【課題】廃液処理の問題がなく設備費などを抑えながら、清浄効率や効果に優れた表面清浄化方法及び装置を提供する。
【解決手段】水中燃焼による表面清浄化方法であり、被洗浄物を保持しかつ被洗浄物表面を冠水ないしは水中に浸すとともに、燃焼炎を被洗浄物表面に該表面上の水を排除しながら照射し、該燃焼炎及び該燃焼炎にて発生する活性種に被洗浄物表面を曝すことにより該被洗浄物表面の汚染物を除去するようにした。また、前記燃焼炎は、保炎器を介して前記被洗浄物側へ照射されるとともに、前記被洗浄物が所定温度となるよう制御されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】
網状の清掃対象面の両面を同時に清掃することにより、作業効率を向上させることができる清掃器具とその清掃方法を提供することを課題とする。
【解決手段】
流体を供給可能な流体供給設備に一方が接続され、他方に噴射口５ｄが設けられる流体流路を備えて構成される流体噴射部１を有し、前記噴射口５ｄから流体を噴射し、網状の清掃対象面の清掃を行う清掃器具において、一方に吸引口１１ｄが設けられる吸引流路と、該吸引流路内に吸引力を発生させる吸引手段とを備えて構成される吸引部１１をさらに有し、噴射口５ｄと吸引口１１ｄとの間に網状の清掃対象面が介挿可能な間隔を保持した状態で、噴射部１と吸引部１１とが接続されることを特徴とする。
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【課題】量産部品例えば自動車用ピストン等の自動洗浄乾燥装置に関し、特に洗浄後の乾燥に圧縮空気を用い、乾燥を極短時間で可能とする自動洗浄乾燥装置を提供する。
【解決手段】脱脂洗浄槽１１、水洗浄槽１２、純水洗浄槽１３、乾燥槽１４を直列に配置し、各処理槽に同時に部品１０を搬入搬出する５組のチャック１を横行ビーム２に設け、横行ビームを昇降ビーム３で上下動させる事により、槽間に処理ピストンを順次次工程に運搬供給する事を特徴とする自動洗浄乾燥装置。 （もっと読む）

【課題】洗浄水を噴射することでポリマーブッシングを洗浄する洗浄装置において、十分な洗浄力が得られると共に、ポリマーブッシングが破損しにくいポリマーブッシング洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄水ＷをポリマーブッシングＢの外面に向けて噴射可能な噴射ノズル２と、噴射ノズル２に連結され洗浄水Ｗを噴射ノズル２に配給する配水管３と、を備えたポリマーブッシング洗浄装置１であって、噴射ノズル２及び配水管３は、絶縁材料を主体として形成されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の側端面から、加工硬化層や無数のマイクロクラックを除去する基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】処理部４０は、主として本体部４０１と、送給部５と、回収部６とを備える。本体部４０１には、ガラス基板９０が遊挿されたときに、当該ガラス基板９０の側端面と端縁の表裏面を覆うことが可能な開口部４０３が設けられている。また、開口部４０３の内部には、供給口４０４および排出口４０５が設けられている。送給部５は、薬液送給部５０、純水送給部５１および熱風送給部５２を備えており、供給口４０４を介して開口部４３に連通接続される。また回収部６は、使用済薬液収容部６０、純水廃棄部６１および排気部６２を備えており、排出口を介して開口部４０３に連通接続される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ヒートモード型記録材料層に凹部を形成する際に発生する異物を除去することで、良好な凹凸形状の形成に寄与するヒートモード型記録材料層の洗浄方法と、この方法を用いた凹凸製品の製造方法、発光素子の製造方法および光学素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ヒートモードの形状変化が可能な記録材料層１２に、集光した光を照射することで複数の凹部１５を形成する際に生じる異物Ｄを除去するためのヒートモード型記録材料層の洗浄方法であって、記録材料層１２に対して未反応となる液体Ｌによって、異物Ｄを除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の被洗浄物を連続的により少ない液量でより確実に洗浄でき、かつ軽量化及び小型化可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】外周壁と底部を備え前記外周壁と前記底部とで形成された空間に液体を貯留する洗浄槽と、付勢されて振動し前記洗浄槽を振動させる振動子と、前記空間に設けられ回転軸を中心として所定方向に回転する搬送部とを備え、前記空間に供給された被洗浄物の少なくとも一部の部位を前記液体に浸漬させ、前記被洗浄物を前記搬送部により前記底部上で前記所定方向に回転移動させると共に前記振動子により前記洗浄槽を振動させて前記液体により前記被洗浄物を洗浄し、前記洗浄した被洗浄物を前記洗浄槽の外部に排出するように構成した。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄能を有する、垂直磁気記録方式ハードディスク基板用洗浄剤組成物、それを用いて行われる洗浄方法、垂直磁気記録方式ハードディスクの製造方法を提供する。
【解決手段】下記（式１）〜（式６）で表される界面活性剤からなる群から選ばれる１種以上の界面活性剤を含有し、２５℃におけるｐＨが５以下である、Ｎｉ−Ｐ含有層を有する垂直磁気記録方式ハードディスク用基板用水系洗浄剤組成物。
【化１】


ただし、前記（式１）において、Ｒ¹は、炭素数１０〜１６のアルキル基であり、Ｘは
ハロゲン原子である。 （もっと読む）

【課題】 ストレーナに装着された円筒型のフィルタの目詰まりを解消するために、ストレーナからフィルタを取り外して洗浄する際に、簡単な構造でフィルタを回転させることができて、洗浄水のフィルタに対する噴射位置を確実に変更して短時間で洗浄できるフィルタの洗浄装置を提供する。
【解決手段】 フィルタ５を遊嵌させる主洗浄管３の長手方向に沿った多数のノズル3aから噴射される洗浄水W₃の噴射方向を鉛直上向きとし、副洗浄管４の長手方向に沿った多数のノズル4aから噴射される洗浄水W₄の噴射方向と鉛直下向きとするとともに、主洗浄管３の中心を通らない方向とする。主洗浄管３にフィルタ５を遊嵌させ、ノズル3a、4aから洗浄水W₃、W₄を噴射すると、洗浄水W₃によりフィルタ５が主洗浄管３から浮き上がり、洗浄水W₄によりフィルタ５が回転させられて、洗浄される。 （もっと読む）

【課題】表面にディンプル状の凹部や溝を有するローラーに付着した異物等をコンパクトで安易な装置で良好に洗浄できるローラー洗浄装置を提供することことを目的とする。
【解決手段】
ローラー表面にディンプル状の凹部や溝を有するローラーを洗浄するローラー洗浄装置であって、前記ローラーの下面にローラーと微小隙間を有し、ローラーの下面の一部を覆う洗浄槽と、前記洗浄槽の内方に、洗浄液または圧縮空気のいずれかを噴出する少なくとも１個以上のスプレーノズルと、前記洗浄液を貯蔵する洗浄タンクと、前記洗浄タンクから洗浄槽へ洗浄液を送る搬送手段と、前記洗浄槽から洗浄済みの洗浄液を回収するドレン機構と、
を具備していることを特徴とするローラー洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】被処理面以外の面に対する処理液の飛散を防止し、被処理面のみに処理液を用いた処理を施すことができる表面処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面処理治具１は、半導体ウエハ５０の被処理面５０ａと対向する対向面１ａに形成された環状の溝１０と、溝１０に連通するように形成された、処理液を回収する貫通孔１１とを有する処理液回収部１３を備えている。 （もっと読む）

【課題】 スピンコ−タ−カップ、半導体ウェハ、液晶ガラスなどに付着したレジスト及びレジスト被膜、油膜、塗料及び塗膜等の有機成分及び有機被膜を、短時間で除去すると共に、洗浄液を多数回繰り返し洗浄できる生産性・経済性の優れた洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】洗浄室内に被洗浄物を保持する保持カゴを回転可能に自立させ、更に洗浄液噴射用、すすぎ液噴射用及び乾燥用を共有するノズルを有するノズルヘッダーを回転可能に配設して、保持カゴとノズルヘッダーとの回転方向が双方対向するように設置して、被洗浄物を炭酸アルキレンによる洗浄後エアーで液切りさせた後、精製水によるすすぎを行って、エアー噴射により短時間で乾燥仕上げ処理することと、洗浄後の洗浄液はオゾンを用いた洗浄液再生装置で有機成分を分解して、循環再使用して経済効率を改善する。 （もっと読む）

【課題】発塵防止性に優れた基板の洗浄装置の提供を目的とする。
【手段】本発明はドーナツ円盤状の基板を洗浄する装置であり、噴出装置とチャック装置を具備し、チャック装置が基板孔部の内側に挿通される支持ロッドを複数本備えたスピンドルチャックと、該スピンドルチャックを回転駆動する水力回転機構とを具備してなり、前記スピンドルチャックが、支持ロッドを移動自在に支持する駆動機構を複数備えた支持ベースと、回転軸とを具備し、前記水力回転機構が、回転軸を取り囲むととともに駆動流体の流通路を内部に備えたシャーシ部材と、該シャーシ部材内の流通路に望んで設けられた水車部材と、駆動流体の供給路および排出路を備えてなる。 （もっと読む）

本発明は、プロセス中の清浄化溶液の改善された流れを用いた多結晶シリコンの清浄化方法に関する。 （もっと読む）

【課題】洗浄廃液を分別して効率よく回収することができる廃液分別装置を提供すること。
【解決手段】廃液分別装置としての回収ホッパー１は、ホッパー本体１１の上部に回転霧化式塗装機２の回転霧化頭４を挿入する挿入口１２が設けられ、回転霧化頭４から吐出された塗料や洗浄液を含む複数種類の洗浄廃液を受け入れる。ホッパー本体１１の側壁の内面側に溶剤型塗料の洗浄廃液を回収するトイ１５が設けられ、ホッパー本体１１の底部かつ挿入口１２の直下となる位置に水性塗料の洗浄廃液を排出する排出口１７が設けられている。水性塗料の洗浄廃液を排出口１７に案内する第１流体案内流路１９ａが設けられ、第１流体案内流路１９ａの第１流体案内壁１８ａは、その口径が下方側に行くほど小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】基板端部の洗浄を行なうことによって、基板端部で生じた異物に起因する汚染発生を防止し、歩留まり低下を抑制することのできる基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗの端部Ｗ１を洗浄する基板洗浄装置１Ａ、１Ｂであって、前記基板Ｗを略水平姿勢に保持し、該基板Ｗを鉛直軸周りに回転自在な基板保持手段２と、前記基板保持手段２により保持され、所定の回転速度で回転する基板Ｗの端部Ｗ１に洗浄液を噴射する洗浄液噴射手段７とを備え、前記洗浄液噴射手段７は、前記洗浄液を前記基板Ｗの端部Ｗ１に対し側方から噴射する。 （もっと読む）

【課題】洗浄後にワークの表面に微小粒子等が付着することを抑制できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ワークＷを洗浄する洗浄装置１であって、ワークＷを洗浄する洗浄液Ｆが充填される洗浄槽２と、ワークＷを支持して洗浄槽２内の洗浄液Ｆの内部と外部とに移動させるワーク支持部４と、ワーク支持部４の周囲を遮蔽し、外部の雰囲気から隔絶する遮蔽部６とを備え、遮蔽部６は流入口６Ｂと排気口とを有し、遮蔽部６の内部に、流入口６Ｂから洗浄槽２の上方を通過して排気口に向かう空気の流れが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面処理槽内を真空状態に保ちながら、この表面処理槽内に収納した作業機構を上下動させるとともに、作業機構の回転、揺動等を可能とする表面処理装置を得る。
【解決手段】内部を真空状態とし得る耐圧槽1と、この耐圧槽1内に挿入して上端側を耐圧槽1から外方に突出し、この突出部17に上下動機構18を接続して上下動可能とする筒形の耐圧ケーシング7と、上記突出部17に配置した回転駆動機構16と、この回転駆動機構16に接続して回転可能であって、耐圧ケーシング7に貫通して配置した駆動軸13と、この駆動軸13の下部に接続した回転伝達機構24を介して駆動軸13の駆動力を伝達し、表面処理作業を行う作業機構34と、前記耐圧槽1と耐圧ケーシング7との外気連通部に配置し、耐圧槽1内の気密性を保持する耐圧真空シール材36と、前記耐圧ケーシング7と駆動軸13又は／及び回転伝達機構24との外気連通部に配置し、耐圧槽1内の気密性を保持する駆動真空シール材40とを備える。 （もっと読む）

【課題】 多数の容器を使用する工場において、容器乾燥装置の前工程として必ずあった容器洗浄装置の設置場所の確保が必要であった。
【解決手段】 扉部１３を有する外装部１２を有し、外装部１２の内部に積層された容器Ｃを載置するターンテーブル１と、ターンテーブル１の上部にターンテーブル１の回転中心から同距離で対向する位置に２本づつ立設させるコラム２と、クランプ部４を開閉するクランプ開閉用シリンダー６と、ターンテーブル１から間隔を有した外周に外周方向において略等間隔に垂直方向に複数の洗浄管２０を立設し、各々の洗浄管２０は上下方向に複数ほぼ等間隔に洗浄ノズル２１を内側に向かって設けた容器洗浄遠心乾燥機Ａを有する容器洗浄遠心乾燥装置による。 （もっと読む）

【課題】多種類のパレットを回転枠に保持できる自動洗浄脱水装置を提供する。
【解決手段】回転枠３１と、パレットＰを載置して回転枠１に対し昇降させる昇降テーブル２１と、噴射ノズル４１とを備えてなる自動洗浄脱水装置において、回転枠３１には、パレットＰの長手方向前後両端面に当接する前後一対のチャック片２ａ，２ａと、パレットＰの幅方向左右両端面に当接する左右一対のチャック片３ａ，３ａとを有するチャック装置１を設け、前後両チャック片２ａ，２ａは、回転枠３１に設けた前後一対のシリンダ４，４によって、前後両チャック片２ａ，２ａを回転枠３１の中心部からパレットＰの前後に同じ距離往復移動させるようにし、左右両チャック片３ａ，３ａは、回転枠３１に設けた左右一対のシリンダ５，５によって、左右両チャック片３ａ，３ａを回転枠３１の中心部からパレットＰの左右に同じ距離往復移動させるようにした。 （もっと読む）