【課題】 構造が簡易でメンテナンス作業も容易な超音波洗浄システムを提供する。
【解決手段】 超音波洗浄槽１１内の液体に洗浄容器２０の一部が接触し得るように支持する容器支持部材としてのローラ部材１３，１４を超音波洗浄槽１１外に備えてなる。従って、洗浄容器２０をローラ部材１３，１４に支持させた状態で回転させると、超音波洗浄槽１１内の液体を介して洗浄容器２０内に超音波が照射され、洗浄容器２０内の被洗浄物の汚れを除去することができる。本発明によれば、ローラ部材１３，１４が超音波洗浄槽１１外に配置されているため、ローラ部材１３，１４のシール対策は簡易でよく、メンテナンス作業も容易で、製造コスト、メンテナンスコストの低減に寄与する。 （もっと読む）

【課題】洗浄品質を向上できるとともに大気汚染や作業環境汚染を確実に防止する。
【解決手段】被洗浄物の洗浄を行う洗浄容器内の圧力変動をアキュムレータで吸収するようにした密閉型洗浄装置において、前記洗浄容器と前記アキュムレータとの間に前記洗浄容器内を減圧する真空発生装置を設け、前記被洗浄物の洗浄の際に、前記洗浄容器を減圧させるとともに、該減圧に伴う前記真空発生装置内の圧力変動を前記アキュムレータで吸収させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 ワーク載架用のステージに接離可能となる二重カップによる洗浄槽において、二重カップの内側カップに洗浄ノズルを付設し、内外側カップで構成される通路を、排液、又は排気用の流路とする構造であり、密封型の清浄槽である。渦状の流れをつくり、ワークに均一に洗浄液が噴射され、均一な清浄が可能となる。通路による吸引効果と、内側カップの周辺部には吸引力が生成し、渦の発生は可能である。しかし、渦発生力が弱いので、渦のトルネード効果は期待できないと考えられる。
【解決手段】 本発明は、カプセル型の開閉自在の洗浄室と、洗浄室の一方に設けたノズルと、他方に設けた吸引部と、洗浄室内に設けた回転自在のワーク支持台とで構成したカプセル型の洗浄機であり、洗浄室において、ノズルより噴射される洗浄液、洗浄水、又は空気を旋回するとともに、吸引部に誘導可能とする構成としたカプセル型の洗浄機である。 （もっと読む）

【課題】 大型のフォトマスク用の遮光膜付き基板の洗浄方法で、付着異物の除去が効果的な洗浄方法を提供する。
【解決手段】 大型のフォトマスク用の遮光膜付き基板の洗浄方法であって、高い圧力をかけてノズルから、純水を微粒径の状態状態で噴射させて、前記遮光膜付き基板の遮光膜にあてる、純水ジェット洗浄処理を施す。 （もっと読む）

【課題】より微細なバブルを含むバブル含有液をより効率的に生成することのできるバブル含有液生成装置及びバブル含有液生成方法を提供することである。
【解決手段】液体を貯留する貯液槽１１と、貯液槽１１からの液体に気体を供給して気体含有液を生成する気体含有液生成機構１３、１２と、気体含有液生成機構にて生成される気体含有液を加圧して気体溶存液を生成する加圧槽１５と、加圧槽１５からの気体溶存液中にバブルを発生させて得られる第１バブル含有液を貯液槽１１に供する第１バブル含有液生成機構１８ａと、加圧槽１５からの気体溶存液の圧力開放を行って微細バブルを発生させて第２バブル含有液を生成する第２バブル含有液生成機構１８ｂとを有する構成となる。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなくパーティクルやミストの再付着を抑制するフォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】処理槽１２の内側において、壁部２１の周方向に複数の第一案内翼２４を設ける。この第一案内翼２４は、その上端と下端とを周方向にずらしつつ、中央部を周方向に湾曲した曲面状に形成する。これにより、フォトマスク１９の洗浄時に供給され、フォトマスク１９の回転により壁部２１方向に移動したクリーンエアおよび処理液を、第一案内翼２４により下方に導く。また、第一案内翼２４の下方において、壁部２１の周方向に複数の第二案内翼２５を設ける。第二案内翼２５は、第一案内翼２４により導かれたクリーンエアを、処理槽１２の底部２２に接続さている排出管部１５に導く。これにより、パーティクルやミストなどを含むクリーンエアを処理槽１２から排出する。 （もっと読む）

【課題】自動車部品等、ワーク表面、鋳物中子孔内部、ネジ穴内部等に残留した切粉、切削油等の異物を除去する洗浄装置であって、洗浄効率が高い。
【解決手段】開口部２を備えた洗浄室３と、洗浄室３内に設置されたワーク把持冶具４と、洗浄室３外に設置された、冶具４をサーボモータで回転駆動する駆動ユニット５と、洗浄ノズル６と、洗浄液を洗浄室３外に排出する排液口７とから構成され、洗浄室内の体積をワーク体積の５倍以下に定め、洗浄室内の流速を高める。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体ウエハ等といった複数の被処理物を処理液に浸漬するに際して、これら被処理物の間で処理具合にばらつきが生じないようにする。
【解決手段】処理装置１が、処理液３０が貯留される処理槽２と、処理槽２内に配置され、処理槽２内で回転する回転車４と、被処理物３２をそれぞれ保持し、回転車４に取り付けられ、回転車４の第１の回転軸６を中心にした円周方向に沿って配列された複数の保持具１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持する専用の台が不要にし、洗浄の死角となる部分を少なくする。
【解決手段】円筒状のワークＷを挟み込む位置に配置し、ワークＷの回転軸線と平行な軸線回りに回転し、ワークＷの外周面に接触する少なくとも３個以上の円筒状のローラ５２、５３、６３、６７と、少なくとも３個以上のローラ５２、５３、６３、６７のうち少なくとも１個を回転駆動する流体モータ８８、８９と、ワークＷに向けて流体を噴出させるノズル２０、２１、２２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ドラム容器の洗浄を安定して行う。
【解決手段】２つの回転ローラが水平に設けられる。回転ローラは、ドラム容器１８を横たわった状態で支持する。図示しない移動手段は、これらの回転ローラを移動する。この移動により、ノズル３１ｂ〜３３ｂがドラム容器１８内に挿入された状態となる。モータは、回転ローラを一方向へ回転させる。回転ローラの回転により、ドラム容器１８は一方向へ回転する。ノズル３１ｂ〜３３ｂは、鉛直の反対方向から回転方向へ角度θ１だけ移動した部分へ洗浄液を噴射する。角度θ１は、１０°以上９０°以下である。 （もっと読む）

【課題】洗浄液噴射手段を電極板と電極板の間に入れる必要がなく、メンテナンス性が良好であり、洗浄力の高い洗浄装置および洗浄方法を提供すること。
【解決手段】電解精錬に用いられる電極板の洗浄装置であって、所定の間隔をおいて吊り下げられた複数の電極板を、搬送ラインの一方側から他方側に向かって搬送する搬送手段と、前記搬送手段で搬送される複数の電極板を、搬送方向に対して傾倒させる傾倒手段と、前記傾倒手段によって傾倒した電極板の上面側および／または下面側より、前記電極板の表面に洗浄液を噴射する洗浄液噴射手段と、を備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】比重が異なり、かつ比重差の小さい２種以上の物体を効率的に低コストで選別する。
【解決手段】鉱石Ｍから大塊を除去する篩装置２と、鉱石Ｍを水洗して付着している粉分Ｐを除去する水洗装置３と、水洗後の鉱石Ｍ１に付着した水分を除去するエアーブロー装置４を備えたメッシュコンベア５と、水分除去後の篩上物Ｍ２を比重選別するための流動層式選別装置６と、流動層式選別装置に流動用及び乾燥用の熱風又は冷風（空気）を吹き込むブロワー７と、洗浄後の水Ｗ１に含まれる粉分Ｐから生じたＳＳの量を測定するためのＳＳ測定装置８等を備えた比重選別装置１。流動層式選別装置の投入口６ａから投入した篩上物Ｍ２のうち、固気流動層の見掛け比重より比重の小さい物（低比重品Ｌ）を固気流動層内で浮遊させ、固気流動層の見掛け比重より比重の大きい物（高比重品Ｈ）を固気流動層内で沈降させて両者を選別する。 （もっと読む）

【課題】大口径高重量シリコン単結晶ブロックを自動で洗浄する装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】単結晶インゴットをブロック状に切断した単結晶ブロックの表面を洗浄する洗浄装置であって、少なくとも、
前記単結晶ブロックを洗浄するための洗浄槽部と、
前記単結晶ブロックを洗浄前工程部から洗浄工程部、更には洗浄後工程部へと搬送する搬送手段と、
前記単結晶ブロックの端面を把持して、前記搬送手段から前記洗浄槽部内へロードし、前記洗浄槽部内の洗浄槽に浸漬して前記単結晶ブロックを洗浄し、洗浄工程終了後に前記洗浄槽部から前記搬送手段へアンロードする把持ロボットと、
洗浄後の前記単結晶ブロックの表面を乾燥させる乾燥手段と
を具備するものであることを特徴とする単結晶ブロックの洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】薄板部材を破損させることなく効率良く薄板部材を洗浄することを可能とする薄板部材洗浄装置を提供する。
【解決手段】流水プレート５２０の流水孔５２０ａから降り注がれた水道水は、回転支持部材５４０Ａに設けられた外側回転羽根５４３および内側回転羽根５４４に当接することで、回転支持部材５４０Ａを回転させる。また、メッシュ部材保持部５４５Ａに保持されたメッシュ部材１６０に注がれた水道水は、メッシュ部材１６０の回転による遠心力に基づき、メッシュ部材１６０の表面および裏面を流れ、メッシュ部材１６０に付着している薬液カスを除去される。メッシュ部材１６０から除去された薬液カスは、そのまま水道水により流体排出用開口部５５０ａから薄板部材洗浄装置５００Ａの外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】薄板部材を破損させることなく効率良く薄板部材を洗浄することを可能とする薄板部材洗浄装置を提供する。
【解決手段】メッシュ部材保持部５３０が支持された回転腕部材５２７を回転ハンドル５２４を用いて回転させることで、水道水がメッシュ部材１６０の表面を流れ、メッシュ部材１６０に付着している薬液カスが除去される。 （もっと読む）

【課題】複数のロールブラシと押えブラシを備えた大根等の洗浄機において、大根等の表皮を剥くことなく大根等に付着した土等を略完全に洗浄し、大根等をロールブラシの回転軸と平行に整列した状態で移動すること。
【解決手段】洗浄機は、押えブラシとその押えブラシに対向するロールブラシを備えた予備洗浄部、加圧水を大根等に噴射して洗浄する加圧水洗浄部、仕上洗浄部からなり、加圧水洗浄部は、ロールブラシ２１ｂ１、無毛ロール２１ｃ１、ロールブラシ２１ｂ２、無毛ロール２１ｃ２、中継押えブラシ２３１、低速押えブラシ２３２、加圧水供給手段を備えている。無毛ロール２１ｃ１，２１ｃ２は、プラスチック、金属、木材等からなる。また無毛ロール２１ｃ１，２１ｃ２は、ロールブラシの周囲を塩ビ等のプラスチックで被覆したものでもよい（図（ｃ））。 （もっと読む）

【課題】メディア撹拌型湿式粉砕機で使用するメディアを、短時間に洗浄し、メディアの粉砕を起こさないメディア洗浄機を提供する。
【解決手段】壁面の一部に篩面が形成されるとともに軸芯を中心として回転可能に形成された筒状のメディア容器２０と、内部に洗浄液を溜める洗浄槽３０とを備え、洗浄槽３０に溜めた洗浄液の液面と前記軸芯とが１５〜７０°の角度をなす状態で、篩面の一部を洗浄液に浸して回転する。超音波発振器５０を併用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを効果的に抑制し、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制し、かつ、洗浄後の乾燥時間を短縮できる部分洗浄装置及びそれを用いた部分洗浄方法を提供する。
【解決手段】部分洗浄装置及び部分洗浄方法であって、内部に洗浄液吐出ノズル及びエアー吹き付けノズルを有し、上方または側方の壁面に第１の開口部を有するハウジングと、第２の開口部を有し、ハウジングに対して取り外し可能に密着する弾性マスキング部材と、を備え、ハウジングの上方または側方において、弾性マスキング部材を介して載置された被洗浄物に対し、第１及び第２の開口部を通して、洗浄液吐出ノズルにて洗浄液を吐出した後、エアーを吹き付けノズルにてエアーを吹き付け、被洗浄物に付着した洗浄液を強制的に除去する。 （もっと読む）

【課題】ロールからベアリングを取り外すことなく洗浄できるロール洗浄装置を提供する。
【解決手段】上面が開口して、左右一対のベアリング１６，１６を支持するベアリング支持部１７，１７が載置されると共に、水が入った外洗浄槽１８と、外洗浄槽１８の水に浸され、かつ、上面が開口してロール１２の下部が浸されるように有機溶剤が入った内洗浄槽２０と、外洗浄槽１８の底面に配された超音波振動子と、回転軸１４に連結され、ロール１２を回転させるモータ２６とを有する。 （もっと読む）

【解決手段】 洗浄装置を提供する。洗浄装置は、ベースから延びる側壁によって形成されたタンクを含む。対向する側壁の上部分に形成された複数の流体出口は、上部分の長さと上部分の深さにわたって延びる配列として配置される。複数の流体出口は、水平流体流れをタンクの内部に提供するように構成される。水平流体流れは、一番上の流れがタンクの内側中間領域まで進み、各々の引き続く下方の流れが、その引き続く下方の流れが出る側壁により近く進むように配置され、水平整列流体流れの各々の方向は、タンクの底に向かう垂直整列流体流れに層流的に変えられる。支持体群が、タンクの下部分に配置される。再循環ポンプが、タンクのベースより下に配置される。基板洗浄方法も提供する。 （もっと読む）