本発明の実施形態は、一般的に構成部品に関連する慣らし運転期間の必要性を排除すると共に、その摩耗期の構成部品の耐用年数を延長させるために、プラズマ・エッチング工程と、任意の強化超音波とメガソニックの少なくとも一方の前処理段階とを用いて半導体製造用部品を前処理する方法を提供する。
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【課題】分注ノズルの洗浄を確実に行うとともに、洗浄時間の短縮を可能とするノズル洗浄方法およびノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】液体の吸引および吐出を行う分注ノズル５０を洗浄するノズル洗浄方法において、分注終了後、洗浄液Ｌ２をオーバーフローさせた貯留槽６２上部において、分注ノズル５０の内壁面を予圧用液Ｌ１の吐出により洗浄する第一洗浄ステップと、洗浄液Ｌ２をオーバーフローさせた貯留槽６２に、分注ノズル５０を下降浸漬させることにより、少なくとも外壁面を洗浄する第二洗浄ステップと、を含むことを特徴とするノズル洗浄方法を使用することにより、分注ノズル５０の単一の貯留槽での洗浄を可能として洗浄時間の延長を防止するとともに、貯留槽への検体の持込みを低減して効率的な洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】一定の幅を有する無端状ベルトを、複数本同時に均一かつ強力に、すすぎ洗浄する洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】すすぎ液槽内に一定方向に流れるすすぎ液流を形成し、無端状ベルトを、その幅方向がすすぎ液流の流れ方向に沿うようにすすぎ液槽内に配置する。その結果、無端状ベルトと水との間に発生するせん断力により、無端状ベルトが、すすぎ洗浄される。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな装置で効率良く棒状部材の洗浄を行うことができる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】内部にワーク１を収容可能な収容部５を有するケース１０ａ，１１Ａと、収容部５への洗浄液の給排を行う洗浄液給排装置２Ａとを備え、ケース１０ａ，１１Ａは、収容部５へのワーク１の出し入れを行うことができるよう開閉可能に分割して構成され、ワーク１は、収容部５内へ供給されて排出される洗浄液によって洗浄されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】廃液処理の問題がなく設備費などを抑えながら、清浄効率や効果に優れた表面清浄化方法及び装置を提供する。
【解決手段】水中燃焼による表面清浄化方法であり、被洗浄物を保持しかつ被洗浄物表面を冠水ないしは水中に浸すとともに、燃焼炎を被洗浄物表面に該表面上の水を排除しながら照射し、該燃焼炎及び該燃焼炎にて発生する活性種に被洗浄物表面を曝すことにより該被洗浄物表面の汚染物を除去するようにした。また、前記燃焼炎は、保炎器を介して前記被洗浄物側へ照射されるとともに、前記被洗浄物が所定温度となるよう制御されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】配管ラインの洗浄性を高め、閉塞部を構成する分岐配管と閉塞板との境界となる角部の洗浄性も向上させることのできる配管ラインの定置洗浄方法を提供する。
【解決手段】主流配管１６から分岐された閉塞部２２を有する配管ラインを定置洗浄する方法であって、閉塞部２２の先端に設けられた閉塞板２０を超音波により振動させることを特徴とする。このような特徴を有する配管ラインの定置洗浄方法では、閉塞板２０を振動させる超音波の周波数を変化させながら洗浄を行うようにすると良い。さらに、閉塞板２０を振動させる超音波の周波数を概ね２０ｋＨｚから１ＭＨｚの範囲とすることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】超臨界流体が基板洗浄空間内に形成する渦の中心位置を変更することができる基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、洗浄空間Ｓを規定する内壁２５に対して所定の角度αで当該洗浄空間Ｓ内に超臨界流体を吐出させる３つ以上の流体吐出部２１と、流体吐出部２１にそれぞれ超臨界流体を供給するための供給流路と、供給流路から分流されて各流体吐出部２１から吐出される超臨界流体の流量を制御する吐出流量制御手段３０と、を備え、吐出流量制御手段３０は、一部の流体吐出部２１から第１の流量で超臨界流体が吐出されると共にそれ以外の流体吐出部２１から第１の流量よりも小流量の第２の流量で超臨界流体が吐出され、且つ、第１の流量が分流される流体吐出部２１が順次移行するように、供給流路１１における超臨界流体の分流の流量を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】二酸化炭素を用いたクリーニングにおいて、より優れた洗浄力を発揮させることのできるクリーニング方法と、それに用いる装置を提供する。
【解決手段】被洗浄物を開閉蓋２付きの処理槽１内に装填し、処理槽１内に、液体二酸化炭素供給配管４から液体二酸化炭素を供給して気体二酸化炭素および液体二酸化炭素を充満させ、被洗浄物と上記二酸化炭素を撹拌接触させて洗浄を行い、つぎに、処理槽１内の気体二酸化炭素および液体二酸化炭素を超臨界状態に変化させながら、上記被洗浄物と二酸化炭素の撹拌接触を続行して洗浄を行い、その後、排気弁２２を開き、処理槽１内の二酸化炭素を、被洗浄物と接触しないようにして、取り出し口６から排出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 連通管または整流板等を供え、冷水を貯えておく蓄熱槽及び当該蓄熱槽に設備された冷却水循環配管に対し、仮設廃液槽および仮設槽を使用することなく、狭いスペースでも採用でき、且つ、費用のかからない冷却水循環配管の水洗方法を提供すること。
【解決手段】 蓄熱槽に共沈剤、中和剤及び凝集剤を注入し、前記蓄熱槽内の保有水を凝集沈殿処理し、前記凝集沈殿処理で得られる上澄水を蓄熱槽に設備された冷却水循環配管の押出し水洗水として利用することを特徴とする水洗方法 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハをスポンジブラシによって所定の洗浄度合に洗浄できるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】回転テーブル１１に保持された半導体ウエハ２２を回転駆動されるスポンジブラシ３８によって洗浄するブラシ洗浄装置において、上記回転テーブルを回転駆動するモータ１６と、上記洗浄ブラシを回転駆動するモータ３４と、上記スポンジブラシを上記被洗浄物の径方向に沿って揺動させる揺動機構３２と、上記スポンジブラシを半導体ウエハの径方向中心部から外方へ揺動させたときに上記スポンジブラシの上記半導体ウエハに接触する端面と上記半導体ウエハの上記端面が接触する部分との相対速度が所定値以上になるよう上記角モータを制御する制御装置６４とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】内刃を水洗い洗浄する際に外刃も同時に洗浄して、内刃や外刃に付着した毛屑や皮脂などを効果的に洗い落とすことができる電気かみそりの清掃具を提供する。
【解決手段】清掃具は、外刃ホルダー１２が装着された状態のヘッド部２に着脱自在に装着される洗浄部４５と、ヘッド部２に装着した洗浄部４５を分離不能に係合保持する保持構造８５を備えている。洗浄部４５は、洗浄液を貯留できるよう容器状に形成してあり、洗浄部４５に貯留した洗浄液に内刃１８と外刃１９とを浸漬した状態で同時に洗浄する。 （もっと読む）

【課題】溶存ガス圧測定装置において、サンプリング液体を収容する容器部内の洗浄を確実に行うための装置構成、及び、洗浄方法を提案する。
【解決手段】サンプリング液体を入口部２１から容器部２２に収容し、収容後、前記容器部２２内のサンプリング液体の溶存ガス圧を測定し、測定後、前記容器部２２内のサンプリング液体を出口部２３から排出する構成とする溶存ガス圧測定装置２０を洗浄するための、溶存ガス圧測定装置２０の洗浄装置１であって、洗浄液３を収容するための洗浄液槽４と、前記洗浄液槽４内の洗浄液３を、前記容器部２２と前記洗浄液槽４との間で循環させるためのポンプ５と、を具備する構成とする。 （もっと読む）

【課題】容易な構成により、従来通りの生産性と優れた洗浄性を確保し、かつ、洗浄液使用量の削減を実現する塗料供給装置の洗浄方法に関する技術を提供する。
【解決手段】洗浄液用バルブ９とエア用バルブ１０が、塗料供給経路４の他端に対して、洗浄液供給経路５を介して接続され、予め設定したタイムチャートに従って、まず洗浄液用バルブ９を一定時間だけ開として洗浄液供給経路５と塗料供給経路４に洗浄液を供給し、その後エア用バルブ１０を一定時間だけ開として洗浄液供給経路５と塗料供給経路４にエアを供給し、洗浄液供給経路５および塗料供給経路４に滞留する洗浄液を吐出口６より排出して塗料供給経路４を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ配管の洗浄メンテナンスの際に生じうるシロキサンの爆発的な反応を防止し、誰でも安全に真空ポンプ配管の洗浄を行えるようにし、また、洗浄メンテナンスの段取り作業を簡単かつスムーズに行えるようにした真空ポンプ配管構造と、その真空ポンプ配管の洗浄方法を提供する。
【解決手段】真空ポンプ配管４に給水ポート６１を設ける。真空ポンプ配管４を真空ポンプＰから取り外して洗浄する前に、給水ポート６１から真空ポンプ配管４へ直接水を供給し、この供給水と真空ポンプ配管４内部のシロキサンとの反応によりシロキサンの爆破性を除去した後、真空ポンプ配管４を取り外し洗浄する。 （もっと読む）

【課題】処理液供給ライン内に付着する汚染物質を効果的に除去して処理液供給ライン内を洗浄することができ、更には既存の処理液供給ラインに大幅な変更を加えることなく容易に接続できる配管ユニット及び処理液供給ライン洗浄方法を提供すること。
【解決手段】上流側に薬液Ａ及び薬液Ｂ供給ライン１２Ａ、１２Ｂが接続され、下流側に処理槽２０が接続され、薬液Ａ及び薬液Ｂ供給ライン１２Ａ、１２Ｂから供給される処理液を処理槽２０に供給するための装置側薬液Ａ及び薬液Ｂ供給ライン１３Ａ、１３Ｂに分岐接続されてなる配管ユニット３０であって、装置側薬液Ａ及び薬液Ｂ供給ライン１３Ａ、１３Ｂに切換え可能に分岐接続される分岐管３１と、分岐管３１から並列に分岐接続される強流ライン３４及び弱流ライン３５と、強流ライン３４を開閉するバルブ３７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】貯槽内部に付着した塩などの付着物を容易に除去することが可能であり、作業効率の高い貯槽の洗浄方法及び貯槽の洗浄装置を提供すること。
【解決手段】貯槽内に供給されている海水よりも密度及び塩化物イオン濃度の低い水溶液の分離層を海水の表面に形成し、海水の表面にこの分離層が形成された状態を保持しながら、貯槽の底部から海水を排出し、当該海水を排出後、この水溶液を貯槽内から排出することとしたので、海水の表面に分離層が形成された状態のまま海水面が低下する。水位の低下に伴って、これまで海水が接触していた部分に水溶液の分離層が接触することになるため、貯槽内部に付着した塩などの付着物が分離層に接触し、当該分離層内に溶け込むことになる。これにより、貯槽内部に付着した塩などの付着物を容易に除去することが可能である。 （もっと読む）

【課題】プローブ、ポンプ、およびプローブとポンプとの間に配される開閉弁等を備えてなるオートサンプラーにおいて、プローブの洗浄能力を向上させる。
【解決手段】配管２０ｂの先端に装着されたプローブ１２と、配管１９に接続され、洗浄液Ｆをプローブ１２に対して供給するポンプ１６と、プローブ１２とポンプ１６とを繋ぐ配管１９、２０ａ、２０ｂの途中に配された開閉弁１３等とを備えてなるオートサンプラー１において、プローブ１２の洗浄を行なう際にポンプ１６の洗浄液Ｆ供給動作開始後に開閉弁１３を開放させるようにする。 （もっと読む）

【課題】暗渠管のみならず疎水材等まで洗浄することができ、屈曲部を有する配管方式であっても暗渠管を万遍なく洗浄することができる、簡易かつ手軽な暗渠の洗浄方法を提供する。
【解決手段】暗渠排水口90から上方を向くように設けられている縦長の貯水枡２に暗渠管から溢れた洗浄水７が貯溜されるまで、洗浄水７を暗渠に供給する洗浄水供給工程と、洗浄水供給工程の後、暗渠排水口90よりも高い位置で貯水枡２に配設してある開閉自在の吐水口23を開放して、暗渠に供給された洗浄水７を異物とともに吐水する洗浄水吐水工程と、を有する、洗浄方法とした。このとき、洗浄水供給工程では、連絡管４を介して貯水枡２の側方に立設されている下流側注水管３に注水して、下流側注水管３から洗浄水７を暗渠に供給し、連絡管４は、暗渠排水口90よりも低い位置で貯水枡２と接続されている洗浄方法とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、浴室の洗い場付近の汚れを強い水勢で確実に洗浄することができ、かつ、洗い場における入浴時の人体洗浄の際にも邪魔にならず、従来の洗浄では死角となっていたカウンター下方の床面の汚れをも効果的に洗浄することのできる浴室洗浄装置及び浴室ユニットを提供する。
【解決手段】浴槽と洗い場とを備えた浴室の洗い場床面を洗浄する浴室洗浄装置であって、前記洗い場床面の直上に配設され、シャワーホースが接続された水栓本体より下方に配置されたカウンターの下方に設けられ、前記洗い場床面の略全体に向けて吐水可能な吐水部を備えたこと、を特徴とする浴室洗浄装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、浴室の洗い場近傍の汚れを効果的に洗浄し、ヌメリやピンク汚れなどの微生物汚れをも効果的に抑制することのできる浴室洗浄装置及び浴室ユニットを提供する。
【解決手段】浴室の洗い場床面の略全体に洗浄水を吐水して洗い場床面上に付着した石鹸カスや皮脂等の有機物汚れを除去する有機物除去工程と、浴室の洗い場床面に殺菌水を吐水して洗い場床面上に殺菌水を滞留させるための制菌工程と、を実行する制御装置を備え、前記制御装置は、前記有機物除去工程を実行した後、前記有機物除去工程において吐水された洗浄水の大半が前記洗い場床面上に形成された排水口に排出されるように予め設定された所定時間の経過後に、前記制菌工程を実行するようにしたことを特徴とする浴室洗浄装置が提供される。 （もっと読む）