【課題】基板サイズ情報を自動的に入力することによって、基板サイズ情報の手入力ミスを防止するとともに、生産性を向上させることができる洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】異なる複数のサイズのフォトマスク基板８に所望の洗浄処理を施すために、基板サイズに応じて可変する可変部位（三方弁２９３など）と、フォトマスク基板８とともに投入される基板保持部材８１に付された基板サイズ情報を読み取るバーコードリーダー１０１と、バーコードリーダー１０１により読み取られた基板サイズ情報にもとづき、可変部位を可変させる制御部７とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】大型基板に対して高品質な洗浄を行うとともに、生産効率を向上させることが可能な洗浄装置及び洗浄方法の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、第一洗浄槽２，第二洗浄槽３，第一投入回収手段４，第二投入回収手段５，連結用搬送部６及び制御部７とからなっており、左から右に向かって、第一投入回収手段４，第一洗浄槽２，連結用搬送部６，第二洗浄槽３及び第二投入回収手段５が直線的に並設された構成とする。 （もっと読む）

【課題】ロータリーバルブに付着した有機物を容易に、確実に洗浄する方法を提供する。
【解決手段】ロータリーバルブに付着した有機物を洗浄する方法であって、ローターの回転数を１〜５ｒｐｍとし、ロータリーバルブに次式（１）を満足するように有機溶剤を供給することを特徴とするロータリーバルブの洗浄方法である。
Ｑ≧Ｖ×ｎ×ｒ （１）
（式中、Ｑは有機溶剤の供給速度（リットル／分）、Ｖはロータリーバルブのポケット１個所の容積（リットル）、ｎはローターの羽根の数、ｒはローターの回転数（ｒｐｍ）を表す。） （もっと読む）

パーツウオッシャー１０は、ウォッシングチャンバー１４、および所定の量の液体を保持するためのタンク１８を規定しているキャビネット１２を備えている。液的な連通路２０は、タンク１８とディスチャージバルブ２２との間に延びている。通常の洗浄サイクルの間、洗浄液はタンク１８から吸引され連通路２０を通ってウォッシングチャンバー１６内のマニフォールド４２に戻されウォッシングチャンバー１６に保持されている物品を洗浄する。セパレータ４８は、タンク１８と液的に連通しており、液体から汚濁を分離し、タンク１８へ還流される浄化された液体を生成する。ドレインシステムは、セパレータ４８からタンク１８へ排水でき、さらに、セパレータ４８およびタンク１８を液的に連通するドレインバルブ７８を備えている。アクチュエータシステム８４はディスチャージバルブ２２およびドレインバルブ７８と連結されており、ドレインバルブ７８を開いてセパレータからタンク１８へ排水し、ディスチャージバルブ２２を開いてタンク（そして、セパレータ４８も）を、ディスチャージバルブ２２を介してパージするようになっている。
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【課題】処理される基材を劣化させることがなく、安価で、引火性がなく、優れた洗浄力及びレジスト除去能力を有する洗浄剤組成物など提供する。
【解決手段】洗浄剤組成物の総質量を基準として、（ａ）乳酸エチルを７０質量％以上、及び、（ｂ）化合物中のハロゲン含有分が６０質量％以上であるフッ素含有化合物を３０質量％以下の量で含み、引火点を示さない、洗浄剤組成物。 （もっと読む）

【課題】グラビア印刷シリンダーを作成する際、汚れを落とすため酸、アルカリなどの薬液に浸漬させた後、純水にて薬液の除去を行っているが、スプレーノズルから洗浄水を吹き付けるだけでは充分に洗浄できず、シリンダー表面に薬液が残ってしまうという問題が起こっている。また、洗浄水に浸漬させて洗浄槽に超音波を当てる方法では、時間や大量の洗浄水を使用するなどのコストの問題があった。
【解決手段】グラビア印刷シリンダーを洗浄する工程にあって、薬液の浸漬の後に行われる水洗の際、グラビア印刷シリンダーを超音波振動させながら、スプレーノズルから洗浄水をかけて洗浄を行うことによりグラビア印刷シリンダーを短時間で充分に洗浄することが出来る。 （もっと読む）

【課題】配線の抵抗のバラツキを少なくすることによって、電子デバイスの品質を安定させ、ランニングコストが安価な基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板８を保持して回転させる基板保持部４と、基板８に対して洗浄液等を吐出させる吐出ノズル３とを備えたチャンバー２と、洗浄液が収容される供給タンク２３と、供給タンク２３から吐出ノズル３へ洗浄液を供給するための配管３５及び圧送機構のポンプ２０と、チャンバー２で基板８の洗浄処理が行われた後の洗浄液を供給タンク２３へ戻す戻り配管３７と、供給タンク２３へアンモニアを供給させるアンモニア供給源１９とを備え、チャンバー２において基板８を洗浄処理する毎に、アンモニア供給源１９から供給タンク２３へアンモニアを供給する。 （もっと読む）

基板を洗浄する方法が提供される。方法は、活性化溶液を基板の表面に塗布することから始まる。活性化溶液および基板の表面は、固体の洗浄表面の表面と接触する。活性化溶液は固体の洗浄要素の一部分の中に吸収され、次にダイ基板または固体の洗浄表面は、互いに対して動かされ、基板の表面を洗浄する。塑性変形を受ける固体の洗浄要素によって、基板の表面を洗浄する方法も提供される。対応する洗浄装置も提供され、より効果的でより摩耗の少ない洗浄技術を提供する。
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【課題】サイズの異なるガラス材料製のハードディスクを効率よく洗浄できるようにしたガラスハードディスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】ローダーカセット（２）から送り出されたハードディスク（１）を第１ウォーターベアリング（６）で搬送する。第１検出間隙（８）を設けて第２ウォーターベアリング（７）を連接し、ハードディスク（１）をスクラブ洗浄部へ送る。このスクラブ洗浄部で、ハードディスク（１）はテーパー付のドライブローラ（１０）の傾斜面に当って回転される。スクラブ洗浄後のハードディスクは第３ウォーターベアリング（２４）及び第２検出間隙（２７）をあけて設けた第４ウォーターベアリング（２６）でアンローダーカセット（３１）に収納される。上記第１検出間隙（８）及び第２検出間隙（２７）には、ハードディスクを横方向から検出するセンサー（９）、（２９）がある。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の消費量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０の最上部の基点Ｐから，回転方向Ｆに２７０°から３００°回転した位置に，第１のブロック１１０が設けられ，その後方側に第２のブロック１３０が設けられる。第１のブロック１１０により，回転ロール９０との間に狭小の隙間Ｄが形成され，その表面１１０ａに洗浄液吐出口１１１と吸引口１１２が形成される。第２のブロック１３０には，排気口１３１が形成される。回転ロール９０の下部側には，滞留部１４１と洗浄液誘導部１４２が形成された第３のブロック１４０が設けられる。洗浄時には，回転ロール９０を回転させた状態で，洗浄液吐出口１１１から隙間Ｄに洗浄液Ｈが吐出され，洗浄液Ｈが回転ロール９０の表面を伝って流れ，滞留部１４１で一旦滞留された後，洗浄液誘導部１４２を通って排出される。 （もっと読む）

【課題】 フレネルレンズシート用成形型の製造時に生じるバリを効率良く除去し、且つ、成形型を万遍なく洗浄できるようにするために解決せられるべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明は該課題を解決することを目的とする。
【解決手段】 この発明は上記目的を達成するために、フレネル刃列が同心円状に相対的に形成されるフレネルレンズシート用成形型４の洗浄装置であって、該洗浄装置は洗浄剤を吐出するノズル８を有し、該ノズル８を自動制御にて前記成形型４の同心円の接線に対する直角方向に保ち、さらに、該ノズルと該成形型との相対位置を、移動して該成形用型の全面を洗浄するように構成したフレネルレンズシート用成形型の洗浄装置および洗浄方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波洗浄装置では、被洗浄物の平面部で洗浄した汚れが洗浄液とともに流れて、被洗浄物のエッジに集まって引っ掛かるという点である。
【解決手段】 振動伝達体１２の一端に圧電素子１３を装着する取付端部１４が形成され、振動伝達体１２の他端の端部１２ａから対向する端部１２ｂにかけて取付端部１４の面と平行な面から０度〜４５度の範囲で傾斜された傾斜面１５が形成され、振動伝達体１２の傾斜面１５の端部１２ａと取付端部の間に切り込み１６を形成し、超音波は切り込み部の上側の面に伝達せず、切り込み部１６を通過した超音波が傾斜面１５で反射して切り込み部１６の下側の面に伝播するように、切り込み部１６の距離及び傾斜部の角度を適宜設定している。 （もっと読む）

【課題】基板上のパーティクルを効果的に除去することができ、しかも基板へのダメージを許容範囲とすることができる基板洗浄方法を提供すること。
【解決手段】基板の表面に液体と気体とからなる２流体スプレーを供給する工程（ステップ３）を含む基板洗浄方法であって、基板の表面に液体と気体とからなる２流体スプレーを供給する工程は、液体として純水とイソプロピルアルコールの混合液を用い、その混合液中のイソプロピルアルコールの濃度を１０〜６０体積％とし、パーティクルの除去率を８０％以上とする。 （もっと読む）

【課題】使用済の農業用プラスチックフィルムやプラスチック容器類に付着した泥や食品残渣などを十分に洗浄して、グレードの高いプラスチック製品の材料として再利用することができる廃プラスチック洗浄装置を提供するものである。
【解決手段】プラスチック破砕機１と、両端の投入口１５と排出口１６がドラム本体１４の内径より狭く形成され、ドラム本体１４の内壁に攪拌羽根１７を突設すると共に、ドラム本体１４の内部に砂利１９を投入し、前記排出口１６を円筒状に形成して、ここに多数の通水孔２８を開孔すると共にスパイラル羽根２９を内壁に突設した回転ドラム２と、この回転ドラム２に前記投入口１５から水を供給する水供給機構と、前記排出口１６の下方に設置された受水槽４とからなるものである。 （もっと読む）

【課題】バレルに付着した処理液による次工程の汚染を防止するとともに、大がかりな移動・搬送装置を不要とし、かつ、設備稼働効率を上昇させることができる連続式部品処理装置を提供する。
【解決手段】各々一つ以上の、処理槽２と、処理槽中で回転するドラムであって、ドラム内周に螺旋状のスパイラルリード１１を備え、かつスパイラルリードの最終部にポケット１４を有するリードドラム３と、リードドラムの回転に伴って該スパイラルリード最終ポケット１４から落下する被処理品４を受け、次工程のリードドラム３１に投入するための乗り移りシュート１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板表面の洗浄を十分に行え、また乾燥時の洗浄液ミストの再付着等による基板汚染を低減でき、基板破損等を生じる虞の少ない基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】回転チャック４に保持されスピンカップ３内で回転する基板２の洗浄面２ａに、洗浄液ノズル５から洗浄液を吐出させて洗浄した後、洗浄面２ａに残存する洗浄液を、エアノズル６から吹出させたエアにより除去し乾燥させるものであって、洗浄液ノズル５は、洗浄面２ａに洗浄液をスプレー状に吐出するものであり、かつ洗浄面２ａの回転中心線に直交する直線上に配列されるようにして複数設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板にダメージを与えることなく、イオン注入時にマスクとして用いられたレジストを良好に剥離（除去）することができる基板処理方法および基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面にレジスト剥離液としてのＳＰＭを供給するためのＳＰＭノズル１２と、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面に加熱された純水と加熱された窒素ガスとを混合して生成される液滴の噴流を供給するための二流体ノズル１３とが備えられている。二流体ノズル１３からウエハＷの表面に液滴の噴流が供給されることにより、レジストの表面の硬化層が破壊された後、ＳＰＭノズル１２からウエハＷの表面に高温のＳＰＭが供給されて、ウエハＷの表面からレジストが剥離される。 （もっと読む）

【課題】基板の処理不良を防止しつつ、機能水を用いた基板の処理を行うことができる基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【解決手段】機能水生成部４１０には、洗浄処理部５ａ〜５ｄが接続されている。制御部４は、ＣＰＵ７０１およびメモリ７０２を含む。ＣＰＵ７０１には、操作パネル７１０が接続されている。作業者が操作パネル７１０を操作することにより、処理レシピがＣＰＵ７０１に設定される。制御部４のＣＰＵ７０１は、処理レシピに基づいて、機能水生成部４１０の抵抗制御バルブおよび気体調整バルブの開度を制御する。抵抗制御バルブの開度および気体調整バルブの開度を調整することにより、機能水生成部４１０で生成される炭酸水の濃度を調整することができる。機能水生成部４１０で生成された炭酸水は、リンス処理用供給管７４を通して洗浄処理部５ａ〜５ｄの各々へ導かれる。 （もっと読む）

【課題】 ポッドシェルの金属による汚れを除去できるポッドシェル洗浄装置及びポッドシェル洗浄方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るポッドシェル洗浄装置は、ポッドシェルを洗浄する洗浄槽４と、前記洗浄槽内に配置され、前記ポッドシェルをその開口部を下方に向けて保持するベース３６と、前記ベースを駆動ギア４５を介して回転させるモーター３４と、前記ベース上に配置され、該ベースに保持された前記ポッドシェルの内面に薬液及び純水を噴射するノズルと、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液を利用した湿式の洗浄技術を採用し、洗浄装置からの廃プラスチックを効率的且つ連続的に引き上げ、乾燥することを実現化して効率的且つ経済的なリサイクル処理を可能とする新たな再生処理技術を提供する。
【解決手段】 洗浄槽２の一端側に、内周壁に複数の攪拌翼３５，３５，……を配してなる透液性円筒型で所定径の洗浄ドラム３が、その下側所定範囲部位を洗浄槽２内に貯留した洗浄液液面Ｌ下に没するようにして配された上、該洗浄ドラム３の最下部よりも低位となる位置から洗浄槽２他端側で洗浄液液面Ｌ上所定位置に送り移動可能とする掬い揚げ用コンベア７が斜設され、該掬い揚げ用コンベア７の上方端の下方に、液切り用ファン８２，８２を併設した透液性の乾燥用コンベア８を設けてなる廃プラスチックシート破砕片用洗浄装置である。 （もっと読む）