【課題】比較的簡便な構成で、配管破損を生じることなくかつ短時間で、配管を洗浄することができる配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】
まず、内部にオゾンを含む直径が１μｍ未満の気泡であるオゾンナノバブルを含む洗浄液が生成される。次いで、当該洗浄液が配管内壁の付着物に所定の圧力で供給される。この洗浄液によれば、洗浄液中のオゾン粒子数の残存時間を長期間維持することができ、オゾンの作用を効果的に引き出すことができる。その結果、洗管作業時間内における洗浄液中のオゾンバブルの消滅を実質的に無視することができる。また、この洗浄液は、ＯＨラジカルや酸素ラジカルを含むため、その作用により、スケールやスライムはもちろん、配管内壁に付着している水酸化第一鉄、水酸化第二鉄等を極めて効率よく短時間で分解除去することができる。 （もっと読む）

【課題】物品に付着しているよごれなどの有機物を大気中に飛散させることなく分解または除去でき、かつ物品の損傷が抑えられる表面処理方法、物品の損傷を抑えながら、物品表面をエッチングする表面処理方法、および表面を高度に洗浄し、損傷がほとんどない物品や表面をエッチングしながら、損傷のない物品を提供する。
【解決手段】水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、該液体中において、水に対する接触角が９０度以下である材料に付着している有機物に接触させて、該有機物を材料から除去する表面処理方法；水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、前記液体中において、水に対する接触角が９０度以下である材料に接触させて、該材料を破壊せずに、該材料の表面をエッチングするエッチング方法。 （もっと読む）

【課題】ディスク駆動装置の清浄度を向上し、磁気ヘッドがトレースするときの磁気ヘッドと記録ディスクとの隙間を小さくした場合にＴＡ障害の発生率を低く保つことのできる技術を提供する。
【解決手段】ディスク駆動装置の製造方法において、組立工程では、クリーンルーム内で固定体に軸受ユニットと軸受ユニットによって固定体に対して回転自在に支持される回転体とを組み付けてサブアセンブリを組み立てる。洗浄工程では、サブアセンブリの固定体と回転体の少なくとも一方に洗浄液と第１気体との混合物を吹付けて洗浄する。密封工程では、サブアセンブリを密封部材により密封する。 （もっと読む）

【課題】より長時間ラジカルを液体中に存在させることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、気体のプラズマ化により生成されて酸化により消滅するラジカルを再生成する還元部材１９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】より安全性を高めることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器の提供。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、水を含む液体を収容する液体収容部４と、気体を収容する気体収容部５と、気体収容部５中の気体を液体収容部４へ導く気体通路３ａが形成され、液体収容部４と気体収容部５とを隔てる隔壁部３と、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、第２電極１３を接地した状態で第１電極１２と第２電極１３との間に所定の電圧を印加するようにした。 （もっと読む）

【課題】 気泡微細化に有利な高速流を大流量にて効果的に発生でき、ひいては気泡の微細化効果を劇的に向上させるとともに、マイクロバブル領域あるいはナノバブル領域の気泡の発生量を、従来達成し得なかったレベルにまで高めることができる気泡微小化ノズルを提供する。
【解決手段】 流れ方向下流側に下り勾配にて形成される流れガイド面２２Ｇと、流れ方向上流側にて流路ＦＰ内面に対し流れガイド面２２Ｇよりも急峻に立ち上がるように形成される流れ受け面２２Ａとを有する絞りギャップ材２２Ｑを流路ＦＰ内に配置する。それら流れ受け面２２Ａと流れガイド面２２Ｇとの交差位置に、流路ＦＰの軸断面内周縁上の第一位置ＰＰから該第一位置ＰＰと異なる第二位置ＰＳに向けて軸断面を横切るエッジ部２２Ｅが形成され、該エッジ部２２Ｅと流路ＦＰの内面との間に絞りギャップ２１Ｇがされる。 （もっと読む）

【課題】コストおよび環境負荷の低減を図ることができる、塗料配管内の洗浄方法を提供する。
【解決手段】塗料配管５内から塗料が排出された後、塗料配管５内を強アルカリ電解水が流通する。これにより、強アルカリ電解水が塗料配管５の内面とその内面に付着している塗料との間に入り込み（浸透作用）、さらに、強アルカリ電解水中のマイナスイオンが塗料を包み込んで、そのマイナスイオンと塗料配管の内面上のマイナスイオンとの間に生じる反発力により、塗料配管５の内面上から塗料が剥離される（剥離作用）。よって、多量の洗浄用シンナーを使用することなく、洗浄用シンナーよりも安価な強アルカリ電解水を使用して、塗料配管５内の洗浄を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】より安定してラジカルを生成することのできるプラズマ発生装置、ラジカル生成方法、それらを用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、第１電極１２と第２電極１３との間に放電を発生させることで、液体収容部４中の液体１７内における気体の領域においてプラズマを生成し、液体１７に含まれる水および気体に含まれる酸素からヒドロキシラジカルを生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 処理液に溶解する二酸化炭素の量を、所望の濃度以上に維持し、かつ、二酸化炭素を無駄に消費しないようにした基板洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】 比抵抗計８１が、所望の比抵抗値より高い値を検出するとコントローラ８２は開閉制御弁Ｖ５を開け二酸化炭素が供給される。すなわち、ポンプ２４が、吸込み管２５によって処理液タンク３１から吸い込んだ処理液は、処理液送出管２３、分岐管２７、開閉制御弁Ｖ４、戻し管２８、ミキシングユニット５０、撹拌ノズル６１を経て処理液タンクに戻る処理液循環路を循環する動作を行い、循環動作の途中のミキシングユニット５０にて二酸化炭素を混入する。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームの殺菌洗浄装置において、薬液をクリーンルームの内部に適正に供給することで殺菌及び洗浄性能の向上を図る。
【解決手段】クリーンルーム１１の内部に食品包装機械１２を配置し、殺菌洗浄装置として、薬液を霧化する薬液霧化装置２４と、この薬液霧化装置２４により霧化された薬液ミストをクリーンルーム１１内に噴射する噴射装置２６とを設ける。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄能力を維持し煩瑣な作業を伴うことなく、かつ、基板上に成膜されたトランジスタ素子等の静電破壊を引き起こすことなく効果的な洗浄処理を行うことができる基板洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】搬送される基板Ｗに対して水洗処理を行う直水洗室２０内に、２流体スプレーノズル２４と、２流体スプレーノズル２４の基板搬送方向上流側および下流側にそれぞれ配設されるスプレーノズル３６、３８とを備え、純水タンク２２に貯留された純水を高圧送液ポンプ３４により２流体スプレーノズル２４およびスプレーノズル３６、３８へ供給する装置であって、２流体スプレーノズル２４は、純水をＳＵＳ製のノズル部２４ｂから基板の上面に高速で吐出することにより基板Ｗを正に帯電させ、スプレーノズル３６、３８は、純水をＰＶＤＦ製のノズル部３６ｂ、３８ｂから基板の上面に吐出することにより基板Ｗを負に帯電させて、基板Ｗの電位を中和する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は，対象物の洗浄を行う際に用いる水の洗浄力を効率的に高めることができるとともに，コーティング（対象物への被膜形成）を行う際の作業効率を高めることができる洗浄及び被膜形成装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の洗浄及び被膜形成装置１００は，対象物の洗浄や対象物への被膜形成を行うためのものであり，コート液を収容するコート槽１と，コート槽１と接続された混合加電槽２と，混合加電槽２に接続する水供給装置３と，混合加電槽２の送出口と接続された放出装置４とを有する。また，コート槽１と混合加電槽２との間には，弁５が設けられている。混合加電槽２は，槽内の液体を混合し，混合した液体に電気を通すものである。そして，洗浄時には，混合加電槽２へのコート液の供給がなされず，被膜形成時には，混合加電槽２へとコート液が供給される。 （もっと読む）

【課題】金属製ノズルを、より簡易に強力洗浄でき得るノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】ノズル洗浄装置は、液体検体を検査または分析する検査分析装置に設けられた金属製ノズル２０を洗浄するべく、当該検査分析装置に搭載される。ノズル洗浄装置は、液体の吸引吐出に用いられる金属製ノズル２０を備えたノズルユニット１２と、洗浄実行時に過酸化水素水溶液が貯留される処理槽１６と、洗浄実行時に、金属製ノズル２０を処理槽１６内に進入させて過酸化水素水溶液に浸すべく、金属製ノズル２０を前記処理槽に対して相対移動させる移動機構と、処理槽１６内に進入した金属製ノズル２０の内部に位置する線状電極４０と、線状電極４０を介して過酸化水素水溶液に正電圧を、金属製ノズル２０に負電圧を印加する定電圧電源７０と、を備える。そして、電圧印加時に生じる水酸化ラジカルにより金属製ノズル２０を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】フィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができ、フィルムの洗浄ノズル装置からフィルムが通り抜けた際に洗浄水がフィルムに付着している量を減少させることができるフィルムの洗浄ノズル装置を提供する。
【解決手段】フィルム１２の表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口５２と、洗浄液吐出口５２の上流側及び下流側において、洗浄液がフィルムの一方の面上を流れるようにフィルムに対して平行に形成された、上流側平面部５３Ａと下流側平面部５３Ｂと、からなるフィルムの洗浄ノズル装置５１に対して、上流側平面部５３Ａと下流側平面部５３Ｂは、フィルム１２表面と等距離となるように配置し、下流側平面部５３Ｂは上流側平面部５３Ａよりも長く形成する。 （もっと読む）

【課題】ハロゲンを含まない酸化剤を用いて、従来のハロゲン型酸化剤並みの高い洗浄能力を備えつつ、環境負荷の小さい洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄装置Ｍ１は、洗浄対象物１３を洗浄する洗浄装置であって、洗浄対象物１３と対向配置されたカーボンナノチューブ層１１と、カーボンナノチューブ層１１と洗浄対象物１３との間に純水１２を供給する純水供給装置と、カーボンナノチューブ層１１に紫外線Ｌ１を照射する紫外線照射装置と、を有し、前記紫外線照射装置によってカーボンナノチューブ層１１の表面に接する純水１２に紫外線Ｌ１を照射し、これにより生成したオキソニウムイオンを酸化剤として洗浄対象物１３を洗浄することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の洗浄方法でも除去できない灰化物等の汚染物を除去できる高清浄度の洗浄方法の提供。
【解決手段】固形炭酸粒子を被洗浄材に噴射することにより、前記被洗浄材上の付着物を除去した後に、炉内において前記被洗浄材を加熱冷却する加熱冷却工程を含む被洗浄材の洗浄方法であって、前記加熱冷却された被洗浄材を、比抵抗１５ＭΩ以上の純水に浸漬する浸漬工程と、前記浸漬工程において、前記被洗浄材に超音波振動を与える超音波振動工程を含む洗浄方法であり、前記洗浄後に、５０℃以上の窒素雰囲気下で前記被洗浄材を乾燥させる第１乾燥工程を含む洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】表面処理の高効率化を図ることができる表面処理装置を提供する。
【解決手段】配管２２の吹き出し口から外部へ吹き出された水蒸気８０は、電子ビーム照射部１０の窓１４から出力された電子ビームが照射されて水分子が分解され、水素ラジカル、ＯＨラジカル、水素イオン、オゾン等の極めて活性な分子を含む活性水蒸気となる。この活性化された水蒸気８０は、モータ３１により回転させられている試料台３２に載置された処理対象物９０の表面に吹き付けられる。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液中で超音波を間欠照射させて処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、該洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、前記洗浄槽（１０２）の内部に蓄えた電解アルカリ性水中に超音波を照射可能な超音波振動子と、を具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液を被処理部物に供給しながらブラシ処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、被処理物をブラッシング処理するためのブラシとを具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】オゾン水を利用した除菌洗浄装置及び除菌洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄対象物Ａが漬置き状に侵漬される密封開閉自在なタンク１と、オゾンガスを生成するオゾン発生器２と、オゾン発生器２から供給されるオゾンガスを微小気泡Ｂとして、気密状のタンク１内の水に噴出して混合しオゾン水を生成するオゾン混合機３と、を備え、タンク１内で上記洗浄対象物Ａの侵漬洗浄を行う。 （もっと読む）