【課題】基板上に形成されたパターンの破損を回避しつつ、基板に対する洗浄能力を低下させずに洗浄を行うことができる。
【解決手段】基板上を複数の領域に区切り、領域毎にその位置情報とパターン情報を取得する情報取得部１１と、位置情報とパターン情報に基づいて、領域毎に基板に薬液を吐出するときの処理条件を決定する条件決定部１２と、基板に薬液を吐出する吐出部１５と、吐出部１５を基板の一端から他端への第１方向に向かって基板に対して相対的に移動する位置制御部１３と、位置制御部１３により移動される吐出部１５が基板上の領域の上方を通過するとき、前記処理条件に従って吐出部１５から吐出される薬液の圧力を調整する吐出調整部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】便器の清掃の省力化に貢献し清掃の品質を均一化するためのトイレ洗浄装置を提供する。
【解決手段】トイレの男子用便器の清掃作業を補助する為のトイレ洗浄装置が、便器に対して移動可能に構成されたトイレ洗浄装置本体と、便器に付けるＩＣチップ等の無線発信機器とを有し、トイレ洗浄装置本体には、高圧水の発生装置と高圧水を射出する為のノズルが配設され、前記ノズルを便器の長さに合わせ上下させる駆動装置を備え、前記ＩＣチップ等の無線発信機器は便器近傍に付着され、該便器の情報やトイレ内の情報を記憶させ、トイレ洗浄装置本体には、無線機器からの情報を読み取る為の装置を備え、読み取った便器の情報に基づき前記ノズルを上下させるべく駆動装置を制御し、便器の大きさや形状に合わせた駆動範囲を変更し、読み取ったトイレ内の情報を隣の便器に移動する際に利用する。 （もっと読む）

【課題】液体噴射装置において、噴射ノズルの上下振り回動を反転させる反転システムを提供すること。
【解決手段】液体供給筒の先端回転筒に対する噴射ノズル（回転軸芯）の相対回転差で液体供給筒の垂直軸線に対し振り回動を行わせる液体噴射装置において、前記供給筒６０内を軸方向に垂下し、駆動機構の駆動力を受けて回転する回転軸５０を回転軸芯５１とそれを内包する回転軸筒５２とからなる二重回転軸とし、液体供給筒の先端回転筒６２を回転させる第１伝達手段２０に対し、噴射ノズル７０を回転させる第２伝達手段３０の相対回転差（相対回転角度差）をプラスとマイナスに切り替え、第１及び第２伝達手段の伝達する相対回転差をプラスとして噴出ノズルの傾斜角度（振り）が上昇方向とし、相対回転差をマイナスとして下降方向に切り替えるノズル反転システムである。 （もっと読む）

【課題】 傾斜面に沿って斜めに載置される可撓性対象を効率よく洗浄でき、しかもコンパクトな洗浄装置を提供する。
【解決手段】 傾斜面と直交するように配置される平行な第１、第２縦レール４、５と、第１、第２縦レール４、５に沿って走行可能な第１、第２フレーム６、７と、第１、第２フレームを連結する横レール９と、横レール９に沿って傾斜面に沿って横行するノズルフレーム１１とを備え、横レールは、傾斜面に平行で間隔を開けて位置する水平上片及び水平下片と、これらを連結する起立片とを有し、ノズルフレーム１１の上部には、水平下片の上面に接する上部ローラ１６と水平下片の下面に接する下部ローラ１７とが設けられ、ノズルフレーム１１は、上部ローラ１６と下部ローラ１７が横レール９を挟持することにより支持される。 （もっと読む）

【課題】水道水等を貯留する貯水槽の広大な面積の垂直なコンクリート壁面に対して、ウォータージェットによる研掃を効率良く行えるようにする表面処理方法を提供する。
【解決手段】噴射ノズル１１がカバー体１２の内部に設けられたウォータージェット治具１３を壁面１０に沿ってスライド移動させてコンクリート壁面１０の研掃を行う表面処理方法であって、ウォータージェット治具１３は、横方向スライドガイド部１５に沿って左右方向にスライド移動する。横方向スライドガイド部１５は、ベースマシン１４に設けられた縦方向スライドガイド部１６に沿って上下方向にスライド移動する。ウォータージェット噴射ノズル１１をコンクリート壁面１０に対向させてベースマシン１４を据付た後に、ウォータージェット治具１３を一定速度で上下左右に移動させて、カバー体１２の３倍の研掃巾で、コンクリート壁面１０の下端部から上端部に至る領域の研掃を行なう。 （もっと読む）

【課題】水道水等を貯留する貯水槽の広大な面積の垂直なコンクリート壁面に対して、ウォータージェットによる研掃を効率良く行えるようにする表面研掃処理装置を提供する。
【解決手段】表面研掃処理装置１０は、ベースマシン１４と、縦方向スライドガイド部１６と、横方向スライドガイド部１９と、ウォータージェット噴射ノズル１１を備えるウォータージェット治具１３とを含んで構成される。ベースマシン１４は、基台部２３と走行部２２とからなる。縦方向スライドガイド部１６は、基台部２３上の支持架台２１に固定される縦方向固定ガイド部１７と、縦方向固定ガイド部１７に沿って昇降可能な昇降ガイド部１８とからなる。横方向スライドガイド部１９は、ウォータージェット治具１３の横巾の略３倍の長さを有し、昇降ガイド部１８に沿って昇降可能である。ウォータージェット治具１３は、横方向スライドガイド部１９に沿って横方向に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】階層状に並んだ複数の洗浄ラインに設けられる、ロールブラシ等の回転洗浄ロールの使用本数を低減可能な基板の洗浄装置の提供。
【解決手段】本発明の洗浄装置１は、載せられた基板Ｗを各々が上流側から下流側へ向けて搬送し、互いに間隔を置いて階層状に並んだ複数の搬送路２と、各搬送路２上を通過する基板Ｗをその上面側とその下面側とから挟むように配置する複数の回転洗浄ロール３を備える。前記回転洗浄ロールは、最上階の搬送路上を通過する基板をその上面側から接触して回転洗浄する最上階専用回転洗浄ロールと、最下階の搬送路上を通過する基板をその下面側から接触して回転洗浄する最下階専用回転洗浄ロールと、上下方向で隣り合う搬送路の間に配置し、上階側の搬送路上を通過する基板をその下面側から接触して回転洗浄し、かつ下階側の搬送路上を通過する基板をその上面側から接触して回転洗浄する兼用回転洗浄ロールとからなる。 （もっと読む）

【課題】ロボットを含めた装置全体を防水室内に収める必要がなく、且つ、ロボット自体を高度の防塵防水仕様とする必要がないため、これら防水手段配備のための手間及びコストを削減できる機械部品のシャワー洗浄装置を提供することを課題する。
【解決手段】洗浄槽１が、互いに反対方向に移動してその上面開口を開閉する一対のシャッター７、８から成る飛散防止カバーを備え、前記飛散防止カバーは、洗浄するワークをクランプしたロボットハンド８１が洗浄槽１内に進入した際に、ロボットハンド８１を抱持するようにして閉じ、ロボットハンド８１が横方向に移動する際には、その閉じた状態においてシャッター７、８が一体となって、ロボットハンド８１の横方向の動きに追随して移動可能にされる。 （もっと読む）

【課題】ノズルを移動しながら基板を処理することができ、かつ、密閉チャンバの内部空間の狭空間化を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】密閉チャンバ２は、密閉された内部空間を区画する隔壁９を有している。密閉チャンバの内部空間でウエハＷが保持される。密閉チャンバ２には、移動ノズルとしての形態を有する処理液ノズル４が設けられている。処理液ノズル４を支持するノズルアーム１５は、隔壁９に形成された通過孔１４を介して密閉チャンバ２の内外に跨って延びている。このノズルアーム１５は、密閉チャンバ２外に配置された直線駆動機構３６によって駆動されるようになっている。隔壁９とノズルアーム１５の外表面との間は、第３シール構造によってシールされるようになっている。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに侵入した数μｍの研削屑も良好に除去することができ、かつ、チャックテーブル上に保持された被加工物の表面を良好に洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧エアー及び液体で構成される２流体洗浄水８２０ａを高圧噴射する構成とすることにより、数μｍほどの屑も洗浄できるようにして、ブラシ等を不要とする。また、飛散防止チャンバー８３と、飛散防止チャンバー８３においてチャックテーブル２の上面２ａ又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上で飛散するミスト８２０ｂを外部へ排出する排出手段８４とを備え、洗浄時は、飛散防止チャンバー８３の側壁８３０の下端がチャックテーブル２の上面２ａ又は上面２ａに保持された被加工物Ｗの表面Ｗａと所定の隙間Ｃ１をもち、チャックテーブル２の上面２ａ上又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上に形成された洗浄水層８７により隙間Ｃ１が封止されるようにすることにより、ミストが飛散しないようにする。 （もっと読む）

【課題】容器内に残留している有害物質を取り除くことができるようにする。
【解決手段】有害物質が付着している筒状の容器１０内を洗浄するための洗浄本体部１を備えている。洗浄本体部１は、有害物質を吸収させる吸収材７を収容するタンク２と、タンク２に収容される吸収材７の上方に設けられ、容器１０を下に開口した状態で配置させると共に、流体を上から下へ通過させ得る配置部３と、配置部３に配置された容器１０内に挿入させ当該容器１０の内周面に過熱水蒸気を吹き付ける噴出手段４とを有している。 （もっと読む）

【課題】樹脂成形部品に流路が形成されていると、流路に異物が付着したままとなる場合があり、洗浄用液体容器内に投入した樹脂成形部品のうち、洗浄後の異物が付着していない樹脂成形部品の割合を高めることができないという課題がある。
【解決手段】流路としての吐出液供給路１０２が形成された樹脂成形部品としてのケースヘッド１０１の洗浄方法であって、液体としての純水７を収容する液体容器２の内側に備えた網容器３の内部にケースヘッド１０１を投入し、液体噴射ノズル４によって、網容器３の縁ｓ付近から網容器３の底部ｕに向かって純水を噴射し、ケースヘッド１０１を網容器３内の液体中で自転及び循環させる洗浄方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板の板面をノズル体によって噴射供給される処理液によって処理する際、全面を均一に処理できるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を所定方向に搬送する搬送ローラ５と、基板の搬送方向と交差する幅方向の両端部に処理液を隙間が生じることのない密の状態で均一に噴射供給する第１のノズル体２３と、基板の第１のノズル体によって処理液が供給された幅方向両端部を除く部分に処理液を基板の搬送方向及び搬送方向と交差する方向に対して隙間が生じる疎の状態で噴射供給する第２のノズル体２４を具備する。 （もっと読む）

【課題】 高圧蒸気を微小領域に吹き付け、当該微小領域を拡大させることで被洗浄対象物の洗浄を行う洗浄装置を提供する。
【解決手段】 特定部に開口する槽形状の洗浄槽の開口部をエアカーテンにて閉鎖することとし、洗浄槽内に置かれた被洗浄物に対して高圧蒸気を吹き付けるノズルを、該エアカーテンを超えた洗浄槽内に配置することとする。 （もっと読む）

【課題】膜エレメント間に堆積した固形分を十分に除去することが可能な膜分離装置の洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１１は、内部に中空部７０が備えられ、且つ、先端部に中空部７０と連通して洗浄液５５を噴射する先端開口部７１が備えられるとともに、側面部に中空部７０と連通して洗浄液５５を噴射する側面開口部７２が備えられた挿入部材５３と、挿入部材５３の中空部７０に洗浄液５５を供給する供給手段と、挿入部材５３の下部先端部を先頭として膜エレメント１３間の間隙に挿入部材５３を挿入する昇降手段５４を有する。 （もっと読む）

【課題】 構造を簡略化でき、小型・軽量化を図れ、低コスト化を達成でき、また洗浄時の装置の振動を抑制し、均一で効率的な洗浄を可能にする高圧洗浄液噴射式洗浄装置を提供する。
【解決手段】 高圧洗浄液を洗浄対象物ｘに対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の噴射ノズル３を備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置１で、多数の噴射ノズル３をノズルホルダー２の下面の長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、ノズルホルダー２をその両側で支柱１３の支持部材１４の先端部に対し振り子部材１５によりノズルホルダー２の長手方向に揺動可能に支持し、洗浄対象物ｘをノズルホルダー２の長手方向に直交する方向に搬送しながらノズルホルダー２を長手方向に振り子運動させると同時に、各噴射ノズル３から高圧洗浄液を洗浄対象物ｘに対し噴射させて洗浄する。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンが形成された基板に対しても適切に洗浄することができる基板処理装置、および、基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、単一の基板Ｗを水平姿勢で保持する保持部１１と、微細気泡を含んだ気泡含有洗浄液を基板に供給する洗浄液ノズル１５と、洗浄液ノズル１５によって基板Ｗに気泡含有洗浄液を供給させて基板を洗浄する制御部１９と、を備える。気泡含有洗浄液によれば、基板面に与える衝撃を抑制しつつ、微細気泡の表面張力によって基板Ｗ上のゴミ、塵埃、その他の異物を除去することができる。したがって、基板Ｗに形成されたパターンを破壊することなく、基板を好適に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置を提供する。
【解決手段】本発明の紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置は、イソプロピルアルコールでＰＣＢを洗浄除去した例えば紙素子１１を投入する洗浄籠１２と、前記洗浄籠１２内に洗浄水１３を供給する洗浄水供給部であるシャワー部１４と、洗浄後のＩＰＡを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水１５として排出する洗浄槽１６と、洗浄排水１５中のＩＰＡの残量を判定する判定器１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】手作業による作業効率の低いインキ装置の清掃作業を、生産性、作業効率の向上と溶剤、ウエスの資材の消費を抑え、洗浄によるコスト削減の自動洗浄装置を提供する。
【解決手段】インキドクターブレード自動洗浄装置１においては、インキドクターブレード３に固着したインキ汚れを洗浄するためにエアーと共に微少量の溶剤を噴射、また回転式エアーノズルにてインキを掻き取る作用を利用しております。このエアーノズルを可変速にて移動させることにより、インキドクターブレード３全体において、汚れの度合いに応じて自動洗浄致します。また、ドクターブレード本体３を任意角度にて揺動させることによりインキドクターブレード３の複雑な形状の自動洗浄に対応しております。これにより、手作業での洗浄に比較し、洗浄時間の短縮、洗浄コストの削減、洗浄効果の向上を提供致します。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄ヘッドと被洗浄基板との間に液膜を形成する際の使用液量を低減することが可能な超音波洗浄ヘッドを備える超音波洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】超音波を、供給される洗浄液に照射することで、被洗浄基板３０を洗浄する超音波洗浄装置１０において、被洗浄基板３０を垂直な姿勢で保持する基板保持手段３１と、洗浄液を供給する超音波洗浄ヘッド２０を備え、超音波洗浄ヘッド２０は、超音波を発生させる超音波振動子２１と、洗浄液を噴射する洗浄液供給ノズル２２と、洗浄液供給ノズル２２と被洗浄基板３０との間に超音波を伝播させるための液膜を形成するため液膜形成液を噴射する液膜形成用ノズル２３を備えることを特徴とする超音波洗浄装置１０である。 （もっと読む）