【課題】装置全体での熱消費量を抑えた洗浄装置を実現することを目的とする。
【解決手段】
外部の給水箇所から水を供給する水供給ラインと、水供給ラインから供給された水を加熱して温水を生成する加熱手段と、加熱手段により生成された温水を第二洗浄手段に供給する第二供給ラインと、第一洗浄手段及び第二洗浄手段から噴射された温水を回収する回収タンクと、回収タンクに回収された温水を第一洗浄手段に供給する第一供給ラインと、回収タンクに溜まった温水を排出する排水ラインと排水ラインを流れる温水と加熱手段より上流において水供給ラインを流れる水との間で熱交換させる熱交換器とを備えた洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】化石燃料の使用量の削減を図ることができ、ランニングコストおよびＣＯ_２排出量を抑制することができ、且つ作業者の作業環境の改善を図ることが可能な洗浄システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる洗浄システムの構成は、湯を用いて被処理体（番重１０２）を洗浄する洗浄システム１００であって、被処理体を移動させる被処理体移動経路１０４と、被処理体移動経路の下方に配置され、湯を貯留する貯湯槽１１０ａおよび１１０ｂと、貯湯槽に接続され、貯留された湯を被処理体に散水する散水手段１２０ａおよび１２０ｂと、空気を熱源として貯湯槽に供給する湯を生成するヒートポンプ１３０と、ヒートポンプで冷却された空気を被処理体移動経路が設置される室内の所定位置に噴出する冷気噴出器１０８ａ〜１０８ｃと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去する基板処理方法および基板処理装置において、スループットの低下を招くことなく、しかも優れた面内均一性でパーティクル等を除去する。
【解決手段】基板Ｗの回転中心Ｐ（０）から基板Ｗの外縁側に離れた初期位置Ｐ（Ｒin）の上方に冷却ガス吐出ノズル７を配置し、回転している基板Ｗの初期位置Ｐ（Ｒin）に冷却ガスを供給して、初期位置Ｐ（Ｒin）および回転中心Ｐ（０）を含む初期領域に付着するＤＩＷを凝固させる。そして、初期凝固領域ＦＲ0の形成に続いて、ノズル７から冷却ガスを供給しながら初期位置Ｐ（Ｒin）の上方から基板Ｗの外縁部の上方まで移動させることによって、凝固される範囲を基板Ｗの外縁側に広げて基板表面Ｗｆに付着していた全ＤＩＷ（凝固対象液）を凝固して液膜ＬＦ全体を凍結する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、間接加熱部の伝熱効率の低下を抑制することができる蒸発濃縮機の洗浄方法、蒸発濃縮機の洗浄装置、排水処理方法及び排水処理装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、少なくとも水性塗料を含む排水を加熱する間接加熱部を備え、前記排水中の低沸点成分を含む水を蒸発させ、高沸点成分を濃縮する蒸発濃縮機の洗浄方法であって、前記蒸発させた低沸点成分を含む水の少なくとも一部を回収し、該低沸点成分を含む水で前記間接加熱部を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液４を循環再使用でき、油脂や異物などの汚れの除去効果が低下せず、洗浄液４の残留を抑制するか、または大気環境への温暖化物質の放出につながらない洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置を得る。
【解決手段】圧送ポンプ６と加熱用熱交換器８とで、洗浄液４を大気圧下において沸点以上となる加圧過加熱液とする工程、被洗浄物品１が内蔵された洗浄乾燥容器１１内の洗浄乾燥室１０内に加圧過加熱液を噴射する工程、洗浄乾燥容器１１に隣接して蒸気排出容器１２を設け、蒸気排出容器１２には、洗浄乾燥室１１内に連通する蒸気回収口１３を備え、循環ポンプ１８による循環液の流れで吸引口２１に負圧を生じるエジェクタ２０の吸引口２１を、蒸気回収口１３を導いて、洗浄乾燥室１０内に噴射された洗浄液の蒸気を蒸気回収口１３から吸引する工程、及び吸引された洗浄液４の蒸気を再利用する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】必要な洗浄能力が得られる温度にまで加熱可能であり、固体表面の付着物に対する洗浄能力が十分高く、かつ洗浄後の排気に大型の設備を必要とせず、また短時間で洗浄処理を完了することができる洗浄用ノズルを提供する。
【解決手段】加熱及び加圧された水を常圧下にて沸騰させることにより得られる自己生成２流体Ｆを生成する洗浄用ノズル１であって、加熱及び加圧された水の流量を制御する流路を備えたオリフィス部２と、オリフィス部２の下流側に形成され、オリフィス部２の流路の断面積を拡大し、自己生成２流体Ｆを生成する拡径部３と、拡径部３の下流側に形成されると共にオリフィス部２の流路よりも広い断面積を有する流路を備え、自己生成２流体Ｆを下流側に案内する整流部４とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】壜を苛性溶液で洗浄した後の濯ぎ用の洗浄水の使用量を削減すると共に、濯ぎ洗浄工程を短縮する。
【解決手段】筐体３内を循環する無端チェン４に取り付けられ、複数の壜Ｂを保持して搬送するキャリア４ａと、筺体３内に設けられ、キャリアによって搬送される壜を浸漬させて洗浄する高温苛性浸漬槽７と、高温苛性浸漬槽の下流側で、高温苛性により洗浄された壜を予備濯ぎするとともに高温の壜を適宜の温度に冷却する温水浸漬槽８と、温水浸漬槽の下流側で、予備濯ぎされた壜を清水で濯ぎ洗浄する濯ぎ洗浄部９と、温水浸漬槽８内の槽水を中和するための酸供給装置３０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】硝弗酸を用いたステンレス鋼帯の酸洗操業において、脱硝剤添加を必要とせずに生産性向上とＮＯ_X発生抑制の同時実現を図る。
【解決手段】酸洗槽内の硝酸−弗酸混合酸洗液にステンレス鋼帯を浸漬通板する酸洗工程において、酸洗液を熱交換器により冷却する手段を備えた酸洗設備を用い、酸洗槽の液面下に設けた複数の酸洗液吐出口から吐出させた酸洗液の噴流にステンレス鋼帯表面を曝す「噴流酸洗」を行い、酸洗の反応熱による発熱と、熱交換器による抜熱とを利用して、酸洗中の酸洗液の温度を予め設定した温度範囲（例えば４０〜７０℃の範囲内に定めた温度範囲）に維持するステンレス鋼帯の酸洗操業方法。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内から排除される気体が空気である場合は熱交換器への給水を停止し、洗浄槽内から排除される気体が蒸気になると熱交換器への給水を開始することで、熱交換器における使用水量を節約する。
【解決手段】洗浄槽３は、液体が貯留され、その貯留液に被洗浄物２が浸漬される。減圧手段７は、洗浄槽３内からの気体を冷却用水で冷却する熱交換器３５、およびこの熱交換器３５の下流に設けられる真空ポンプ３７を有する。熱交換器３５への給水を停止した状態で真空ポンプ３７を作動させて洗浄槽３内の減圧を開始後、設定タイミングで熱交換器３５への給水を開始する。前記設定タイミングは、洗浄槽３内の気相部の圧力または温度と、洗浄槽３内の液相部の温度とに基づき、沸騰開始点を予想して設定するのがよい。 （もっと読む）

【課題】専用の設備を要せずともプラスチック廃材の再利用化の工程を利用して簡易な構成でプラスチック廃材の洗浄が可能なプラスチック廃材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】亜臨界水または超臨界水によるプラスチック廃材の分解処理後に水およびこれに溶解する樹脂成分から固液分離した無機物を主成分とし水分を含有する固形物を乾燥および粉砕して無機物を回収する際に、固形物を熱風により乾燥して固形物が含有する水分を水蒸気として除去する熱風乾燥器５の下流における水蒸気を含む熱風のラインに設けた洗浄槽１０に、再利用に供する別途のプラスチック廃材を投入し、洗浄槽１０内のプラスチック廃材に水蒸気を含む熱風を接触させてプラスチック廃材を洗浄することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で実施可能であり、微細パターンが形成されている基板をその微細パターンに悪影響を与えることなく短時間で洗浄するための基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが表面に形成された基板としてのウエハＷの洗浄処理を、ウエハＷの表面に所定の加工を施す処理チャンバからウエハＷの洗浄を行う洗浄チャンバへ搬送する搬送ステップと、洗浄チャンバ内においてウエハＷを所定温度に冷却する冷却ステップと、超流動体としての超流動ヘリウムをウエハＷの表面に供給し、ウエハＷの表面から超流動ヘリウムを流し出すことによって微細パターン内の汚染成分を押し流す超流動洗浄ステップにより行う。 （もっと読む）

【課題】複数成分からなる洗浄液を効率よく再生することができ、しかも簡易かつ小型の洗浄液再生装置およびこれを用いてなる循環洗浄装置を提供する。
【解決手段】使用済洗浄液３０を減圧状態で加熱蒸発させることによって、洗浄液蒸気を生成するとともに、当該洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液１５とするための生成部１３と、再生洗浄液１５を連続的に回収するための回収部１３と、を備えた洗浄液再生装置１０等であって、生成部１３は、加熱するための蒸発部３１と、洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液１５とするための冷却部４１と、蒸発部および冷却部をつなぐ連結部と、を備えており、連結部の開口面積をＡ（ｍｍ²）とし、蒸発部を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式で定義される洗浄液蒸気の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ²／ｋＷの範囲内の値とする。洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ） （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液中で超音波を間欠照射させて処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、該洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、前記洗浄槽（１０２）の内部に蓄えた電解アルカリ性水中に超音波を照射可能な超音波振動子と、を具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液を被処理部物に供給しながらブラシ処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、被処理物をブラッシング処理するためのブラシとを具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】配管を介して供給される冷却流体によって基板を処理する基板処理装置において、低い温度に保たれた冷却流体を安定的に基板に供給する。
【解決手段】二重配管７１により冷却ガスが処理チャンバ１内の冷却ガス吐出ノズル３に供給される。二重配管７１は円環プレート８１に保持され、さらに円環プレート８１がベローズ８２により処理チャンバ１に対して移動自在に連結されている。このため、二重配管７１のうち処理チャンバ１内でノズル３と接続された冷却ガス供給管部７１Ｂは、冷却ガス吐出ノズル３の走査移動に伴い大きく移動変位するが、その移動に伴いプレート８１が移動して冷却ガス吐出ノズル３との距離がほぼ一定値に保たれて冷却ガス供給管部７１Ｂはほぼ直線状態を維持したまま変位する。このように冷却ガス供給管部７１Ｂが湾曲変形するのを抑制し、冷却ガス供給管部７１Ｂの移動により発生する負荷が抑制される。 （もっと読む）

【課題】処理槽に温度制御部を必要としない薬液処理槽及びそれを用いた薬液処理装置を提供することにある。
【解決手段】断熱材１２で覆われた処理槽１０の内部において、被処理物１９を単品又はバッチで処理を行う処理部６０と、所定の温度に設定された液３３を貯える貯液部１４−１とを有し、処理槽１０の内部及び被処理物１９を、貯液部１４−１に蓄えられた液の熱伝導又は熱放射により加熱又は冷却して、所定の温度に維持する。 （もっと読む）

【課題】汚れた靴を洗浄した際に水滴が滴下して室内を汚してしまう事が無く、靴全体が確実に洗浄される様な靴洗浄装置及び靴洗浄方法の提供。
【解決手段】本体部（１）と、洗浄用水を吐出する給水栓（２１）を設けた手洗部（２）と、洗浄用水を充填し且つ洗浄するべき靴を収容する事が出来るシンク部（超音波洗浄器４）とを有し、該シンク部（４）には、内部に溜まった水及び収容された靴（４０）に超音波振動を付加する超音波発生装置（例えば、圧電素子）と、シンク部（４）に溜まった水を排水する排水機構（６、Ｖ１）と、シンク部（４）に収容された靴（４０）を加熱して乾燥するための熱交換器（９）とが設けられ、該熱交換器（９）は温水供給源（１０）に連通している。 （もっと読む）

【課題】低コストで貯留槽内の処理液の温度を調整することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理液タンクＴＢ内の処理液は、ポンプＰ２の動作により配管１８，１９，２３を通して簡易式熱交換器Ｓ２に導かれる。簡易式熱交換器Ｓ２により冷却された処理液は、配管２３，２５を通して処理液タンクＴＢに戻される。処理液の温度が予め定められた規定値Ｎ１以下になると、処理液タンクＴＢ内の処理液は、ポンプＰ２の動作により配管１８，１９，２１を通して処理液タンクＴＢに戻される。配管２１は処理液タンクＴＡ内を通過するので、配管２１を流れる処理液は、処理液タンクＴＡ内の処理液によって温調される。 （もっと読む）

【課題】基板に対して、高温の処理液を用いた処理を良好に施すことができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】内側成部材２０の案内部２４の外側壁面３７におけるＳＰＭ液の着液位置には、その外側壁面３７に着液するＳＰＭ液を冷却するための第１冷却管３８が配設されている。第１冷却管３８は、回転軸線Ｃを中心軸線とする螺旋形状に形成されている。外構成部材３０の内側壁面４７におけるＳＰＭ液の着液位置には、その内側壁面４７に着液するＳＰＭ液を冷却するための第２冷却管４８が配設されている。第２冷却管４８は、回転軸線Ｃを中心軸線とする螺旋形状に形成されている。
【効果】内構成部材２０および外構成部材３０の変形をそれぞれ防止することができる。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単、スペースを取らず、既設のコンベアにも簡単に取付可能、装置全体の製作費、設置施工費、メンテナンス費が安価なコンベア用洗浄ユニットを提供する。
【解決手段】二股フォーク形状とした上下一対のノズルヘッド４、５と、該ノズルヘッドをコンベアフレーム１ｃに取り付けるための取付部材６とを備え、前記ノズルヘッドは、走行体１ａの幅方向に配列された複数の噴射ノズル４ａ，５ａを有し、各噴射ノズル４ａ，５ａの噴射方向が、上下それぞれ走行体１ａの進行方向に対して逆向き方向で、しかも、走行体１ａの上下面に対して傾斜した状態に設定されていると共に、前記ノズルヘッドの連通管は、継ぎ手を介して高温・高圧の洗浄水供給手段に接続可能とされている。 （もっと読む）