【課題】簡略化された構造的形成及び／又は改良された処理作用を特徴とする噴射管を開示すること
【解決手段】液状噴射媒体或いは洗浄媒体を供給する分配管（１０）を備えて、分配管（１０）の内部と接続して第一制御開口（３２）を形成する少なくとも一つの第一ノズル通路（１８）を有する分配管（１０）に保持されたノズル要素（１７）及び全ノズル或いは一グループの複数のノズルのために共通のノズル軸（２４）から成る分配管（１０）に設けられた複数の噴射ノズル（２８）を備えて、洗浄機械、特に瓶或いは容器洗浄機械の噴射ステーションに使用する噴射管である。
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【解決手段】プロキシミティヘッドを形成及び使用するシステム並びに方法。プロキシミティヘッドは、ヘッド表面を含み、該ヘッド表面は、第１のゾーンと、第２のゾーンと、内部戻りゾーンとを含む。第１のゾーンは、第１の平坦な表面領域と、複数の第１の個別穴とを含む。複数の第１の個別穴の各穴は、複数の第１の導管のうちの対応する１本に接続されている。複数の第１の個別穴は、ヘッド表面内にあり、第１の平坦な表面領域に広がっている。複数の第１の個別穴の少なくとも一部分は、第１の列に配置される。第２のゾーンは、第２の平坦な表面領域と、複数の第２の個別穴とを含む。複数の第２の個別穴の各穴は、複数の第２の導管のうちの対応する１本に接続されている。複数の第２の個別穴は、ヘッド表面内にあり、第２の平坦な表面領域に広がっている。内部戻りゾーンは、複数の内部戻り個別穴を含む。内部戻りゾーンは、第１のゾーンと第２のゾーンとの間にそれらに隣接して位置している。複数の内部戻り個別穴の各穴は、複数の内部戻り導管のうちの対応する１本に接続されている。複数の内部戻り個別穴は、ヘッド表面内にあり、ヘッド表面に広がっている。複数の内部戻り個別穴の少なくとも一部分は、内部戻り列に配置される。第１の列と内部戻り列は、実質的に平行である。複数の内部戻り個別穴の各穴の縁の第１の部分は、ヘッド表面内に入り込んでいる。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化を図りながら、グリル庫内の清掃を簡易に行うことができるグリルの提供。
【解決手段】加熱手段を備えたグリル庫１０が設けられ、グリル庫１０内の汚れに対する蒸気の噴き付けにより汚れを洗い流す汚れ洗浄手段１６と、汚れ洗浄手段１６により洗い流した後の汚れ液を吸引する汚れ液吸引手段１７とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】水道水でも十分な洗浄効果が得られ、ノズル自体の強度も十分で耐久性も高い、円筒状のフィルターエレメント用の洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】軸方向に所定長さの円筒部（３）から構成する。円筒部（３）は、被洗浄物である円筒状のフィルターエレメントに対応しており、軸方向に２列に複数個の噴射孔４、４、…が「ｈ」の間隔をおいて明けられている。１列目の複数個の噴射孔４、４、…と２列目の複数個の噴射孔４、４、…の間隔は軸方向に「１／２・ｈ」だけずれている。これらの噴射孔４、４、…は、内側から外側に向かってテーパ状に絞られたテーパ孔として電子ビーム孔加工機によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】製品の洗浄及び乾燥工程において真空ポンプ装置を効率よく活用することでイニシャルコスト及びエネルギーコストを抑制することが可能な洗浄及び乾燥システムを提供すること。
【解決手段】主ステーション１１における洗浄工程ではまずシャワー装置１６によって製品を洗浄し、同じ主ステーション１１において第１の乾燥工程としてエアーブロー装置１５によるブロー処理で製品表面の水分を除去する。更に、水分はブロー処理では完全には除去しきれないため第２の乾燥工程を実行する真空ケース１２内で脱気して残余の水分を蒸発させる。この際に真空ポンプ装置２０を稼働させて吸引した空気に応じた排気を排気導出管２３から吐出させ、その排気をエアーブロー装置１５のブロー源とする。これによって真空ポンプ装置２０を効率よく活用することができる。 （もっと読む）

【課題】基板を傾斜させたり、傾斜した状態から水平に戻すとき、基板に衝撃を与えずに比較的速い速度で行なうことができる角度変換装置を提供することにある。
【解決手段】上面に基板が載置されるコンベアユニット３１を、アーム５５を介して支軸５６を支点として所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に回動させる駆動機構６１を具備し、駆動機構は、第１のガイド体６２に沿って移動する第１の可動体６３と、第２のガイド体７３に沿って移動する第２の可動体７４と、駆動シリンダ６５によって第１の可動体が第１のガイド体に沿う方向に駆動されたときに第１の可動体に枢着された一端を支点として回動しながら他端で第２の可動体を第２のガイド体に沿って駆動する第１のリンク７１と、第１のリンクによって第２の可動体が第２のガイド体に沿って駆動されたときに、第２の可動体とともに第２のガイド体に沿って移動しながら他端に連結されたアームを介してコンベアユニットを回動させる第２のリンク７７を具備する。 （もっと読む）

【課題】植物プランクトンを含む懸濁水を濾過する濾過フィルタの懸濁物質付着面を効果的に洗浄することができるフィルタ洗浄用ノズルを提供する。
【解決手段】本発明のフィルタ洗浄用ノズル３０は、濾過フィルタの懸濁物質付着面に沿って配置され、洗浄液が導入される、先端が閉塞した筒状体３１と、筒状体３１に設けられている、洗浄液を濾過フィルタの懸濁物質付着面とは異なる方向に噴射する噴射口３２，３３と、筒状体３１を囲むように湾曲しかつ濾過フィルタの懸濁物質付着面に近づくにつれて筒状体３１の表面から離れる方向に伸びる反射面３４ａ，３５ａを備えている反射板３４，３５とを備えている。反射板３４，３５により、噴射口３２，３３から噴射された洗浄液が濾過フィルタの懸濁物質付着面の方向に放射状に拡散するため、一度で広い面積の懸濁物質付着面の洗浄が可能になる。 （もっと読む）

【課題】処理部中の塵埃を除去でき、装置の小型化、処理のスループットの向上及び歩留まりの向上を図れるようにすること。
【解決手段】搬送手段によって搬送されるウエハを処理部に搬送して処理を施す基板搬送処理において、ウエハＷの処理前に、搬送手段であるメインアームＡ２によって搬送される、塵埃を捕集可能な状態の捕集プレートＰＬを塗布処理ユニット３２に搬入して、塗布処理ユニット内に発生する塵埃を捕集プレートに付着して捕集する。塵埃を捕集した捕集プレートを洗浄ユニット８０内に搬入し、この洗浄ユニット内において捕集した塵埃を洗浄により除去し、塵埃が除去された捕集プレートを、塵埃を捕集可能な状態例えばイオナイザ２００によって帯電して再生する。塵埃を捕集可能な状態に再生された捕集プレートを、メインアームによって処理前の処理部に搬入して、この処理部内に発生する塵埃を捕集プレートに付着して捕集する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化や複雑化を招かずに、基板の供給位置と搬出位置を同じにできるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を水平方向に対して直線的に往復搬送するローラコンベア８と、未処理の基板を供給するローダ部２と、ローダ部から供給されてローラコンベアによって搬送された未処理の基板を処理液によって洗浄処理する洗浄処理部１１と、未処理の基板が洗浄処理部に供給される前にその基板を処理液によって湿潤させるアクアナイフ２１と、洗浄処理部で処理された基板をローラコンベアによって搬出するときにその基板に気体を噴射して乾燥処理するエアーナイフ２２と、エアーナイフで処理された基板を格納するアンローダ部３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】マイクロバブルを含む洗浄液を使用して基板を枚葉式で洗浄処理する場合に、洗浄むらを生じることなく処理品質の均一性を保持することができる装置を提供する。
【解決手段】搬送ローラ１４によって支持され搬送される基板Ｗの主面対し複数個の吐出口１２からマイクロバブルを含む洗浄液を吐出する吐出ノズル１０の端部に、その吐出ノズル内部に溜まる気体を小流量の洗浄液と共に排出するためのエアー抜き配管４０を連通接続した。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】近接ヘッドは、ヘッド面を備える。ヘッド面は、第１の平面領域と複数の第１の導管とを備える。複数の第１の導管の各々は、複数の第１の離散孔の内の対応する離散孔によって規定される。複数の第１の離散孔は、ヘッド面に存在し、第１の平面領域にわたって配置されている。ヘッド面は、さらに、第２の平面領域と複数の第２の導管とを備える。複数の第２の導管は、ヘッド面に存在し第２の平面領域にわたって配置された対応する複数の第２の離散孔によって規定される。近接ヘッドは、さらに、第１の平面領域および第２の平面領域の間に隣接して配置された第３の平面領域と、複数の第３の導管とを備える。複数の第３の導管は、ヘッド面に存在し第３の平面領域にわたって配置された対応する複数の第３の離散孔によって規定される。第３の導管は、第３の平面領域と第１の角度をなすよう形成される。第１の角度は、３０°から６０°の間である。近接ヘッドを用いて基板を処理するためのシステムおよび方法も記載されている。 （もっと読む）

【課題】浮遊スカムとスラッジの両方をラインタンクから排出し、循環タンクに戻すことで、常にラインタンク内の洗浄液を清浄に保ちてる鋼板の洗浄設備を提供する。
【解決手段】本発明の鋼板の洗浄設備は、洗浄される鋼板が通過するラインタンク１と、ラインタンク１に洗浄液を供給及び循環するための循環タンク２と、循環タンク２内の洗浄液をラインタンク１に供給する循環ポンプ７と、ラインタンク１内に堆積したスラッジ１１を洗浄液と共に、ラインタンク１の底に設けた排出口１ａから循環タンク２に戻す底抜き配管系統６と、ラインタンク１内のスカム１２を洗浄液と共に、ラインタンク１の液面部に設けたオーバーフロー口１ｂから循環タンク２に戻すオーバーフロー配管系統５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】グリース、オイル、および汚れを機械部品から除去するために使用される多目的洗浄装置を提供する。
【解決手段】本部品洗浄装置１は、部品に噴霧する第１の清浄チャンバ１０２と、部品を浸漬および攪拌する第２の清浄チャンバ１０１とにより画成された自動清浄部２を有し、更に自動洗浄部２に移動可能に接続された手動清浄部の３つの清浄部を含む。全ての清浄部は、単一のポンプからの清浄液と、洗浄工程からの相当量の清浄液および破砕物を回収および貯蔵するリザーバ部と、ディスプレイから操作される単一の制御装置システムと、清浄液を加熱する熱エネルギー源とを使用する。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を用いることなく液が基板の表面に到達することを阻止した状態で基板の裏面、または基板の裏面およびエッジ部を液処理することができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】液処理装置１００は、ウエハＷを水平に保持し、ウエハＷとともに回転可能なウエハ保持部２と、ウエハ保持部２をウエハＷとともに回転させる回転機構３と、ウエハ保持部２に保持されたウエハＷの裏面に液を供給する裏面側液供給ノズル６と、ウエハ保持部２に保持されたウエハＷの周囲を囲繞するように設けられた排液カップ５１と、ウエハ保持部２に保持されたウエハの外側に、裏面側液供給ノズル６からウエハ裏面に供給された液がウエハＷの表面側に回り込むことを阻止するように環状に設けられ、ウエハＷから振り切られた液を排液カップ５１に導く仕切り部材３５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来のバフの洗浄装置においては、手による揉み洗いで、洗浄し、天日乾燥か、強制脱水等による方法が一般的である。この方法は、能率が劣ること、厳寒時には大変に辛い作業であり、その改良が望まれていた。一部において、洗浄水を単にバフ装置に吹き付けて洗浄する方法では、バフ装置のバフの奥に付着した汚れが取れ難い等の問題がある。そして、また乾燥はエアを吹き付けることにより行なっているため、エアの供給が必要であった。
【構成】フレームに設けたケーシングにクロス状に軸支したローラと、洗浄水供給装置と、ホースとで構成した車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置で、ケーシングの上面に水噴出用の孔を複数個開設し、この孔を洗浄水供給装置に連通し、またケーシングの上面に排水用の孔を複数個開設する構成とした車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置である。 （もっと読む）

【課題】切粉受け皿洗浄装置のメンテナンス性の向上を図る。
【解決手段】切粉受け皿12の上縁部にそって洗浄液噴射パイプ51が着脱自在に取付られている。切粉受け皿12は、平面視方形状に形成されている。洗浄液噴射パイプ51は、切粉受け皿12の上縁部の４辺にそれぞれそってのびた４つの直線状パイプ本体61〜64を有している。切粉受け皿12の各隅に、これより切粉受け皿12の上縁部の２辺の方向に向けられかつパイプ本体61〜64を軸方向に移動自在に挿通させうる少なくとも２つのパイプ孔41〜44があけられている。切粉受け皿12の隣り合う２つの隅の相対する少なくとも２つのパイプ孔41〜44に、対応するパイプ本体61〜64の両端部が保持されうるようになされている。 （もっと読む）

【課題】対面する建設用軽量仮設機材の一つであるパイプ製建枠における構成パイプの表側又は裏側の片面側外周面の湾曲面全体に対し常時連続して高圧水を噴出照射してその洗浄効率を高揚する回転ノズルヘッドの提供と、この回転ノズルヘッドを用いて建枠の効率的洗浄をなす建枠洗浄システムを提供する。
【解決手段】高圧水の供給を受けて軸を介し水平回転する回転ノズルヘッドの本体内に、対面する建枠構成パイプの片面側外周面における頂面とその周辺部分の湾曲面の範囲に対し直角方向に高圧水を照射する複数の垂直ノズルと，更にその外側側面部分の湾曲面の範囲に対し高圧水を照射する複数の内向き傾斜ノズルとを夫々適宜角度を配し同心円状に配設せしめる。この回転ノズルヘッドを備えた回転ガンを産業用ロボットに保持させ、それを設定プログラムに従って建枠の表裏いずれか片面側外面に沿って移動させつつ高圧水噴射で狙い撃ち洗浄させる。 （もっと読む）

本発明の主題は、容器（１）の処理、特に、瓶（１）の内部洗浄のための方法及び装置である。その際、少なくとも、スプレー装置（２）は、容器内部を、殺菌剤/洗浄剤（３、３′）を噴出させる。本発明によれば、スプレー装置（２）は、主として、容器内部で、容器底（１a）の近傍にまで進入する。
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【課題】基板の一方面から薄膜を均一に剥離して除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】保持プレート２によって、保持プレート２に近接した位置に吸着保持されたウエハＷをヒータ１６によって加熱し、その表面温度を所定の第１温度に昇温させる。そして、このウエハＷの表面に供給プレート３を近接して対向配置させた状態で、供給プレート３の対向面１９に形成された複数の吐出口２０から、前記第１温度に昇温されたウエハＷの表面にＳＰＭを均一に供給する。ウエハＷに供給されたＳＰＭはウエハＷによって加熱され、レジスト剥離能力を十分に発揮できる前記第１温度に昇温される。したがって、ウエハＷの表面上の何れの位置であっても、レジストを良好に剥離して、ウエハＷの表面からレジストを均一に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】処理液供給手段を収納する収納室から処理液のミストや粒子が発生するのを防止して、基板の処理又は乾燥を均一に行う。
【解決手段】液回収チャンバ３０及び上チャンバ４０により形成された処理室内で、回転テーブル１０が、基板１を水平に支持して回転する。ノズル２１を収納する収納室５０が処理室につなげて設けられ、ノズル２１が、収納室５０から処理室内にある基板１の上方へ移動し、基板１の表面へ処理液を供給した後、収納室５０へ戻る。シャッター５３は、ノズル２１が収納室５０内にあるとき、収納室５０を処理室から遮蔽する。収納室５０を処理室から遮蔽するので、処理室内で基板１の回転により生じた空気の流れによって、収納室５０から処理液のミストや粒子が発生するのが防止される。 （もっと読む）