洗浄装置
【課題】洗浄槽に形成される開口部を塞ぐのに適した蓋部材を備える洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物を出し入れするための開口部が形成される洗浄槽３と、洗浄槽３に洗浄液を供給するための配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２と、開口部を塞ぐ蓋部材４０とを備え、開口部には、配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２の一部が配置されている。蓋部材４０は、一端が開口するとともにＹ方向に向かって配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が通過可能な第１スリット４１ａが形成される第１蓋部材４１と、一端が開口するとともにＸ方向に向かって配管部材２２が通過可能な第２スリット４２ａが形成される第２蓋部材４２とを備えている。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物を出し入れするための開口部が形成される洗浄槽３と、洗浄槽３に洗浄液を供給するための配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２と、開口部を塞ぐ蓋部材４０とを備え、開口部には、配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２の一部が配置されている。蓋部材４０は、一端が開口するとともにＹ方向に向かって配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が通過可能な第１スリット４１ａが形成される第１蓋部材４１と、一端が開口するとともにＸ方向に向かって配管部材２２が通過可能な第２スリット４２ａが形成される第２蓋部材４２とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品、金属部品あるいはプリント配線基板等の各種の被洗浄物（ワーク）を洗浄処理するための洗浄装置が知られている。この種の洗浄装置として、ワークの洗浄を行うための洗浄槽と、ワークに対して洗浄液を噴射するノズルと、ノズルが先端側に固定されたシャワー配管とを備える洗浄装置が本願出願人によって提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の洗浄装置では、洗浄槽の上方にワークを出し入れするためのワーク出入口が形成されている。また、このワーク出入口には、シャワーヘッドの一部が配置されている。なお、この洗浄装置では、洗浄液として揮発性を有するフッ素系溶剤、塩素系溶剤、臭素系溶剤等が使用されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１５２２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１等に記載された洗浄装置を使用するユーザによっては、所定の時間帯（たとえば、夜間）、洗浄装置の操業が停止して、ワークの洗浄が行われないことがある。しかしながら、特許文献１に記載の洗浄装置では、洗浄槽の上部に開口部が形成されており、かつ、揮発性を有する洗浄液が使用されているため、操業停止中でも洗浄槽内の洗浄液が開口部から蒸散していくおそれがある。また、特許文献１に記載の洗浄装置では、洗浄槽の上部に開口部が形成されているため、操業停止中に開口部から塵埃等が洗浄槽の中に入り込むおそれがある。したがって、これらの問題を解消するため、特許文献１に記載の洗浄装置では開口部を塞ぐことが好ましい。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、洗浄槽に形成される開口部を塞ぐのに適した蓋部材を備える洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の洗浄装置は、被洗浄物を出し入れするための開口部が形成される洗浄槽と、洗浄槽に洗浄液を供給するための配管部材と、開口部を塞ぐ蓋部材とを備え、開口部には、配管部材の一部が配置され、蓋部材は、一端が開口するとともに所定の第１方向に向かって配管部材が通過可能な第１スリットが形成される第１蓋部材と、一端が開口するとともに第１方向と異なる第２方向に向かって配管部材が通過可能な第２スリットが形成される第２蓋部材とを備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の洗浄装置では、蓋部材を構成する第１蓋部材に、一端が開口するとともに所定の第１方向に向かって配管部材が通過可能な第１スリットが形成され、蓋部材を構成する第２蓋部材に、一端が開口するとともに第１方向と異なる第２方向に向かって配管部材が通過可能な第２スリットが形成されている。
【０００９】
そのため、配管部材の一端が洗浄槽の内部に配置されている場合であっても、配管部材が第１スリットを通過するように第１方向へ向かって第１蓋部材を移動させ、かつ、配管部材が第２スリットを通過するように第２方向へ向かって第２蓋部材を移動させて、第１蓋部材と第２蓋部材とを重ね合わせることで、開口部を塞ぐことが可能になる。また、第１スリットの形成方向と第２スリットの形成方向とが異なるため、第１蓋部材と第２蓋部材とを重ね合わせることで、配管部材の一端が洗浄槽の内部に配置されている場合であっても、蓋部材の開口面積を減少させることが可能になる。
【００１０】
このように、本発明では、配管部材の一端が洗浄槽の内部に配置されている場合であっても、第１蓋部材と第２蓋部材とによって、開口面積を減少させつつ、容易に開口部を塞ぐことが可能になる。また、洗浄装置の操業停止中には、蓋部材で開口部を塞ぎつつ、配管部材の一端を洗浄槽の内部に配置しておくことが可能となるため、洗浄装置の操業再開時の準備運転の時間を短縮することが可能となる。したがって、操業を再開する際、早期に被洗浄物の洗浄を始めることが可能になる。
【００１１】
本発明において、第１蓋部材または第２蓋部材のいずれか一方には、第１蓋部材または第２蓋部材のいずれか他方に形成される第１スリットまたは第２スリットに嵌合可能な突起部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、第１蓋部材と第２蓋部材とを重ね合わせたときに、第１蓋部材と第２蓋部材との間でずれが生じない。したがって、第１蓋部材と第２蓋部材とによって、より容易に開口部を塞ぐことが可能になる。
【００１２】
本発明において、洗浄装置は、被洗浄物に向かって洗浄液を噴射するための複数の噴射孔が形成されるとともに所定の隙間を介して対向配置される複数のシャワー部材を備え、複数のシャワー部材のそれぞれには、配管部材が接続されていることが好ましい。このように構成すると、複数のシャワー部材を用いて、複数の方向から被洗浄物を洗浄することができる。また、複数のシャワー部材のそれぞれに配管部材が接続されている場合であっても、本発明では、第１蓋部材と第２蓋部材とによって、蓋部材の開口面積を減少させつつ、容易に開口部を塞ぐことが可能になる。
【００１３】
本発明において、洗浄装置は、被洗浄物に向かって洗浄液を噴射するための複数の噴射孔が形成されるシャワー部材を備え、シャワー部材には、複数の配管部材が接続されていることが好ましい。このように構成すると、複数の配管部材によって、シャワー部材を安定した状態で保持することが可能になる。また、シャワー部材に複数の配管部材が接続されている場合であっても、本発明では、第１蓋部材と第２蓋部材とによって、蓋部材の開口面積を減少させつつ、容易に開口部を塞ぐことが可能になる。
【００１４】
本発明において、複数の配管部材は所定の配置方向に一列で配置され、第１スリットまたは第２スリットのいずれか一方は、配置方向と略平行な方向に直線状に形成され、第１スリットまたは第２スリットのいずれか他方は、配置方向に略直交する方向に直線状に形成されていることが好ましい。このように構成すると、配管部材の周囲の開口面積を減少させることが可能になる。また、第１蓋部材および第２蓋部材の構成を簡素化することが可能になる。
【００１５】
本発明において、洗浄液は、たとえば、フッ素系溶剤、塩素系溶剤あるいは臭素系溶剤である。このように、本発明の洗浄装置では、被洗浄物の仕様等によって、各種の洗浄液が選択される。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明にかかる洗浄装置では、配管部材の一端が洗浄槽の内部に配置されている場合であっても、開口面積を減少させつつ、容易に開口部を塞ぐことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
（洗浄装置の概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる洗浄装置１の概略構成を説明するための概略図である。図２は、図１に示すワーク保持治具７の昇降機構１９およびシャワー手段８の昇降機構２４を説明するための模式図である。図３は、図１に示すシャワー手段８の斜視図である。図４は、図１に示すワーク保持治具７を説明するための正面図である。
【００１９】
本形態の洗浄装置１は、電子部品、金属部品、プリント配線基板あるいはガラス基板等の各種の被洗浄物（ワーク）２を洗浄処理するための装置である。たとえば、洗浄装置１は、ワーク２となるカメラに搭載される撮像モジュールを洗浄処理するための装置である。
【００２０】
この洗浄装置１は、図１に示すように、ワーク２を洗浄液に浸漬するための洗浄槽３と、洗浄槽３の上部側へ蒸気化された洗浄液を供給するための蒸気発生槽４と、洗浄槽３の上端側に取り付けられ洗浄液の蒸気を冷却して液化させるための冷却手段５と、冷却手段５で液化された洗浄液を回収して水と分離するための水分離槽６と、ワーク２を保持するワーク保持治具７と、洗浄槽３に洗浄液を供給するシャワー手段８と、洗浄槽３から排出される洗浄液をシャワー手段８まで循環させるための循環経路９とを備えている。
【００２１】
洗浄装置１で使用される洗浄液は、揮発性を有する有機溶剤であり、たとえば、ＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）やＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）等のフッ素系溶剤、ジクロロメタンやトリクロロエチレン等の塩素系溶剤、あるいは、１−ブロモプロパン等の臭素系溶剤である。本形態の洗浄装置１では、洗浄液としてＨＦＥが使用されている。
【００２２】
洗浄槽３は、ワーク２が浸漬される本槽１１と、本槽１１の周囲に配置され本槽１１から溢れ出した洗浄液が流れ込むオーバーフロー槽１２と、本槽１１に浸漬されたワーク２を超音波を用いて洗浄するための超音波振動子１３とを備えている。また、洗浄槽３では、蒸気発生槽４で発生させた洗浄液の蒸気を用いてワーク２を蒸気洗浄するための蒸気洗浄空間１４が本槽１１の上部に形成されている。
【００２３】
洗浄槽３の上面には、洗浄槽３内にワーク２を挿入し、かつ、洗浄槽３内からワーク２を取り出すための（すなわち、ワーク２を出し入れするための）開口部１５が形成されている。ワーク保持治具７は、ワーク２を出し入れするため、開口部１５を通過する。また、開口部１５には、シャワー手段８を構成する後述の配管部材２２ａ、２２ｂの長手方向（軸方向）の一部が配置される。そのため、開口部１５は、配管部材２２ａ、２２ｂが配置可能になるとともに、ワーク保持治具７が通過可能となる大きさで形成されている。
【００２４】
本槽１１は、洗浄液で満たされている。この本槽１１の底面には、循環経路９の一端側の一部が接続されている。また、オーバーフロー槽１２の底面にも、循環経路９の一端側の一部が接続されている。本形態では、ワーク２を洗浄する際には、オーバーフロー槽１２に溢れ出した洗浄液（すなわち、オーバーフロー槽１２から排出される洗浄液）が循環経路９を介してシャワー手段８に供給される。超音波振動子１３はたとえば、本槽１１の内部の底面に取り付けられている。
【００２５】
蒸気発生槽４の内部には、洗浄液を温めて蒸気化させるためのヒータ１６が配置されている。このヒータ１６はたとえば、蒸気発生槽４の底面側に配置されている。蒸気発生槽４の上端は、蒸気洗浄空間１４に接続されており、ヒータ１６によって蒸気化された洗浄液は、蒸気洗浄空間１４に供給される。また、図１に示すように、蒸気発生槽４には、本槽１１から溢れ出した洗浄液の一部が流れ込む。
【００２６】
冷却手段５は、たとえば、水道水を利用するものであり、洗浄槽３の上端側の周囲を囲むように配置されている。具体的には、冷却手段５は、蒸気洗浄空間１４の上端の周囲を囲むように配置されている。この冷却手段５は、洗浄槽３の、蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁を冷却する。そのため、蒸気洗浄空間１４内の洗浄液の蒸気は、冷却手段５によって冷却され液化されて蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁につく。本形態の洗浄装置１では、蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁についた液体状の洗浄液は、内壁に沿って流れ落ちて、その後、水分離槽６に流れ込む。
【００２７】
また、冷却手段５が蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁を冷却するため、蒸気洗浄空間１４の上側に行くほど蒸気密度が下がる。したがって、後述のように、蒸気洗浄が行われた後のワーク２が冷却手段５の内周側まで上昇すると、蒸気密度の低い領域に入るため、結果として、ワーク２が乾燥することになる。すなわち、冷却手段５は、洗浄液の蒸気を冷却して液化させる機能に加え、ワーク２を乾燥させる機能を果たしている。
【００２８】
なお、冷却手段５は、上端部近傍の空気も冷却するため、内壁が飽和水蒸気圧温度以下になると空気中に含まれる水分も内壁に結露する。結露して内壁に付着した水滴は、洗浄液と同様に内壁に沿って流れ落ちて水分離槽６に流れ込む。
【００２９】
水分離槽６の内部には、仕切壁１７が配置されている。具体的には、図１に示すように、仕切壁１７の下端と水分離槽６の底面との間に所定の隙間をあけた状態で、かつ、仕切壁１７の上端が水分離槽６の液面よりも上側へ突出するように、仕切壁１７が配置されている。この仕切壁１７によって、水分離槽６の内部には、冷却手段５で液化された洗浄液等が流入する流入部６ａと、水と分離された洗浄液がオーバーフロー槽１２に向かって流出する流出部６ｂとが形成されている。本形態では、上述のように、洗浄液としてＨＦＥが使用されている。ＨＦＥは、水よりも比重が大きいため、このように構成された水分離槽６で、水と洗浄液とを分離することが可能となっている。
【００３０】
ワーク保持治具７は、図２に示すように、吊下げ部材１８を介して昇降機構１９に連結されている。昇降機構１９はたとえば、図示を省略する駆動用モータやタイミングベルト等を備え、ワーク保持治具７を昇降させる。具体的には、ワーク保持治具７に保持されたワーク２が洗浄槽３に対して出し入れ可能となるように、昇降機構１９は、ワーク保持治具７を昇降させる。
【００３１】
また、ワーク保持治具７は、図２、図４に示すように、吊下げ部材１８に固定される吊り軸９１と、吊り軸９１の下端側に略平行に固定される２枚の支持板９２と、支持板９２に取り付けられるとともにワーク２を保持するための複数の保持部材９３とを備えている。支持板９２は略Ｌ形状に形成され、保持部材９３は段付の略円柱状に形成されている。本形態では、図４に示すように、ワーク２の下端部が支持板９２によって支持され、ワーク２の両側端部（図４の紙面垂直方向の両端部）が保持部材９３によって保持されている。また、ワーク保持治具７に保持されるワーク２が後述のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂに形成されたシャワー面２０ａ、２０ａと対向するように、ワーク２はワーク保持治具７に保持されている。
【００３２】
シャワー手段８は、図３に示すように、ワーク２に向かって洗浄液を噴射するシャワー部材としてのシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂと、循環経路９の他端側が接続される分岐管２１と、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂと分岐管２１とを繋ぐとともにシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂへ洗浄液を供給するための配管部材２２ａ、２２ｂと、循環経路９と分岐管２１とを繋ぐための継手２３とを備えている。本形態のシャワー手段８は、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂと２個の分岐管２１とを備えている。また、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂと分岐管２１とは、所定の間隔で配置される各２本の配管部材２２ａ（２２ａ１、２２ａ２）、２２ｂ（２２ｂ１、２２ｂ２）で接続されている。
【００３３】
また、シャワー手段８は、図２に示すように、昇降機構２４に連結されている。昇降機構２４はたとえば、図示を省略する駆動用モータやタイミングベルト等を備え、シャワー手段８を昇降させる。具体的には、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂが洗浄槽３の上端側から下端側まで移動可能となるように、昇降機構２４は、シャワー手段８を昇降させる。
【００３４】
シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂはたとえば、ステンレス鋼等の金属部材からなる扁平な直方体状の中空部材であり、ワーク２に対向するシャワー面２０ａ、２０ａを備えている。シャワー面２０ａ、２０ａには、洗浄液を噴射するための複数の噴射孔２０ｂ、２０ｂが所定の間隔で形成されている。また、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂは、シャワー面２０ａ、２０ａが互いに対向するように配置されている。
【００３５】
上述のように、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）には、所定の間隔で配置される２本の配管部材２２ａ（２２ｂ）が接続されている。具体的には、２本の配管部材２２ａ（２２ｂ）は、シャワー面２０ａ、２０ａに直交する面であってシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）の長手方向に平行な面に接続されており、シャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）の長手方向に一列で配置されている。
【００３６】
循環経路９は、図１に示すように、洗浄槽３から排出される洗浄液をシャワー手段８に向かって送るポンプ２６と、洗浄槽３から排出される洗浄液をろ過して洗浄液に含まれる塵埃等の不純物を取り除く２個のフィルター２８と、所定位置に配置されるバルブ２９と、分岐管２１に一端が接続される２本の配管部材３０と、２本の配管部材３０の他端が接続される分岐管３１とを備えている。上述のように、循環経路９の一端側は、洗浄槽３の底面に接続され、循環経路９の他端側は、シャワー手段８に接続されている。
【００３７】
（ワークの洗浄方法）
以上のように構成された洗浄装置１では、たとえば、以下のように、ワーク２の洗浄が行われる。
【００３８】
まず、ワーク２を保持したワーク保持治具７を下降させて、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂが内部に配置され洗浄液で満たされた本槽１１の中にワーク２を浸漬する。このワーク２の下降時には、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂから洗浄液を噴射させても良いし、噴射させなくても良い。その後、超音波振動子１３を用いてワーク２の超音波洗浄を行うとともに、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂから洗浄液を噴射する。なお、超音波洗浄を行わずに、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂから噴射される洗浄液のみでワーク２を洗浄しても良い。また、ワーク２の洗浄時には、オーバーフロー槽１２から排出される洗浄液が循環経路９を通過してシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂに供給される。
【００３９】
本槽１１内でのワーク２の洗浄が終わると、ワーク保持治具７を上昇させ、ワーク２を本槽１１から引き上げて、ワーク２を蒸気洗浄空間１４に配置する。この状態で、蒸気発生槽４から供給される洗浄液の蒸気によって、ワーク２の蒸気洗浄を行う。なお、ワーク２の引上げ時には、ワーク保持治具７とともにシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを上昇させても良いし、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを上昇させなくても良い。
【００４０】
蒸気洗浄空間１４でのワーク２の蒸気洗浄が終わると、さらに、ワーク保持治具７を上昇させ、冷却手段５の内周側にワーク２を配置してワーク２を乾燥させる。ワーク２の乾燥が終わるとワーク２の洗浄が完了する。
【００４１】
（蓋部材の構成）
図５は、図１に示す洗浄槽３の上面側を模式的に示す斜視図である。図６は、図１に示す洗浄装置１の操業停止時に使用される蓋部材４０の構成を説明するための斜視図である。図７は、図６に示す第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせた状態を示す平面図である。なお、以下の説明では、図６のＸ方向を左右方向とし、左右方向および上下方向に直交するＹ方向を前後方向とする。また、以下の説明では、Ｘ１方向を「右」、Ｘ２方向を「左」、Ｙ１方向を「前」およびＹ２方向を「後（後ろ）」とする。また、本形態では、前後方向が第１方向となり、左右方向が第２方向となる。
【００４２】
本形態の洗浄装置１では、操業停止時（所定時間、ワーク２の洗浄を行わないとき）に、洗浄槽３の上面に形成された開口部１５が蓋部材４０によって覆われる。すなわち、洗浄装置１は、操業停止時に開口部１５を塞ぐための蓋部材４０を備えている。なお、本形態では、洗浄装置１の操業停止時には、ワーク保持治具７は洗浄槽３の外部に引き上げられている。一方、操業停止時であっても、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂは洗浄槽３の内部に配置されている。すなわち、操業停止時であっても、図５に示すように、配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２の軸方向の一部は開口部１５に配置されている。
【００４３】
蓋部材４０は、図６、図７に示すように、上下方向で重ね合わせられる２枚の第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とによって構成されている。本形態では、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが下側からこの順番に重ね合わされている。
【００４４】
第１蓋部材４１は、略長方形の平板状部材であり、洗浄装置１の操業停止時には、その長手方向を左右方向（Ｘ方向）に向けた状態で洗浄装置１の上面に載置されている。この第１蓋部材４１には、２本の直線状の第１スリット４１ａが前後方向（Ｙ方向）に延びるように形成されている。２本の第１スリット４１ａは、互いに平行で、幅が一定の直線状に形成されている。また、第１スリット４１ａの後端は開口している。すなわち、第１スリット４１ａは、第１蓋部材４１の後端から前側に向かって形成されている。
【００４５】
第１スリット４１ａには、図６等に示すように、配管部材２２ａ、２２ｂの一部が配置される。具体的には、第１スリット４１ａのそれぞれに２本の配管部材２２ａ（２２ａ１、２２ａ２）、２２ｂ（２２ｂ１、２２ｂ２）の軸方向の一部が配置される。そのため、第１スリット４１ａの幅は、配管部材２２ａ、２２ｂの径よりも大きくなっている。具体的には、第１スリット４１ａの幅は、配管部材２２ａ、２２ｂの径よりもわずかに大きくなっている。
【００４６】
また、本形態では、左右方向（Ｘ方向）とシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの長手方向（図４の紙面垂直方向）とが略一致する。そのため、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの長手方向と第１スリット４１ａの形成方向とが略直交する。したがって、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に接続される配管部材２２ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）の配置方向と第１スリット４１ａの形成方向とが略直交する。すなわち、第１スリット４１ａは、配管部材２２ａ（２２ｂ）の配置方向に略直交する方向に向かって形成されている。また、２本の第１スリット４１ａの形成ピッチは、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に接続される２本の配管部材２２ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）の配置ピッチと略等しくなっている。
【００４７】
第２蓋部材４２は、第１蓋部材４１と同様に、略長方形の平板状部材であり、洗浄装置１の操業停止時には、その長手方向を左右方向（Ｘ方向）に向けた状態で第１蓋部材４１の上面に載置されている。本形態では、第２蓋部材４２の大きさと第１蓋部材４１の大きさとが略等しくなっている。
【００４８】
この第２蓋部材４２には、２本の直線状の第２スリット４２ａが左右方向（Ｘ方向）に延びるように形成されている。２本の第２スリット４２ａは、互いに平行で、幅が一定の直線状に形成されている。また、第２スリット４２ａの左端は開口している。すなわち、第２スリット４２ａは、第２蓋部材４２の左端から右側に向かって形成されている。
【００４９】
第２スリット４２ａにも、図６等に示すように、配管部材２２ａ、２２ｂの一部が配置される。具体的には、第２スリット４２ａのそれぞれに２本の配管部材２２ａ（２２ａ１、２２ａ２）、２２ｂ（２２ｂ１、２２ｂ２）の軸方向の一部が配置される。そのため、第２スリット４２ａの幅は、配管部材２２ａ、２２ｂの径よりも大きくなっている。具体的には、第１スリット４１ａの幅と同様に、第２スリット４２ａの幅は配管部材２２ａ、２２ｂの径よりもわずかに大きくなっている。
【００５０】
上述のように、左右方向（Ｘ方向）とシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの長手方向とが略一致する。そのため、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの長手方向と第２スリット４２ａの形成方向とは略一致する。したがって、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に接続される配管部材２２ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）の配置方向と第２スリット４２ａの形成方向とは略一致する。すなわち、第２スリット４２ａは、配管部材２２の配置方向と略平行な方向に向かって形成されている。また、２本の第２スリット４２ａの形成ピッチは、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの配置ピッチと略等しくなっている。
【００５１】
洗浄装置１の操業が停止されると、まず、第１蓋部材４１によって開口部１５を覆う。具体的には、４本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が第１スリット４１ａを前後方向（Ｙ方向）に向かって通過するように、第１蓋部材４１を前側から後側に向かって移動させて、開口部１５を覆う。その後、第２蓋部材４２を第１蓋部材４１に重ねる。具体的には、４本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が第２スリット４２ａを左右方向（Ｘ方向）に向かって通過するように、第２蓋部材４２を右側から左側に向かって移動させた後に、第２蓋部材４２を第１蓋部材４１に重ねる。
【００５２】
第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが重なった状態では、図７に示すように、わずかな開口４３が形成されている。すなわち、この状態では、蓋部材４０にわずかな開口４３が形成されている。具体的には、配管部材２２の周囲に矩形状のわずかな開口４３が形成されている。
【００５３】
なお、図７に示すように、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせたときに、右側に形成される第１スリット４１ａの右側壁４１ｃよりも右側に第２スリット４２ａの右端４２ｃが配置されるように、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａが形成されても良いし、右側壁４１ｃと右端４２ｃとが略一致するように、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａが形成されても良い。
【００５４】
同様に、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせたときに、前側に形成される第２スリット４２ａの前側壁４２ｄよりも前側に第１スリット４１ａの前端４１ｄが配置されるように、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａが形成されても良いし、前側壁４２ｄと前端４１ｄとが略一致するように、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａが形成されても良い。
【００５５】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第１蓋部材４１には、後端が開口するとともに前後方向（Ｙ方向）に向かって配管部材２２ａ、２２ｂが通過可能な第１スリット４１ａが形成され、第２蓋部材４２には、左端が開口するとともに左右方向（Ｘ方向）に向かって配管部材２２ａ、２２ｂが通過可能な第２スリット４２ａが形成されている。そのため、洗浄装置１の操業停止時にシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂが洗浄槽３の内部に配置されている場合であっても、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせることで、蓋部材４０に形成される開口４３の開口面積を減少させつつ、容易に開口部１５を塞ぐことができる。その結果、操業停止中の洗浄液の蒸散を抑制することができる。また、操業停止中に塵埃が洗浄槽３の内部に入り込むのを抑制することができる。
【００５６】
また、本形態では、洗浄装置１の操業停止中に、蓋部材４０で開口部１５を塞ぎつつ、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを洗浄槽３の内部に配置しておくことができるため、洗浄装置１の操業再開時の準備運転の時間を短縮することが可能となる。すなわち、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを洗浄液に浸しておくことで、操業再開時の空運転の時間を短縮することができる。その結果、操業再開時に、早期にワーク２の洗浄を始めることが可能になる。
【００５７】
本形態では、対向配置される２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂのそれぞれには、２本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が接続されている。そのため、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂによって、２方向からワーク２を洗浄することが可能になる。また、２本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２によって、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを安定した状態で保持することが可能になる。さらに、シャワー面２０ａ、２０ａからの洗浄液の噴射量を均一化することが可能になる。また、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂのそれぞれに２本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が接続されている場合であっても、本形態では、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とによって、蓋部材４０に形成される開口４３の開口面積を減少させつつ、容易に開口部１５を塞ぐことができる。
【００５８】
本形態では、第１スリット４１ａが配管部材２２ａ、２２ｂの配置方向に略直交する方向に直線状に形成され、第２スリット４２ａが配管部材２２の配置方向と略平行な方向に直線状に形成されている。すなわち、第１スリット４１ａと第２スリット４２ａとが略直交するように形成されている。そのため、配管部材２２ａ、２２ｂの周囲に形成される開口部４３の開口面積を効果的に減少させることができる。また、第１蓋部材４１および第２蓋部材４２の構成を簡素化することが可能になる。
【００５９】
本形態では、第１蓋部材４１および第２蓋部材４２を、配管部材２２ａ、２２ｂの軸方向に略直交する方向に差し込むことができる。そのため、洗浄装置１を構成する他の部材を取り外す等の作業をしなくても、第１蓋部材４１および第２蓋部材４２を取り付けることが可能になる。また、配管部材２２ａ、２２ｂの軸方向のスペースが取れない場合であっても、第１蓋部材４１および第２蓋部材４２を取り付けることが可能になる。
【００６０】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００６１】
上述した形態では、第１蓋部材４１は平板状に形成されている。この他にもたとえば、図８に示すように、第１蓋部材４１の上面に、第２蓋部材４２の第２スリット４２ａに嵌合可能な突起部４１ｂが形成されても良い。すなわち、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせたときに、２本の第２スリット４２ａのそれぞれに嵌まり込む突起部４１ｂが第１蓋部材４１の上面から突出するように形成されても良い。この場合には、たとえば、突起部４１ｂの厚さは第２蓋部材４２の厚さと略同じになり、突起部４１ｂの幅は第２スリット４２ａの幅よりもわずかに狭くなっている。
【００６２】
このように構成すると、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせたときに、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２との間でずれが生じない。したがって、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とによって、より容易に開口部１５を塞ぐことができる。また、第２スリット４２ａ内に配置される突起部４１ｂによって、操業停止中の洗浄液の蒸散や、洗浄槽３の内部への塵埃の侵入を効果的に抑制することができる。
【００６３】
なお、一方の第２スリット４２ａのみに突起部４１ｂが嵌まり込み、他方の第２スリット４２ａには突起部４１ｂが嵌まり込まないように、突起部４１ｂが形成されても良い。すなわち、図８において前側に配置される突起部４１ｂあるいは後側に配置される突起部４１ｂのいずれかが形成されなくても良い。
【００６４】
上述した形態では、第１蓋部材４１には、前後方向に平行な２本の直線状の第１スリット４１ａが形成されている。この他にもたとえば、図９に示すように、前後方向に対して所定角度（ただし、９０°を除く）だけ傾斜した方向に平行な３本の直線状の第１スリット４１ａが第１蓋部材４１に形成されても良い。すなわち、第１スリット４１ａが形成される方向と、第２スリット４２ａが形成される方向とが略直交していなくても良い。同様に、左右方向に対して所定角度（ただし、９０°を除く）だけ傾斜した方向に平行な３本の直線状の第２スリット４２ａが第２蓋部材４２に形成されても良い。
【００６５】
これらの場合であっても、上述した形態と同様に、操業停止時に開口４３の開口面積を減少させつつ、容易に開口部１５を塞ぐことが可能になる。すなわち、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが重ね合わされたときの第１スリット４１ａの形成方向と第２スリット４２ａの形成方向とが異なっていれば、上述した形態と同様の効果を得ることができる。
【００６６】
上述した形態では、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａは直線状に形成されている。この他にもたとえば、第１スリット４１ａおよび／または第２スリット４２ａは、曲線状に形成されても良い。
【００６７】
上述した形態では、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが下側からこの順番に重ね合わされているが、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが上側からこの順番に重ね合わされても良い。また、上述した形態では、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とによって蓋部材４０が構成されているが、３枚以上の平板状部材あるいは３個以上のブロック状部材によって蓋部材４０が構成されても良い。
【００６８】
上述した形態では、シャワー手段８は２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを備えているが、シャワー手段８が備えるシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの数は、１個でも良いし、３個以上でも良い。また、上述した形態では、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に２本の配管部材２０ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）が接続されているが、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に接続される配管部材２０ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）の本数は、１本であっても良いし、３本以上であっても良い。また、シャワー手段８は、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂに代えて、上述の特許文献１に記載されているようなノズルを備えていても良い。
【００６９】
上述した形態では、洗浄槽３は、１個の本槽１１と、本槽１１の周囲に配置されるオーバーフロー槽１２とを備えている。この他にもたとえば、洗浄槽３は、粗洗浄槽、仕上洗浄槽等の複数の本槽と、その周囲に配置されるオーバーフロー槽とを備えていても良い。また、洗浄槽３は、オーバーフロー槽を備えていなくても良い。
【００７０】
なお、上述した形態では、配管部材２２ａ、２２ｂの長手方向の一部は、開口部１５に配置されているが、図１０に示すように、配管部材２２ａ、２２ｂ用の貫通孔４５を洗浄槽３の上面に形成することも可能である。このように構成すると、配管部材２２ａ、２２ｂの配置スペースを考慮することなく、ワーク保持治具７が通過可能となる大きさで開口部１５を形成すれば良いため、開口部１５を小さくすることができる。また、この場合には、操業停止時に一枚の蓋部材を用いて、開口部１５を確実に塞ぐことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の実施の形態にかかる洗浄装置の概略構成を説明するための概略図である。
【図２】図１に示すワーク保持治具の昇降機構およびシャワー手段の昇降機構を説明するための模式図である。
【図３】図１に示すシャワー手段の斜視図である。
【図４】図１に示すワーク保持治具を説明するための正面図である。
【図５】図１に示す洗浄槽の上面側を模式的に示す斜視図である。
【図６】図１に示す洗浄装置の操業停止時に使用される蓋部材の構成を説明するための斜視図である。
【図７】図６に示す第１蓋部材と第２蓋部材とを重ね合わせた状態を示す平面図である。
【図８】本発明の他の実施の形態にかかる第１蓋部材を示す斜視図である。
【図９】本発明の他の実施の形態にかかる第１蓋部材を説明するための平面図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態にかかる洗浄槽の上面側を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１ 洗浄装置
２ ワーク（被洗浄物）
３ 洗浄槽
１５ 開口部
２０Ａ、２０Ｂ シャワーヘッド（シャワー部材）
２０ｂ 噴射孔
２２ａ（２２ａ１、２２ａ２）、２２ｂ（２２ｂ１、２２ｂ２） 配管部材
４０ 蓋部材
４１ 第１蓋部材
４１ａ 第１スリット
４１ｂ 突起部
４２ 第２蓋部材
４２ａ 第２スリット
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品、金属部品あるいはプリント配線基板等の各種の被洗浄物（ワーク）を洗浄処理するための洗浄装置が知られている。この種の洗浄装置として、ワークの洗浄を行うための洗浄槽と、ワークに対して洗浄液を噴射するノズルと、ノズルが先端側に固定されたシャワー配管とを備える洗浄装置が本願出願人によって提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の洗浄装置では、洗浄槽の上方にワークを出し入れするためのワーク出入口が形成されている。また、このワーク出入口には、シャワーヘッドの一部が配置されている。なお、この洗浄装置では、洗浄液として揮発性を有するフッ素系溶剤、塩素系溶剤、臭素系溶剤等が使用されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１５２２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１等に記載された洗浄装置を使用するユーザによっては、所定の時間帯（たとえば、夜間）、洗浄装置の操業が停止して、ワークの洗浄が行われないことがある。しかしながら、特許文献１に記載の洗浄装置では、洗浄槽の上部に開口部が形成されており、かつ、揮発性を有する洗浄液が使用されているため、操業停止中でも洗浄槽内の洗浄液が開口部から蒸散していくおそれがある。また、特許文献１に記載の洗浄装置では、洗浄槽の上部に開口部が形成されているため、操業停止中に開口部から塵埃等が洗浄槽の中に入り込むおそれがある。したがって、これらの問題を解消するため、特許文献１に記載の洗浄装置では開口部を塞ぐことが好ましい。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、洗浄槽に形成される開口部を塞ぐのに適した蓋部材を備える洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の洗浄装置は、被洗浄物を出し入れするための開口部が形成される洗浄槽と、洗浄槽に洗浄液を供給するための配管部材と、開口部を塞ぐ蓋部材とを備え、開口部には、配管部材の一部が配置され、蓋部材は、一端が開口するとともに所定の第１方向に向かって配管部材が通過可能な第１スリットが形成される第１蓋部材と、一端が開口するとともに第１方向と異なる第２方向に向かって配管部材が通過可能な第２スリットが形成される第２蓋部材とを備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の洗浄装置では、蓋部材を構成する第１蓋部材に、一端が開口するとともに所定の第１方向に向かって配管部材が通過可能な第１スリットが形成され、蓋部材を構成する第２蓋部材に、一端が開口するとともに第１方向と異なる第２方向に向かって配管部材が通過可能な第２スリットが形成されている。
【０００９】
そのため、配管部材の一端が洗浄槽の内部に配置されている場合であっても、配管部材が第１スリットを通過するように第１方向へ向かって第１蓋部材を移動させ、かつ、配管部材が第２スリットを通過するように第２方向へ向かって第２蓋部材を移動させて、第１蓋部材と第２蓋部材とを重ね合わせることで、開口部を塞ぐことが可能になる。また、第１スリットの形成方向と第２スリットの形成方向とが異なるため、第１蓋部材と第２蓋部材とを重ね合わせることで、配管部材の一端が洗浄槽の内部に配置されている場合であっても、蓋部材の開口面積を減少させることが可能になる。
【００１０】
このように、本発明では、配管部材の一端が洗浄槽の内部に配置されている場合であっても、第１蓋部材と第２蓋部材とによって、開口面積を減少させつつ、容易に開口部を塞ぐことが可能になる。また、洗浄装置の操業停止中には、蓋部材で開口部を塞ぎつつ、配管部材の一端を洗浄槽の内部に配置しておくことが可能となるため、洗浄装置の操業再開時の準備運転の時間を短縮することが可能となる。したがって、操業を再開する際、早期に被洗浄物の洗浄を始めることが可能になる。
【００１１】
本発明において、第１蓋部材または第２蓋部材のいずれか一方には、第１蓋部材または第２蓋部材のいずれか他方に形成される第１スリットまたは第２スリットに嵌合可能な突起部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、第１蓋部材と第２蓋部材とを重ね合わせたときに、第１蓋部材と第２蓋部材との間でずれが生じない。したがって、第１蓋部材と第２蓋部材とによって、より容易に開口部を塞ぐことが可能になる。
【００１２】
本発明において、洗浄装置は、被洗浄物に向かって洗浄液を噴射するための複数の噴射孔が形成されるとともに所定の隙間を介して対向配置される複数のシャワー部材を備え、複数のシャワー部材のそれぞれには、配管部材が接続されていることが好ましい。このように構成すると、複数のシャワー部材を用いて、複数の方向から被洗浄物を洗浄することができる。また、複数のシャワー部材のそれぞれに配管部材が接続されている場合であっても、本発明では、第１蓋部材と第２蓋部材とによって、蓋部材の開口面積を減少させつつ、容易に開口部を塞ぐことが可能になる。
【００１３】
本発明において、洗浄装置は、被洗浄物に向かって洗浄液を噴射するための複数の噴射孔が形成されるシャワー部材を備え、シャワー部材には、複数の配管部材が接続されていることが好ましい。このように構成すると、複数の配管部材によって、シャワー部材を安定した状態で保持することが可能になる。また、シャワー部材に複数の配管部材が接続されている場合であっても、本発明では、第１蓋部材と第２蓋部材とによって、蓋部材の開口面積を減少させつつ、容易に開口部を塞ぐことが可能になる。
【００１４】
本発明において、複数の配管部材は所定の配置方向に一列で配置され、第１スリットまたは第２スリットのいずれか一方は、配置方向と略平行な方向に直線状に形成され、第１スリットまたは第２スリットのいずれか他方は、配置方向に略直交する方向に直線状に形成されていることが好ましい。このように構成すると、配管部材の周囲の開口面積を減少させることが可能になる。また、第１蓋部材および第２蓋部材の構成を簡素化することが可能になる。
【００１５】
本発明において、洗浄液は、たとえば、フッ素系溶剤、塩素系溶剤あるいは臭素系溶剤である。このように、本発明の洗浄装置では、被洗浄物の仕様等によって、各種の洗浄液が選択される。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明にかかる洗浄装置では、配管部材の一端が洗浄槽の内部に配置されている場合であっても、開口面積を減少させつつ、容易に開口部を塞ぐことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
（洗浄装置の概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる洗浄装置１の概略構成を説明するための概略図である。図２は、図１に示すワーク保持治具７の昇降機構１９およびシャワー手段８の昇降機構２４を説明するための模式図である。図３は、図１に示すシャワー手段８の斜視図である。図４は、図１に示すワーク保持治具７を説明するための正面図である。
【００１９】
本形態の洗浄装置１は、電子部品、金属部品、プリント配線基板あるいはガラス基板等の各種の被洗浄物（ワーク）２を洗浄処理するための装置である。たとえば、洗浄装置１は、ワーク２となるカメラに搭載される撮像モジュールを洗浄処理するための装置である。
【００２０】
この洗浄装置１は、図１に示すように、ワーク２を洗浄液に浸漬するための洗浄槽３と、洗浄槽３の上部側へ蒸気化された洗浄液を供給するための蒸気発生槽４と、洗浄槽３の上端側に取り付けられ洗浄液の蒸気を冷却して液化させるための冷却手段５と、冷却手段５で液化された洗浄液を回収して水と分離するための水分離槽６と、ワーク２を保持するワーク保持治具７と、洗浄槽３に洗浄液を供給するシャワー手段８と、洗浄槽３から排出される洗浄液をシャワー手段８まで循環させるための循環経路９とを備えている。
【００２１】
洗浄装置１で使用される洗浄液は、揮発性を有する有機溶剤であり、たとえば、ＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）やＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）等のフッ素系溶剤、ジクロロメタンやトリクロロエチレン等の塩素系溶剤、あるいは、１−ブロモプロパン等の臭素系溶剤である。本形態の洗浄装置１では、洗浄液としてＨＦＥが使用されている。
【００２２】
洗浄槽３は、ワーク２が浸漬される本槽１１と、本槽１１の周囲に配置され本槽１１から溢れ出した洗浄液が流れ込むオーバーフロー槽１２と、本槽１１に浸漬されたワーク２を超音波を用いて洗浄するための超音波振動子１３とを備えている。また、洗浄槽３では、蒸気発生槽４で発生させた洗浄液の蒸気を用いてワーク２を蒸気洗浄するための蒸気洗浄空間１４が本槽１１の上部に形成されている。
【００２３】
洗浄槽３の上面には、洗浄槽３内にワーク２を挿入し、かつ、洗浄槽３内からワーク２を取り出すための（すなわち、ワーク２を出し入れするための）開口部１５が形成されている。ワーク保持治具７は、ワーク２を出し入れするため、開口部１５を通過する。また、開口部１５には、シャワー手段８を構成する後述の配管部材２２ａ、２２ｂの長手方向（軸方向）の一部が配置される。そのため、開口部１５は、配管部材２２ａ、２２ｂが配置可能になるとともに、ワーク保持治具７が通過可能となる大きさで形成されている。
【００２４】
本槽１１は、洗浄液で満たされている。この本槽１１の底面には、循環経路９の一端側の一部が接続されている。また、オーバーフロー槽１２の底面にも、循環経路９の一端側の一部が接続されている。本形態では、ワーク２を洗浄する際には、オーバーフロー槽１２に溢れ出した洗浄液（すなわち、オーバーフロー槽１２から排出される洗浄液）が循環経路９を介してシャワー手段８に供給される。超音波振動子１３はたとえば、本槽１１の内部の底面に取り付けられている。
【００２５】
蒸気発生槽４の内部には、洗浄液を温めて蒸気化させるためのヒータ１６が配置されている。このヒータ１６はたとえば、蒸気発生槽４の底面側に配置されている。蒸気発生槽４の上端は、蒸気洗浄空間１４に接続されており、ヒータ１６によって蒸気化された洗浄液は、蒸気洗浄空間１４に供給される。また、図１に示すように、蒸気発生槽４には、本槽１１から溢れ出した洗浄液の一部が流れ込む。
【００２６】
冷却手段５は、たとえば、水道水を利用するものであり、洗浄槽３の上端側の周囲を囲むように配置されている。具体的には、冷却手段５は、蒸気洗浄空間１４の上端の周囲を囲むように配置されている。この冷却手段５は、洗浄槽３の、蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁を冷却する。そのため、蒸気洗浄空間１４内の洗浄液の蒸気は、冷却手段５によって冷却され液化されて蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁につく。本形態の洗浄装置１では、蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁についた液体状の洗浄液は、内壁に沿って流れ落ちて、その後、水分離槽６に流れ込む。
【００２７】
また、冷却手段５が蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁を冷却するため、蒸気洗浄空間１４の上側に行くほど蒸気密度が下がる。したがって、後述のように、蒸気洗浄が行われた後のワーク２が冷却手段５の内周側まで上昇すると、蒸気密度の低い領域に入るため、結果として、ワーク２が乾燥することになる。すなわち、冷却手段５は、洗浄液の蒸気を冷却して液化させる機能に加え、ワーク２を乾燥させる機能を果たしている。
【００２８】
なお、冷却手段５は、上端部近傍の空気も冷却するため、内壁が飽和水蒸気圧温度以下になると空気中に含まれる水分も内壁に結露する。結露して内壁に付着した水滴は、洗浄液と同様に内壁に沿って流れ落ちて水分離槽６に流れ込む。
【００２９】
水分離槽６の内部には、仕切壁１７が配置されている。具体的には、図１に示すように、仕切壁１７の下端と水分離槽６の底面との間に所定の隙間をあけた状態で、かつ、仕切壁１７の上端が水分離槽６の液面よりも上側へ突出するように、仕切壁１７が配置されている。この仕切壁１７によって、水分離槽６の内部には、冷却手段５で液化された洗浄液等が流入する流入部６ａと、水と分離された洗浄液がオーバーフロー槽１２に向かって流出する流出部６ｂとが形成されている。本形態では、上述のように、洗浄液としてＨＦＥが使用されている。ＨＦＥは、水よりも比重が大きいため、このように構成された水分離槽６で、水と洗浄液とを分離することが可能となっている。
【００３０】
ワーク保持治具７は、図２に示すように、吊下げ部材１８を介して昇降機構１９に連結されている。昇降機構１９はたとえば、図示を省略する駆動用モータやタイミングベルト等を備え、ワーク保持治具７を昇降させる。具体的には、ワーク保持治具７に保持されたワーク２が洗浄槽３に対して出し入れ可能となるように、昇降機構１９は、ワーク保持治具７を昇降させる。
【００３１】
また、ワーク保持治具７は、図２、図４に示すように、吊下げ部材１８に固定される吊り軸９１と、吊り軸９１の下端側に略平行に固定される２枚の支持板９２と、支持板９２に取り付けられるとともにワーク２を保持するための複数の保持部材９３とを備えている。支持板９２は略Ｌ形状に形成され、保持部材９３は段付の略円柱状に形成されている。本形態では、図４に示すように、ワーク２の下端部が支持板９２によって支持され、ワーク２の両側端部（図４の紙面垂直方向の両端部）が保持部材９３によって保持されている。また、ワーク保持治具７に保持されるワーク２が後述のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂに形成されたシャワー面２０ａ、２０ａと対向するように、ワーク２はワーク保持治具７に保持されている。
【００３２】
シャワー手段８は、図３に示すように、ワーク２に向かって洗浄液を噴射するシャワー部材としてのシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂと、循環経路９の他端側が接続される分岐管２１と、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂと分岐管２１とを繋ぐとともにシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂへ洗浄液を供給するための配管部材２２ａ、２２ｂと、循環経路９と分岐管２１とを繋ぐための継手２３とを備えている。本形態のシャワー手段８は、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂと２個の分岐管２１とを備えている。また、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂと分岐管２１とは、所定の間隔で配置される各２本の配管部材２２ａ（２２ａ１、２２ａ２）、２２ｂ（２２ｂ１、２２ｂ２）で接続されている。
【００３３】
また、シャワー手段８は、図２に示すように、昇降機構２４に連結されている。昇降機構２４はたとえば、図示を省略する駆動用モータやタイミングベルト等を備え、シャワー手段８を昇降させる。具体的には、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂが洗浄槽３の上端側から下端側まで移動可能となるように、昇降機構２４は、シャワー手段８を昇降させる。
【００３４】
シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂはたとえば、ステンレス鋼等の金属部材からなる扁平な直方体状の中空部材であり、ワーク２に対向するシャワー面２０ａ、２０ａを備えている。シャワー面２０ａ、２０ａには、洗浄液を噴射するための複数の噴射孔２０ｂ、２０ｂが所定の間隔で形成されている。また、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂは、シャワー面２０ａ、２０ａが互いに対向するように配置されている。
【００３５】
上述のように、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）には、所定の間隔で配置される２本の配管部材２２ａ（２２ｂ）が接続されている。具体的には、２本の配管部材２２ａ（２２ｂ）は、シャワー面２０ａ、２０ａに直交する面であってシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）の長手方向に平行な面に接続されており、シャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）の長手方向に一列で配置されている。
【００３６】
循環経路９は、図１に示すように、洗浄槽３から排出される洗浄液をシャワー手段８に向かって送るポンプ２６と、洗浄槽３から排出される洗浄液をろ過して洗浄液に含まれる塵埃等の不純物を取り除く２個のフィルター２８と、所定位置に配置されるバルブ２９と、分岐管２１に一端が接続される２本の配管部材３０と、２本の配管部材３０の他端が接続される分岐管３１とを備えている。上述のように、循環経路９の一端側は、洗浄槽３の底面に接続され、循環経路９の他端側は、シャワー手段８に接続されている。
【００３７】
（ワークの洗浄方法）
以上のように構成された洗浄装置１では、たとえば、以下のように、ワーク２の洗浄が行われる。
【００３８】
まず、ワーク２を保持したワーク保持治具７を下降させて、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂが内部に配置され洗浄液で満たされた本槽１１の中にワーク２を浸漬する。このワーク２の下降時には、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂから洗浄液を噴射させても良いし、噴射させなくても良い。その後、超音波振動子１３を用いてワーク２の超音波洗浄を行うとともに、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂから洗浄液を噴射する。なお、超音波洗浄を行わずに、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂから噴射される洗浄液のみでワーク２を洗浄しても良い。また、ワーク２の洗浄時には、オーバーフロー槽１２から排出される洗浄液が循環経路９を通過してシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂに供給される。
【００３９】
本槽１１内でのワーク２の洗浄が終わると、ワーク保持治具７を上昇させ、ワーク２を本槽１１から引き上げて、ワーク２を蒸気洗浄空間１４に配置する。この状態で、蒸気発生槽４から供給される洗浄液の蒸気によって、ワーク２の蒸気洗浄を行う。なお、ワーク２の引上げ時には、ワーク保持治具７とともにシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを上昇させても良いし、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを上昇させなくても良い。
【００４０】
蒸気洗浄空間１４でのワーク２の蒸気洗浄が終わると、さらに、ワーク保持治具７を上昇させ、冷却手段５の内周側にワーク２を配置してワーク２を乾燥させる。ワーク２の乾燥が終わるとワーク２の洗浄が完了する。
【００４１】
（蓋部材の構成）
図５は、図１に示す洗浄槽３の上面側を模式的に示す斜視図である。図６は、図１に示す洗浄装置１の操業停止時に使用される蓋部材４０の構成を説明するための斜視図である。図７は、図６に示す第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせた状態を示す平面図である。なお、以下の説明では、図６のＸ方向を左右方向とし、左右方向および上下方向に直交するＹ方向を前後方向とする。また、以下の説明では、Ｘ１方向を「右」、Ｘ２方向を「左」、Ｙ１方向を「前」およびＹ２方向を「後（後ろ）」とする。また、本形態では、前後方向が第１方向となり、左右方向が第２方向となる。
【００４２】
本形態の洗浄装置１では、操業停止時（所定時間、ワーク２の洗浄を行わないとき）に、洗浄槽３の上面に形成された開口部１５が蓋部材４０によって覆われる。すなわち、洗浄装置１は、操業停止時に開口部１５を塞ぐための蓋部材４０を備えている。なお、本形態では、洗浄装置１の操業停止時には、ワーク保持治具７は洗浄槽３の外部に引き上げられている。一方、操業停止時であっても、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂは洗浄槽３の内部に配置されている。すなわち、操業停止時であっても、図５に示すように、配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２の軸方向の一部は開口部１５に配置されている。
【００４３】
蓋部材４０は、図６、図７に示すように、上下方向で重ね合わせられる２枚の第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とによって構成されている。本形態では、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが下側からこの順番に重ね合わされている。
【００４４】
第１蓋部材４１は、略長方形の平板状部材であり、洗浄装置１の操業停止時には、その長手方向を左右方向（Ｘ方向）に向けた状態で洗浄装置１の上面に載置されている。この第１蓋部材４１には、２本の直線状の第１スリット４１ａが前後方向（Ｙ方向）に延びるように形成されている。２本の第１スリット４１ａは、互いに平行で、幅が一定の直線状に形成されている。また、第１スリット４１ａの後端は開口している。すなわち、第１スリット４１ａは、第１蓋部材４１の後端から前側に向かって形成されている。
【００４５】
第１スリット４１ａには、図６等に示すように、配管部材２２ａ、２２ｂの一部が配置される。具体的には、第１スリット４１ａのそれぞれに２本の配管部材２２ａ（２２ａ１、２２ａ２）、２２ｂ（２２ｂ１、２２ｂ２）の軸方向の一部が配置される。そのため、第１スリット４１ａの幅は、配管部材２２ａ、２２ｂの径よりも大きくなっている。具体的には、第１スリット４１ａの幅は、配管部材２２ａ、２２ｂの径よりもわずかに大きくなっている。
【００４６】
また、本形態では、左右方向（Ｘ方向）とシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの長手方向（図４の紙面垂直方向）とが略一致する。そのため、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの長手方向と第１スリット４１ａの形成方向とが略直交する。したがって、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に接続される配管部材２２ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）の配置方向と第１スリット４１ａの形成方向とが略直交する。すなわち、第１スリット４１ａは、配管部材２２ａ（２２ｂ）の配置方向に略直交する方向に向かって形成されている。また、２本の第１スリット４１ａの形成ピッチは、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に接続される２本の配管部材２２ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）の配置ピッチと略等しくなっている。
【００４７】
第２蓋部材４２は、第１蓋部材４１と同様に、略長方形の平板状部材であり、洗浄装置１の操業停止時には、その長手方向を左右方向（Ｘ方向）に向けた状態で第１蓋部材４１の上面に載置されている。本形態では、第２蓋部材４２の大きさと第１蓋部材４１の大きさとが略等しくなっている。
【００４８】
この第２蓋部材４２には、２本の直線状の第２スリット４２ａが左右方向（Ｘ方向）に延びるように形成されている。２本の第２スリット４２ａは、互いに平行で、幅が一定の直線状に形成されている。また、第２スリット４２ａの左端は開口している。すなわち、第２スリット４２ａは、第２蓋部材４２の左端から右側に向かって形成されている。
【００４９】
第２スリット４２ａにも、図６等に示すように、配管部材２２ａ、２２ｂの一部が配置される。具体的には、第２スリット４２ａのそれぞれに２本の配管部材２２ａ（２２ａ１、２２ａ２）、２２ｂ（２２ｂ１、２２ｂ２）の軸方向の一部が配置される。そのため、第２スリット４２ａの幅は、配管部材２２ａ、２２ｂの径よりも大きくなっている。具体的には、第１スリット４１ａの幅と同様に、第２スリット４２ａの幅は配管部材２２ａ、２２ｂの径よりもわずかに大きくなっている。
【００５０】
上述のように、左右方向（Ｘ方向）とシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの長手方向とが略一致する。そのため、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの長手方向と第２スリット４２ａの形成方向とは略一致する。したがって、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に接続される配管部材２２ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）の配置方向と第２スリット４２ａの形成方向とは略一致する。すなわち、第２スリット４２ａは、配管部材２２の配置方向と略平行な方向に向かって形成されている。また、２本の第２スリット４２ａの形成ピッチは、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの配置ピッチと略等しくなっている。
【００５１】
洗浄装置１の操業が停止されると、まず、第１蓋部材４１によって開口部１５を覆う。具体的には、４本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が第１スリット４１ａを前後方向（Ｙ方向）に向かって通過するように、第１蓋部材４１を前側から後側に向かって移動させて、開口部１５を覆う。その後、第２蓋部材４２を第１蓋部材４１に重ねる。具体的には、４本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が第２スリット４２ａを左右方向（Ｘ方向）に向かって通過するように、第２蓋部材４２を右側から左側に向かって移動させた後に、第２蓋部材４２を第１蓋部材４１に重ねる。
【００５２】
第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが重なった状態では、図７に示すように、わずかな開口４３が形成されている。すなわち、この状態では、蓋部材４０にわずかな開口４３が形成されている。具体的には、配管部材２２の周囲に矩形状のわずかな開口４３が形成されている。
【００５３】
なお、図７に示すように、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせたときに、右側に形成される第１スリット４１ａの右側壁４１ｃよりも右側に第２スリット４２ａの右端４２ｃが配置されるように、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａが形成されても良いし、右側壁４１ｃと右端４２ｃとが略一致するように、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａが形成されても良い。
【００５４】
同様に、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせたときに、前側に形成される第２スリット４２ａの前側壁４２ｄよりも前側に第１スリット４１ａの前端４１ｄが配置されるように、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａが形成されても良いし、前側壁４２ｄと前端４１ｄとが略一致するように、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａが形成されても良い。
【００５５】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第１蓋部材４１には、後端が開口するとともに前後方向（Ｙ方向）に向かって配管部材２２ａ、２２ｂが通過可能な第１スリット４１ａが形成され、第２蓋部材４２には、左端が開口するとともに左右方向（Ｘ方向）に向かって配管部材２２ａ、２２ｂが通過可能な第２スリット４２ａが形成されている。そのため、洗浄装置１の操業停止時にシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂが洗浄槽３の内部に配置されている場合であっても、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせることで、蓋部材４０に形成される開口４３の開口面積を減少させつつ、容易に開口部１５を塞ぐことができる。その結果、操業停止中の洗浄液の蒸散を抑制することができる。また、操業停止中に塵埃が洗浄槽３の内部に入り込むのを抑制することができる。
【００５６】
また、本形態では、洗浄装置１の操業停止中に、蓋部材４０で開口部１５を塞ぎつつ、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを洗浄槽３の内部に配置しておくことができるため、洗浄装置１の操業再開時の準備運転の時間を短縮することが可能となる。すなわち、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを洗浄液に浸しておくことで、操業再開時の空運転の時間を短縮することができる。その結果、操業再開時に、早期にワーク２の洗浄を始めることが可能になる。
【００５７】
本形態では、対向配置される２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂのそれぞれには、２本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が接続されている。そのため、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂによって、２方向からワーク２を洗浄することが可能になる。また、２本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２によって、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを安定した状態で保持することが可能になる。さらに、シャワー面２０ａ、２０ａからの洗浄液の噴射量を均一化することが可能になる。また、２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂのそれぞれに２本の配管部材２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２が接続されている場合であっても、本形態では、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とによって、蓋部材４０に形成される開口４３の開口面積を減少させつつ、容易に開口部１５を塞ぐことができる。
【００５８】
本形態では、第１スリット４１ａが配管部材２２ａ、２２ｂの配置方向に略直交する方向に直線状に形成され、第２スリット４２ａが配管部材２２の配置方向と略平行な方向に直線状に形成されている。すなわち、第１スリット４１ａと第２スリット４２ａとが略直交するように形成されている。そのため、配管部材２２ａ、２２ｂの周囲に形成される開口部４３の開口面積を効果的に減少させることができる。また、第１蓋部材４１および第２蓋部材４２の構成を簡素化することが可能になる。
【００５９】
本形態では、第１蓋部材４１および第２蓋部材４２を、配管部材２２ａ、２２ｂの軸方向に略直交する方向に差し込むことができる。そのため、洗浄装置１を構成する他の部材を取り外す等の作業をしなくても、第１蓋部材４１および第２蓋部材４２を取り付けることが可能になる。また、配管部材２２ａ、２２ｂの軸方向のスペースが取れない場合であっても、第１蓋部材４１および第２蓋部材４２を取り付けることが可能になる。
【００６０】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００６１】
上述した形態では、第１蓋部材４１は平板状に形成されている。この他にもたとえば、図８に示すように、第１蓋部材４１の上面に、第２蓋部材４２の第２スリット４２ａに嵌合可能な突起部４１ｂが形成されても良い。すなわち、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせたときに、２本の第２スリット４２ａのそれぞれに嵌まり込む突起部４１ｂが第１蓋部材４１の上面から突出するように形成されても良い。この場合には、たとえば、突起部４１ｂの厚さは第２蓋部材４２の厚さと略同じになり、突起部４１ｂの幅は第２スリット４２ａの幅よりもわずかに狭くなっている。
【００６２】
このように構成すると、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とを重ね合わせたときに、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２との間でずれが生じない。したがって、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とによって、より容易に開口部１５を塞ぐことができる。また、第２スリット４２ａ内に配置される突起部４１ｂによって、操業停止中の洗浄液の蒸散や、洗浄槽３の内部への塵埃の侵入を効果的に抑制することができる。
【００６３】
なお、一方の第２スリット４２ａのみに突起部４１ｂが嵌まり込み、他方の第２スリット４２ａには突起部４１ｂが嵌まり込まないように、突起部４１ｂが形成されても良い。すなわち、図８において前側に配置される突起部４１ｂあるいは後側に配置される突起部４１ｂのいずれかが形成されなくても良い。
【００６４】
上述した形態では、第１蓋部材４１には、前後方向に平行な２本の直線状の第１スリット４１ａが形成されている。この他にもたとえば、図９に示すように、前後方向に対して所定角度（ただし、９０°を除く）だけ傾斜した方向に平行な３本の直線状の第１スリット４１ａが第１蓋部材４１に形成されても良い。すなわち、第１スリット４１ａが形成される方向と、第２スリット４２ａが形成される方向とが略直交していなくても良い。同様に、左右方向に対して所定角度（ただし、９０°を除く）だけ傾斜した方向に平行な３本の直線状の第２スリット４２ａが第２蓋部材４２に形成されても良い。
【００６５】
これらの場合であっても、上述した形態と同様に、操業停止時に開口４３の開口面積を減少させつつ、容易に開口部１５を塞ぐことが可能になる。すなわち、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが重ね合わされたときの第１スリット４１ａの形成方向と第２スリット４２ａの形成方向とが異なっていれば、上述した形態と同様の効果を得ることができる。
【００６６】
上述した形態では、第１スリット４１ａおよび第２スリット４２ａは直線状に形成されている。この他にもたとえば、第１スリット４１ａおよび／または第２スリット４２ａは、曲線状に形成されても良い。
【００６７】
上述した形態では、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが下側からこの順番に重ね合わされているが、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とが上側からこの順番に重ね合わされても良い。また、上述した形態では、第１蓋部材４１と第２蓋部材４２とによって蓋部材４０が構成されているが、３枚以上の平板状部材あるいは３個以上のブロック状部材によって蓋部材４０が構成されても良い。
【００６８】
上述した形態では、シャワー手段８は２個のシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂを備えているが、シャワー手段８が備えるシャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂの数は、１個でも良いし、３個以上でも良い。また、上述した形態では、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に２本の配管部材２０ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）が接続されているが、１個のシャワーヘッド２０Ａ（２０Ｂ）に接続される配管部材２０ａ１、２２ａ２（２２ｂ１、２２ｂ２）の本数は、１本であっても良いし、３本以上であっても良い。また、シャワー手段８は、シャワーヘッド２０Ａ、２０Ｂに代えて、上述の特許文献１に記載されているようなノズルを備えていても良い。
【００６９】
上述した形態では、洗浄槽３は、１個の本槽１１と、本槽１１の周囲に配置されるオーバーフロー槽１２とを備えている。この他にもたとえば、洗浄槽３は、粗洗浄槽、仕上洗浄槽等の複数の本槽と、その周囲に配置されるオーバーフロー槽とを備えていても良い。また、洗浄槽３は、オーバーフロー槽を備えていなくても良い。
【００７０】
なお、上述した形態では、配管部材２２ａ、２２ｂの長手方向の一部は、開口部１５に配置されているが、図１０に示すように、配管部材２２ａ、２２ｂ用の貫通孔４５を洗浄槽３の上面に形成することも可能である。このように構成すると、配管部材２２ａ、２２ｂの配置スペースを考慮することなく、ワーク保持治具７が通過可能となる大きさで開口部１５を形成すれば良いため、開口部１５を小さくすることができる。また、この場合には、操業停止時に一枚の蓋部材を用いて、開口部１５を確実に塞ぐことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の実施の形態にかかる洗浄装置の概略構成を説明するための概略図である。
【図２】図１に示すワーク保持治具の昇降機構およびシャワー手段の昇降機構を説明するための模式図である。
【図３】図１に示すシャワー手段の斜視図である。
【図４】図１に示すワーク保持治具を説明するための正面図である。
【図５】図１に示す洗浄槽の上面側を模式的に示す斜視図である。
【図６】図１に示す洗浄装置の操業停止時に使用される蓋部材の構成を説明するための斜視図である。
【図７】図６に示す第１蓋部材と第２蓋部材とを重ね合わせた状態を示す平面図である。
【図８】本発明の他の実施の形態にかかる第１蓋部材を示す斜視図である。
【図９】本発明の他の実施の形態にかかる第１蓋部材を説明するための平面図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態にかかる洗浄槽の上面側を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１ 洗浄装置
２ ワーク（被洗浄物）
３ 洗浄槽
１５ 開口部
２０Ａ、２０Ｂ シャワーヘッド（シャワー部材）
２０ｂ 噴射孔
２２ａ（２２ａ１、２２ａ２）、２２ｂ（２２ｂ１、２２ｂ２） 配管部材
４０ 蓋部材
４１ 第１蓋部材
４１ａ 第１スリット
４１ｂ 突起部
４２ 第２蓋部材
４２ａ 第２スリット
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を出し入れするための開口部が形成される洗浄槽と、前記洗浄槽に洗浄液を供給するための配管部材と、前記開口部を塞ぐ蓋部材とを備え、
前記開口部には、前記配管部材の一部が配置され、
前記蓋部材は、一端が開口するとともに所定の第１方向に向かって前記配管部材が通過可能な第１スリットが形成される第１蓋部材と、一端が開口するとともに前記第１方向と異なる第２方向に向かって前記配管部材が通過可能な第２スリットが形成される第２蓋部材とを備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記第１蓋部材または前記第２蓋部材のいずれか一方には、前記第１蓋部材または前記第２蓋部材のいずれか他方に形成される前記第１スリットまたは前記第２スリットに嵌合可能な突起部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記被洗浄物に向かって洗浄液を噴射するための複数の噴射孔が形成されるとともに所定の隙間を介して対向配置される複数のシャワー部材を備え、
複数の前記シャワー部材のそれぞれには、前記配管部材が接続されていることを特徴とする請求項１または２記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記被洗浄物に向かって洗浄液を噴射するための複数の噴射孔が形成されるシャワー部材を備え、
前記シャワー部材には、複数の前記配管部材が接続されていることを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
複数の前記配管部材は所定の配置方向に一列で配置され、
前記第１スリットまたは前記第２スリットのいずれか一方は、前記配置方向と略平行な方向に直線状に形成され、前記第１スリットまたは前記第２スリットのいずれか他方は、前記配置方向に略直交する方向に直線状に形成されていることを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄液は、フッ素系溶剤、塩素系溶剤あるいは臭素系溶剤であることを特徴とする請求項１から５いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項１】
被洗浄物を出し入れするための開口部が形成される洗浄槽と、前記洗浄槽に洗浄液を供給するための配管部材と、前記開口部を塞ぐ蓋部材とを備え、
前記開口部には、前記配管部材の一部が配置され、
前記蓋部材は、一端が開口するとともに所定の第１方向に向かって前記配管部材が通過可能な第１スリットが形成される第１蓋部材と、一端が開口するとともに前記第１方向と異なる第２方向に向かって前記配管部材が通過可能な第２スリットが形成される第２蓋部材とを備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記第１蓋部材または前記第２蓋部材のいずれか一方には、前記第１蓋部材または前記第２蓋部材のいずれか他方に形成される前記第１スリットまたは前記第２スリットに嵌合可能な突起部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記被洗浄物に向かって洗浄液を噴射するための複数の噴射孔が形成されるとともに所定の隙間を介して対向配置される複数のシャワー部材を備え、
複数の前記シャワー部材のそれぞれには、前記配管部材が接続されていることを特徴とする請求項１または２記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記被洗浄物に向かって洗浄液を噴射するための複数の噴射孔が形成されるシャワー部材を備え、
前記シャワー部材には、複数の前記配管部材が接続されていることを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
複数の前記配管部材は所定の配置方向に一列で配置され、
前記第１スリットまたは前記第２スリットのいずれか一方は、前記配置方向と略平行な方向に直線状に形成され、前記第１スリットまたは前記第２スリットのいずれか他方は、前記配置方向に略直交する方向に直線状に形成されていることを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄液は、フッ素系溶剤、塩素系溶剤あるいは臭素系溶剤であることを特徴とする請求項１から５いずれかに記載の洗浄装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００９−１３１７５４（Ｐ２００９−１３１７５４Ａ）
【公開日】平成２１年６月１８日（２００９．６．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３０８７２８（Ｐ２００７−３０８７２８）
【出願日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【出願人】（０００００２２３３）日本電産サンキョー株式会社 (1,337)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年６月１８日（２００９．６．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【出願人】（０００００２２３３）日本電産サンキョー株式会社 (1,337)
【Ｆターム（参考）】
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