【課題】照射光の広域な波長に亘って安定した低反射率を得られ、安定した二重露光防止作用と良好な露光作用を得られるとともに、液晶ディスプレイの軽量化と大型化に対応し、設備費と反射率の低減を図れるとともに、基板ステージの機能低下や故障を未然に防止し、低反射率の液晶基板保持盤を確実かつ安価に製造できる、液晶基板保持盤およびその製造方法を提供する。
【解決手段】母材１１表面に低反射率の材料からなる溶射皮膜１２を形成したこと。前記溶射皮膜１２の表面に透明または半透明の基板Ｗを保持可能な支持部１３を形成した液晶基板保持盤であること。前記溶射皮膜１２をアルミナとチタニアを含有する複合材料（Ａｌ₂Ｏ₃−α％ＴｉＯ₂）で形成したこと。前記溶射皮膜１２表面の全反射率を、光の波長３６０〜７４０ｎｍの範囲に亘って９％以下に形成したこと。 （もっと読む）

【課題】スペース効率に優れた液晶表示装置の製造システムを提供する。
【解決手段】本発明に係る製造システムは、液晶パネル１に偏光フィルムを貼合する液晶表示装置の製造システムであり、液晶パネル１を搬送する搬送ローラ１０と、液晶パネル１の搬送方向へ偏光フィルムを巻き出す巻出部とを含む貼合機構１１０・１２０が離間した状態で備えており、上記巻出部は偏光フィルムの巻き芯の軸方向に沿って、貼合機構１１０・１２０の間に移動可能であり、貼合機構１１０・１２０の間隔が、偏光フィルムの巻き芯の軸方向に沿った巻出部の長さの１倍以上、２倍未満となるように貼合機構１１０・１２０が配置されている。 （もっと読む）

【課題】従来の製造装置および製造方法と比較して、製造工程数を削減すると共に、無駄（ロス）になるフィルム原料を削減する（フィルム原料を有効利用する）ことにより、生産性に優れると共に製造コストを抑制することができる液晶表示装置の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】製造装置１は、液晶パネルを搬送するパネル搬送機構１１を備えると共に、上流側から下流側に向かって順に、偏光フィルムを液晶パネルの裏面に貼合する裏面側偏光フィルム貼合機構２、液晶パネルを９０°旋回させる９０°旋回機構３、液晶パネルから偏光フィルム上の保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離機構４、偏光フィルムに輝度向上フィルムを貼合する輝度向上フィルム貼合機構５、液晶パネルを１８０°反転させる反転機構６、偏光フィルムを液晶パネルの表面に貼合する表面側偏光フィルム貼合機構７を備えている。 （もっと読む）

【課題】ペーストの塗布高さの測定精度を上げ、塗布製品の品質を向上させる。
【解決手段】ペースト塗布装置１は、塗布対象物Ｗの被塗布面にペーストを塗布する複数の塗布ヘッド３ａと、それらの塗布ヘッド３ａにそれぞれ一体的に設けられ被塗布面の変位を測定可能な複数のレーザ変位計３ｃと、制御を行う制御部とを備える。複数のレーザ変位計３ｃのうち少なくとも一つは光路面が塗布パターンにおける二直線のうち一方の直線に沿うように配置されており、少なくとも他の一つは光路面が二直線のうち他方の直線に沿うように配置されている。制御部は、被塗布面に描画された塗布パターンを形成するペーストの塗布高さを測定するとき、当該塗布パターンにおける直線状のペーストの延伸方向に光路面が沿った状態のレーザ変位計３ｃを直線状のペーストの延伸方向と交差する方向に移動させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を一括して容易に乾燥することができる乾燥ユニットおよび基板処理装置を提供する。
【解決手段】乾燥部７０は、複数の基板Ｗを一括して乾燥させる乾燥ユニットである。乾燥部７０は、主として、乾燥チャンバ７１と、貯留槽７２と、排出管７１ａ、７２ａと、バルブ７１ｂ、７２ｂと、吐出ノズル８７（８７ａ、８７ｂ）と、を備えている。ＩＰＡによる純水の置換処理において、貯留槽７２に複数の基板Ｗが浸漬されると、吐出ノズル８７から乾燥チャンバ７１内にＩＰＡの蒸気が供給され、純水８０ａの液面８０ｂにＩＰＡの液膜８０ｃが形成される。続いて、貯留槽７２から純水８０ａが排出され、ＩＰＡの液膜８０ｃが、下降させられる。そして、各基板Ｗの基板面とＩＰＡの液膜８０ｃとが接触することによって、各基板Ｗに付着した純水が、ＩＰＡに置換される。 （もっと読む）

【課題】液晶表示素子表面の傷や打痕の検査を効率的且つ安定的に行うことが可能な液晶表示素子を提供する。
【解決手段】傷又は打痕の検査対象となる第ニ電極基板２の外表面に、検査対象エリアを縁取る検査用パターン１３を設ける。検査用パターン１３は、傷の検査規格に応じた長さを有する個片状の傷検査用パターン１３ａと、打痕の検査規格に応じた長さを有する個片状の傷検査用パターン１３ｂとが、検査対象エリアの縁に沿って複数個交互に配置された集合体で構成されている。検査者は、検査用パターン１３を見るだけで検査対象エリアを正確に特定することができ、また、傷検査用パターン１３ａと打痕検査用パターン１３ｂを参照することで、傷と打痕の良否判定を効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】画像光を出力する画像光出力装置の画素の表示性能を高精度に測定する。
【解決手段】検査対象であるプロジェクター装置１０から出力される、テストパターンを含む画像の画像光ＰＬの照射を受けてテストパターン画像を表示する投射スクリーン２０と、投射スクリーン２０の表示面内に撮像面を配置して設けられ、テストパターン画像を撮像して第１画像信号〜第９画像信号を生成する撮像装置３０−１〜３０−９と、第１画像信号〜第９画像信号を取り込み、テストパターン画像に基づいて、プロジェクター装置１０における画素の表示性能を測定して測定情報を生成する画像解析部４１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板へ高精細なパターンでシール材を高精度に塗布できるようにする。
【解決手段】ペースト塗布ヘッドでは、大容量の親ペースト収納筒２３と小容量の子ペースト収納筒２４とが設けられており、この親ペースト収納筒２３には、多量のペーストが収納されている。子ペースト収納筒２４では、ガラス基板へのペーストパターンの描画時、そこに収納されているペーストがノズル２２から吐出される。子ペースト収納筒２４内でのペーストの収納量が少なくなると、仕切り弁３０が開放されて親ペースト収納筒２３と子ペースト収納筒２４とがペースト終点流路２７を介して連通し、親ペースト収納筒２３内のペーストが子ペースト収納筒２４に補充される。 （もっと読む）

【課題】配線パターンの修正において、修正抵抗を低減することが可能となる、パターン修正方法を提供する。
【解決手段】パターン修正方法は、導電性パターン２０の欠陥部２１を修正するパターン修正方法であって、導電性インクを塗布することにより第１のインク層３１を形成する工程と、第１のインク層３１を焼成することにより第１の修正層３２を形成する工程と、少なくとも一部が第１の修正層３２に重なるように導電性インクを塗布することにより、第２のインク層３３を形成する工程と、第２のインク層３３を焼成することにより第２の修正層３４を形成する工程とを備え、第１の修正層３２および第２の修正層３４により欠陥部２１を挟んで配置される導電性パターン２０間の電気的接続が確保される。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルを高速搬送しながら高精度に検査することで良質の液晶表示パネルを高速に連続生産することができる。
【解決手段】製造装置と検査装置とが液晶セルおよび液晶表示パネルを搬送する一連の搬送装置に配置されており、この検査装置は、搬送装置の一方面側であって、搬送装置により搬送される液晶表示パネルに対して、当該搬送装置の幅方向に平行なライン状光を照射する光照射部と、搬送装置の他方面側であって、光照射部によるライン状光の照射方向に対して搬送装置の搬送方向またはその反対方向に所定角度傾斜した位置に配置され、搬送装置により搬送される液晶表示パネルのライン状光が照射された領域を搬送装置の幅方向に平行なライン状にかつ連続的に撮像する撮像部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイのソース・ドレイン間のWeak-SD欠陥と呼ばれる抵抗を介して導通状態にある欠陥を、保持時間を長くすることなく短時間で検出する。
【解決手段】ＴＦＴ基板のＴＦＴアレイに対して電圧を印加し、電子線照射により得られる二次電子を検出してＴＦＴアレイの欠陥を検出するＴＦＴアレイの欠陥検出において、ＴＦＴのソースおよび／又はゲートへの電圧を印加する電圧パターンにおいて、電圧値および／又は印加時期によってＴＦＴの内部リークによるリーク電流を増加させる特性パラメータに設定する。特性パラメータの設定において電圧値および／又は印加時期を設定することによってＴＦＴの内部リークによるリーク電流を増加させ、増加させたリーク電流によってＴＦＴの内部欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 照明装置の光量調整に不慣れな者でも、自動または手動により光量調整を行う対話型調整ガイダンス機能により、光量調整作業を適正に行えるようにする。
【解決手段】 フラットパネルディスイプレイに設けられたアライメントマークを含む所定領域を照明装置で照明しつつ、カメラで撮像する。この際に、撮像された所定領域の画像データからパタン輝度を算出し、予め設定した規定値と比較して照明強度を調整する信号を出力する。そして、この出力信号により、照明装置の照明光量を調整するとともに、算出されたパタン輝度を画面上に表示するようにする。また、照明光量の光量調整を行う手段として自動または手動のいずれかを選択できるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板の反転を必要とせず、且つ基板の周縁部にダメージを与えないように基板の裏面を洗浄することの可能な基板洗浄装置等を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、裏面を下方に向けた状態の基板を裏面から支えて保持する２つの基板保持手段（吸着パッド２、スピンチャック３）を備え、支える領域が重ならないようにしながらこれらの基板保持手段の間で基板を持ち替える。洗浄部材（ブラシ５）は基板保持手段により支えられている領域以外の基板の裏面を洗浄し、２つの基板保持手段の間で基板が持ち替えられることを利用して基板の裏面全体を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 基板の保持部が撮像部の撮像領域に写り込まず、基板にキズや汚れを生じさせず、基板の位置ずれを起こすことなく、基板の検査を行うことができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】 検査対象となる基板を保持して、一方向に移動させながら検査を行う基板検査装置及び方法であって、
基板移動部は、基板が光源と撮像部の撮像領域を通過するように、基板を保持して移動させる第１の基板移動部と、基板の光源と撮像部との間を通過した部分を保持して移動させる第２の基板移動部とを含んで構成され、
基板又は基板移動部の移動中の位置を検出する基板位置検出部を備え、
検出位置情報に基づいて、基板を第１の基板移動部と第２の基板移動部とで共に保持して移動させながら検査を行うこと特徴とする基板検査装置及び方法 （もっと読む）

【課題】ターンテーブルを用いて、ワークの位置決めと貼り合せと効率良く行うことができるとともに、安価で小型の貼合装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】ターンテーブルの少なくとも一ポジションに一対のワークを撮像する検出装置４が設けられ、撮像された画像に基づいて、一対のワークにおける方形の４頂点のうち３点を、それぞれ抽出する３点抽出部６６３と、抽出した３点のうち、方形の対角線の両端を構成する２点の中点を、ワークの重心として算出する重心算出部６６４と、抽出した３点のうち、方形の一辺を構成する２点に基づいて、ワークの傾きを算出する傾き算出部６６５と、重心及び傾きに基づいて、位置決め部の制御量を算出する位置決め演算部６７０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】被処理パネルに光を照射する実用的な液晶パネル製造装置及び液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、処理槽と、光照射部と、液体除去部と、を備えた液晶パネル製造装置が提供される。前記処理槽は、内部に液体を溜め、光重合性材料と液晶組成物とを含む液晶層を含む被処理パネルを前記液体中に収容する。前記光照射部は、前記処理槽の前記内部に収容された前記被処理パネルに、前記光重合性材料が重合する光を照射する。前記液体除去部は、前記被処理パネルのうちで少なくとも前記液体から取り出された部分に付着した前記液体を除去する。 （もっと読む）

【課題】光学補償素子の姿勢を良好に調整できるプロジェクターを提供する。
【解決手段】プロジェクター１は、入射した光束を変調する光変調装置と、光変調装置を介した光束の位相差を補償する光学補償素子６と、光学補償素子６が取り付けられ、光学補償素子６の位置を調整する調整部材７と、調整部材７を支持する支持部材８とを備える。調整部材７は、互いに離間する方向に突出する一対の腕部７２を有する。支持部材８は、一対の腕部７２の先端７２１にそれぞれ対向する一対の起立部８２１，８２３を有する。腕部７２及び起立部８２１，８２３のいずれか一方には、いずれか他方に向けて突出する突起部７２２、及び突起部７２２が挿通される挿通孔８２１Ａ，８２３Ａを有し、挿通孔８２１Ａ，８２３Ａに突起部７２２が挿通された状態で支持部材８に対して調整部材７を回転可能とする係合構造が設けられている。 （もっと読む）

【課題】一対の基板が縁辺から互いに異なる幅を有した端材を有して構成されている場合の、当該端材の効率的で良好な分断を実現する液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、一対の基板のうちの一方の基板に設けるスクライブラインと、他方の基板にスクライブラインとを、一対の基板の重畳方向においてずれた位置に形成するスクライブライン形成工程と、その後に、一対の基板をクッション材に載置した状態で、上記一方の基板の縁辺と当該一方の基板に設けた上記スクライブラインとの中間位置において、点荷重を当該スクライブラインと平行に移動させながらかけて、一対の基板のそれぞれのスクライブラインにおいて基板を分断する荷重工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】処理室内に溜まった処理液の泡を、簡単な設備を用いて効果的に除去する。
【解決手段】吸引口３０ｆ及び排出口３０ｇと、圧縮空気導入口３０ｈとを有し、圧縮空気を圧縮空気導入口３０ｈから排出口３０ｇへ流し、吸引口３０ｆと排出口３０ｇとの間に生じた圧力差により吸引口３０ｆから吸引した物を、圧縮空気と共に排出口３０ｇから排出するエジェクタ３０を用い、処理室２０内に溜まった処理液の泡を、第１の配管３１を介して吸引口３０ｆから吸引し、吸引した処理液の泡を圧縮空気の圧力でつぶして液化し、液化した処理液を圧縮空気と共に排出口３０ｇから第２の配管３２を介して処理室２０内へ吐出する。 （もっと読む）