【課題】洗浄槽内の気体を置換するための置換気体を再利用することが可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄システム１は、超臨界または液体状態の二酸化炭素によって被洗浄対象物５００を洗浄する洗浄システム１において、被洗浄対象物５００を収容するための洗浄槽３１０と、洗浄槽３１０内の気体と置換するための置換気体を含む気体を洗浄槽３１０に供給するための供給管３３０と、置換気体と洗浄槽３１０内の気体とを含む混合気体を洗浄槽３１０から排出するための排出管３４０と、排出管３４０から排出された混合気体を供給管３３０を通じて洗浄槽３１０に戻すために排出管３４０と供給管３３０とに接続される返還流路３７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】家電機器に付着した塵埃を、簡易な設備で、かつ効率的に除去する除塵装置、を提供する。
【解決手段】除塵装置１０は、リサイクルのため解体される家電機器から塵埃を除去する。除塵装置１０は、圧縮エアを発生するコンプレッサ５１と、タンク３６と、家電機器にエアを噴射するエア噴射部３０とを備える。タンク３６は、コンプレッサ５１から供給されたエアを一時的に貯留し、昇圧する。エア噴射部３０は、タンク３６から家電機器に向かうエア流路３４を開閉制御するバルブ３３を有する。 （もっと読む）

【課題】
ガードレールに発生した錆や汚れを強力なブラスト処理で除去するとともに、溶射や塗装を行って安価にリメイクする。また、作業の際に粉塵等が飛散しないようにする。
【解決手段】
ガードレールに沿って走行し、搭載したブラスト装置からブラスト材をガードレールに向けて投射してガードレールに付着した錆、汚れ、塗装を落とすブラスト車両と、ブラスト車両に後続して同じくガードレールに沿って走行し、搭載した溶射装置から溶射材をガードレールに向けて投射してガードレールに溶射材の溶射被膜を形成する溶射車両とからなる。 （もっと読む）

【課題】ダクトの内部形状によらず、また堆積する塵埃の種類によらず、その内部に堆積した塵埃を十分に除去することのできる装置を提供する。
【解決手段】空調ダクト内を清掃する装置は、エアーブラストを利用する装置であって、研磨材を圧縮空気とともに放出するノズル６，７，９と、ノズルを支持して、空調ダクト内を移動する台車１とからなる。 （もっと読む）

【課題】成膜用治具に擦過痕などの疵をつけず、除去効率が悪くならず、大掛かりな装置を必要としないで洗浄する。
【解決手段】成膜用治具１を洗浄する装置である。成膜用治具１を設置する洗浄台３と、この洗浄台３に設置された成膜用治具１の洗浄面１ａに電解液７を噴射すべく、洗浄面１ａに対向配置されたノズル体５と、このノズル体５を一方の電極、洗浄台３を他方の電極とすべく、これらノズル体５と洗浄台３の間に電圧を印加する電源８と、ノズル体５に電解液７を供給する電解液供給手段６と、洗浄面１ａを洗浄した後の廃液を回収し、再び電解液７として電解液供給手段６に供給する循環経路１０を備える。
【効果】成膜用治具に擦過痕などの疵をつけず、また成膜用治具の形状に関係なく、簡易な装置で成膜用治具に付着した金属系付着物を洗浄して除去できる。 （もっと読む）

【課題】
長尺梁構造物において、梁の自重たわみを補正できる手法を提供する事である。
【解決手段】
梁自身の両端近傍にたわみ修正用の反力梁をピンなどで両端支持の状態で取り付け、反力梁より梁の自重に相当する反力荷重：Fを梁に与えてたわみを自己補正できる機構を採用している。
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【課題】 洗浄速度が速く、障害物や断面変化がある場所でも洗浄可能であり、作業に伴う危険性が少なく、さらには環境に対する負荷の低減された移動式洗浄装置を提供すること。
【課題を解決するための手段】
移動しながら、移動路に沿って配置されている対象物を洗浄する移動式洗浄装置であって、移動手段（１０）と、該移動手段（１０）に搭載され、ナノバブル水を該対象物に向けて噴霧するナノバブル水噴霧装置（２０）と、該移動手段（１０）に搭載された高圧水噴射装置（３０）であって、該移動手段（１０）の移動方向を基準にして、該ナノバブル水噴霧装置（２０）の後方位置に配置され、移動手段（１０）の移動に伴って、該ナノバブル水噴霧装置（２０）が先にナノバブル水を噴霧した対象物に高圧水を噴射する高圧水噴射装置（３０）と、を有する移動式洗浄装置（１）。 （もっと読む）

【課題】掃除できる面積がより大きくなるが、噴出した空気の圧力が低くならず、且つ、噴気力も従来の小面積型と同じ、乃至それを超えるように均一であり、また、操作も簡便な噴気用ノズルを提供する。
【解決手段】噴気用ノズルは、その内室４０が一側から他側へと段々広くなっており、且つ、一側に空気の受け入れ口４１１が形成されており、他側に空気の噴出し口４１２が形成されているケーシング４と、内室４０にそれぞれ一側から他側へと延長する延長方向を横断するように散在している複数の分流突起５と、からなっており、それにより、複数の分流突起５で受け入れ口４１１から受け入れて噴出し口４１２へ流れる空気を分散させてから、噴出し口４１２により噴出することができる。 （もっと読む）

高速設定材料スプレーガン１０を洗浄及び洗い流す方法が開示されており、前記方法は好適な実施形態において、約６２．５％のＤＭＳＯ、３２．５％のＤＢＥ及び５％の水の混合物１２を使用する。この混合物１２は霧化した際に無毒であり、１０°Ｆ未満に液体の凝固点を低下させる。前記溶媒はパージ用空気１４と混合されており、ガン１０から霧状に放出されるため、無毒の溶媒が利用されることが重要であり、また、混合物の凝固点が十分に低いことによって寒冷気候において凍結することなく使用可能であることが重要である。
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【課題】フィルムが容器に密着した状態を有効に緩和して、フィルム除去不良の低減を図る。
【解決手段】フィルム処理装置５は、搬送路４上を移動する容器２の側面に巻回されたフィルム３を、容器２に対して周方向に相対変位させる。フィルム切断装置６は、フィルム３を切断する。フィルム除去装置７は、フィルム処理装置５およびフィルム切断装置６による前処理が施されたフィルム３を吸引して、容器２から除去する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの周縁部に付着している汚染物質を確実に除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハＷを保持して回転させるスピンチャックと、ウエハＷの周縁部を洗浄するためのブラシ１８と、このブラシ１８を回転させるブラシ自転機構とを備えている。ブラシ１８は、ブラシ自転機構により回転させられながらウエハＷの周縁部に当接される。ウエハＷは、回転中のブラシ１８が当接された状態で、その回転方向が時計回りおよび反時計回りに交互に切り換えられる。これにより、ウエハＷの周縁部に付着している汚染物質に互いに逆方向となる二方向の力が与えられるので、当該汚染物質を当該周縁部から確実に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄殺菌の工程を行った後、殺菌効果を得るためのホールド時間に、他のコンテナに前記洗浄殺菌等の工程を行うことにより、時間を無駄にせず、効率的な殺菌洗浄処理を行う。
【解決手段】各コンテナの処理を行う中央の処理部Ａと、この処理部Ａに設置され液体を噴射するノズル１２を有する処理ヘッド８と、処理ヘッド８に洗浄液、殺菌剤等を切り換えて供給する液体供給手段１６と、前記処理部Ａの周囲に配置された４箇所のコンテナ載置部Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅを有している。第１載置部Ｂのコンテナ２Ｂに第１工程の洗浄液の噴射と第２工程の殺菌剤の噴射を行った後、そのまま放置する第３工程を行う。この第３工程の間に他の３個のコンテナ２Ｃ、２Ｄ、２Ｅの第１工程および第２工程を順次行う。その後、第１載置部Ｂから第４載置部Ｅの各コンテナ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｅに順次第４工程を行う。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部から汚染物質を良好に除去することができ、処理時間を短縮することができる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、互いに硬さの異なる第１ブラシ１７および第２ブラシ１８を備えている。基板処理装置１は、スピンチャック３により回転されるウエハＷの周縁部に第１および第２ブラシ１７，１８を当接させることにより当該周縁部を洗浄することができる。硬質の第１ブラシ１７は、ウエハＷの周縁部に強固に付着した汚染物資を比較的短時間で良好に剥離させて除去することができる。また、軟質の第２ブラシ１８は、弾性変形することによりウエハＷの周縁部に密着され、第１ブラシ１７によって除去できない細かな汚染物質を良好に除去することできる。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物（パレット）を短時間で効率的に洗浄し、クリーンルーム内での塵埃による汚染を防止するとともに、精密機器の生産効率の向上を図ることができる自動パレット洗浄装置を提供する。
【解決手段】自動パレット洗浄装置１は、パレットＰを洗浄装置本体１０内に搬送する搬送コンベア１１と、搬送コンベア１１により搬送されたパレットＰに対してエアーを噴出し、エアーによりパレットＰに付着した塵埃を除去し洗浄するエアー噴出ノズル２１と、洗浄装置本体１０内を負圧状態とし、エアー噴出ノズル２１によってパレットＰから除去された塵埃を吸引するエアー吸引装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の容積を小型化するとともに洗浄媒体を洗浄槽に滞留させることなく飛翔させて表面が複雑な形状をした洗浄対象物でも効率良く洗浄する。
【解決手段】洗浄対象物４を保持した保持部３を洗浄槽ユニット２の外側に配置して洗浄槽ユニット２の洗浄槽６を小型化する。洗浄槽ユニット２は洗浄槽本体９の開口部の外縁に設けられたプール部材１９で保持部３を保持して一定間隙２２で吸引気流１７の流入路を形成する。洗浄槽６内の空気を洗浄槽本体９に接続された吸引装置１６で吸引してプール部材１９と保持部３の間隙２２に洗浄槽６に向かう吸引気流１７を発生させ、洗浄媒体６を洗浄槽６内に回収して、飛翔した洗浄媒体６が洗浄槽６外に漏れることを防ぐとともに洗浄媒体６を有効に利用して洗浄効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 液化炭酸ガスをドライアイスにして被洗浄物に投射して洗浄するに、ノズルとこれを囲包するホーンとの面積比を考慮して洗浄に適したドライアイスの粒径と硬度を得る。
【解決手段】 加圧された液化炭酸ガスを噴出するノズルと、ノズルの吐出口を囲包してその前方に配され、ノズルから噴出された液化炭酸ガスをドライアイスに生成して被洗浄物に投射するホーンとからなる噴射ヘッドを有する洗浄装置において、あるホーンの内径に対するノズルの内径を、ホーンの断面積／ノズルの断面積が２５〜３５の範囲にあるように設定する。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルの吐出口面および隣接面に付着した塗布液とその乾燥固着物を容易に、短時間で除去することが可能な清掃方法及び清掃装置、並びにこれらを用いて塗布品位に優れたディスプレイ用部材を高い生産性で製造可能なディスプレイ用部材の製造方法及び製造装置を提供することにある。
【解決手段】吐出口面と、該吐出口面に隣接する隣接面を有するスリットノズルを清掃する方法であって、清掃部材を吐出口面と隣接面に接触させつつ長手方向に移動させて、吐出口面と隣接面の清掃を行う第1の清掃工程と、回転ブラシを隣接面に当接させつつ、且つ当接部に洗浄液を供給しながら長手方向に移動させて、隣接面を清掃する第２の清掃工程と、を有するスリットノズルの清掃方法。 （もっと読む）

【課題】気流を噴出する幅、噴出方向可変なスリットを有し、分解、洗浄容易で、缶、容器、野菜などの被処理物の外表面に付着した水、埃、ゴミなどを、加圧空気などの気流を吹き付け吹き飛ばし、除去する送風機の先端部に取り付けられる衛生的なノズルを提供する。
【解決手段】本発明は、上記課題を解決するために、付着物が付着した被処理物を移動させながら、気流により付着物を吹き飛ばす送風機の先端部に取り付けられるノズルであって、送風機の気流送風管と接続する接続管と、前記接続管に連設され、前記被処理物に向け気流が噴出する幅可変なスリットを設けた中空のノズル本体と、からなることを特徴とするノズルの構成とした。 （もっと読む）

【課題】下水管の内壁を効率的に洗浄すること
【解決手段】下水管２３の内壁２３ａを洗浄する下水管洗浄装置１であって、回転可能のボデー３とボデー３の周面に設けられる複数のノズル５とボデー３を支持するための脚部７，８とからなり、ボデー３は中空の筒状に形成され一端部にホース１３が接続され、ノズル５はボデー３の周面に螺旋状に設けられる。これによれば、各ノズル５が螺旋状に設置されているため、各ノズル５からの洗浄水噴射に位相差が生じ、これによりボデー３が回転する。よって洗浄水が下水管２３の内壁２３ａの全面に常に略直角に噴射され、洗浄が効率的に行われる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、ブラシから異物を確実に除去できる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、ブラシ１８およびブラシ洗浄液供給機構５３を備えている。ブラシ１８は、基板に接触する接触面４５,４６を外表面に有し、内方から接触面４５,４６に向けてブラシ洗浄液を供給するためのブラシ洗浄液導入孔４７が形成されている。ブラシ１８は、所定の基板処理位置で接触面４５,４６を基板に接触させて当該基板を洗浄する。ブラシ１８が前記基板処理位置から退避して待機するときの待機位置には、当該ブラシ１８を収容するための待機ポッド２１が設けられている。また、ブラシ洗浄液供給機構５３は、待機ポッド２１の底部５１に設けられており、ブラシ洗浄液導入孔４７にブラシ洗浄液を供給する。 （もっと読む）