【課題】媒体に付着した汚れを確実かつ効率的に除去することのできる媒体洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留する洗浄槽１と、前記洗浄液中に超音波を照射する超音波振動子２と、前記洗浄液中にて被洗浄媒体を搬送するとともに、前記超音波振動子２からの超音波と当該超音波の反射波とが形成する定在波によって液深が特定される高効率洗浄領域を前記被洗浄媒体が必ず通過するように当該被洗浄媒体の搬送を行う媒体搬送手段５とを備え、媒体搬送手段５に搬送される被洗浄媒体の全てが前記高効率洗浄領域での洗浄を経るように媒体洗浄装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】洗浄性能に優れ、かつ、機構全体も簡素化してメンテナンスを容易に行うことができるようにしたコイン洗浄装置の提供。
【解決手段】洗浄対象物としてのコインＣが投入されるホッパ１２と、該ホッパ１２からコインＣが供給される回転ドラム２２と、コインＣの外径よりも小径な多数の通孔２２ａを有して回転ドラム２２の下部側の洗浄液Ｌ中への浸漬を自在に配設される洗浄液槽３２と、該洗浄液槽３２内に配設される超音波振動子３４と、回転ドラム２２から導出されるコインＣを載せて前上がり方向へと搬送する第１搬送手段４２と、該第１搬送手段４２からコインＣを受け取って方向を変えた前上がり方向へと搬送する第２搬送手段５２と、該第２搬送手段５２による搬送後のコインＣの付着洗浄液を除去する脱水手段６２とを少なくとも具備させた。 （もっと読む）

【課題】流体加熱装置において、吐出時における流体温度の高温化と、流体温度の安定した制御を実現する。
【解決手段】流体加熱装置は、流体を圧送するための第１の配管２と、マイクロ波を照射するための発振器３と、マイクロ波の照射範囲を限定するための導波管１とを備え、第１の配管２は、導波管１内に配置される部分と、導波管外に設けられた流体吐出口２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 初期コストおよびランニングコストを上昇させず、かつ、フットプリントを増大させることなく乾燥時の基板へのパーティクルの付着およびウォーターマークの発生を確実に防止することができる液処理装置および液処理方法を提供すること。
【解決手段】 ウエハＷに処理液を供給しながら基板に対し液処理を行い、その後乾燥処理する液処理装置１００は、ウエハＷを水平にかつ回転可能に保持する基板保持部２と、基板保持部２を回転させる回転機構３と、ウエハＷに処理液を供給する処理液供給機構８５と、ウエハＷの乾燥処理の際にウエハＷの上方の少なくとも周縁部に乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給機構１０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】処理液供給手段を収納する収納室から処理液のミストや粒子が発生するのを防止して、基板の処理又は乾燥を均一に行う。
【解決手段】液回収チャンバ３０及び上チャンバ４０により形成された処理室内で、回転テーブル１０が、基板１を水平に支持して回転する。ノズル２１を収納する収納室５０が処理室につなげて設けられ、ノズル２１が、収納室５０から処理室内にある基板１の上方へ移動し、基板１の表面へ処理液を供給した後、収納室５０へ戻る。シャッター５３は、ノズル２１が収納室５０内にあるとき、収納室５０を処理室から遮蔽する。収納室５０を処理室から遮蔽するので、処理室内で基板１の回転により生じた空気の流れによって、収納室５０から処理液のミストや粒子が発生するのが防止される。 （もっと読む）

【課題】寝具を回転フレームの内周に沿ってセットして、回転フレームを回転させながら寝具の洗浄や乾燥を行なうにあたって、オゾン殺菌を行なうことができる寝具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】軸周りに回転駆動される筒かご状に形成され、内周に沿って出し入れ自在に寝具１がセットされる回転フレーム２を洗浄槽３内に配置して設けた寝具の洗浄装置に関する。回転フレーム２を回転駆動しながら回転フレーム２の内側から寝具１に洗浄水を供給して寝具１を洗浄する洗浄手段。洗浄後に回転フレーム２を回転駆動して寝具１を脱水する脱水手段。回転フレーム２を回転駆動しながらオゾンを洗浄槽３内に供給して寝具１をオゾン殺菌するオゾン供給手段。寝具１をオゾン殺菌した後に、回転フレーム２を回転駆動しながら温風を寝具１に吹き当てて寝具１を乾燥する乾燥手段。これらの各手段を具備して、寝具１を洗浄、脱水、オゾン殺菌、乾燥することができる。 （もっと読む）

【課題】 小型の光学部品を超音波洗浄した後の乾燥はスピン乾燥ではシミや汚れができてしまい、光学部品をピンセットでつかみクリーニングペーパーで汚れを拭き取るという高度の熟練を要する手拭き作業に頼らざるを得なかった。
【解決手段】 スピン乾燥装置に装着する光学部品の遠心力の方向あるいは回転中心軸の方向に対する角度を２５°より大きく３５°より小さい大きさの角度か５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度にし、磁気を帯びた或いは磁気を帯びる光学部品と磁石を対向させて配置するなど光学部品保持部品を開発して超音波洗浄とスピン乾燥を行うことによって課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】複数種類のパレットを、簡単な装置構成で、作業性よく効率的に脱水処理できる複数種類のパレットに対応可能な脱水装置及びこれを用いた洗浄設備を提供する。
【解決手段】荷物の運搬に使用した複数種類の使用済みのパレット１１の側方周囲を囲むカバー部材と、パレット１１を水平状態で搬送するパレット搬送手段１９と、このパレット１１を設定位置に停止するパレット停止手段２３と、停止させたパレット１１の搬送方向と直交する方向の位置調整を行うパレット位置調整手段２７と、パレット１１を載置する回転テーブル４６を備えこれを回転可能及び昇降可能に支持する昇降手段４７と、カバー部材の内側に設けられ、昇降手段４７によって上昇させたパレット１１をその形状に対応してその両側からガイドする逆階段状となった一対の嵌合部５９、６０、５９ａ、６０ａを備える固定部材６１と、このパレット１１を回転させる駆動手段６５とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置において処理液に効率良く電荷を誘導し、基板の帯電を効率良く抑制する。
【解決手段】基板処理装置は、基板に向けて洗浄液の液滴を吐出する吐出部３、および、吐出部３の吐出口３１近傍に配置される誘導電極６を備え、誘導電極６は吐出口３１の中心軸３０に対して傾斜する傾斜面６１を有する。基板処理装置では、誘導電極６と吐出部３の洗浄液管３２との間に電位差を付与することにより洗浄液に電荷を誘導し、当該洗浄液の液滴により基板を洗浄することにより洗浄処理による基板の帯電を抑制することができる。誘導電極６では、中心軸３０を含む面による傾斜面６１の任意の断面において、中心軸３０と傾斜面６１との間の距離が吐出口３１に近づくほど長くされる。これにより、吐出口３１に近接した位置における誘導電極６の面積を大きくすることができるため、洗浄液に効率良く電荷を誘導して基板の帯電を効率良く抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】微細気泡洗浄方法の洗浄効果をより高め、洗浄液の長寿命化を図り、コンパクトで操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄部２０は、洗浄槽２１と、洗浄ノズル部２２と、オーバーフロー槽２７とを有し、洗浄ノズル部２２は、複数の洗浄ノズルから成り、複数の洗浄ノズルは、洗浄槽２１の各部位に所定の数だけ装着され、洗浄ノズルは、制御ノズルと、ミキシングノズルとから成り、油水分離タンク部３０は、循環用洗浄液２８を浄化して循環させるため、オーバーフロー槽２７とポンプ部４０とに接続され、ポンプ部４０は、浄化された循環用洗浄液２８を洗浄槽２１へ供給するため、洗浄ノズル部２２に接続されて構成される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、果実・果菜類の表皮の異物質を除去、洗浄、除菌作業を施しながら、新鮮な農産物である果実・果菜類へのストレスを最小化し、その表皮などに損傷を与えないようにする。
【解決手段】
移送コンベヤーによって連続的に供給される果実・果菜類に圧縮微細空気を噴射して果実・果菜類表皮の異物質を除去する異物質除去段階；前記異物質が除去された果実・果菜類に圧縮水を噴射して洗浄する洗浄段階；前記洗浄された果実・果菜類に圧縮空気を噴射して前記果実・果菜類表皮の水分を除去する脱水段階；及び前記表皮の水分が除去された果実・果菜類を殺菌及び乾燥する乾燥段階を包含する。 （もっと読む）

【課題】銅配線の腐食抑制効果（銅腐食抑制効果）が優れ、かつ接触抵抗に影響を及ぼさない銅配線用洗浄剤を提供することを目的とする。
【解決手段】銅腐食抑制剤（ＲＥ）及び水（Ｗ）を含有してなり、２５℃でのｐＨが３〜１４であり、かつ式（１）を満たしてなることを特徴とする銅配線用洗浄剤を用いる。

【数１】


｛式中、Ｅは２５℃での酸化還元電位（Ｖ、ｖｓＳＨＥ）、ｐＨは２５℃でのｐＨを表す。｝

また、上記の銅配線用洗浄剤を半導体基板又は半導体素子に連続的又は断続的に供給して、銅配線を有する半導体基板又は半導体素子を洗浄することを特徴とする半導体基板又は半導体素子の洗浄方法を用いる。
なし （もっと読む）

【課題】人参、馬鈴薯、甘藷、大根等の野菜を洗浄しながら搬送するための搬送洗浄装置を実現する。
【解決手段】搬送洗浄装置１００は、複数の回転ブラシ３ａ、３ｂ等、飛びはね防止用回転ブラシ４からなる被搬送物の搬送路を形成し、複数の回転ブラシ３ａ、３ｂ等を同一方向に同一角速度で回転させることで、被搬送物を洗浄しながら確実に、かつ、スピーディーに搬送する。 （もっと読む）

【課題】硬質材切削装置の洗浄媒体浄化装置における、高度な研磨性を有する洗浄媒体のための、丈夫な電子的流量センサを得る。
【解決手段】硬質材切削装置２のための洗浄媒体浄化装置に、硬質材を装備した洗浄すべき工具４に、少なくとも部分的に閉じたループの洗浄媒体回路を設け、洗浄媒体回路の流れの方向にみて工具４の後段に、沈殿槽８および洗浄媒体ポンプ９を順次に設ける。模擬（シミュレーション）アルゴリズムを有する計算手段１４,１４′によって電子的に分析評価可能な、センサ１５，１５′を備え、このセンサ１５，１５′によって流れの方向にみて洗浄媒体ポンプ９の後段における洗浄媒体圧力ｐを感知する。好適には、洗浄媒体回路内に、流れの方向にみて、電子的に分析評価可能なセンサ１５，１５′の後段に、濾過ユニット１０を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の洗浄装置では、洗浄液が貯留される貯留から洗浄槽へ洗浄液を常に送り、洗浄槽でオーバーフローした洗浄液を、フィルタを介して貯留槽へ戻していた。このような構成では、洗浄槽内の洗浄液中には常にある程度の汚れ等が漂うことになり、洗浄が完了したワークを洗浄液から引き上げる際に、洗浄液中の汚れがワークに再付着するおそれがあった。
【解決手段】貯留槽２の上方に洗浄槽３を配置し、１回の洗浄サイクル毎に洗浄槽３内の洗浄液を排出口３２からすべて貯留槽２へ排出し、洗浄サイクル毎に清浄な洗浄液を洗浄槽３に充填して洗浄を行うことにした。 （もっと読む）

【課題】ペットボトルをキャップやリングやラベルのついた状態で破砕処理可能で且つペットボトル本体の材料と、キャップやリングやラベルの材料と、に分割分離した後再利用可能なペット樹脂と、廃棄処分する合成樹脂とを容易に選別するペットボトル破片洗浄分別器を提供する。
【解決手段】破砕片を落下させ、側壁の水面近傍に溢れた水を排出させる開口部を設けた水槽７０と、該水槽内を撹拌しながら回転し沈んだ破片を排出させる回転パドル７１と、水槽に隣接させて配置され前記回転パドルにより掬い上げられた破片を係止・落下させる搬出レール７２と、を備えて成る。前記回転パドルは、軸７１ａと、該軸に固定された二枚の板７１ｂと胴体７１ｍと突起７１ｎとで構成され回転駆動手段で駆動される。前記搬出レール７２は、傾斜させて多数並行に並べて形成した格子７２ｂを所定の隙間を設けて配置される。 （もっと読む）

【課題】基板の両面の各周縁領域および周端面を洗浄することができ、かつ、各周縁領域における洗浄幅を容易に変更することができる、基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、第１ブラシ８４および第２ブラシ８８を備えている。第１ブラシ８４の先端部の側面は、円錐面をなし、周縁領域１３および周端面１５に当接する洗浄面９８となっている。一方、第２ブラシ８８の先端部の側面は、円錐面をなし、周縁領域１４および周端面１５に当接する洗浄面９９となっている。第１ブラシ８４の洗浄面９８をウエハＷの表面の周縁領域１３および周端面１５に当接させて、その周縁領域１３および周端面１５を洗浄することができ、また、第２ブラシ８８の洗浄面９９をウエハＷの裏面の周縁領域１４および周端面１５に当接させて、その周縁領域１４および周端面１５を洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物を効果的に除去する。
【解決手段】ブラシ洗浄室２０、高圧洗浄室３０及び混合流体洗浄室４０において、ノズル２１、高圧ジェットノズル３１及びジェットノズル４１から、基板１上の異物を溶かす液体を基板１へ供給する。基板１上の異物が液体に溶解して効果的に除去される。特に、異物が小さい程、異物が液体に溶解しやすいので、微小な異物がより効果的に除去される。また、異物が液体に溶解してなくなるので、異物が基板１に再付着することがない。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハの研磨に使用されるウェーハ研磨用プレートの表面を高清浄度かつ高効率的に洗浄する。
【解決手段】 ウェーハ研磨後のウェーハ研磨用プレートＰを洗浄槽１１内のプレート回転用ローラー１２により回転自在に保持し、高圧噴射用ポンプ２１により加圧した洗浄液をノズル１４で噴射洗浄液１５にして、溝部Ｍの形成されたウェーハ保持面１３に噴射させ、付着するワックスあるいは研磨剤固形物を除去する。同時に、プレート表面ブラシ洗浄機構２５によりウェーハ保持面１３を摺擦する。また、プレート側面ブラシ洗浄機構２７およびプレート裏面ブラシ洗浄機構２８を用いて各部位を摺擦し付着物を除去する。上記洗浄液は、洗浄液循環用ポンプ１７により洗浄液循環用タンク１９に還流され、洗浄液加熱用ヒータ２０により適温に加熱され循環供給される。 （もっと読む）

ここに開示されるのは、板状物品の流体処理用の装置であって、板状物品を保持しかつこれを実質的に垂直方向の回転軸線まわりに回転させるための回転ヘッド；回転ヘッドのまわりの放射状に配列され非接触で回転ヘッドを懸架しかつ駆動するための駆動手段；回転軸線と実質的に同心であり、かつ回転ヘッドと駆動手段との間に配置されそして回転ヘッドと駆動手段との間の間隙に挿入された実質的に円筒状の側壁；回転ヘッドと壁とを互いに昇降させるための持上げ手段を備えた装置である。
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