり得る位置補正動作エラーを回避できるとともに、精密アライメントの時間が短縮するなど、効率的で位置精度の高い基板載置を行なうことができる。
【００３３】
以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。
【００３４】
例えば、上記実施形態の基板載置装置１では、ＸＹθテーブル１５０を備えた基板載置部７を含む構成とした。
これに限らず、基板載置装置１により所定の位置に載置した基板１７に所定の作業を行なう作業部が有する構成によっては、Ｚ軸テーブルを加えた構成の基板載置部が必要になる場合もあり、また、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、およびθ軸の、いずれか一つ、いずれか二つ、あるいはいずれか三つの場合もある。
なお、上記実施形態の基板載置方法において、ステップＳ５−１の粗アライメント、および、ステップＳ９の精密アライメントでは、ＸＹθテーブル１５０を駆動させて基板位置の補正を行なう構成を説明したが、上記したように、基板載置部の種々構成への変更により、アライメントのために駆動させるモーター軸等は変更される。
【００３５】
また、基板載置装置１の基板除給材部２０の構成についても、上記実施形態に限らず、基板１７を基板載置部７の作業開始位置に移載可能な構成であればよい。
また、基板位置検出部としてのカメラ部７５の構成、即ち、カメラ仕様、および、その数や配置についても、上記実施形態の構成には限らず、所望の基板位置精度に応じて適宜に変更してもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１…基板載置装置、３…ベース、４…Ｙ軸テーブル、５…Ｘ軸テーブル、６…基板テーブル、６ａ…載置面、７…基板載置部、８…リフトピン、９…貫通穴、１０…基板吸着部、１０ａ…吸着溝、１０ｂ…吸着穴、１０ｃ…真空発生機器（第２ポンプ）、１５…θ軸、１７…基板、１８…リフトピン昇降部、２０…基板除給材部、２１…基板保持部としての基板保持アーム、３５…Ｙ軸リニアモーター、３６…下側Ｙ軸リニアモーターガイド、４４…上側Ｙ軸リニアモーターガイド、４５…Ｘ軸リニアモーター、４６…下側Ｘ軸リニアモーターガイド、５０…制御部、５０ａ…ＣＰＵ、５０ｂ…メモリー、５４…上側Ｘ軸リニアモーターガイド、７５…基板位置検出部としてのカメラ部、７５ａ…第１のカメラ、７５ｂ…第２のカメラ、１５０…ＸＹθテーブル。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置される載置面を有する基板テーブルと、
前記載置面から出没自在に設けられ、前記載置面よりも突出した状態で前記基板を支持し、前記基板テーブル内に退避した状態で前記基板を前記載置面の作業開始位置に載置させる複数のリフトピンと、
全ての前記リフトピンを昇降させるリフトピン昇降機と、を有する基板載置部と、
前記基板を保持する基板保持部を有し、前記基板の前記載置面への搬入、および、前記載置面からの搬出をおこなう基板除給材部と、
前記作業開始位置に載置した前記基板の位置を検出する基板位置検出部と、を有する基板載置装置を用いて、前記基板を前記作業開始位置に位置決め状態で載置する基板載置方法であって、
前記リフトピンを上昇させるとともに、前記基板除給材部を駆動させて前記基板保持部に保持した前記基板を作業開始位置に向けて搬入開始するステップと、
前記基板保持部に保持した前記基板を前記載置面の前記作業開始位置の直上に位置させて前記基板の搬入を完了させてから、前記基板保持部を下降させて前記基板を前記リフトピン上に載置するステップと、
前記基板保持部の後退を開始するとともに、前記基板位置検出部により前記基板の水平方向の位置を検出し、検出された前記基板の位置と、所望の前記作業開始位置との差を補正し得る第１補正量を計算するステップと、
前記リフトピンを下降させるとともに、前記第１補正量に基づき前記基板の位置を補正する第１位置補正ステップと、
前記基板テーブルに前記基板を吸着するステップと、
前記基板位置検出部により前記基板テーブルに吸着された前記基板の水平方向の位置を検出し、検出した前記基板の位置と、所望の前記作業開始位置との差を補正し得る第２補正量を計算するステップと、
前記第２補正量に基づき前記基板の位置を補正する第２位置補正ステップと、
を含むことを特徴とする基板載置方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板載置方法において、
前記基板位置検出部がカメラであって、
前記第１補正量を計算するための基板位置の検出には、所定の倍率を有する第１のカメラが用いられ、
前記第２補正量を計算するための基板位置の検出には、前記第１のカメラよりも高倍率を有する第２のカメラを用いることを特徴とする基板載置方法。
【請求項１】
基板が載置される載置面を有する基板テーブルと、
前記載置面から出没自在に設けられ、前記載置面よりも突出した状態で前記基板を支持し、前記基板テーブル内に退避した状態で前記基板を前記載置面の作業開始位置に載置させる複数のリフトピンと、
全ての前記リフトピンを昇降させるリフトピン昇降機と、を有する基板載置部と、
前記基板を保持する基板保持部を有し、前記基板の前記載置面への搬入、および、前記載置面からの搬出をおこなう基板除給材部と、
前記作業開始位置に載置した前記基板の位置を検出する基板位置検出部と、を有する基板載置装置を用いて、前記基板を前記作業開始位置に位置決め状態で載置する基板載置方法であって、
前記リフトピンを上昇させるとともに、前記基板除給材部を駆動させて前記基板保持部に保持した前記基板を作業開始位置に向けて搬入開始するステップと、
前記基板保持部に保持した前記基板を前記載置面の前記作業開始位置の直上に位置させて前記基板の搬入を完了させてから、前記基板保持部を下降させて前記基板を前記リフトピン上に載置するステップと、
前記基板保持部の後退を開始するとともに、前記基板位置検出部により前記基板の水平方向の位置を検出し、検出された前記基板の位置と、所望の前記作業開始位置との差を補正し得る第１補正量を計算するステップと、
前記リフトピンを下降させるとともに、前記第１補正量に基づき前記基板の位置を補正する第１位置補正ステップと、
前記基板テーブルに前記基板を吸着するステップと、
前記基板位置検出部により前記基板テーブルに吸着された前記基板の水平方向の位置を検出し、検出した前記基板の位置と、所望の前記作業開始位置との差を補正し得る第２補正量を計算するステップと、
前記第２補正量に基づき前記基板の位置を補正する第２位置補正ステップと、
を含むことを特徴とする基板載置方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板載置方法において、
前記基板位置検出部がカメラであって、
前記第１補正量を計算するための基板位置の検出には、所定の倍率を有する第１のカメラが用いられ、
前記第２補正量を計算するための基板位置の検出には、前記第１のカメラよりも高倍率を有する第２のカメラを用いることを特徴とする基板載置方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１３−９８３６８（Ｐ２０１３−９８３６８Ａ）
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４００６１（Ｐ２０１１−２４００６１）
【出願日】平成２３年１１月１日（２０１１．１１．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月１日（２０１１．１１．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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