【課題】液晶パネルの反り方向を所望する方向に制御することができる、液晶表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】粘着剤を含む所定のフィルム幅の光学フィルムが積層された長尺のキャリアフィルムを巻回してなる連続ロールから、当該キャリアフィルムを搬送するキャリアフィルム搬送工程と、当該キャリアフィルムの搬送経路上に配置され、先端部にて当該キャリアフィルムを折り返すことで当該キャリアフィルムから当該光学フィルムを剥離する剥離工程と、当該剥離工程により剥離されつつある、または剥離された当該光学フィルムを液晶パネルの視認側および背面側に貼り付ける貼付工程とを含む液晶表示素子の製造方法であって、前記貼付工程は、液晶パネルの視認側に光学フィルムを貼り付ける回数よりも、液晶パネルの背面側に光学フィルムを貼り付ける回数の方が多くなるように、光学フィルムを液晶パネルに貼り付ける。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルにおける輝点欠陥に対して、輝点欠陥画素の周辺画素に影響を与えることなく輝点の適切な黒化を可能とする黒化方法及び黒化装置を提供する。
【解決手段】液晶パネル１５を構成するカラーフィルター１に形成された輝点欠陥画素に対してレーザ発振器１７からのレーザビームを相対的にスキャンして照射し輝点欠陥画素を黒化する輝点欠陥の黒化方法において、輝点欠陥画素へ照射するレーザビームは、照射出力を変調しながらスキャンされる。 （もっと読む）

【課題】研磨ヘッドの先端径を、ヘッドの交換なく変更させることが出来、修正時間の短縮化が可能なカラーフィルタ基板の欠陥修正装置と、その修正装置を適用した欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも着色層が形成された修正対象基板の微小突起に、走行する研磨テープを研磨ヘッドで圧接しながら接触・摺動させて、前記微小突起を除去平坦化するカラーフィルタ基板の欠陥修正装置において、前記研磨ヘッドは、走行する前記研磨テープを圧接する先端の接触面積を段階的に変化可能な構造を有し、予め計測された前記微小突起の面積に応じて前記研磨ヘッドの先端面積または径を段階的に変化させて、走行する前記研磨テープを前記研磨ヘッド先端で前記微小突起に圧接しながら摺動するテープ研磨機構を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板の主面への処理液の飛散を抑制しつつ基板の端面を局所的に処理できる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、硬脆性基板の一種であるガラス基板（基板９０）の側端面９１Ｓをエッチングする。基板処理装置１００は、その外周面が基板９０の側端面９１に当接される当接面を形成するスポンジ体２１３（当接部材）と、スポンジ体２１３を回転させるスポンジ体回転駆動部２４０（回転駆動部）と、スポンジ体２１３に処理液を供給する処理液供給管２５１（処理液供給部）とを備える。搬送ローラー３１により＋ｙ方向に搬送される基板９０の側端面９１Ｓに対して、ｚ軸回りに回転するスポンジ体２１３の外周面が押し当てられることにより、基板９０の側端面９１Ｓのエッチングが行われる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マーキング方法、及び設備を提供する。
【解決手段】マーキング待ち製品の実際マーキング位置と、予め設定されたマーキング位置とにずれが発生した場合に、自動的に補正を実現し、ＩＤシフト現象が生じることを避け、マーキング位置の確実性を保証するともにマーキング効率を向上させる。本発明に係るマーキング方法は、マーキング待ち製品の実際マーキング位置を確認するステップと、前記実際マーキング位置と、予め設定されたマーキング位置とを比較するステップと、比較した結果によって、マーキング製品に対してマーキングを行うステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】表示部材と機能性部材を接着部材で接着した表示パネルを、表示部材と機能性部材とに分離することで各部材を再利用する表示パネルの再生方法において、両者を正確な位置にて分離し、各部材を傷付けずに行うことができる加工方法を提供する。
【解決手段】表示部材と機能性部材を透明な接着部材で接合した表示パネルＡとしての加工物に対して、溶剤や潤滑剤等を用いずに縦方向に押し付けて切断するワイヤ３と、表示パネルＡを分離する切断面の延長面上をワイヤ３と一致させるように前記表示パネルＡを保持する固定ユニット３８と、表示パネルＡをワイヤ３により切断するようにワイヤ３と前記固定ユニット３８とを切断面に沿って相対的に移動させる機構とからなる切断装置を用いて透明な接着部材を切断し、表示パネルＡを割裂した後、接着部材の残渣を剥離、除去する。 （もっと読む）

【課題】 フレームの厚みを薄くしてもセンサユニットをスムーズに出し入れでき、かつ、前記画像表示パネルの駆動発熱による位置変動にも追従できる構成の光センサ装置とする。
【解決手段】 光センサ装置１は、本体フレーム２と、光センサ１０８が内蔵されたセンサユニット３と、センサユニット３をガイドするガイド部材１６と、センサユニット３を測定位置まで移動させる駆動手段とを備え、センサユニット３の両脇には摺動部材３１が配されており、ガイド部材１６の前側に形成された斜面１６２に沿ってセンサユニット３が斜めに前進移動し、センサユニット３に配された遮光部材９が画像表示パネルの表示画面１０１ａに当接する。そして、測定後は、センサユニット３が斜めに後退移動して本体フレーム２に格納される。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの第１パネル面および第２パネル面に対し光学フィルムを交互に貼り付けることで、液晶パネルの反りを小さくすることができる、液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子の製造システムを提供する。
【解決手段】連続ロールからキャリアフィルムを搬送し、当該キャリアフィルムから光学フィルムを剥離されつつある、または剥離された光学フィルムを液晶パネルの第１パネル面および第２パネル面に貼り付ける貼付工程を含む液晶表示素子の製造方法であって、貼付工程は、液晶パネルの第１パネル面に光学フィルムを貼り付ける貼付処理と、液晶パネルの第２パネル面に光学フィルムを貼り付ける貼付処理とを交互に行う。 （もっと読む）

【課題】無駄時間の発生を減らして液晶パネルの生産効率の向上を図ることができる液晶パネル製造システムを提供することを目的とする。
【解決手段】各作業装置１１が他の作業装置１１と同時に基板載置部２２を基板受け渡し位置に位置させて基板載置部２２に載置された基板２が下流工程側の作業装置１１の移載アーム２３によって取り上げられるようにした後、他の作業装置１１と同時に基板載置部２２を基板載置位置に位置させて上流工程側の作業装置１１から取り上げた基板２を自装置が備える基板載置部２２に載置することによって基板２の移載を行うものにおいて、ＡＣＦ貼着装置１１Ａは、作業位置に位置させた基板載置部２２上の基板２に対して作業を行っているとき、作業位置に位置したＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板載置部２２と干渉しない領域に進出した基板供給機１３の基板供給部３３に載置されて供給された基板２を移載アーム２３により取り上げる。 （もっと読む）

【課題】アライメントマーク画像の近隣に類似画像が存在する場合であっても、アライメントマーク画像の「よごれ」、「欠け」、「輝度ムラ」等によって類似画像位置を正規のアライメントマークとして誤検出することを防止する位置合わせ手段を有するＦＰＤ実装装置および位置合わせ画像検出方法を提供する。
【解決手段】本発明は、セカンドアライメントマーク画像や補助マーク画像を用いることなく、相関係数を低く設定してアライメントマーク画像位置と類似画像位置を含めて取得し、位置相関からアライメントマーク画像位置を認識することで、アライメントマーク画像の「よごれ」、「欠け」、「輝度ムラ」等により相関率が低下した場合であってもアライメントマーク画像位置を正確に検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示パネルの連続製造における、キャリアフィルムから剥離された不良シートを再度キャリアフィルムに貼り付けて排出するようにした、方法および装置を提供する。
【解決手段】 液晶表示素子の連続製造工程において、帯状フィルム積層体に含まれるキャリアフィルムから剥離された正常シートのみを矩形パネルとの貼合位置に送る一方、同じくキャリアフィルムから剥離された不良シートを回収されるキャリアフィルムに再度貼り付け、キャリアフィルムと一体に排出する。 （もっと読む）

【課題】係合部が基板保持部材に係合できない。
【解決手段】基板貼り合わせ装置は、複数の基板を加圧して貼り合わせる複数の加圧室と、前記基板を保持する基板保持部材と、前記基板及び前記基板保持部材を前記複数の加圧室に搬送する搬送部と、前記複数の加圧室にそれぞれ設けられ、前記基板保持部材の係合部に係合される係合部材であって、前記基板保持部材が異なる複数の向きのいずれの向きで前記加圧室に搬入された場合も前記係合部に係合する係合部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来のステージ装置では、処理効率を向上させることが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との継ぎ目７７よりも第１ガイド部８１側に設けられ、ワークテーブル２５が継ぎ目７７よりも第１ガイド部８１側に位置している状態で、ワークＷのワークテーブル２５に対する位置精度を検出する第１検出装置１４と、継ぎ目７７よりも第２ガイド部８２側に設けられ、ワークテーブル２５が継ぎ目７７よりも第２ガイド部８２側に位置している状態で、ワークＷのワークテーブル２５に対する位置精度を検出する第２検出装置１５と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】少ない回数のレーザ光の照射で、確実に配線の不良部分を正確に修正することができる配線の修正装置を提供する。
【解決手段】基板２上の処理を要する被処理配線２９にレーザ光Ｌｔを出射することで処理を行う配線の修正装置Ｒｓであって、レーザ光Ｌｔの光軸と交差する方向のエネルギ分布を中心部が高く、辺縁部が低くなるように、レーザ光の透過率を調整する絞り部材５を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成の直線駆動装置、可変シャッター装置及びそれを用いた欠陥修正装置、並びに欠陥修正方法、及びパターン基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シャッター板１２０の移動に応じて移動するよう位置検出用透光部１２２と、複数のシャッター板１２０に設けられ、シャッター板１２０の移動方向に所定の長さを有する透光部１２３と、透光部１２３及び位置検出用透光部１２２に光を出射する光源と、光源からの光を位置検出用透光部１２２及び透光部１２３を介して検出する光検出器１６６とを備え、光検出器１６６での検出結果に基づいて、シャッター板１２０を移動させる直線駆動装置、それを備えた可変シャッター装置及びそれを用いた欠陥修正装置、並びに欠陥修正方法。 （もっと読む）

【課題】パネル反転時の液晶パネルＰの端部の欠け等の発生を抑制できる液晶パネルの反転装置１０を提供すること。
【解決手段】液晶パネルＰを保持するパネル保持部１と、パネル保持部１を回転させる駆動部２とを備えた液晶パネルの反転装置１０において、パネル保持部１を、基部１１と、液晶パネルＰの表裏のパネル面Ｆを支える複数対のパネル面当接部１２１を有するパネル面支持部１２と、液晶パネルＰの長辺ＬＥを支える長辺当接部を有する長辺支持アーム１３と、液晶パネルＰの短辺ＳＥを支える短辺当接部を有する短辺支持アーム１４と、から構成し、駆動部２を、長辺支持アーム１３の長辺当接部と短辺支持アーム１４の短辺当接部とが成す角度の二等分線Ｂに対し直角を成す回転軸２１と、回転軸２１を回転駆動する反転用アクチュエータ２２と、から構成した。 （もっと読む）

【課題】 ２枚の基板の貼り合せ後に、該基板を基板保持部から確実に剥離させ、基板の貼り合せ精度を向上させること。
【解決手段】 チャンバ１２内にて対向して配置された第１と第２の基板保持部１５、１８の基板保持面１５ａ、１８ａにそれぞれ保持した２枚の基板１、２を貼り合せる基板の貼り合せ装置１０において、第１と第２の基板保持部１５、１８の少なくとも一方に前記基板保持面１５ａ、１８ａとは交差する方向に貫通して設けられた貫通孔２１に当該基板保持面１５ａ、１８ａに対して突没可能に挿通され、前記基板１、２を吸着保持する吸着部２３を備えた基板受渡しピン２２と、前記貫通孔２１と前記基板受渡しピン２２との間に配置され、前記基板保持面１５ａ、１８ａに保持された基板１、２との間で閉空間５１を形成するシール手段５０と、前記閉空間５１にガスを供給するガス供給手段６０と、を有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムのように薄いシート状のものを、気泡及び異物の巻き込みがなく、撓み及びしわを発生させることなく、高効率で基板上に貼付することができる基板への光学フィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１内で、繰出部８から繰り出された光学フィルム１２を巻取部１１にて巻き取る間に、この光学フィルム１２の移動域で、移動装置４０により基板１０を光学フィルム１２と同期させて移動させ、圧着装置５０を同様に光学フィルム１２に同期させて移動させる。そして、この光学フィルム１２の移動中に、保持部材６１，６２が光学フィルム１２を静電チャックし、圧着プレート５１が光学フィルム１２を基板１０に対して押圧する。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムのように薄いシート状のものを、気泡及び異物の巻き込みがなく、撓み及び皺を発生させることなく、高効率で基板上に貼付することができるフィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】フィルム貼付装置１は、ステージ１１に基板２が載置され、保持部材１５により搬送されたフィルムをチャック部材１２により保持する。チャック部材１２は平板状に形成された圧着部材１３の圧着面を複数個に分割する各領域に対応して設けられている。そして、チャック部材１２により光学フィルム３を保持した状態で、フィルム３がステージ１１上の基板２に対して所定位置にあるときに、圧着部材１３により、チャック部材１２を介して光学フィルム３を基板２の上面に圧着する。 （もっと読む）

【課題】光ビーム照射装置から照射される光ビームの歪みを抑制して、描画精度を向上させる。
【解決手段】チャック１０に第１の画像取得装置（ＣＣＤカメラ５１）を設け、光ビーム照射装置２０のヘッド部と第１の画像取得装置との間に、検査用パターンが設けられたレチクル２を配置する。検査用の描画データを光ビーム照射装置２０の駆動回路へ供給し、第１の画像取得装置により、レチクル２の検査用パターン２ａの画像及び光ビーム照射装置２０から照射された光ビームの像２ｃを取得する。第１の画像取得装置により取得したレチクル２の検査用パターン２ａの画像及び光ビームの像２ｃから、光ビームの位置ずれを検出して、光ビームの歪みを検出する。光ビームの歪みの検出結果に基づき、露光用の描画データの座標を補正して、光ビーム照射装置２０の駆動回路へ供給する。 （もっと読む）