【課題】 超音波洗浄を用いガラスカレット等を洗浄することでガラスカレット等から水銀等を略完全に除去し、さらに洗浄水を純水のみとすることで洗浄水の処理を単純化するとともに処理中の安全性を確保するための純水を用いた洗浄装置、洗浄方法、洗浄処理プラント、洗浄処理方法を提供する。
【解決手段】 廃蛍光管のガラスカレットを洗浄する第一洗浄部１００及び該第一洗浄部１００の後方に配置した第二洗浄部２００を備え、さらに前記ガラスカレットが第一洗浄部１００から第二洗浄部２００に移動可能な移動手段を備える洗浄装置であって、さらに、前記洗浄装置は前記第一洗浄部１００及び前記第二洗浄部２００で用いられた洗浄水を回収して濾過することにより純水及び廃液に分別し、該純水を前記第一洗浄部１００及び前記第二洗浄部２００に提供する濾過手段４００を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、研磨装置を用いて厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後に研磨装置からウエハー状態の圧電素板を効率良く回収するための作業手順を実現することを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、圧電素板の表面研磨に研磨装置を用いて、前記圧電素板の厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後の前記表面研磨装置から前記圧電素板を回収する圧電素板の処理方法において、前記厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後、前記圧電素板を専用トレーに回収する工程と、専用トレーを複数個まとめて格納する洗浄枠に収納し洗浄工程で洗浄する工程と、前記洗浄処理後乾燥工程で乾燥する工程を一貫して処理することにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化を図ることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１は、開口部２開閉する開閉体11と、被洗浄物を載置する載置体31と、被洗浄物を押え付ける押え体41とを備える。開閉体11は、回動中心軸12を中心とする開方向への回動により開口部２を開き、回動中心軸12を中心とする閉方向への回動により開口部２を閉じる。押え体41は、開閉体11の開方向への回動に連動して上昇し、開閉体11の閉方向への回動に連動して下降する。開閉体11の閉方向への回動時にその回動途中で押え体41を被洗浄物に当接させ、被洗浄物を押え体41の自重で載置体31に対して押え付ける。
（もっと読む）

【課題】道床用砕石の窪内に入り込んだ汚れに対しても確実、迅速に洗い流せるようにする。
【解決手段】投入部３から投入された道床用砕石を砕石反転手段５によって反転させながら出口へ向け移動する前記砕石反転手段上の砕石に対して高圧水噴射手段７によって高圧の洗浄水を噴射し全表面にわたって洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】ピッチングの発生しない、光沢の優れた白肌のステンレス鋼を製造するためのコイル状ステンレス鋼線材の脱スケール方法を提供すること。
【解決手段】予めそのコイル状のステンレス鋼線材をコイル形状に保ったままショットブラストをかけてステンレス鋼線材の表面のスケール層を完全に除去することなく５〜１０μｍの範囲の厚み幅に制御してスケールを残存させ、しかる後に酸洗処理を行う。例えば酸洗処理は、第一の酸洗処理とソルト処理及び第二の酸洗処理とからなり、酸洗液として弗酸と硫酸を含有し、酸濃度が２０〜２５重量％の範囲にある比較的高濃度の酸液と酸濃度が５〜１５重量％の範囲にある比較的低濃度の酸液のうち選択された１種又は２種の酸洗液を用いてそれぞれ１段階又は２段階処理する。 （もっと読む）

【課題】 基板へのダメージを低減しつつ、基板表面の不要物を効率的に除去することのできる基板処理装置および方法を提供する。
【解決手段】 スピンチャック１に略水平に保持された基板Ｗを回転させた状態で、基板裏面Ｗｂに対して摂氏７０度以上に加熱された純水（温水）を供給する一方で、基板表面Ｗｆに対して窒素が過飽和に溶解された純水を処理液として供給する。基板裏面Ｗｂに供給された温水により基板Ｗが昇温され、基板表面Ｗｆに接液する処理液から溶解させている窒素を泡として効率的に発生させることができる。これにより、基板表面Ｗｆのパーティクルを効率良く除去するとともに排出される。しかも、基板表面Ｗｆで直接に泡を発生させているので泡が成長することなく比較的小さな泡で基板Ｗを処理することができるので、基板Ｗへのダメージを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンロッドを均一に洗浄し、前槽の洗浄液の持ち込みが少なく、洗浄効果に優れた洗浄方法と洗浄装置を提供する。
【手段】多結晶シリコンを切断して得たロッドをバスケットに収納し、該バスケットを洗浄槽に浸漬して上記ロッドを洗浄する方法において、洗浄槽内で上記バスケットの片側を上下動して該バスケットを傾動することによって、バスケット内部のロッドを揺動ないし回転させて酸洗浄や純水洗浄を行い、あるいは上記バスケットの底部にロッドが脱落しない大きさの開口を設ける一方、バスケットを載置する支持台の上面に上記開口部を通じてロッドを回転する手段を設け、洗浄槽内で上記バスケット内部のロッドを強制回転させて酸洗浄や純水洗浄を行うことを特徴とする洗浄方法および装置。 （もっと読む）

【課題】ブラシロールのブラシの当りを適切に調節でき、簡単な構造で浮遊性球状体の表面をムラなく効率的に洗浄できる浮遊性球状体の洗浄装置を提供することである。
【解決手段】短尺ブラシ２ａの間に長尺ブラシ２ｂを所定のピッチで螺旋状に連ねたブラシロール２を、洗浄槽１の洗浄液の水面近くで、その供給端から排出端に延びる直辺部１ａと間隔を開けて平行に配設し、ブラシロール２と直辺部１ａとの間に供給されて洗浄液に浮遊する中空ボールＡを、ブラシロール２の回転によって洗浄液に没するように押し付けながら洗浄することにより、中空ボールＡの浮力を利用して、短尺ブラシ２ａの当りを適切に調節するとともに、押し付け力による回転モーメントで中空ボールＡを回転させ、さらに、直辺部１ａに沿って長尺ブラシ２ｂの螺旋ピッチ間で案内しながら排出端側へ移送して、中空ボールＡの表面をムラなく効率的に洗浄できるようにした。 （もっと読む）

【課題】
被洗浄物に粘度の高い加工油が付着している場合であっても、確実に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄システムを提供する。
【解決手段】
本発明の洗浄装置の洗浄用回転ドラム１の内部に、外部から供給された洗浄水１６を昇温させる加熱器５ａと、その加熱器５ａによって昇温された高温水を洗浄用回転ドラム１内の被洗浄物７に噴射させる複数のノズル５ｂとを備えた洗浄用シャワー装置５が配置され、洗浄用シャワー装置５の加熱器５ａは、被洗浄物７に付着した油成分を除去可能な粘度まで低下させる温度に洗浄水１６を昇温させる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄槽内の液流によって超音波の進行波の乱れを生じさせず、また、超音波洗浄により被洗浄物から離れたパーティクルを効率よく排出する。
【解決手段】 洗浄液が満たされる洗浄槽１の側面に、超音波振動子２を配置する。超音波振動子２を配置した洗浄槽１の側面に洗浄液の流入口３を設ける。流入口３に対して洗浄槽１中に保持した被洗浄物５を介して洗浄槽１の反対側の側面に洗浄液の流出口４を配置する。洗浄液を流入および流出させて生じる液流の方向と超音波の進行波の方向とを同一にして被洗浄物５を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】単純な構成でありながら、略円筒形のワークを搬送路に沿って順次搬送すると共に、ワークに対して均等に洗浄液を吹き付けることのできる搬送機及びその搬送機を用いた洗浄装置を得る。
【解決手段】スプロケット８によって駆動される搬送チェーン７のローラ１２に、案内板１０と当接する駆動部１４と、略円柱状のワーク３を支持する支持部１５とを備える。駆動部１４は案内板１０上を移動することによって回転し、支持部１５は駆動部１４の回転に追従して回転する。支持部１５はワーク３の外周と当接するため、ワーク３は支持部１５の回転に追従して回転する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄に用いる洗浄液の使用量を減らし、簡単な構造で装置の小型化が可能であり、複雑な形状の被洗浄物でもむらなく洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 被洗浄物１２を載置する基台部１６と、基台部１６に載せられた被洗浄物１２を基台部１６とともに囲む有底筒状の筒体１８を有する。筒体１８内に回転自在に設けられた回転体１２０と、回転体１２０に連結され筒体１８内で回転しながら洗浄液を噴射する洗浄ノズル部材８４と、回転体１２０の外周の歯部１２６に加圧エアを吹き付ける加圧エアの吹出口１２８を備える。 （もっと読む）

【課題】 処理液の液流をコントロールすることにより、洗浄，エッチング処理の均一性の向上を図れるようにし、また、周辺部の洗浄，エッチング量の向上を図れるようにすること。
【解決手段】 半導体ウエハＷを起立状態に保持するウエハ保持体３０と、ウエハ保持体によって保持されたウエハを収容する処理容器１０と、処理容器内に処理液を供給する処理液供給ノズル４０とを具備し、処理液供給ノズルを、水平方向を軸に回転及び又は揺動可能に形成する。これにより、処理容器内に供給される処理液の液流をコントロールすることができる。 （もっと読む）

【課題】基板のダメージがなく、化学物質等を使用せずに、レジスト剥離能力が高く、しかも構造が簡単なレジスト剥離方法およびレジスト剥離装置を提供する。
【解決手段】レジストが被着した状態の基板１２を回転機構１３により所定の方向に回転させ、基板上のレジストにスチームおよび粒径の制御された水ミストを噴射することで、スチーム１４の作用により基板１２からレジストを浮き上がらせ、粒径の制御された水ミストにより基板１２から浮き上がっているレジストを剥離させる。 （もっと読む）

【課題】処理むらを防止でき，かつ，パーティクルの発生を防止できる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】処理槽２に入れた処理液中に基板Ｗを浸漬させて処理する基板処理装置１において，基板Ｗの周縁部を保持溝１５に挿入させることにより基板Ｗを処理液中に保持する保持部材１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃを備え，前記保持部材１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃによって保持された基板Ｗの周縁部に対して，基板Ｗのほぼ周方向に向かって基板回転用流体を供給する回転用流体供給口５１と，前記保持部材１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃによって保持された基板Ｗの周縁部に対して，基板Ｗのほぼ中心に向かって基板離隔用流体を供給する離隔用流体供給口１６と，を備えた。 （もっと読む）

【課題】 電動機の固定子コイル又は回転子コイルの表面及び裏面に付着・固着化した油分や塵埃等の汚れを、簡易かつ低コストで、電動機の固定子コイル又は回転子コイルの絶縁物を傷めることなく効果的に除去し得る洗浄方法、並びに洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄液３が入った洗浄槽１内に電動機コイル２を浸漬し、洗浄槽１内に設けた噴出手段４から洗浄液３に蒸気７を吹き込んで、洗浄液３を沸騰させる、電動機コイルの洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】 巨大な音エネルギーだけでは気泡発生が効率的でない。
【解決手段】 この発明は過渡的なキャビテーションを生成するための方法に関し、液体中にさまざまな気泡サイズを持っている気泡を生成するステップと、音場を生成するステップと、および液体を音場にさらすステップとを備え、気泡サイズの範囲、および/または、音場の特性が互いにそれらを調整するように選択され、それにより、選択された範囲の気泡サイズにおいて過渡的なキャビテーションを制御することを特徴とする。この発明はこの方法を実行するのに適した装置にも関する。 （もっと読む）

【課題】 破砕された樹脂製シート等が回転軸に絡まないような洗浄装置を提供する。
【解決手段】 異物により汚染された樹脂製シート等の投入口と、投入樹脂製シート等が滑る傾斜板２３ｄとを有するホッパーと、水平方向に長さを有し、一端側には該ホッパーと連通した開口を有するとともに、内部は上記汚染樹脂製シート等を洗浄する円筒状の処理槽と、該処理槽内に配設された回転軸と、基端が回転軸に固定され、先端が該処理槽の内周面側に位置し、該処理槽の長さ方向と同じ方向に長さを有する複数の回転羽根と、該処理槽内に洗浄液を噴射する噴射ノズルと、異物および洗浄液の排出口と、該処理槽の他端側に形成された洗浄後の樹脂製シート等の排出路とを備え、上記傾斜板の処理槽側端部は上記複数の回転羽根が水平とされた状態において、該回転羽根の上面よりも上方に位置し、該複数回転羽根の傾斜板側端部は回転方向に傾斜してなる。 （もっと読む）

【課題】搬送用容器の洗浄において、前記搬送用容器の内面および外面を十分に洗浄することができる洗浄方法およびその装置を提供する。
【解決手段】水平な回転軸に取り付けられて該回転軸を軸芯とする略円筒形状の回転体内に前記搬送用容器の開口部を含む面が前記回転軸に平行となるように載置し、前記回転体を回転させながらノズルにより洗浄液を前記搬送用容器に噴霧して洗浄を行う。更に、洗浄後に該噴霧を停止させ、少なくとも１回転させて洗浄液の残液を排出させる搬送用容器の洗浄方法およびその装置とする。 （もっと読む）

【課題】 廃棄物の洗浄能力が高い洗浄装置を提供する。
【解決手段】 廃棄物は、案内部材６上を落下して、廃棄物に付着している土や砂が案内部材６の網目から落下する。案内部材６の裏面側のエアノズル１３から噴射される圧縮空気により、廃棄物は回転ドラム３の下端部の開口３Ｂ方向に送り込まれ、回転ドラム３の回転により搬送ブレード３Ｇにより、回転ドラム３の長手方向における中心方向に送り込まれると共に、搬送ブレード３Ｈにより洗浄液中で攪拌されると共に、エアノズル１４からの圧縮空気の噴出により、さらにほぐされて攪拌される。回転ドラム３内で上端部の開口３Ａ寄りの洗浄液の水面に浮かんだ廃棄物は、回転ドラム３の搬送ブレード３Ｉにより、開口３Ａ方向に送られて、洗浄液ノズル４０から洗浄液を吹きかけられて、ゆすがれて、金網３Ｃの部分で、水切りされ、その後、開口３Ａから排出される。 （もっと読む）