装置は、液体フローダクト１２と、フローダクト１２の液体排出開口２０上に回転するように装着された回転ノズル１４であって、少なくとも１つの液体噴霧開口３２、３３、３４によって貫通されている回転ノズル１４と、全流断面にわたってフローダクト１２内を横方向に延びる液体分配壁４８であって、中心ジェットを発生させるために中心ダクト５６によっておよび駆動軸に沿って少なくとも１つの接線方向ジェットを発生させるための少なくとも１つの接線方向ダクト６０によって貫通されている液体分配壁４８と、液体分配壁４８に対向して延び、かつノズルを回転させる目的のために、その接線方向ジェットまたは各接線方向ジェットを受けるために少なくとも１つの導管６４によって貫通されているノズル１４を駆動するための壁５０とを備える。駆動壁５０が、ノズル１４と回転自在に結合されている。
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【課題】少量の処理液で基板上面全体を均一に処理することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】多孔ノズル３２から基板Ｗの回転方向Ａに沿って基板Ｗの上面に対して斜め上方から配列方向Ｘに沿って列状に処理液を吐出させる。しかも、基板Ｗの回転半径方向に伸びる線を回転半径線としたとき、基板Ｗの上面に着液する列状処理液を構成する処理液（液滴）の各々の着液位置が、回転半径線ＲＬ上から回転半径線ＲＬに直交するオフセット方向Ｙに所定の距離Ｓ１だけずれるように、多孔ノズル３２から処理液を吐出させる。その一方で、中心処理ノズル３３から基板Ｗの回転中心Ａ０に向けて処理液を吐出させて、基板Ｗの中心部に処理液を供給する。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の消費量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０の最上部の基点Ｐから，回転方向Ｆに２７０°から３００°回転した位置に，第１のブロック１１０が設けられ，その後方側に第２のブロック１３０が設けられる。第１のブロック１１０により，回転ロール９０との間に狭小の隙間Ｄが形成され，その表面１１０ａに洗浄液吐出口１１１と吸引口１１２が形成される。第２のブロック１３０には，排気口１３１が形成される。回転ロール９０の下部側には，滞留部１４１と洗浄液誘導部１４２が形成された第３のブロック１４０が設けられる。洗浄時には，回転ロール９０を回転させた状態で，洗浄液吐出口１１１から隙間Ｄに洗浄液Ｈが吐出され，洗浄液Ｈが回転ロール９０の表面を伝って流れ，滞留部１４１で一旦滞留された後，洗浄液誘導部１４２を通って排出される。 （もっと読む）

【課題】基板を傾斜した状態で保持しながら、常温より高い温度の薬液を用いて、傾斜した基板の薬液処理を均一に行う。
【解決手段】ヒータ１１は、基板１がヒータ１１の下方を通過する際に、基板１の表面を薬液ノズル２１が供給する薬液の温度に近い温度に温める。薬液ノズル２１は、常温より高い温度の薬液を基板１の表面へ供給する。基板１の表面へ供給した薬液によって、基板１の表面の薬液処理が行われる。基板１の薬液処理を行う前に、基板１を薬液処理に用いる薬液の温度に近い温度に温めることにより、薬液を供給した基板１の表面の上側と下側との温度の上昇の違いが小さくなり、基板１の表面の温度が迅速にほぼ均一となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ワイヤーバーおよびマニホールドの洗浄および乾燥を自動的に行なう洗浄ユニットを有する塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも搬送する基材（５）と該基材（５）に接するようにワイヤーバー（６）を具備し、該ワイヤーバー（６）の下部にマニホールド（７）及び該マニホールド（７）に接続される液供給管（１０）を備える塗布装置であって、ワイヤーバー（６）上部に洗浄用流水ノズル（２ｂ）が超音波発振器および超音波振動子を有する洗浄流水用ユニット（２ａ）に、前記乾燥用エアーノズル（３ｂ）が乾燥用ユニット（３ｂ）に取り付けられている洗浄ユニットを有する洗浄用カバー（１）を備え、且つ前記マニホールド（７）に接続される液供給管（１０）に超音波発振器および超音波振動子を有する超音波装置（９）が具備されていることを特徴とする塗布装置である。 （もっと読む）

【課題】 小型な装置で、簡便に活性種を生成することができ、活性種を含む液体を製造することができる液体製造装置およびこの液体製造装置で製造した液体を用いた処理装置および表面加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 活性種を含む液体である機能水を製造する機能水製造装置１１である。純水を供給する高圧ポンプ１３と、高圧ポンプ１３によって供給された純水を吐出して活性種を生成するノズル１２とを有している。ノズル１２から機能水が吐出されてから吐出された機能水が液滴になるまでの時間が、ノズル１２から機能水が吐出されてから活性種が消失するまでの時間より短くなるように、吐出流速およびノズル１２の吐出口を構成する。 （もっと読む）

【課題】基板を傾斜した状態で移動しながら、傾斜した基板の表面を均一に洗浄する。
【解決手段】基板１は、複数のローラ１０上に搭載され、ローラ１０の回転により矢印で示す基板移動方向へ移動される。各ローラ１０は、その一端が他端より高くなる様に傾けて設置されており、これにより複数のローラ１０は、基板１を水平に対して基板移動方向と直交する方向に所定の角度θだけ傾斜した状態で移動する。アクアナイフ１１は、アクアナイフ１１が設置されている基板１の表面と平行な面において、基板移動方向と直交する方向に対して所定の角度Ｔだけ傾けて設けられている。これにより、傾斜した基板１の表面の上側では、傾斜した基板１の表面の下側よりも、基板移動方向における上流でアクアナイフ１１から吐出された洗浄液が供給される。 （もっと読む）

【課題】ワークの各面に対して洗浄液の高速噴射がなされ、以て、切粉等の除去のための洗浄を十分且つ効率よく行なうことができ、しかも洗浄液の浄化機能を有しているために、より信頼性の高い洗浄作業を行ない得る機械部品等のワーク洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】内部に高速洗浄ノズルを備えた複数の洗浄槽２、３と、ロボットアーム先端のチャック８でワークをクランプして前記洗浄槽２、３内に運び入れ、前記高速洗浄ノズルに対向させて当該ワークの洗浄を行なうロボット１とを含むワーク洗浄装置において、前記複数の洗浄槽２、３はそれぞれ洗浄液の循環清浄化機能を備え、前記ロボット１は、前記複数の洗浄槽２、３に対し、選択的に前記ワーク洗浄のための動作を行なう。 （もっと読む）

パーツウォッシャー１０は、キャビネット１２と、プラットフォーム１４と、液体ディストリビュータ１６と、連結装置１８と、駆動システム２０とを有する。プラットフォーム１４は、キャビネット１２の内部に配置され、洗浄されるべき物品を支持する。ディストリビュータ１６は、キャビネットの内部でプラットフォームの一方の側に向いて設置され、プラットフォーム１４の回転軸に対してほぼ半径方向に向けて液体を放つ少なくとも１つのアウトレット２６を備える。連結装置１８は、ディストリビュータ１６が少なくとも２つの自由度で動くように、ディストリビュータ１６をキャビネット１２の内部に連結している。より詳しくは、連結装置１８は、ディストリビュータ１６の、傾き、回転、上下の動きの組み合わせを含む複合の動きを可能とする。
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【課題】大型基板を洗浄する場合でも、基板全面に均一に洗浄液を供給でき、しかも洗浄力を上げるために洗浄液の供給圧を高めても膨れなど変形を起こすことなく、噴射開口部の長手方向のどの部位でも、常にほぼ一定の噴射液量を維持することができる基板洗浄ノズルおよびそれを含む基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄ノズル２と、基板搬送手段３０と、洗浄液供給手段３１とを含む基板洗浄装置１において、基板洗浄ノズル２を、凹所が形成される第１の構成部材５と、第１の構成部材５との接合面２０が段差を有する第１平面部２０ａと第２平面部２０ｂとからなる第２の構成部材６との接合体であって、第１平面部２０ａが第１の構成部材５に当接し、第２平面部２０ｂが第１の構成部材５に当接しないように形成する。 （もっと読む）

【課題】 処理液回収タイプの処理液供給装置を対象とし、たとえ上下の筐体が疎水性の材料で形成され、かつ、基板幅方向および基板搬送方向に長大なものであっても、基板処理中に処理液が筐体間から漏洩するのを有効に防止することができるようにする。
【解決手段】 上下の筐体２０，３０に設けられた上部および下部ノズルブロック２２，３２の各外面には、基板搬送方向に向けてそれぞれ突設され、かつ、基板Ｂの通過を許容する上部ウイング２５および下部ウイング３５が設けられ、上下のウイング２５，３５は、それらの対向面間の距離が上部底板２１および下部天板３４の対向面間の距離より短くなるように設置位置が設定されている。 （もっと読む）

【課題】 汚れに対して浸透力を有した洗剤ミストを浴室領域の洗浄対象物の表面全体に均一に分散・拡散させるると共に、表面全体の汚れを洗剤ミストで浮かせることができ、これにより洗剤による洗浄効果を高めることができる。
【解決手段】 洗剤を溶解又は混合した洗剤液７を注入する洗剤液注入部４と、洗剤液注入部４から注入された洗剤液７を霧化して微粒子状の洗剤ミストＭを生成する霧化部５と、霧化部５にて生成した洗剤ミストＭを浴室領域に噴霧して浴室領域における浴室壁６ｃや浴槽壁６ａ等の洗浄対象物６の表面に飛散させるためのミストノズル１とを具備するミスト洗浄装置Ａである。 （もっと読む）

【課題】ノズル本体から噴射されるメインジェットを衝突ジェットで乱して噴霧化させるための手段が一体成形されたノズル本体およびワンピース一体構造のノズル本体を製造するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】一体形成されたワンピース構造のノズル本体であって、協働して所定のジオメトリ構造の流体のジェットを生成する第１の流路（３６ａ）、関連する第２の流路（３６ｂ）、および噴射路構造を有する。このワンピース構造のノズル本体（３０）を製造するためのシステムおよび方法。 （もっと読む）

【課題】 制御が容易で基板の搬送を簡単に行うことができ、また、従来の基板よりも大型の基板の液処理を行うための装置構成部材の仕様変更によって生ずる装置の大型化を抑制した液処理装置を提供する。
【解決手段】 ウエハＷがロータ３４に収納された状態で、Ｚ軸リニア駆動機構２９により、ロータ回転機構２７および姿勢変換機構２８を連結点Ｐが位置Ｐ２に移動するように上昇させ、位置Ｐ２においては、姿勢変換機構２８を動作させて、ウエハＷが水平保持から垂直保持の状態になるようにロータ回転機構２７全体を９０°回転させ、横姿勢の状態とする。次に、ロータ回転機構２７全体が横姿勢の状態のまま、連結点Ｐが位置Ｐ３に移動するように、再びＺ軸リニア駆動機構２９を動作させてロータ回転機構２７を上昇させる。連結点Ｐが位置Ｐ３に到達したら、次に、Ｘ軸リニア駆動機構３０を動作させて、連結点Ｐの位置を位置Ｐ４まで水平移動させる。 （もっと読む）

【課題】 より高い洗浄効果が得られる洗浄方法を提供する。
【解決手段】 （ｉ）泡形成機構を有し、（ii）吐出口の吐出面積が０．３〜１．０ｍｍ²であり、（iii）１回のストロークで０．３〜０．７ｇの内容物を吐出するトリガー式スプレーヤーにより、液体洗浄剤を、特定の線速度条件で対象物に噴霧する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄後の金属製ワークにおける錆の発生を従来よりも抑えることが可能な金属製ワークの洗浄システム、洗浄方法及び製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】 本実施形態によれば、ＯＲＰが負の値となった酸化還元電位水により金属製ワークＷｋを洗浄することで、水道水を洗浄水として使用する従来の洗浄システム及び洗浄方法に比較して、洗浄後の金属製ワークＷｋにおける錆の発生を長期間に亘って抑制することができた。より具体的には、酸化還元電位水のＯＲＰを−５００ｍＶ以下及び／又は溶存水素量を１．０〜２．０ｐｐｍとし、ｐＨ７．０〜７．８とし、更に、ノズル２０２に供給される酸化還元電位水の水温を、３８度以下及び／又は、金属製ワークＷｋのうち酸化還元電位水が衝突している部分の温度を２８度以下とすることで、洗浄後の金属製ワークＷｋにおける錆の発生を、４日〜２５日間に亘って抑制することができた。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に気泡を含まない処理液を供給することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】搬送される基板の上面を処理液供給装置３１から供給される処理液によって処理する処理装置であって、
処理液供給装置は、容器本体３２と、容器本体内を処理液が供給される流入部３４及び流入部に供給された処理液がオーバフローして流入する貯液部３５に区画した仕切体３３と、貯液部の底壁に形成され貯液部に流入部から流入して所定の高さで貯えられた処理液を基板の上面に供給するノズル孔４０と、流入部の側壁の上端部に形成され流入部に供給された処理液の液面が仕切体の上端とほぼ同じ高さに上昇したときにその液面に浮遊する気泡を貯液部３５に流入させずに容器本体の外部に流出させる凹凸部４１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】連続走行するシート状物に洗浄液を残留させることがなく洗浄液の残留痕、いわゆるウォ−ターマークを残さず、シート状物の外観不良を発生させることがなく、洗浄を行なうことができるシート状物の洗浄装置や、これを用いた洗浄方法を提供することにある。
【解決手段】実質的に水平に連続走行するシート状物上に設けられ、該シート状物の走行方向に直交する鉛直下向きの上流側ガス流と下流側ガス流とをそれぞれ噴出する上流側ガスノズルおよび下流側ガスノズルと、上流側ガス流および下流側ガス流間のシート状物上面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルとを有する洗浄装置であって、上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間のシート状物上面に残留する洗浄液を除去するガス流を噴出する可動ガスノズルを備えた。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を傾斜させて搬送する場合に、基板を精度よく洗浄することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】洗浄チャンバと、基板Ｗを搬送方向と交差する方向に所定の角度で傾斜させて上記洗浄チャンバ内を搬送する搬送ローラと、搬送される基板の上方にこの基板の搬送方向と交差する方向に沿って一列に配置され基板に上記洗浄液を細長いパターンＰで噴射する複数のノズルとを具備し、複数のノズルは、基板上に噴射される隣り合う洗浄液のパターンが基板の搬送方向と交差する方向に対して隙間が生じることがないよう配置されている。 （もっと読む）

眼科用ガラス（１）又は他の基板を洗浄する洗浄機の洗浄ユニットであって、前記洗浄ユニットは、２つの洗浄列（２２）（２３）を備え、前記各２つの洗浄列は、裾広型の形状を有する高圧力の洗浄液（３０）を発射し、該裾広型を有する洗浄液の幅は、洗浄されるガラス直径とほぼ等しい、もしくは該ガラス直径よりも大きい。前記洗浄列（２２）（２３）は、それぞれ平行に位置するとともに、洗浄されるガラス（１）の各面上にそれぞれ対向するように取付けられることで、２つの液流（３０）は、水平に位置する。前記２つの液流（３０）は前記ガラス（１）の凹面（１０）と凸面（１１）表面それぞれと接触し、前記洗浄ユニットは、さらに支持部材（４）を備え、前記支持部材（４）は、洗浄作業中、前記ガラスを安定した位置で挟持する。前記洗浄ユニットは、さらに、前記洗浄列（２２）（２３）もしくは前記ガラス（１）を移動させる手段（'２）を備え、前記手段は、前記各洗浄液の流れにより、前記ガラス（１）表面の前記凹面（１０）及び前記凸面（１１）を、同時に洗浄することを特徴とする。 （もっと読む）