【課題】多数の超音波振動子を振動板に取り付けて洗浄槽内に配置した構成で、振動板の撓みを抑えて良好な洗浄能力を得ることができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置が、洗浄液１を収容する洗浄槽２と、洗浄槽２に設けられている振動板３と、振動板３に取り付けられている複数の超音波振動子４と、振動板３を支持する複数の支柱５とを有する。各々の支柱５を中心として当該支柱５の周囲に複数の超音波振動子４が配置されている。支柱５の周囲に配置されている複数の超音波振動子４は当該支柱５を中心として対称に位置している。 （もっと読む）

【課題】金属製品の脱脂液との腐食電池作用による錆発生を抑制する機構をもつ脱脂装置を提供する。
【解決手段】金属製品４を脱脂する為のアルカリ浸漬脱脂槽５を有する脱脂装置において、金属製品４と周辺異種金属とのアース経路に絶縁部６を設けることで、金属製品４の脱脂液との腐食電池作用による電子の放出、金属イオンの溶出を抑制する。これにより、溶出した金属イオンと水酸化物イオンの反応が抑制され、錆の発生を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ロットの処理不良を防止することができるとともに、ロット間における処理を均一化することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】薬液交換後から薬液処理部ＣＨＢ２に第２搬送機構ＷＴＲが到達した後、薬液処理部ＣＨＢ２にてロットの処理を開始した時間を計時部２７が計時し、その経過時間とオーバータイムカウントとを判断部２９が比較する。経過時間がオーバータイムカウントを超えたと判断部２９が判断すると、報知部３３がオーバータイムアラームを報知する。したがって、許容時間内にロットを薬液処理部ＣＨＢ２で処理開始できなかったことをオペレータは知ることができる。よって、ロットの処理不良を防止することができる。またオーバータイムアラームが発生しない場合には、薬液交換からロットの処理までを一定時間内に収めることができるので、ロット間における処理を均一化することができる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行い、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図る。
【解決手段】被洗浄物２０を収納する篭１８と、前記被洗浄物を収納した篭を収容する貯水ユニット１４と、前記篭を収容した貯水ユニットを搬送する搬送手段２と、前記貯水ユニットの搬送方向に沿って複数配置した洗浄水を噴射するノズル１０、１１と、を備え、前記複数配置したノズルから搬送する貯水ユニットの上方側より被洗浄物に洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を被洗浄物の略全体が浸漬するように貯水ユニット内に貯水しながら貯水ユニット外に排水して、前記被洗浄物の洗浄を貯水ユニットの搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】簡便で低コストな信頼性の高いｐＨ計洗浄装置およびｐＨ計の洗浄方法を提供する。
【解決手段】廃液処理設備から分岐したｐＨ測定槽に付設されたｐＨ計の洗浄装置であって、ｐＨ計洗浄槽と、該ｐＨ計洗浄槽の底部に洗浄液を取り出す開閉式底蓋と、洗浄液を回収する洗浄液回収槽と、該洗浄液回収槽の底部にはｐＨ計挿通口と、洗浄液を排出するドレン口と、ドレン口に接続したドレンパイプとを設けたことを特徴とするｐＨ計洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 曝気と水流を洗浄水槽の全体に亘って均一に分散させながら、十分な噴出力によって被洗浄物を全体的に満遍なく下から煽って、かき解すように上下に浮沈させるといった効果的な洗浄を行なうことができる食品洗浄装置の提供。
【解決手段】 洗浄水槽２と、濾過水槽７と、濾過水槽に設けた循環ポンプ８と洗浄水槽に形成した底部室２９との間に配管した圧力水管５１と、圧力水管の先端に上向きに開口した噴出口５５と、圧力水管の途中に設けた曝気用泡発生装置４と、洗浄カゴ９を備え、洗浄カゴの底部に設けた底部スクリーン９２の中央部分に水流遮断部９２ａが形成され、この水流遮断部の中央部分に水流を通過させるための複数個の通水小孔９２ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】容器内周面へのワークの付着を抑制して、ワークを効率的に洗浄できるとともに、容器からワークを簡単に取り出すことができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】筒状部１１内に矩形平板状の水晶チップを収容し、筒状部１１内に供給される洗浄液により水晶チップを洗浄する洗浄ボトル１０において、筒状部１１の内周面には、凹凸部３１が形成され、凹凸部３１のピッチＰ１は、水晶チップを厚さ方向から見て水晶チップの最短幅よりも狭く設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の液体の加温時の温度ムラをなくして、その後の減圧時に洗浄槽内の液体を均一に沸騰させ、これによりムラのない確実な洗浄または濯ぎを図る。
【解決手段】被洗浄物２が浸漬された洗浄槽３内の液体を設定温度まで加温後、洗浄槽３内を減圧して液体を沸騰させる動作を含んで、被洗浄物２の洗浄または濯ぎを図る装置である。洗浄槽３内の液体を加温中に液体を流動させる液体流動手段を備える。液体流動手段は、洗浄槽３内の液体への外気導入手段（液相給気手段）９とされる。 （もっと読む）

【課題】安価で素早く高度な洗浄性能を発揮することができる超音波洗浄装置を提供すること。
【解決手段】超音波洗浄装置１は、洗浄液７００を用いて被洗浄物８００を超音波洗浄処理する洗浄処理部１００と、洗浄液７００に対して超音波振動を照射する振動子２００と、振動子２００を圧電効果によって超音波振動させるために、所望の周波数で、且つ所望の振幅の電気信号を振動子２００に付与する発振器３００と、洗浄液７００に所望の濃度を有する気体４１０を溶解する気体溶解部４００と、振動子２００より発振される超音波振動（圧力変動）から音圧Ｐを測定する音圧測定部５６０と、音圧測定部５６０によって測定された音圧Ｐを基に、気体溶解部４００によって洗浄液７００に溶解する気体４１０の濃度を制御する制御部６００とを有している。 （もっと読む）

【課題】水溶液または有機溶剤を用いた洗浄液で金属部材の表面を洗浄した後、効果的に金属部材の表面から洗浄液を除去することで金属部材を乾燥できると共に洗浄液として有機溶剤を用いた場合には、有機溶剤の大気中への拡散を極力抑えつつ、有機溶剤を回収することができる、金属部材の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】洗浄液で金属部材の表面を洗浄した後、金属部材を乾燥して金属部材の表面から洗浄液を除去する、金属部材の洗浄方法であって、側壁に金属部材１が通過する入口３及び出口４を有すると共に内部に入口３及び出口４間を通過する金属部材１に向けてその中の気体が吐出されるようにノズル５を配置した気体流通管６と、気液分離機７と、ポンプ８またはブロアとを配管９により連結し、気体の流通経路が閉鎖系の循環経路となるように構成された乾燥装置２を用いて、金属部材を乾燥する、金属部材の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽とは別に予熱タンクを設けると共に洗浄槽のヒータとは別に予熱タンクにもヒータを設けても、設備の電気容量内で効果的に両ヒータを制御して、洗浄槽内の液体の加温時間の短縮と、それによる運転時間の短縮を図る。
【解決手段】洗浄槽３内に貯留した液体に被洗浄物２を浸漬して洗浄を図る洗浄装置１である。洗浄槽加温手段７は、洗浄槽３内の液体を加温する電気ヒータ４０である。洗浄槽３とは別に、洗浄槽３よりも小容量の予熱タンク４が設けられる。予熱タンク加温手段１４は、予熱タンク４内の液体を加温する電気ヒータ６２であり、洗浄槽加温手段７の停止中に作動して、洗浄槽３内の液体の入れ替え用の液体を加温する。 （もっと読む）

【課題】壜を苛性溶液で洗浄した後の濯ぎ用の洗浄水の使用量を削減すると共に、濯ぎ洗浄工程を短縮する。
【解決手段】筐体３内を循環する無端チェン４に取り付けられ、複数の壜Ｂを保持して搬送するキャリア４ａと、筺体３内に設けられ、キャリアによって搬送される壜を浸漬させて洗浄する高温苛性浸漬槽７と、高温苛性浸漬槽の下流側で、高温苛性により洗浄された壜を予備濯ぎするとともに高温の壜を適宜の温度に冷却する温水浸漬槽８と、温水浸漬槽の下流側で、予備濯ぎされた壜を清水で濯ぎ洗浄する濯ぎ洗浄部９と、温水浸漬槽８内の槽水を中和するための酸供給装置３０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 乾燥後に発生するシリカ成分などによる白濁シミの付着及びその付着物による錆を防止する洗浄後の白濁シミ付着防止洗浄方法及びその洗浄装置を得ること。
【解決手段】 洗浄水又は濯ぎ水に含まれる不純物により白濁シミ及び錆が、洗浄、乾燥後に発生しないように、逆浸透膜（ＲＯ膜）装置で溶存不純物を除去した純水とし、特に濯ぎ槽の塩化カルシュウム、塩化ナトリウムの不純物の濃度を１０ｐｐｍ以下にする目的で純水の供給量を制御する洗浄後のシミ付着防止方法と、
第１槽の洗浄槽及び第２槽の濯ぎ槽に超音波発生装置及び加温するヒーターを設けた洗浄装置において、該第２槽を介して該第１槽に純水を供給する該逆浸透膜装置を備え、該第２槽の汚染度を計測する導電率センサーにより純水の供給量を制御し、また該逆浸透膜装置の排水を洗浄槽に洗浄水として供給する洗浄後の白濁シミ付着防止の超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】シャワー洗浄を行ってもフレームからメタルメッシュが剥れるのを防ぐことができるメタルマスク洗浄方法及び洗浄治具を提供する。
【解決手段】メタルメッシュと、メタルメッシュの外周部に接着剤で接着されたフレームとを有するメタルマスク１０を洗浄する際に、まず、メタルメッシュとフレームの接着部を上部カバー３６及び下部カバー３４で密閉し、上部カバー３６及び下部カバー３４を固定治具３８で挟んで固定する。次に、接着部が上部カバー３６及び下部カバー３４で密閉された状態で、接着剤を溶かす洗浄溶剤を用いてメタルマスクを浸漬洗浄又はシャワー洗浄する。 （もっと読む）

【課題】車両等大型製品への適用ができる車両等大型製品のマイクロバブルによる脱脂システムを提供する。
【解決手段】車両等大型製品の脱脂を行うためのマイクロバブルによる脱脂システム１であって、前記製品を浸漬して脱脂するための薬液２０を貯留する脱脂槽２と、前記脱脂槽２に前記マイクロバブルを含む薬液２０を供給するマイクロバブル供給手段４と、前記製品の脱脂を行うことにより前記脱脂槽２の薬液２０表面に浮上した泡沫と、当該薬液近傍の薬液２０とを集めて、当該薬液２０から油分を分離する油水分離装置３と、前記脱脂槽２の薬液２０表面に浮上した泡沫を除去するために、当該薬液２０表面近傍に薬液２０の表面流を発生させる表面流発生手段５と、前記マイクロバブル供給手段４にて前記マイクロバブルを発生させるために用いるエアーから二酸化炭素を除去する二酸化炭素除去装置６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェブの表面に付着した微細な塵芥を除去することができるとともに、洗浄液の飛散を防止することができるウェブの洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄装置６０は、ウェブの表面に付着した微細な塵芥を除去可能なノズル３６を、水槽６２の内部に配置するとともに、水槽６２に貯留された液体６４中に浸漬配置する。液体６４は、気体と比較して比重が大きく粘性も高い。したがって、ノズル３６を液体６４に浸漬配置することにより、ノズル３６の入口及び出口５３ｂから排出された洗浄液は、液体６４によってその運動エネルギーが分散される。これにより、洗浄装置６０によれば、ノズル３６の入口、出口５３ｂからの洗浄液の飛散を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】枚葉式、バッチ式のいずれの超音波洗浄装置であっても、形状・材質に依存せずに、低出力から高出力まで、洗浄液に印加された超音波の音圧をスムースに制御、特に微調整することができることによって、被洗浄物の表面にダメージを与えることなく十分に清浄な表面を得られる超音波洗浄装置と、それを利用した被洗浄物の洗浄方法、並びに超音波の発振方法を提供する。
【解決手段】被洗浄基板を超音波を印加した洗浄液によって洗浄する洗浄装置であって、少なくとも、超音波振動子で発振させた超音波を印加した洗浄液によって前記被洗浄物を洗浄するための洗浄機構と、前記超音波振動子から超音波を発振させるための主発振器とを具備し、前記主発振器は、発振波形としてバースト波を用いるものであることを特徴とする洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】凸版印刷などの印刷装置に用いられる刷版を作業性よく簡単に洗浄することができる刷版の洗浄装置及び洗浄方法を提供すること。
【解決手段】容器２の上方に刷版５を吊り下げるための吊り下げ保持部３を設け、刷版５の側部に設けられた被係止部６を吊り下げ保持部３の空間Ｔ内に挿入して吊り下げる。そして昇降手段によって刷版５を吊り下げ保持部３とともに下降させ、洗浄液Ｗに浸漬させることによって刷版５に付着したインキを溶出して除去する。その後、昇降手段により洗浄液Ｗから刷版５を取り出したならば、第２のモータＭ２を駆動して、フレーム４１をナット４３及びスライダ４４を介して水平方向に往復移動させる。このとき、ノズル４２から洗浄水を刷版５の印刷表面に向かって噴射させながらフレーム４１を往復移動させる。これにより、刷版５に残存するインキを除去する。 （もっと読む）

【課題】硝弗酸を用いたステンレス鋼帯の酸洗操業において、脱硝剤添加を必要とせずに生産性向上とＮＯ_X発生抑制の同時実現を図る。
【解決手段】酸洗槽内の硝酸−弗酸混合酸洗液にステンレス鋼帯を浸漬通板する酸洗工程において、酸洗液を熱交換器により冷却する手段を備えた酸洗設備を用い、酸洗槽の液面下に設けた複数の酸洗液吐出口から吐出させた酸洗液の噴流にステンレス鋼帯表面を曝す「噴流酸洗」を行い、酸洗の反応熱による発熱と、熱交換器による抜熱とを利用して、酸洗中の酸洗液の温度を予め設定した温度範囲（例えば４０〜７０℃の範囲内に定めた温度範囲）に維持するステンレス鋼帯の酸洗操業方法。 （もっと読む）