基板処理装置及び方法
【課題】全体工程時間を短縮できる基板処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態による基板処理装置は、基板を支持する基板支持ユニットと、前記基板に第１処理液を吐出するインクジェットノズルと、前記基板に第１処理液と異なる第２処理液を吐出するコーティングノズルと、前記基板支持ユニットに対して前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとの位置が変更されるように前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを第１方向に直線移動させるジェントリーユニットと、を含む。
【解決手段】本発明の一実施形態による基板処理装置は、基板を支持する基板支持ユニットと、前記基板に第１処理液を吐出するインクジェットノズルと、前記基板に第１処理液と異なる第２処理液を吐出するコーティングノズルと、前記基板支持ユニットに対して前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとの位置が変更されるように前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを第１方向に直線移動させるジェントリーユニットと、を含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板処理装置及び方法に関し、より詳細には液晶表示パネル等の工程処理を遂行する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造工程は、ガラス基板表面に処理液を供給及び塗布する塗布工程と、処理液が塗布された基板にコーティング層を形成するコーティング工程と、を含む。塗布工程を遂行する装置として、インクジェット印刷方式で基板表面に直接処理液を印刷する装置が使用される。
【０００３】
塗布工程とコーティング工程とは、工程に使用される装置が互いに異なり、独立した別個のチャンバーで工程が遂行されていた。そのため、塗布装置とコーティング装置との間で基板を移送するための移送装置が必要であった。このような装置は、全体設備面積を増加させるだけでなく、基板移送による全体工程時間を増加させるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】韓国特許公開第１０−２０１０−００６０６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、全体工程時間を短縮させ得る装置及び方法を提供することを課題とする。
【０００６】
また、本発明は、設備全体面積が減少され得る装置及び方法を提供することを課題とする。
【０００７】
また、本発明は、１つの装置で複数個の処理液を塗布できる装置及び方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板処理装置は、基板を支持する基板支持ユニットと、前記基板に第１処理液を吐出するインクジェットノズルと、前記基板に第１処理液と異なる第２処理液を吐出するコーティングノズルと、前記基板支持ユニットに対して前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルの位置が変更されるように前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを第１方向に直線移動させるジェントリーユニットと、を含む。
【０００９】
また、前記ジェントリーユニットは前記インクジェットノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動する第１ジェントリーと、前記コーティングノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動する第２ジェントリーと、を包含できる。
【００１０】
また、前記第１ジェントリーと前記第２ジェントリーとは、前記基板支持ユニットの両側に互いに対向して前記第１方向に長く配置された一対のガイドレールに沿って直線移動することができる。
【００１１】
また、前記コーティングノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向にその長さ方向が配置され、底面には前記第２処理液を吐出するスリットホールが前記第２方向に長く形成され得る。
【００１２】
また、前記第１ジェントリーには前記インクジェットノズルが複数個装着され、前記インクジェットノズルは上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に配列され、前記第１ジェントリーに対する前記インクジェットノズルの相対位置が変更されるように前記インクジェットノズルを前記第２方向に直線移動させるインクジェットノズル移動部をさらに包含できる。
【００１３】
また、前記インクジェットノズルは複数個が前記第２方向に配列されて１つの列を形成し、前記インクジェットノズルの列は少なくとも２つ以上設けられ得る。
【００１４】
また、前記ジェントリーユニットは上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に対して前記第１ジェントリーの長さ方向が所定角度だけ傾いて配置されるように前記第１ジェントリーを回転させるジェントリー駆動部をさらに包含できる。
【００１５】
また、前記ジェントリー駆動部は前記第１ジェントリーの一端を回転中心として前記第１ジェントリーの他端を回転させ得る。
【００１６】
また、前記ジェントリーユニットは前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動するジェントリーを包含できる。
【００１７】
また、前記コーティングノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向にその長さ方向が配置され、底面には前記第２処理液を吐出するスリットホールが前記第２方向に長く形成され、前記第１方向に沿って前記コーティングノズルの前方と後方の各々の位置に、複数個の前記インクジェットノズルが前記第２方向に配列され得る。
【００１８】
本発明の基板処理方法は、基板支持ユニットの上部をインクジェットノズルが第１方向に直線移動し、第１処理液を前記基板支持ユニットに支持された基板に吐出する第１処理液吐出段階と、前記基板支持ユニットの上部をコーティングノズルが第１方向に直線移動し、前記第１処理液と異なる第２処理液を前記基板に吐出する第２処理液吐出段階と、を含み、前記第１処理液吐出段階と前記第２処理液吐出段階とは順次的に、且つ連続的に行われる。
【００１９】
また、前記インクジェットノズルは前記第１方向に直線移動可能である第１ジェントリーに支持されて移動し、前記コーティングノズルは前記第１ジェントリーと並べに配置され、前記第１方向に直線移動可能である第２ジェントリーに支持されて移動することができる。
【００２０】
また、前記インクジェットノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に沿って複数個が一列に配列され、隣接する前記インクジェットノズルの間隔が固定され、前記第１ジェントリーを所定角度回転させることで、前記第２方向の前記インクジェットノズルの間隔を変更させ得る。
【００２１】
また、前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとは、前記第１方向に直線移動可能であるジェントリーに支持されて移動し、前記インクジェットノズルは、前記第１方向に沿った前記コーティングノズルの前方と後方と両方又は一方に位置することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、装置との間に基板移送が必要とされないので、全体工程時間が短縮される。
【００２３】
また、本発明によれば、１つの装置で複数工程が遂行できるので、設備面積が減少される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態による基板処理装置を示す斜視図である。
【図２】図１の基板処理装置を示す平面図である。
【図３】図１の第１駆動部を示す図面である。
【図４】図１の第２駆動部を示す図面である。
【図５】第１ジェントリーが回転する形態を示す図面である。
【図６】第１ジェントリーの回転にしたがうインクジェットノズルの位置を示す図面である。
【図７】第１処理液吐出段階を示す図面である。
【図８】第１処理液吐出段階を示す図面である。
【図９】第１処理液吐出段階を示す図面である。
【図１０】第２処理液吐出段階を示す図面である。
【図１１】第２処理液が基板に吐出される形態を示す図面である。
【図１２】本発明の他の実施形態による基板処理装置を示す斜視図である。
【図１３】図１２の基板処理装置を示す平面図である。
【図１４】図１２のジェントリーと処理液供給部とを示す正面図である。
【図１５】本発明のその他の実施形態による基板処理装置を示す斜視図である。
【図１６】図１５の装置を利用して処理液を吐出する過程を示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付図面を参照して、本発明の望ましい実施形態による基板処理装置及び方法を詳細に説明する。本発明を説明するに際して、関連する公知構成や機能に対する具体的な説明が本発明の要旨の理解を阻害すると判断される場合には、その詳細な説明は省略する。
【００２６】
図１は本発明の一実施形態による基板処理装置を示す斜視図であり、図２は図１の基板処理装置を示す平面図である。
【００２７】
図１及び図２に示すように、基板処理装置１０は基板Ｓに処理液を塗布するものであり、基板支持ユニット１００、ジェントリーユニット２００、第１処理液供給ユニット３００、第２処理液供給ユニット４００、ビジョン検査ユニット５００、及びノズル洗浄ユニット６００を含む。基板支持ユニット１００は基板Ｓを支持し、ジェントリーユニット２００は第１処理液供給ユニット３００のインクジェットノズル３１０と第２処理液供給ユニット４００のコーティングノズル４１０とを直線移動させる。第１処理液供給ユニット３００は基板Ｓに第１処理液を供給し、第２処理液供給ユニット４００は第２処理液を供給する。ビジョン検査ユニット５００はインクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の異常の有無を検査し、ノズル洗浄ユニット６００はインクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０とを洗浄する。以下、各構成に対して詳細に説明する。
【００２８】
基板支持ユニット１００はベースＢの上面に配置される。ベースＢは一定の厚さを有する直六面体ブロックで設けられる。基板支持ユニット１００は支持部材１１０、回転駆動部材（図示せず）、及び直線駆動部材１２０を含む。
【００２９】
支持部材１１０は基板Ｓを支持する。支持部材１１０は直四角形状の板で提供され、その上面に基板Ｓが置かれる。支持部材１１０は基板Ｓより大きい面積を有する。支持部材１１０の下部には回転駆動部材（図示せず）が配置される。回転駆動部材は支持部材１１０を回転させる。基板Ｓは支持部材１１０と共に回転される。
【００３０】
直線駆動部材１２０は、支持部材１１０と回転駆動部材とをレール１３０に沿って直線移動させる。以下、支持部材１１０が直線移動される方向を第１方向（Ｘ）とし、上部からみたとき、第１方向（Ｘ）と垂直になる方向を第２方向（Ｙ）とする。そして、第１及び第２方向（Ｘ、Ｙ）と垂直になる方向を第３方向（Ｚ）とする。レール１３０はベースＢの中心領域に第１方向（Ｘ）に沿って配置される。
【００３１】
ジェントリーユニット２００は、基板支持ユニット１００に対してインクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の位置が変更されるように、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０を第１方向（Ｘ）に直線移動させるものである。ジェントリーユニット２００は第１ジェントリー２１０、第１ジェントリー駆動部２２０、第２ジェントリー２５０、及び第２ジェントリー駆動部２６０を含む。
【００３２】
第１ジェントリー２１０は、支持部材１１０の移動経路の上部に配置する。第１ジェントリー２１０は、ベースＢの上面から上方に所定距離だけ離隔して配置される。第１ジェントリー２１０は、その長さ方向が第２方向（Ｙ）に平行となるように配置される。
【００３３】
第１ジェントリー駆動部２２０は第１ジェントリー２１０を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。第１ジェントリー駆動部２２０は、支持部材１１０の上部を横切って支持部材１１０の一側から他側へと第１方向（Ｘ）に直線移動させる。そして、第１ジェントリー駆動部２２０は、第１ジェントリー２１０が第２方向（Ｙ）に対して所定角度に傾いて配置されるように、第１ジェントリー２１０を回転させる。第１ジェントリー駆動部２２０は、第１ジェントリー２１０の一端を回転中心として第１ジェントリー２１０を回転させる。なお、第１ジェントリー駆動部２２０は、第１ジェントリー２１０の中心を軸として第１ジェントリー２１０を回転させるものでもよい。第１ジェントリー駆動部２２０は第１駆動部２３０と第２駆動部２４０とを含む。第１駆動部２３０は第１ジェントリー２１０の一端の下部に設けられ、第２駆動部２４０は第１ジェントリー２１０の他端の下部に設けられる。
【００３４】
図３は図１の第１駆動部を示す図面である。図３に示すように、第１駆動部２３０は第１スライダー２３１、第１回転支持部材２３２、及び第１直線駆動部材２３４を含む。
【００３５】
第１スライダー２３１は、第１ジェントリー２１０の底面にその横方向に沿って形成されたガイド溝２１４に案内されて直線移動する。第１スライダー２３１の下端部には第１回転支持部材２３２が結合する。第１回転支持部材２３２は第１直線駆動部材２３４に対して第１スライダー２３１が相対回転できるように設けられる。第１回転支持部材２３２はベアリングを含む。
【００３６】
第１回転支持部材２３２の下端には第１直線駆動部材２３４が結合される。第１直線駆動部材２３４は第１回転支持部材２３２を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。第１直線駆動部材２３４はスライダー２３５とガイドレール２３６とを含む。ガイドレール２３６はベースＢの一側にて第１方向（Ｘ）に沿って配置される。ガイドレール２３６にはスライダー２３５が移動自在に結合される。スライダー２３５の上端には第１回転支持部材２３２が結合する。スライダー２３５にはリニアモーターが内装され、スライダー２３５はリニアモーターの駆動力によって、ガイドレール２３６に沿って第１方向（Ｘ）に直線移動することができる。
【００３７】
図４は第２駆動部を示す図面である。図４に示すように、第２駆動部２４０は第１ジェントリー２１０が第１方向（Ｘ）に直線移動する場合、第１ジェントリー２１０の他端を第１方向（Ｘ）に移動させる。そして、第２駆動部２４０は第１ジェントリー２１０が回転する場合、第１ジェントリー２１０の回転軸として動作する。第２駆動部２４０は連結部材２４１、第２回転支持部材２４２、及び第２直線駆動部材２４３を含む。連結部材２４１は第１ジェントリー２１０の他端の底面に結合する。連結部材２４１の下端には第２回転支持部材２４２が結合する。第２回転支持部材２４２は第２直線駆動部材２４３に対して連結部材２４１が相対回転できるように設けられる。第２回転支持部材２４２はベアリングを含む。
【００３８】
第２回転支持部材２４２の下端には第２直線駆動部材２４３が結合する。第２直線駆動部材２４３は第２回転支持部材２４２を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。第２回転支持部材２４２の直線移動により、連結部材２４１と第１ジェントリー２１０は共に直線移動する。
【００３９】
第２直線駆動部材２４３はスライダー２４４とガイドレール２４５とを含む。ガイドレール２４５はベースＢの他側にて第１方向（Ｘ）に沿って配置される。ガイドレール２４５は第１直線駆動部材２３４のガイドレール２３６と並んで配置される。ガイドレール２４５にはスライダー２４４が移動自在に結合する。スライダー２４４の上端には第２回転支持部材２４２が結合する。スライダー２４４にはリニアモーターが内装され、スライダー２４４はリニアモーターの駆動力によって、ガイドレール２４５に沿って第１方向（Ｘ）に直線移動することができる。
【００４０】
図５は第１ジェントリーが回転する形態を示す図面である。図３乃至図５に示すように、第１ジェントリー２１０はその長さ方向が第２方向（Ｙ）に対して傾くように回転可能であり、第１方向（Ｘ）に直線移動可能である。
【００４１】
第１ジェントリー２１０が回転する過程は、以下のとおりである。先ず、第２直線駆動部材２４３が固定された状態で第１直線駆動部材２３４が第１方向（Ｘ）に直線移動する。第１直線駆動部材２３４の移動にしたがって第１回転支持部材２３２が第１方向（Ｘ）に直線移動する。第１直線駆動部材２３４とスライダー２３１の相対移動によって第１回転支持部材２３２は回転する。スライダー２３１は第１ジェントリー２１０のガイド溝２１４に沿って移動する。第１回転支持部材２３２は第１ジェントリー２１０の動きによって回転する。このような動きによって、第１ジェントリー２１０は回転されて第２方向（Ｙ）に対して所定角度に傾くように配置され得る。
【００４２】
図１及び図２に示すように、第２ジェントリー２５０は支持部材１１０の移動経路の上部に配置される。第２ジェントリー２５０は第１ジェントリー２１０と並んで配置される。
【００４３】
第２ジェントリー駆動部２６０は第２ジェントリー２５０を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。第２ジェントリー駆動部２６０は第２ジェントリー２５０の両端の下端に各々設けられる。第２ジェントリー駆動部２６０はガイドレール２３６、２４５に沿って第１方向（Ｘ）に直線移動する。
【００４４】
第１処理液供給ユニット３００は基板Ｓに第１処理液を吐出する。第１処理液供給ユニット３００はインクジェットノズル３１０、インクジェットノズル移動部３２０、及び第１処理液供給部３３０を含む。
【００４５】
インクジェットノズル３１０は第１ジェントリー２１０に設置される。インクジェットノズル３１０は複数個設けられる。インクジェットノズル３１０は第１方向（Ｘ）を前後方向としたときの第１ジェントリー２１０の前面に、又は前面及び後面の各々に設置される。インクジェットノズル３１０は第１ジェントリー２１０の横方向に離隔して複数配置される。インクジェットノズル３１０の間隔は固定されている。インクジェットノズル３１０は第２方向（Ｙ）に沿って互いに異なる直線上に配置され、図示のようなジグザグ状に配置される。インクジェットノズル３１０の底面には、基板Ｓに第１処理液を吐出する吐出口が各々形成される。吐出口は基板Ｓに形成されたパターン間の空間に第１処理液を吐出する。インクジェットノズル３１０はインクジェット印刷方式で基板Ｓのパターン間の空間に第１処理液を直接印刷させることができる。第１ジェントリー２１０の回転によって、インクジェットノズル３１０の第２方向（Ｙ）の間隔が調節される。第１ジェントリー２１０が回転されて第２方向（Ｙ）に対して所定角度に傾いて配置される場合、図６のようにインクジェットノズル３１０も共に回転されて第２方向（Ｙ）に対して傾くように配置される。このようなインクジェットノズル３１０の配置はインクジェットノズル３１０の第２方向（Ｙ）の間の間隔を狭くする。例えば、第１ジェントリー２１０が回転する前に、インクジェットノズル３１０ａの間の間隔Ｄ１がｌであるとする場合、第１ジェントリー２１０が角度θ回転されると、インクジェットノズル３１０ｂの第２方向（Ｙ）の間隔Ｄ２はｌ・ｃｏｓθとなる。第１ジェントリー２１０が回転される角度の大きさは、インクジェットノズル３１０の間隔と基板Ｓのパターン間隔とを考慮して決定される。このようなインクジェットノズル３１０の第２方向（Ｙ）間隔調節によれば、基板Ｓのパターン間隔の変更にしたがってインクジェットノズル３１０の間の間隔を個別的に調節しなければならないという不便が解消される。
【００４６】
インクジェットノズル移動部３２０はインクジェットノズル３１０を第２方向（Ｙ）に移動させる。インクジェットノズル移動部３２０はインクジェットノズル３１０と第１ジェントリー２１０とを連結する連結ブロックを移動させ、これによりインクジェットノズル３１０は一体に移動される。インクジェットノズル３１０は第２方向（Ｙ）に所定距離だけ移動することができる。インクジェットノズル３１０は第１方向（Ｘ）に第１処理液を吐出した後、第２方向（Ｙ）に所定距離だけ移動する。そして、第１方向（Ｘ）に第１処理液を吐出する。このような第１処理液吐出によって基板Ｓの各領域に第１処理液が吐出される。
【００４７】
第１処理液供給部３３０はインクジェットノズル３１０の各々に第１処理液を供給する。第１処理液供給部３３０は、第１ジェントリー２１０の上端に設置される。第１処理液供給部３３０は第１処理液格納部に供給される第１処理液を複数の股に分配してインクジェットノズル３１０の各々に供給する。これと異なり、第１処理液供給部３３０を、複数個の第１処理液格納部の各々から第１処理液をインクジェットノズル３１０の各々に供給するように設けてもよい。第１処理液は電気的特性を有するインキを含む。インキは印加された電流の大きさにしたがってその形状が変わる。インキは印加された電流の大きさにしたがって拡散程度が異なることもある。第１処理液は低い親水性を有することができ、例えば油性インキ（ｏｉｌ ｉｎｋ）を含む。
【００４８】
第２処理液供給ユニット４００は基板Ｓに第２処理液を吐出する。第２処理液供給ユニット４００はコーティングノズル４１０、第２処理液供給部４２０、コーティングノズル制御部４３０を含む。
【００４９】
コーティングノズル４１０は第２ジェントリー２５０の下部に位置し、第２ジェントリー２５０に装着される。コーティングノズル４１０はその長さ方向が第２方向（Ｙ）と平行になるように配置される。コーティングノズル４１０の底面には吐出口４１１が形成される。吐出口４１１はスリットホールから成り、コーティングノズル４１０の横方向に沿って形成される。吐出口４１１は基板Ｓの第２方向（Ｙ）の幅に相当する長さか、或いはそれより長く設けられる。吐出口４１１は第２処理液を吐出する。
【００５０】
第２処理液供給部４２０は第２ジェントリー２５０の上端に設置される。第２処理液供給部４２０は第２処理液格納部に格納された第２処理液を、供給ラインを通じてコーティングノズル４１０に供給する。第２処理液は第１処理液と異なるものであり、第１処理液とは混合されない。第２処理液は親水性が高い薬液であることができ、例えば水（ｗａｔｅｒ）を含む。
【００５１】
コーティングノズル制御部４３０は、第２ジェントリー２５０の前面に設置される。コーティングノズル制御部４３０はコーティングノズル４１０の動作を制御し、詳しくは、コーティングノズル４１０が吐出する第２処理液の流量及び吐出の周期等を制御することができる。
【００５２】
ビジョン検査ユニット５００は、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０とを検査する。ビジョン検査ユニット５００は第１方向（Ｘ）を前後方向としたときのベースＢの後部に設置される。ビジョン検査ユニット５００はカメラ５１０とカメラ移動部５２０とを含む。カメラ５１０はノズル３１０、４１０の吐出口を撮影する。撮影された映像からノズル３１０、４１０の吐出口の異常の有無を確認できる。カメラ移動部５２０は第２方向（Ｙ）にカメラ５１０を移動させる。カメラ移動部５２０はガイドレール５２１と駆動器（図示せず）とを含む。ガイドレール５２１はその長さ方向が第２方向（Ｙ）と平行に配置される。駆動器はカメラ５１０がガイドレール５２１に沿って移動するように駆動力を提供する。カメラ５１０はガイドレール５２１に沿って移動し、ノズル３１０、４１０の吐出口を連続的に撮影することができる。例えば、ビジョン検査ユニット５００の上部にコーティングノズル４１０が位置する場合、カメラ５１０はコーティングノズル４１０の一端から他端へと第２方向（Ｙ）に移動し、吐出口４１１を連続撮影することができる。
【００５３】
第１方向（Ｘ）を前後方向としたときのビジョン検査ユニット５００の後方には、ノズル洗浄ユニット６００が位置する。ノズル洗浄ユニット６００は、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の吐出口を洗浄する。ノズル洗浄ユニット６００はハウジング６１０とローラー６２０とを含む。ハウジング６１０には、上面が開放された空間が内部に形成され、この空間内には洗浄液が格納される。ローラー６２０はハウジング６１０の内部で回転自在に装着される。ローラー６２０の上端はハウジング６１０の上端より高く位置する。ローラー６２０はその長さがコーティングノズル４１０の第２方向（Ｙ）幅に対応するか、或いはそれより長く設けられる。ローラー６２０の上端はインクジェットノズル３１０の吐出口とコーティングノズル４１０の吐出口に相応する高さに位置される。また、ローラー６２０は高低が調節できるように設けられる。ローラー６２０は、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の吐出口に接触された状態で回転し、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の吐出口に残留する処理液や異物質を除去する。ローラー６２０表面に付いた処理液等は、ハウジング６１０内の洗浄液によって洗浄される。
【００５４】
以下においては、上述の基板処理装置を利用して基板を処理する方法について説明する。
【００５５】
本発明の一実施形態による基板処理方法は、第１処理液吐出段階と第２処理液吐出段階とを含む。第１処理液吐出段階では第１処理液を基板Ｓに吐出し、第２処理液吐出段階では、第１処理液が吐出された基板Ｓに対して第２処理液を吐出する。第１処理液吐出段階と第２処理液吐出段階とは順次的であり、且つ連続的に遂行される。
【００５６】
図７乃至図９は第１処理液吐出段階を示す図面である。
【００５７】
先ず、図７に示すように、インクジェットノズル３１０の第２方向（Ｙ）の間隔が基板Ｓに形成されたパターンＰの間隔と対応するように、第１ジェントリー２１０が回転する。第１ジェントリー２１０は、第１駆動部２３０と連結された一端が第１方向（Ｘ）に直線移動し、第２駆動部２４０と連結された他端が固定して位置し、これによって、第１ジェントリー２１０は他端を中心として回転し、第２方向（Ｙ）に対して所定角度（θ）傾くように配置される。また、第１駆動部２３０と第２駆動部２４０の駆動によって第１ジェントリー２１０は第１方向（Ｘ）に直線移動する。第１ジェントリー２１０は支持部材１１０の後部から前部へと直線移動する。インクジェットノズル３１０は基板Ｓ上部を通過する間に、第１処理液Ｌ１を基板Ｓに吐出する。図８のように、インクジェットノズル３１０の各々は基板ＳパターンＰ間の空間Ａに第１処理液Ｌ１を吐出する。インクジェットノズル３１０はインクジェット印刷回路方式で第１処理液Ｌ１を基板Ｓに印刷させることができる。
【００５８】
支持部材１１０の前部に移動した第１ジェントリー２１０は図９のように、第１方向（Ｘ）に沿って支持部材１１０の後部に移動する。第１ジェントリー２１０が移動する前に、インクジェットノズル３１０は第１ジェントリー２１０の横方向に沿って所定距離を移動する。インクジェットノズル３１０は第１処理液Ｌ１が供給されない基板Ｓ領域の上部に移動する。インクジェットノズル３１０が移動した後、第１ジェントリー２１０は支持部材１１０の後部に移動する。インクジェットノズル３１０は基板Ｓ上部を通過する間に、第１処理液Ｌ１を基板Ｓに吐出する。
【００５９】
第１ジェントリー２１０が支持部材１１０の上部領域を横切って、支持部材１１０の前部と後部との間の区間を反復移動し、インクジェットノズル３１０が第１ジェントリー２１０の横方向に沿って所定距離を移動することによって、基板Ｓの全体領域に第１処理液Ｌ１が吐出される。第１処理液吐出が完了した後、第１ジェントリー２１０はベースＢの後部に移動して控える。
【００６０】
第１処理液吐出段階が完了されれば、第２処理液吐出段階が順次的に、且つ連続的に進行される。
【００６１】
図１０は第２処理液吐出段階を示す図面である。図１０に示すように、第２ジェントリー２５０が支持部材１１０の前部から後部に直線移動する。第２ジェントリー２５０が基板Ｓの上部を通過する間に、コーティングノズル４１０は第１処理液が塗布された基板Ｓに対して第２処理液を吐出する。コーティングノズル４１０は基板Ｓの第２方向（Ｙ）の幅に相応する吐出口４１１を有するので、図１１のように１回の吐出で基板Ｓの全体領域に第２処理液Ｌ２を吐出することができる。第２ジェントリー２５０は支持部材１１０の後部に移動した後、再び支持部材１１０の前部に復帰する。第２ジェントリー２５０が復帰する過程で、コーティングノズル４１０は基板Ｓに再び第２処理液Ｌ２を吐出することができる。第２処理液Ｌ２は、第１処理液Ｌ１が塗布された空間Ａに供給され、第１処理液Ｌ１上に塗布される。第２処理液Ｌ２は第１処理液Ｌ１が空気中に露出することを遮断する。
【００６２】
図１２は本発明の他の実施形態による基板処理装置を示す斜視図であり、図１３は図１２の基板処理装置を示す平面図であり、図１４は図１２のジェントリーと処理液供給部を示す正面図である。
【００６３】
図１２乃至図１４に示すように、基板処理装置は基板支持ユニット１００、ジェントリーユニット２００、第１処理液供給ユニット３００、第２処理液供給ユニット４００、ビジョン検査ユニット５００、及びノズル洗浄ユニット６００を含む。基板支持ユニット１００、ビジョン検査ユニット５００、及びノズル洗浄ユニット６００は図１の実施形態と同一の構造で設けられる。
【００６４】
ジェントリーユニット２００は、基板支持ユニット１００に対してインクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の位置が変更されるように、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０を第１方向（Ｘ）に直線移動させるものである。ジェントリーユニット２００はジェントリー２１０、ジェントリー駆動部２３０、２４０を含む。
【００６５】
図１の実施形態と異なり、ジェントリーユニット２００は単一のジェントリー２１０を含む。ジェントリー２１０は支持部材１１０の移動経路の上部に配置され、その長さ方向が第２方向（Ｙ）と平行となるように配置される。
【００６６】
ジェントリー駆動部２３０、２４０はジェントリー２１０を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。ジェントリー駆動部２３０、２４０は第１方向（Ｘ）に支持部材１１０の上部を横切って支持部材１１０の一側から他側へとジェントリー２１０を移動させる。そして、ジェントリー駆動部２３０、２４０はジェントリー２１０が第２方向（Ｙ）に対して所定角度だけ傾いて配置されるように、第１ジェントリー２１０を回転させることができる。ジェントリー駆動部２３０、２４０は図１の実施形態で説明した第１ジェントリー駆動部（図１の２３０、２４０）と同一の構造で設けられる。
【００６７】
第１処理液供給ユニット３００と第２処理液供給ユニット４００はジェントリー２１０に設置される。第１処理液供給ユニット３００は基板Ｓに第１処理液を吐出する。第１処理液供給ユニット３００はインクジェットノズル３１０、インクジェットノズル移動部３２０ａ、３２０ｂ、及び第１処理液供給部３３０を含む。
【００６８】
インクジェットノズル３１０はジェントリー２１０に複数個設けられる。インクジェットノズル３１０は、第１方向（Ｘ）を前後方向としてジェントリー２１０の前部と後部に各々設置される。インクジェットノズル３１０ａ、３１０ｂは第２方向（Ｙ）に沿って一列又は複数列に配列される。同一の列に配置されたインクジェットノズル３１０ａ、３１０ｂは第２方向（Ｙ）に沿って互いに離隔して配置される。インクジェットノズル３１０の底面には吐出口が各々形成される。吐出口は第１処理液を吐出する。
【００６９】
インクジェットノズル移動部３２０ａ、３２０ｂはインクジェットノズル３１０を第２方向（Ｙ）へと一体に移動させる。
【００７０】
第１処理液供給部３３０はジェントリー２１０に設置される。第１処理液供給部３３０はインクジェットノズル３１０の各々に第１処理液を供給する。
【００７１】
第２処理液供給ユニット４００は基板Ｓに第２処理液を吐出する。第２処理液供給ユニット４００はコーティングノズル４１０、第２処理液供給部４２０、及びコーティングノズル制御部４３０を含む。
【００７２】
コーティングノズル４１０はジェントリー２１０の下部に位置し、ジェントリー２１０に支持される。コーティングノズル４１０はその長さ方向がジェントリー２１０の長さ方向と平行となるように配置される。コーティングノズル４１０はジェントリー２１０の前部に位置したインクジェットノズル３１０ａとジェントリー２１０の後部に位置したインクジェットノズル３１０ｂとの間の領域に配置される。コーティングノズル４１０の底面には吐出口４１１が形成される。吐出口４１１は基板Ｓの第２方向（Ｙ）の幅に相応する長さか、或いはそれより長く設けられる。吐出口４１１は第２処理液を吐出する。
【００７３】
第２処理液供給部４２０はジェントリー２１０に設置される。第２処理液供給部４２０はコーティングノズル４１０に第２処理液を供給する。
【００７４】
コーティングノズル制御部４３０はジェントリー２１０に設置される。コーティングノズル制御部４３０はコーティングノズル４１０の動作を制御し、詳しくは、コーティングノズル４１０が吐出する第２処理液の流量及び吐出の周期等を制御することができる。
【００７５】
上述した基板処理装置による場合、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０とは１つのジェントリー２１０によって移動する。ジェントリー２１０が支持部材１１０の上部領域を横切って支持部材１１０の前部から後部に反復移動し、このとき、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０が基板Ｓに処理液を吐出する。インクジェットノズル３１０が基板Ｓの全体領域に第１処理液を吐出した後、順次的にコーティングノズル４１０が第２処理液を吐出することができる。
【００７６】
図１５は本発明のその他の実施形態による基板処理装置を示す図面である。図１５に示すように、図１３の実施形態と異なり、コーティングノズル４１０の第２方向（Ｙ）の長さはインクジェットノズル３１０が第２方向（Ｙ）に配列された幅Ｗ１と相応する長さに設けられる。コーティングノズル４１０には、吐出口４１１が第２方向（Ｙ）に長く形成される。吐出口４１１はインクジェットノズル３１０が１回に処理液を吐出できる領域の第２方向（Ｙ）の幅に相応する長さを有する。コーティングノズル４１０はコーティングノズル移動部によって、ジェントリー２１０の長さ方向に移動することができる。コーティングノズル４１０はインクジェットノズル３１０と一体に移動するように設けてもよい。コーティングノズル移動部はジェントリー２１０に設置される。
【００７７】
ジェントリー２１０が支持部材１１０の上部領域を移動する間に、コーティングノズル４１０とインクジェットノズル３１０とは図１６のように、第１処理液Ｌ１と第２処理液Ｌ２を同時に基板Ｓに吐出することができる。ジェントリー２１０が支持部材１１０の後部から前部に移動する間に、ジェントリー２１０の前部に位置したインクジェットノズル３１０ａが基板Ｓに第１処理液Ｌ１を吐出する。これと反対に、ジェントリー２１０が支持部材１１０の前部から後部に移動する間に、ジェントリー２１０の後部に位置したインクジェットノズル３１０ｂが基板Ｓに第１処理液を吐出する。基板Ｓに形成されたパターン間の空間には第１処理液Ｌ１が塗布された後、第２処理液Ｌ２が塗布される。コーティングノズル４１０とインクジェットノズル３１０ａ、３１０ｂは第１方向（Ｘ）への処理液吐出を完了した後、第２方向（Ｙ）に所定距離だけ移動して、処理液が吐出されない基板Ｓ領域に第１及び第２処理液を順次的に吐出する。
【００７８】
図１６の実施形態による場合、ジェントリー２１０の１回移動に第１及び第２処理液Ｌ１、Ｌ２が吐出できるので、図１３の実施形態よりジェントリー２１０の第１方向（Ｘ）への移動回数を減少させることができる。
【００７９】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明するものに過ぎず、当業者であれば、本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲で多様な修正及び変形が可能である。つまり、本発明の上述の実施形態は本発明の技術思想を限定するものではなく、単に説明するためのものであり、これらの実施形態によって本発明の技術思想の範囲は限定されない。本発明の保護範囲は特許請求の範囲によって解釈され、それと同等な範囲内にある全て技術思想は本発明の権利範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８０】
１０ 基板処理装置
１００ 基板支持ユニット
２００ ジェントリーユニット
３００ 第１処理液供給ユニット
４００ 第２処理液供給ユニット
５００ ビジョン検査ユニット
６００ ノズル洗浄ユニット
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板処理装置及び方法に関し、より詳細には液晶表示パネル等の工程処理を遂行する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造工程は、ガラス基板表面に処理液を供給及び塗布する塗布工程と、処理液が塗布された基板にコーティング層を形成するコーティング工程と、を含む。塗布工程を遂行する装置として、インクジェット印刷方式で基板表面に直接処理液を印刷する装置が使用される。
【０００３】
塗布工程とコーティング工程とは、工程に使用される装置が互いに異なり、独立した別個のチャンバーで工程が遂行されていた。そのため、塗布装置とコーティング装置との間で基板を移送するための移送装置が必要であった。このような装置は、全体設備面積を増加させるだけでなく、基板移送による全体工程時間を増加させるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】韓国特許公開第１０−２０１０−００６０６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、全体工程時間を短縮させ得る装置及び方法を提供することを課題とする。
【０００６】
また、本発明は、設備全体面積が減少され得る装置及び方法を提供することを課題とする。
【０００７】
また、本発明は、１つの装置で複数個の処理液を塗布できる装置及び方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板処理装置は、基板を支持する基板支持ユニットと、前記基板に第１処理液を吐出するインクジェットノズルと、前記基板に第１処理液と異なる第２処理液を吐出するコーティングノズルと、前記基板支持ユニットに対して前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルの位置が変更されるように前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを第１方向に直線移動させるジェントリーユニットと、を含む。
【０００９】
また、前記ジェントリーユニットは前記インクジェットノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動する第１ジェントリーと、前記コーティングノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動する第２ジェントリーと、を包含できる。
【００１０】
また、前記第１ジェントリーと前記第２ジェントリーとは、前記基板支持ユニットの両側に互いに対向して前記第１方向に長く配置された一対のガイドレールに沿って直線移動することができる。
【００１１】
また、前記コーティングノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向にその長さ方向が配置され、底面には前記第２処理液を吐出するスリットホールが前記第２方向に長く形成され得る。
【００１２】
また、前記第１ジェントリーには前記インクジェットノズルが複数個装着され、前記インクジェットノズルは上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に配列され、前記第１ジェントリーに対する前記インクジェットノズルの相対位置が変更されるように前記インクジェットノズルを前記第２方向に直線移動させるインクジェットノズル移動部をさらに包含できる。
【００１３】
また、前記インクジェットノズルは複数個が前記第２方向に配列されて１つの列を形成し、前記インクジェットノズルの列は少なくとも２つ以上設けられ得る。
【００１４】
また、前記ジェントリーユニットは上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に対して前記第１ジェントリーの長さ方向が所定角度だけ傾いて配置されるように前記第１ジェントリーを回転させるジェントリー駆動部をさらに包含できる。
【００１５】
また、前記ジェントリー駆動部は前記第１ジェントリーの一端を回転中心として前記第１ジェントリーの他端を回転させ得る。
【００１６】
また、前記ジェントリーユニットは前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動するジェントリーを包含できる。
【００１７】
また、前記コーティングノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向にその長さ方向が配置され、底面には前記第２処理液を吐出するスリットホールが前記第２方向に長く形成され、前記第１方向に沿って前記コーティングノズルの前方と後方の各々の位置に、複数個の前記インクジェットノズルが前記第２方向に配列され得る。
【００１８】
本発明の基板処理方法は、基板支持ユニットの上部をインクジェットノズルが第１方向に直線移動し、第１処理液を前記基板支持ユニットに支持された基板に吐出する第１処理液吐出段階と、前記基板支持ユニットの上部をコーティングノズルが第１方向に直線移動し、前記第１処理液と異なる第２処理液を前記基板に吐出する第２処理液吐出段階と、を含み、前記第１処理液吐出段階と前記第２処理液吐出段階とは順次的に、且つ連続的に行われる。
【００１９】
また、前記インクジェットノズルは前記第１方向に直線移動可能である第１ジェントリーに支持されて移動し、前記コーティングノズルは前記第１ジェントリーと並べに配置され、前記第１方向に直線移動可能である第２ジェントリーに支持されて移動することができる。
【００２０】
また、前記インクジェットノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に沿って複数個が一列に配列され、隣接する前記インクジェットノズルの間隔が固定され、前記第１ジェントリーを所定角度回転させることで、前記第２方向の前記インクジェットノズルの間隔を変更させ得る。
【００２１】
また、前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとは、前記第１方向に直線移動可能であるジェントリーに支持されて移動し、前記インクジェットノズルは、前記第１方向に沿った前記コーティングノズルの前方と後方と両方又は一方に位置することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、装置との間に基板移送が必要とされないので、全体工程時間が短縮される。
【００２３】
また、本発明によれば、１つの装置で複数工程が遂行できるので、設備面積が減少される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態による基板処理装置を示す斜視図である。
【図２】図１の基板処理装置を示す平面図である。
【図３】図１の第１駆動部を示す図面である。
【図４】図１の第２駆動部を示す図面である。
【図５】第１ジェントリーが回転する形態を示す図面である。
【図６】第１ジェントリーの回転にしたがうインクジェットノズルの位置を示す図面である。
【図７】第１処理液吐出段階を示す図面である。
【図８】第１処理液吐出段階を示す図面である。
【図９】第１処理液吐出段階を示す図面である。
【図１０】第２処理液吐出段階を示す図面である。
【図１１】第２処理液が基板に吐出される形態を示す図面である。
【図１２】本発明の他の実施形態による基板処理装置を示す斜視図である。
【図１３】図１２の基板処理装置を示す平面図である。
【図１４】図１２のジェントリーと処理液供給部とを示す正面図である。
【図１５】本発明のその他の実施形態による基板処理装置を示す斜視図である。
【図１６】図１５の装置を利用して処理液を吐出する過程を示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付図面を参照して、本発明の望ましい実施形態による基板処理装置及び方法を詳細に説明する。本発明を説明するに際して、関連する公知構成や機能に対する具体的な説明が本発明の要旨の理解を阻害すると判断される場合には、その詳細な説明は省略する。
【００２６】
図１は本発明の一実施形態による基板処理装置を示す斜視図であり、図２は図１の基板処理装置を示す平面図である。
【００２７】
図１及び図２に示すように、基板処理装置１０は基板Ｓに処理液を塗布するものであり、基板支持ユニット１００、ジェントリーユニット２００、第１処理液供給ユニット３００、第２処理液供給ユニット４００、ビジョン検査ユニット５００、及びノズル洗浄ユニット６００を含む。基板支持ユニット１００は基板Ｓを支持し、ジェントリーユニット２００は第１処理液供給ユニット３００のインクジェットノズル３１０と第２処理液供給ユニット４００のコーティングノズル４１０とを直線移動させる。第１処理液供給ユニット３００は基板Ｓに第１処理液を供給し、第２処理液供給ユニット４００は第２処理液を供給する。ビジョン検査ユニット５００はインクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の異常の有無を検査し、ノズル洗浄ユニット６００はインクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０とを洗浄する。以下、各構成に対して詳細に説明する。
【００２８】
基板支持ユニット１００はベースＢの上面に配置される。ベースＢは一定の厚さを有する直六面体ブロックで設けられる。基板支持ユニット１００は支持部材１１０、回転駆動部材（図示せず）、及び直線駆動部材１２０を含む。
【００２９】
支持部材１１０は基板Ｓを支持する。支持部材１１０は直四角形状の板で提供され、その上面に基板Ｓが置かれる。支持部材１１０は基板Ｓより大きい面積を有する。支持部材１１０の下部には回転駆動部材（図示せず）が配置される。回転駆動部材は支持部材１１０を回転させる。基板Ｓは支持部材１１０と共に回転される。
【００３０】
直線駆動部材１２０は、支持部材１１０と回転駆動部材とをレール１３０に沿って直線移動させる。以下、支持部材１１０が直線移動される方向を第１方向（Ｘ）とし、上部からみたとき、第１方向（Ｘ）と垂直になる方向を第２方向（Ｙ）とする。そして、第１及び第２方向（Ｘ、Ｙ）と垂直になる方向を第３方向（Ｚ）とする。レール１３０はベースＢの中心領域に第１方向（Ｘ）に沿って配置される。
【００３１】
ジェントリーユニット２００は、基板支持ユニット１００に対してインクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の位置が変更されるように、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０を第１方向（Ｘ）に直線移動させるものである。ジェントリーユニット２００は第１ジェントリー２１０、第１ジェントリー駆動部２２０、第２ジェントリー２５０、及び第２ジェントリー駆動部２６０を含む。
【００３２】
第１ジェントリー２１０は、支持部材１１０の移動経路の上部に配置する。第１ジェントリー２１０は、ベースＢの上面から上方に所定距離だけ離隔して配置される。第１ジェントリー２１０は、その長さ方向が第２方向（Ｙ）に平行となるように配置される。
【００３３】
第１ジェントリー駆動部２２０は第１ジェントリー２１０を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。第１ジェントリー駆動部２２０は、支持部材１１０の上部を横切って支持部材１１０の一側から他側へと第１方向（Ｘ）に直線移動させる。そして、第１ジェントリー駆動部２２０は、第１ジェントリー２１０が第２方向（Ｙ）に対して所定角度に傾いて配置されるように、第１ジェントリー２１０を回転させる。第１ジェントリー駆動部２２０は、第１ジェントリー２１０の一端を回転中心として第１ジェントリー２１０を回転させる。なお、第１ジェントリー駆動部２２０は、第１ジェントリー２１０の中心を軸として第１ジェントリー２１０を回転させるものでもよい。第１ジェントリー駆動部２２０は第１駆動部２３０と第２駆動部２４０とを含む。第１駆動部２３０は第１ジェントリー２１０の一端の下部に設けられ、第２駆動部２４０は第１ジェントリー２１０の他端の下部に設けられる。
【００３４】
図３は図１の第１駆動部を示す図面である。図３に示すように、第１駆動部２３０は第１スライダー２３１、第１回転支持部材２３２、及び第１直線駆動部材２３４を含む。
【００３５】
第１スライダー２３１は、第１ジェントリー２１０の底面にその横方向に沿って形成されたガイド溝２１４に案内されて直線移動する。第１スライダー２３１の下端部には第１回転支持部材２３２が結合する。第１回転支持部材２３２は第１直線駆動部材２３４に対して第１スライダー２３１が相対回転できるように設けられる。第１回転支持部材２３２はベアリングを含む。
【００３６】
第１回転支持部材２３２の下端には第１直線駆動部材２３４が結合される。第１直線駆動部材２３４は第１回転支持部材２３２を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。第１直線駆動部材２３４はスライダー２３５とガイドレール２３６とを含む。ガイドレール２３６はベースＢの一側にて第１方向（Ｘ）に沿って配置される。ガイドレール２３６にはスライダー２３５が移動自在に結合される。スライダー２３５の上端には第１回転支持部材２３２が結合する。スライダー２３５にはリニアモーターが内装され、スライダー２３５はリニアモーターの駆動力によって、ガイドレール２３６に沿って第１方向（Ｘ）に直線移動することができる。
【００３７】
図４は第２駆動部を示す図面である。図４に示すように、第２駆動部２４０は第１ジェントリー２１０が第１方向（Ｘ）に直線移動する場合、第１ジェントリー２１０の他端を第１方向（Ｘ）に移動させる。そして、第２駆動部２４０は第１ジェントリー２１０が回転する場合、第１ジェントリー２１０の回転軸として動作する。第２駆動部２４０は連結部材２４１、第２回転支持部材２４２、及び第２直線駆動部材２４３を含む。連結部材２４１は第１ジェントリー２１０の他端の底面に結合する。連結部材２４１の下端には第２回転支持部材２４２が結合する。第２回転支持部材２４２は第２直線駆動部材２４３に対して連結部材２４１が相対回転できるように設けられる。第２回転支持部材２４２はベアリングを含む。
【００３８】
第２回転支持部材２４２の下端には第２直線駆動部材２４３が結合する。第２直線駆動部材２４３は第２回転支持部材２４２を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。第２回転支持部材２４２の直線移動により、連結部材２４１と第１ジェントリー２１０は共に直線移動する。
【００３９】
第２直線駆動部材２４３はスライダー２４４とガイドレール２４５とを含む。ガイドレール２４５はベースＢの他側にて第１方向（Ｘ）に沿って配置される。ガイドレール２４５は第１直線駆動部材２３４のガイドレール２３６と並んで配置される。ガイドレール２４５にはスライダー２４４が移動自在に結合する。スライダー２４４の上端には第２回転支持部材２４２が結合する。スライダー２４４にはリニアモーターが内装され、スライダー２４４はリニアモーターの駆動力によって、ガイドレール２４５に沿って第１方向（Ｘ）に直線移動することができる。
【００４０】
図５は第１ジェントリーが回転する形態を示す図面である。図３乃至図５に示すように、第１ジェントリー２１０はその長さ方向が第２方向（Ｙ）に対して傾くように回転可能であり、第１方向（Ｘ）に直線移動可能である。
【００４１】
第１ジェントリー２１０が回転する過程は、以下のとおりである。先ず、第２直線駆動部材２４３が固定された状態で第１直線駆動部材２３４が第１方向（Ｘ）に直線移動する。第１直線駆動部材２３４の移動にしたがって第１回転支持部材２３２が第１方向（Ｘ）に直線移動する。第１直線駆動部材２３４とスライダー２３１の相対移動によって第１回転支持部材２３２は回転する。スライダー２３１は第１ジェントリー２１０のガイド溝２１４に沿って移動する。第１回転支持部材２３２は第１ジェントリー２１０の動きによって回転する。このような動きによって、第１ジェントリー２１０は回転されて第２方向（Ｙ）に対して所定角度に傾くように配置され得る。
【００４２】
図１及び図２に示すように、第２ジェントリー２５０は支持部材１１０の移動経路の上部に配置される。第２ジェントリー２５０は第１ジェントリー２１０と並んで配置される。
【００４３】
第２ジェントリー駆動部２６０は第２ジェントリー２５０を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。第２ジェントリー駆動部２６０は第２ジェントリー２５０の両端の下端に各々設けられる。第２ジェントリー駆動部２６０はガイドレール２３６、２４５に沿って第１方向（Ｘ）に直線移動する。
【００４４】
第１処理液供給ユニット３００は基板Ｓに第１処理液を吐出する。第１処理液供給ユニット３００はインクジェットノズル３１０、インクジェットノズル移動部３２０、及び第１処理液供給部３３０を含む。
【００４５】
インクジェットノズル３１０は第１ジェントリー２１０に設置される。インクジェットノズル３１０は複数個設けられる。インクジェットノズル３１０は第１方向（Ｘ）を前後方向としたときの第１ジェントリー２１０の前面に、又は前面及び後面の各々に設置される。インクジェットノズル３１０は第１ジェントリー２１０の横方向に離隔して複数配置される。インクジェットノズル３１０の間隔は固定されている。インクジェットノズル３１０は第２方向（Ｙ）に沿って互いに異なる直線上に配置され、図示のようなジグザグ状に配置される。インクジェットノズル３１０の底面には、基板Ｓに第１処理液を吐出する吐出口が各々形成される。吐出口は基板Ｓに形成されたパターン間の空間に第１処理液を吐出する。インクジェットノズル３１０はインクジェット印刷方式で基板Ｓのパターン間の空間に第１処理液を直接印刷させることができる。第１ジェントリー２１０の回転によって、インクジェットノズル３１０の第２方向（Ｙ）の間隔が調節される。第１ジェントリー２１０が回転されて第２方向（Ｙ）に対して所定角度に傾いて配置される場合、図６のようにインクジェットノズル３１０も共に回転されて第２方向（Ｙ）に対して傾くように配置される。このようなインクジェットノズル３１０の配置はインクジェットノズル３１０の第２方向（Ｙ）の間の間隔を狭くする。例えば、第１ジェントリー２１０が回転する前に、インクジェットノズル３１０ａの間の間隔Ｄ１がｌであるとする場合、第１ジェントリー２１０が角度θ回転されると、インクジェットノズル３１０ｂの第２方向（Ｙ）の間隔Ｄ２はｌ・ｃｏｓθとなる。第１ジェントリー２１０が回転される角度の大きさは、インクジェットノズル３１０の間隔と基板Ｓのパターン間隔とを考慮して決定される。このようなインクジェットノズル３１０の第２方向（Ｙ）間隔調節によれば、基板Ｓのパターン間隔の変更にしたがってインクジェットノズル３１０の間の間隔を個別的に調節しなければならないという不便が解消される。
【００４６】
インクジェットノズル移動部３２０はインクジェットノズル３１０を第２方向（Ｙ）に移動させる。インクジェットノズル移動部３２０はインクジェットノズル３１０と第１ジェントリー２１０とを連結する連結ブロックを移動させ、これによりインクジェットノズル３１０は一体に移動される。インクジェットノズル３１０は第２方向（Ｙ）に所定距離だけ移動することができる。インクジェットノズル３１０は第１方向（Ｘ）に第１処理液を吐出した後、第２方向（Ｙ）に所定距離だけ移動する。そして、第１方向（Ｘ）に第１処理液を吐出する。このような第１処理液吐出によって基板Ｓの各領域に第１処理液が吐出される。
【００４７】
第１処理液供給部３３０はインクジェットノズル３１０の各々に第１処理液を供給する。第１処理液供給部３３０は、第１ジェントリー２１０の上端に設置される。第１処理液供給部３３０は第１処理液格納部に供給される第１処理液を複数の股に分配してインクジェットノズル３１０の各々に供給する。これと異なり、第１処理液供給部３３０を、複数個の第１処理液格納部の各々から第１処理液をインクジェットノズル３１０の各々に供給するように設けてもよい。第１処理液は電気的特性を有するインキを含む。インキは印加された電流の大きさにしたがってその形状が変わる。インキは印加された電流の大きさにしたがって拡散程度が異なることもある。第１処理液は低い親水性を有することができ、例えば油性インキ（ｏｉｌ ｉｎｋ）を含む。
【００４８】
第２処理液供給ユニット４００は基板Ｓに第２処理液を吐出する。第２処理液供給ユニット４００はコーティングノズル４１０、第２処理液供給部４２０、コーティングノズル制御部４３０を含む。
【００４９】
コーティングノズル４１０は第２ジェントリー２５０の下部に位置し、第２ジェントリー２５０に装着される。コーティングノズル４１０はその長さ方向が第２方向（Ｙ）と平行になるように配置される。コーティングノズル４１０の底面には吐出口４１１が形成される。吐出口４１１はスリットホールから成り、コーティングノズル４１０の横方向に沿って形成される。吐出口４１１は基板Ｓの第２方向（Ｙ）の幅に相当する長さか、或いはそれより長く設けられる。吐出口４１１は第２処理液を吐出する。
【００５０】
第２処理液供給部４２０は第２ジェントリー２５０の上端に設置される。第２処理液供給部４２０は第２処理液格納部に格納された第２処理液を、供給ラインを通じてコーティングノズル４１０に供給する。第２処理液は第１処理液と異なるものであり、第１処理液とは混合されない。第２処理液は親水性が高い薬液であることができ、例えば水（ｗａｔｅｒ）を含む。
【００５１】
コーティングノズル制御部４３０は、第２ジェントリー２５０の前面に設置される。コーティングノズル制御部４３０はコーティングノズル４１０の動作を制御し、詳しくは、コーティングノズル４１０が吐出する第２処理液の流量及び吐出の周期等を制御することができる。
【００５２】
ビジョン検査ユニット５００は、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０とを検査する。ビジョン検査ユニット５００は第１方向（Ｘ）を前後方向としたときのベースＢの後部に設置される。ビジョン検査ユニット５００はカメラ５１０とカメラ移動部５２０とを含む。カメラ５１０はノズル３１０、４１０の吐出口を撮影する。撮影された映像からノズル３１０、４１０の吐出口の異常の有無を確認できる。カメラ移動部５２０は第２方向（Ｙ）にカメラ５１０を移動させる。カメラ移動部５２０はガイドレール５２１と駆動器（図示せず）とを含む。ガイドレール５２１はその長さ方向が第２方向（Ｙ）と平行に配置される。駆動器はカメラ５１０がガイドレール５２１に沿って移動するように駆動力を提供する。カメラ５１０はガイドレール５２１に沿って移動し、ノズル３１０、４１０の吐出口を連続的に撮影することができる。例えば、ビジョン検査ユニット５００の上部にコーティングノズル４１０が位置する場合、カメラ５１０はコーティングノズル４１０の一端から他端へと第２方向（Ｙ）に移動し、吐出口４１１を連続撮影することができる。
【００５３】
第１方向（Ｘ）を前後方向としたときのビジョン検査ユニット５００の後方には、ノズル洗浄ユニット６００が位置する。ノズル洗浄ユニット６００は、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の吐出口を洗浄する。ノズル洗浄ユニット６００はハウジング６１０とローラー６２０とを含む。ハウジング６１０には、上面が開放された空間が内部に形成され、この空間内には洗浄液が格納される。ローラー６２０はハウジング６１０の内部で回転自在に装着される。ローラー６２０の上端はハウジング６１０の上端より高く位置する。ローラー６２０はその長さがコーティングノズル４１０の第２方向（Ｙ）幅に対応するか、或いはそれより長く設けられる。ローラー６２０の上端はインクジェットノズル３１０の吐出口とコーティングノズル４１０の吐出口に相応する高さに位置される。また、ローラー６２０は高低が調節できるように設けられる。ローラー６２０は、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の吐出口に接触された状態で回転し、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の吐出口に残留する処理液や異物質を除去する。ローラー６２０表面に付いた処理液等は、ハウジング６１０内の洗浄液によって洗浄される。
【００５４】
以下においては、上述の基板処理装置を利用して基板を処理する方法について説明する。
【００５５】
本発明の一実施形態による基板処理方法は、第１処理液吐出段階と第２処理液吐出段階とを含む。第１処理液吐出段階では第１処理液を基板Ｓに吐出し、第２処理液吐出段階では、第１処理液が吐出された基板Ｓに対して第２処理液を吐出する。第１処理液吐出段階と第２処理液吐出段階とは順次的であり、且つ連続的に遂行される。
【００５６】
図７乃至図９は第１処理液吐出段階を示す図面である。
【００５７】
先ず、図７に示すように、インクジェットノズル３１０の第２方向（Ｙ）の間隔が基板Ｓに形成されたパターンＰの間隔と対応するように、第１ジェントリー２１０が回転する。第１ジェントリー２１０は、第１駆動部２３０と連結された一端が第１方向（Ｘ）に直線移動し、第２駆動部２４０と連結された他端が固定して位置し、これによって、第１ジェントリー２１０は他端を中心として回転し、第２方向（Ｙ）に対して所定角度（θ）傾くように配置される。また、第１駆動部２３０と第２駆動部２４０の駆動によって第１ジェントリー２１０は第１方向（Ｘ）に直線移動する。第１ジェントリー２１０は支持部材１１０の後部から前部へと直線移動する。インクジェットノズル３１０は基板Ｓ上部を通過する間に、第１処理液Ｌ１を基板Ｓに吐出する。図８のように、インクジェットノズル３１０の各々は基板ＳパターンＰ間の空間Ａに第１処理液Ｌ１を吐出する。インクジェットノズル３１０はインクジェット印刷回路方式で第１処理液Ｌ１を基板Ｓに印刷させることができる。
【００５８】
支持部材１１０の前部に移動した第１ジェントリー２１０は図９のように、第１方向（Ｘ）に沿って支持部材１１０の後部に移動する。第１ジェントリー２１０が移動する前に、インクジェットノズル３１０は第１ジェントリー２１０の横方向に沿って所定距離を移動する。インクジェットノズル３１０は第１処理液Ｌ１が供給されない基板Ｓ領域の上部に移動する。インクジェットノズル３１０が移動した後、第１ジェントリー２１０は支持部材１１０の後部に移動する。インクジェットノズル３１０は基板Ｓ上部を通過する間に、第１処理液Ｌ１を基板Ｓに吐出する。
【００５９】
第１ジェントリー２１０が支持部材１１０の上部領域を横切って、支持部材１１０の前部と後部との間の区間を反復移動し、インクジェットノズル３１０が第１ジェントリー２１０の横方向に沿って所定距離を移動することによって、基板Ｓの全体領域に第１処理液Ｌ１が吐出される。第１処理液吐出が完了した後、第１ジェントリー２１０はベースＢの後部に移動して控える。
【００６０】
第１処理液吐出段階が完了されれば、第２処理液吐出段階が順次的に、且つ連続的に進行される。
【００６１】
図１０は第２処理液吐出段階を示す図面である。図１０に示すように、第２ジェントリー２５０が支持部材１１０の前部から後部に直線移動する。第２ジェントリー２５０が基板Ｓの上部を通過する間に、コーティングノズル４１０は第１処理液が塗布された基板Ｓに対して第２処理液を吐出する。コーティングノズル４１０は基板Ｓの第２方向（Ｙ）の幅に相応する吐出口４１１を有するので、図１１のように１回の吐出で基板Ｓの全体領域に第２処理液Ｌ２を吐出することができる。第２ジェントリー２５０は支持部材１１０の後部に移動した後、再び支持部材１１０の前部に復帰する。第２ジェントリー２５０が復帰する過程で、コーティングノズル４１０は基板Ｓに再び第２処理液Ｌ２を吐出することができる。第２処理液Ｌ２は、第１処理液Ｌ１が塗布された空間Ａに供給され、第１処理液Ｌ１上に塗布される。第２処理液Ｌ２は第１処理液Ｌ１が空気中に露出することを遮断する。
【００６２】
図１２は本発明の他の実施形態による基板処理装置を示す斜視図であり、図１３は図１２の基板処理装置を示す平面図であり、図１４は図１２のジェントリーと処理液供給部を示す正面図である。
【００６３】
図１２乃至図１４に示すように、基板処理装置は基板支持ユニット１００、ジェントリーユニット２００、第１処理液供給ユニット３００、第２処理液供給ユニット４００、ビジョン検査ユニット５００、及びノズル洗浄ユニット６００を含む。基板支持ユニット１００、ビジョン検査ユニット５００、及びノズル洗浄ユニット６００は図１の実施形態と同一の構造で設けられる。
【００６４】
ジェントリーユニット２００は、基板支持ユニット１００に対してインクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０の位置が変更されるように、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０を第１方向（Ｘ）に直線移動させるものである。ジェントリーユニット２００はジェントリー２１０、ジェントリー駆動部２３０、２４０を含む。
【００６５】
図１の実施形態と異なり、ジェントリーユニット２００は単一のジェントリー２１０を含む。ジェントリー２１０は支持部材１１０の移動経路の上部に配置され、その長さ方向が第２方向（Ｙ）と平行となるように配置される。
【００６６】
ジェントリー駆動部２３０、２４０はジェントリー２１０を第１方向（Ｘ）に直線移動させる。ジェントリー駆動部２３０、２４０は第１方向（Ｘ）に支持部材１１０の上部を横切って支持部材１１０の一側から他側へとジェントリー２１０を移動させる。そして、ジェントリー駆動部２３０、２４０はジェントリー２１０が第２方向（Ｙ）に対して所定角度だけ傾いて配置されるように、第１ジェントリー２１０を回転させることができる。ジェントリー駆動部２３０、２４０は図１の実施形態で説明した第１ジェントリー駆動部（図１の２３０、２４０）と同一の構造で設けられる。
【００６７】
第１処理液供給ユニット３００と第２処理液供給ユニット４００はジェントリー２１０に設置される。第１処理液供給ユニット３００は基板Ｓに第１処理液を吐出する。第１処理液供給ユニット３００はインクジェットノズル３１０、インクジェットノズル移動部３２０ａ、３２０ｂ、及び第１処理液供給部３３０を含む。
【００６８】
インクジェットノズル３１０はジェントリー２１０に複数個設けられる。インクジェットノズル３１０は、第１方向（Ｘ）を前後方向としてジェントリー２１０の前部と後部に各々設置される。インクジェットノズル３１０ａ、３１０ｂは第２方向（Ｙ）に沿って一列又は複数列に配列される。同一の列に配置されたインクジェットノズル３１０ａ、３１０ｂは第２方向（Ｙ）に沿って互いに離隔して配置される。インクジェットノズル３１０の底面には吐出口が各々形成される。吐出口は第１処理液を吐出する。
【００６９】
インクジェットノズル移動部３２０ａ、３２０ｂはインクジェットノズル３１０を第２方向（Ｙ）へと一体に移動させる。
【００７０】
第１処理液供給部３３０はジェントリー２１０に設置される。第１処理液供給部３３０はインクジェットノズル３１０の各々に第１処理液を供給する。
【００７１】
第２処理液供給ユニット４００は基板Ｓに第２処理液を吐出する。第２処理液供給ユニット４００はコーティングノズル４１０、第２処理液供給部４２０、及びコーティングノズル制御部４３０を含む。
【００７２】
コーティングノズル４１０はジェントリー２１０の下部に位置し、ジェントリー２１０に支持される。コーティングノズル４１０はその長さ方向がジェントリー２１０の長さ方向と平行となるように配置される。コーティングノズル４１０はジェントリー２１０の前部に位置したインクジェットノズル３１０ａとジェントリー２１０の後部に位置したインクジェットノズル３１０ｂとの間の領域に配置される。コーティングノズル４１０の底面には吐出口４１１が形成される。吐出口４１１は基板Ｓの第２方向（Ｙ）の幅に相応する長さか、或いはそれより長く設けられる。吐出口４１１は第２処理液を吐出する。
【００７３】
第２処理液供給部４２０はジェントリー２１０に設置される。第２処理液供給部４２０はコーティングノズル４１０に第２処理液を供給する。
【００７４】
コーティングノズル制御部４３０はジェントリー２１０に設置される。コーティングノズル制御部４３０はコーティングノズル４１０の動作を制御し、詳しくは、コーティングノズル４１０が吐出する第２処理液の流量及び吐出の周期等を制御することができる。
【００７５】
上述した基板処理装置による場合、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０とは１つのジェントリー２１０によって移動する。ジェントリー２１０が支持部材１１０の上部領域を横切って支持部材１１０の前部から後部に反復移動し、このとき、インクジェットノズル３１０とコーティングノズル４１０が基板Ｓに処理液を吐出する。インクジェットノズル３１０が基板Ｓの全体領域に第１処理液を吐出した後、順次的にコーティングノズル４１０が第２処理液を吐出することができる。
【００７６】
図１５は本発明のその他の実施形態による基板処理装置を示す図面である。図１５に示すように、図１３の実施形態と異なり、コーティングノズル４１０の第２方向（Ｙ）の長さはインクジェットノズル３１０が第２方向（Ｙ）に配列された幅Ｗ１と相応する長さに設けられる。コーティングノズル４１０には、吐出口４１１が第２方向（Ｙ）に長く形成される。吐出口４１１はインクジェットノズル３１０が１回に処理液を吐出できる領域の第２方向（Ｙ）の幅に相応する長さを有する。コーティングノズル４１０はコーティングノズル移動部によって、ジェントリー２１０の長さ方向に移動することができる。コーティングノズル４１０はインクジェットノズル３１０と一体に移動するように設けてもよい。コーティングノズル移動部はジェントリー２１０に設置される。
【００７７】
ジェントリー２１０が支持部材１１０の上部領域を移動する間に、コーティングノズル４１０とインクジェットノズル３１０とは図１６のように、第１処理液Ｌ１と第２処理液Ｌ２を同時に基板Ｓに吐出することができる。ジェントリー２１０が支持部材１１０の後部から前部に移動する間に、ジェントリー２１０の前部に位置したインクジェットノズル３１０ａが基板Ｓに第１処理液Ｌ１を吐出する。これと反対に、ジェントリー２１０が支持部材１１０の前部から後部に移動する間に、ジェントリー２１０の後部に位置したインクジェットノズル３１０ｂが基板Ｓに第１処理液を吐出する。基板Ｓに形成されたパターン間の空間には第１処理液Ｌ１が塗布された後、第２処理液Ｌ２が塗布される。コーティングノズル４１０とインクジェットノズル３１０ａ、３１０ｂは第１方向（Ｘ）への処理液吐出を完了した後、第２方向（Ｙ）に所定距離だけ移動して、処理液が吐出されない基板Ｓ領域に第１及び第２処理液を順次的に吐出する。
【００７８】
図１６の実施形態による場合、ジェントリー２１０の１回移動に第１及び第２処理液Ｌ１、Ｌ２が吐出できるので、図１３の実施形態よりジェントリー２１０の第１方向（Ｘ）への移動回数を減少させることができる。
【００７９】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明するものに過ぎず、当業者であれば、本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲で多様な修正及び変形が可能である。つまり、本発明の上述の実施形態は本発明の技術思想を限定するものではなく、単に説明するためのものであり、これらの実施形態によって本発明の技術思想の範囲は限定されない。本発明の保護範囲は特許請求の範囲によって解釈され、それと同等な範囲内にある全て技術思想は本発明の権利範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８０】
１０ 基板処理装置
１００ 基板支持ユニット
２００ ジェントリーユニット
３００ 第１処理液供給ユニット
４００ 第２処理液供給ユニット
５００ ビジョン検査ユニット
６００ ノズル洗浄ユニット
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板に第１処理液を吐出するインクジェットノズルと、
前記基板に第１処理液と異なる第２処理液を吐出するコーティングノズルと、
前記基板支持ユニットに対して前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルの位置が変更されるように前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを第１方向に直線移動させるジェントリーユニットと、を含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記ジェントリーユニットは、
前記インクジェットノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動する第１ジェントリーと、
前記コーティングノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動する第２ジェントリーと、を含むことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記第１ジェントリーと前記第２ジェントリーとは、前記基板支持ユニットの両側に互いに対向して前記第１方向に長く配置された一対のガイドレールに沿って直線移動することを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記コーティングノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向にその長さ方向が配置され、底面には前記第２処理液を吐出するスリットホールが前記第２方向に長く形成されたことを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記第１ジェントリーには前記インクジェットノズルが複数個装着され、
前記インクジェットノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に配列され、
前記第１ジェントリーに対する前記インクジェットノズルの相対位置が変更されるように前記インクジェットノズルを前記第２方向に直線移動させるインクジェットノズル移動部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記インクジェットノズルは複数個が前記第２方向に配列されて１つの列を形成し、
前記インクジェットノズルの列は少なくとも２つ以上設けられることを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記ジェントリーユニットは、
上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に対して前記第１ジェントリーの長さ方向が所定角度だけ傾いて配置されるように前記第１ジェントリーを回転させるジェントリー駆動部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記ジェントリー駆動部は、
前記第１ジェントリーの一端を回転中心として前記第１ジェントリーの他端を回転させることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記ジェントリーユニットは、
前記コーティングノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動するジェントリーを含むことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
また、前記コーティングノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向にその長さ方向が配置され、底面には前記第２処理液を吐出するスリットホールが前記第２方向に長く形成され、
前記第１方向に沿って前記コーティングノズルの前方と後方の各々の位置に、複数個の前記インクジェットノズルが前記第２方向に配列されることを特徴とする請求項９に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
基板支持ユニットの上部をインクジェットノズルが第１方向に直線移動し、第１処理液を前記基板支持ユニットに支持された基板に吐出する第１処理液吐出段階と、
前記基板支持ユニットの上部をコーティングノズルが第１方向に直線移動し、前記第１処理液と異なる第２処理液を前記基板に吐出する第２処理液吐出段階と、を含み、
前記第１処理液吐出段階と前記第２処理液吐出段階とは順次的に、且つ連続的に行われることを特徴とする基板処理方法。
【請求項１２】
前記インクジェットノズルは、前記第１方向に直線移動できる第１ジェントリーに支持されて移動し、
前記コーティングノズルは、前記第１ジェントリーと並んで配置され、前記第１方向に直線移動できる第２ジェントリーに支持されて移動することを特徴とする請求項１１に記載の基板処理方法。
【請求項１３】
前記インクジェットノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に沿って複数個が一列に配列され、隣接する前記インクジェットノズルの間隔が固定され、
前記第１ジェントリーを所定角度回転させることで、前記第２方向の前記インクジェットノズルの間隔を変更させることを特徴とする請求項１２に記載の基板処理方法。
【請求項１４】
前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとは、前記第１方向に直線移動できるジェントリーに支持されて移動し、
前記インクジェットノズルは、前記第１方向に沿った前記コーティングノズルの前方と後方の両方又は一方に位置することを特徴とする請求項１１に記載の基板処理方法。
【請求項１】
基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板に第１処理液を吐出するインクジェットノズルと、
前記基板に第１処理液と異なる第２処理液を吐出するコーティングノズルと、
前記基板支持ユニットに対して前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルの位置が変更されるように前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを第１方向に直線移動させるジェントリーユニットと、を含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記ジェントリーユニットは、
前記インクジェットノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動する第１ジェントリーと、
前記コーティングノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動する第２ジェントリーと、を含むことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記第１ジェントリーと前記第２ジェントリーとは、前記基板支持ユニットの両側に互いに対向して前記第１方向に長く配置された一対のガイドレールに沿って直線移動することを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記コーティングノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向にその長さ方向が配置され、底面には前記第２処理液を吐出するスリットホールが前記第２方向に長く形成されたことを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記第１ジェントリーには前記インクジェットノズルが複数個装着され、
前記インクジェットノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に配列され、
前記第１ジェントリーに対する前記インクジェットノズルの相対位置が変更されるように前記インクジェットノズルを前記第２方向に直線移動させるインクジェットノズル移動部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記インクジェットノズルは複数個が前記第２方向に配列されて１つの列を形成し、
前記インクジェットノズルの列は少なくとも２つ以上設けられることを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記ジェントリーユニットは、
上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に対して前記第１ジェントリーの長さ方向が所定角度だけ傾いて配置されるように前記第１ジェントリーを回転させるジェントリー駆動部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記ジェントリー駆動部は、
前記第１ジェントリーの一端を回転中心として前記第１ジェントリーの他端を回転させることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記ジェントリーユニットは、
前記コーティングノズルを支持し、前記基板支持ユニットの上部を横切って前記基板支持ユニットの一側から他側へと前記第１方向に直線移動するジェントリーを含むことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
また、前記コーティングノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向にその長さ方向が配置され、底面には前記第２処理液を吐出するスリットホールが前記第２方向に長く形成され、
前記第１方向に沿って前記コーティングノズルの前方と後方の各々の位置に、複数個の前記インクジェットノズルが前記第２方向に配列されることを特徴とする請求項９に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
基板支持ユニットの上部をインクジェットノズルが第１方向に直線移動し、第１処理液を前記基板支持ユニットに支持された基板に吐出する第１処理液吐出段階と、
前記基板支持ユニットの上部をコーティングノズルが第１方向に直線移動し、前記第１処理液と異なる第２処理液を前記基板に吐出する第２処理液吐出段階と、を含み、
前記第１処理液吐出段階と前記第２処理液吐出段階とは順次的に、且つ連続的に行われることを特徴とする基板処理方法。
【請求項１２】
前記インクジェットノズルは、前記第１方向に直線移動できる第１ジェントリーに支持されて移動し、
前記コーティングノズルは、前記第１ジェントリーと並んで配置され、前記第１方向に直線移動できる第２ジェントリーに支持されて移動することを特徴とする請求項１１に記載の基板処理方法。
【請求項１３】
前記インクジェットノズルは、上部からみたとき、前記第１方向と垂直になる第２方向に沿って複数個が一列に配列され、隣接する前記インクジェットノズルの間隔が固定され、
前記第１ジェントリーを所定角度回転させることで、前記第２方向の前記インクジェットノズルの間隔を変更させることを特徴とする請求項１２に記載の基板処理方法。
【請求項１４】
前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとは、前記第１方向に直線移動できるジェントリーに支持されて移動し、
前記インクジェットノズルは、前記第１方向に沿った前記コーティングノズルの前方と後方の両方又は一方に位置することを特徴とする請求項１１に記載の基板処理方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１３−３１８４０（Ｐ２０１３−３１８４０Ａ）
【公開日】平成２５年２月１４日（２０１３．２．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−１６６６８４（Ｐ２０１２−１６６６８４）
【出願日】平成２４年７月２７日（２０１２．７．２７）
【出願人】（５００３７６４４９）セメス株式会社 (61)
【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， Ｌｔｄ
【住所又は居所原語表記】２７８， Ｍｏｓｉ−ｒｉ， Ｊｉｋｓａｎ−ｅｕｐ， Ｓｅｏｂｕｋ−ｇｕ， Ｃｈｅｏｎａｎ−ｓｉ， Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ−ｄｏ ３３０−２９０， Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年２月１４日（２０１３．２．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年７月２７日（２０１２．７．２７）
【出願人】（５００３７６４４９）セメス株式会社 (61)
【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， Ｌｔｄ
【住所又は居所原語表記】２７８， Ｍｏｓｉ−ｒｉ， Ｊｉｋｓａｎ−ｅｕｐ， Ｓｅｏｂｕｋ−ｇｕ， Ｃｈｅｏｎａｎ−ｓｉ， Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ−ｄｏ ３３０−２９０， Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ
【Ｆターム（参考）】
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