【課題】超音波振動によりフィルターを洗浄する際に、フィルターの内部の気泡を減少させることで、フィルターの内部の異物を除去することができるフィルター洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄液２が貯留される貯留部１ｂを有した洗浄槽１と、洗浄槽１に設けられ、洗浄槽１の内部の気圧を低減させる減圧手段４と、洗浄槽１に設けられ、洗浄される洗浄槽１内のフィルター５に向かって洗浄液２を噴射する洗浄液噴射手段６と、洗浄槽１に設けられ、洗浄液２に超音波を照射する超音波発生手段３とを備えたフィルター洗浄装置において、洗浄液噴射手段６は、複数種類の直径の液流または液滴の洗浄液２を噴射する。 （もっと読む）

【課題】処理物に対して処理液を均一に浸すことができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】基板２０上のカバーフィルム２１に対して剥離液５１を浸すことによって、このカバーフィルム２１に化学反応処理を施す液処理装置において、基板２０を搬送するローラー３０と、剥離液５１を噴出する第一シャワーヘッド５０と、この第一シャワーヘッド５０とローラー３０との間に設けられ、剥離液５１が基板２０に直接噴射されるのを防止する邪魔板４０とを有するフィルム膨潤剥離区間を備える。このため、第一シャワーヘッド５０から噴射される剥離液５１が基板２０表面のカバーフィルム２１に直接噴射されるのを防止することができるので、基板２０表面の剥離液５１の流れを抑制することができ、基板２０表面全体に剥離液５１を行き渡らせることができ、カバーフィルム２１全体を膨潤剥離させることができる。 （もっと読む）

【課題】廃液処理の問題がなく設備費などを抑えながら、清浄効率や効果に優れた表面清浄化方法及び装置を提供する。
【解決手段】水中燃焼による表面清浄化方法であり、被洗浄物を保持しかつ被洗浄物表面を冠水ないしは水中に浸すとともに、燃焼炎を被洗浄物表面に該表面上の水を排除しながら照射し、該燃焼炎及び該燃焼炎にて発生する活性種に被洗浄物表面を曝すことにより該被洗浄物表面の汚染物を除去するようにした。また、前記燃焼炎は、保炎器を介して前記被洗浄物側へ照射されるとともに、前記被洗浄物が所定温度となるよう制御されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】保持孔に複数の異物が付着していてもこれらの異物を高い除去率で容易かつ速やかに除去することのできる保持治具の洗浄方法及び保持治具の洗浄装置を提供すること。
【解決手段】複数の保持孔を有する弾性部材を備えて成る保持治具の洗浄方法であって、前記保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第１の工程と、前記保持孔における前記他方の開口部から前記一方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第２の工程とを有することを特徴とする保持治具の洗浄方法、並びに、保持治具を支持する支持部１０と、前記保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第１の噴射ノズル２０と、前記保持孔における前記他方の開口部から前記一方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第２の噴射ノズル２５とを備えて成ることを特徴とする保持治具の洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽に形成される開口部を塞ぐのに適した蓋部材を備える洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物を出し入れするための開口部が形成される洗浄槽３と、洗浄槽３に洗浄液を供給するための配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２と、開口部を塞ぐ蓋部材４０とを備え、開口部には、配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２の一部が配置されている。蓋部材４０は、一端が開口するとともにＹ方向に向かって配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が通過可能な第１スリット４１ａが形成される第１蓋部材４１と、一端が開口するとともにＸ方向に向かって配管部材２２が通過可能な第２スリット４２ａが形成される第２蓋部材４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】この発明は処理される基板を侍従による撓みが生じないように搬送することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を処理する処理装置において、
固定ステーション８と、この固定ステーションの側面に設けられ上記基板を立位状態で搬送する搬送手段１０と、上記固定ステーションの側面を上記搬送手段によって立位状態で搬送される上記基板に所定の処理を行う処理手段１７，１８，１９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】処理流体ナイフの垂れを防止しうる処理流体供給装置を提供する。
【解決手段】処理流体ナイフは、前記基板の表面に対して平行する方向に延長し、前記処理流体を供給するためのスリットノズルを有する。ロッドは、前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフを通じて延長して前記ナイフの延長方向に張力が印加される。よって、前記ナイフの垂れによって発生しうる基板の損傷を防止することができ、前記基板上に前記処理流体を均一に供給することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の側端面から、加工硬化層や無数のマイクロクラックを除去する基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】処理部４０は、主として本体部４０１と、送給部５と、回収部６とを備える。本体部４０１には、ガラス基板９０が遊挿されたときに、当該ガラス基板９０の側端面と端縁の表裏面を覆うことが可能な開口部４０３が設けられている。また、開口部４０３の内部には、供給口４０４および排出口４０５が設けられている。送給部５は、薬液送給部５０、純水送給部５１および熱風送給部５２を備えており、供給口４０４を介して開口部４３に連通接続される。また回収部６は、使用済薬液収容部６０、純水廃棄部６１および排気部６２を備えており、排出口を介して開口部４０３に連通接続される。 （もっと読む）

【課題】配管内部での静電気の発生を抑制しつつ、組立作業を簡素化することが可能な洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物が浸漬される洗浄槽３と、洗浄槽３に洗浄液を供給する給液部８と、洗浄槽３から排出される洗浄液を給液部８まで循環させるための循環経路９とを備えている。循環経路９は、洗浄液が通過する配管９０を備え、配管９０の一部は、金属製の配管部材５７〜６０、６２と樹脂製の配管部材３５、３６、４０、４３、４４とが接続されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の消費量を低減しつつ、効率的に被洗浄物の蒸気洗浄を行うことが可能な洗浄装置および洗浄装置の制御方法を提供すること。
【解決手段】洗浄装置１は、被洗浄物２を出し入れするための開口部１５および被洗浄物２が浸漬される洗浄槽３を有する本体部４と、本体部４の内部であって洗浄槽３の上方に形成される蒸気洗浄領域１６に洗浄液の蒸気を供給する蒸気発生槽５と、開口部１５を開放および閉鎖するために開閉する蓋部材１１と、本体部４内を減圧するための吸引手段１２とを備えている。蓋部材１１は、蒸気洗浄領域１６での被洗浄物２の蒸気洗浄時に開口部１５を閉鎖するとともに、被洗浄物２の蒸気洗浄後に開口部１５を開放するために退避する。吸引手段１２は、被洗浄物２の蒸気洗浄後、蓋部材１１が退避する前に本体部４内を減圧する。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄法および噴流洗浄法の双方を利用して洗浄する際、超音波洗浄の効果を高めることのできる洗浄方法および洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置Ｓは、洗浄槽１からオーバーフローした洗浄液を回収して循環させる。回収した洗浄液は、洗浄槽１内において洗浄液に浸漬されたワークＷの周囲においてシャワーヘッド３５から噴出し、噴流洗浄工程を行なう。洗浄槽１には超音波洗浄を行うための超音波発振子１４が設けられている。オーバーフロー流を循環させるためのポンプ３１と超音波発振子１４は交互に作動するので、シャワーヘッド３５から噴流が噴出しない状態での超音波単独洗浄工程を行なうことができ、かかる超音波単独洗浄工程では、超音波が洗浄液のシャワー流によって流されないので、超音波洗浄を効果的に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】 高圧水噴射洗浄装置において、製造ラインで要求されるクリーン度への対応が容易であること、均一な洗浄を可能にすること、構造を簡単にし、コストダウンを図れること、ならびに洗浄時の装置の振動を低減することである。
【解決手段】 洗浄対象物を洗浄装置本体に対し一定速度で移動させながら、高圧水噴射ノズルから一斉に高圧水を前記洗浄対象物に噴射させて洗浄する装置で、洗浄対象物を横切る長さ以上の長さを有する支持フレーム６の一面に、複数の高圧水噴射ノズル７ａを洗浄対象物に向けかつ間隔をあけて配列し、支持フレーム６の両端延長部１１をその延長面に直交する駆動軸１５を介して偏心回転可能に支持するとともに、駆動軸１５を駆動装置１７にて回転させることにより支持フレーム６が偏心回転するように構成し、回転円運動する各高圧水噴射ノズル７ａから高圧水を一斉に噴射させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでありながら、従来の複数の洗浄槽を設けた従来の洗浄装置に匹敵する効果の高い洗浄が可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽、シャワーノズル、排液口、洗浄液貯液槽、及び、洗浄液貯液槽内の洗浄液をシャワーノズルに循環供給する循環洗浄手段を備えている洗浄装置であって、貯液槽・循環手段の組合せを複数備え、かつ、複数の貯液槽・循環手段の組合せ中から１つの貯液槽・循環手段の組合せを選択して選択された貯液槽に排液口からの洗浄液を供給させるとともに、選択された循環洗浄手段のみを稼働させて洗浄を行い、同様に繰り返す、組合せ選択手段を備えている洗浄装置において、前記組合せ選択手段が切替の際に、前記循環洗浄手段を停止させた後に、前記シャワーノズル付近の前記配管中の洗浄液を該配管が接続された洗浄液貯液槽に逆送し、その後所定時間後に、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】クローズドシステムでの欠点である装置規模が大型になり、これらの装置類の占有面積が大きくなると云う問題を解決する洗浄効果の高い洗浄システムを提供する。
【解決手段】洗浄液貯液槽と洗浄液貯液槽に接続された循環洗浄手段とからなる貯液槽・循環手段の組合せを複数備え、かつ、複数の貯液槽・循環手段の組合せ中から１つの貯液槽・循環手段の組合せを選択して、選択された洗浄液貯液槽にのみ排液口からの洗浄液を供給させるとともに、選択された洗浄液貯液槽に接続された循環洗浄手段のみを稼働させて洗浄を行い、その後、順次他の貯液槽・循環手段の組合せに切替え、以後同様に繰り返す、組合せ選択手段を備えている洗浄装置を備え、かつ、洗浄液貯液槽に容れられた洗浄液のうちの最初に用いられた洗浄液を液相処理工程での処理液として前工程の液相処理工程に送る洗浄液液相処理送液手段を備えた洗浄システム。 （もっと読む）

【課題】微細気泡を利用したシャワー及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】気体が溶解された溶解水を生成し、溶解水に微細気泡を発生させて洗浄効率が高く、且つ人体に無害なシャワー用水を提供するシャワーが開示される。シャワーは、圧力タンクと、先端部が給水管に直結され、末端部が前記圧力タンクの上端に連結され、用水を前記圧力タンクの内部に噴射させる用水供給管と、前記圧力タンクの内部に配置され、前記用水供給管により噴射される前記用水に前記圧力タンクの内部の気体を混合して前記用水に前記気体の溶解された溶解水を生成する溶解槽と、先端部が前記圧力タンクの下端に連結され、前記圧力タンクに貯留された前記溶解水の排出経路を提供する溶解水供給管と、前記溶解水供給管の末端部に結合されるシャワーヘッドと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 ストレーナに装着された円筒型のフィルタの目詰まりを解消するために、ストレーナからフィルタを取り外して洗浄する際に、簡単な構造でフィルタを回転させることができて、洗浄水のフィルタに対する噴射位置を確実に変更して短時間で洗浄できるフィルタの洗浄装置を提供する。
【解決手段】 フィルタ５を遊嵌させる主洗浄管３の長手方向に沿った多数のノズル3aから噴射される洗浄水W₃の噴射方向を鉛直上向きとし、副洗浄管４の長手方向に沿った多数のノズル4aから噴射される洗浄水W₄の噴射方向と鉛直下向きとするとともに、主洗浄管３の中心を通らない方向とする。主洗浄管３にフィルタ５を遊嵌させ、ノズル3a、4aから洗浄水W₃、W₄を噴射すると、洗浄水W₃によりフィルタ５が主洗浄管３から浮き上がり、洗浄水W₄によりフィルタ５が回転させられて、洗浄される。 （もっと読む）

【課題】 スピンコ−タ−カップ、半導体ウェハ、液晶ガラスなどに付着したレジスト及びレジスト被膜、油膜、塗料及び塗膜等の有機成分及び有機被膜を、短時間で除去すると共に、洗浄液を多数回繰り返し洗浄できる生産性・経済性の優れた洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】洗浄室内に被洗浄物を保持する保持カゴを回転可能に自立させ、更に洗浄液噴射用、すすぎ液噴射用及び乾燥用を共有するノズルを有するノズルヘッダーを回転可能に配設して、保持カゴとノズルヘッダーとの回転方向が双方対向するように設置して、被洗浄物を炭酸アルキレンによる洗浄後エアーで液切りさせた後、精製水によるすすぎを行って、エアー噴射により短時間で乾燥仕上げ処理することと、洗浄後の洗浄液はオゾンを用いた洗浄液再生装置で有機成分を分解して、循環再使用して経済効率を改善する。 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハをスポンジブラシによって所定の洗浄度合に洗浄できるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】回転テーブル１１に保持された半導体ウエハ２２を回転駆動されるスポンジブラシ３８によって洗浄するブラシ洗浄装置において、上記回転テーブルを回転駆動するモータ１６と、上記洗浄ブラシを回転駆動するモータ３４と、上記スポンジブラシを上記被洗浄物の径方向に沿って揺動させる揺動機構３２と、上記スポンジブラシを半導体ウエハの径方向中心部から外方へ揺動させたときに上記スポンジブラシの上記半導体ウエハに接触する端面と上記半導体ウエハの上記端面が接触する部分との相対速度が所定値以上になるよう上記角モータを制御する制御装置６４とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】建物の外壁に形成された開口窓枠に支持されたガラス窓や網戸、雨戸等の建具材の洗浄を好適に行うことができる外装建具材洗浄装置を提供する。
【解決手段】建物の外壁１に形成された開口窓枠２に支持された建具材４を洗浄するための外装建具材洗浄装置１０であって、給水源３に配管接続され、該給水源から供給された供給水に気泡を含有させた泡洗浄液ＷＡを生成する泡洗浄液生成装置１３と、該泡洗浄液生成装置に接続され、前記泡洗浄液を給液する給液管路１１と、前記建具材の上方に配管され、前記給液管路に接続された吐水用管路１２と、該吐水用管路に形成され、前記泡洗浄液を前記建具材面に沿わせて流下させる吐水口１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】予備吐出動作時にプライミングローラを用いない予備吐出装置において高い洗浄性が得られる、洗浄装置、洗浄方法、予備吐出装置、及び塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置における予備吐出動作に用いられる予備吐出装置の予備吐出面８１を洗浄する装置１００である。液状体が塗布された予備吐出面８１上を摺動するスキージ１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃと、スキージ１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃの摺動方向側の面に洗浄液を供給する洗浄液供給部とを有する。 （もっと読む）