【課題】複雑な制御を行うことなく、収穫対象果実を把持可能なハンド機構を提供する。
【解決手段】収穫対象のイチゴの−Ｚ側に位置決めされるガイド１６と、ガイド１６に設けられ、Ｚ軸に沿ってスライド移動するスライダ１８と、スライダ１８に設けられ、スライダ１８の＋Ｚ方向への移動に伴って、ガイド１６と一体的に構成されたストッパ１２ａと接触することにより、Ｘ軸回りに回転する第１回転部２２Ａと、第１回転部２２Ａにその下端部が固定され、第１回転部２２Ａの回転によりその上端部がイチゴに近づく方向に移動する第１フィンガー部２４Ａと、第１フィンガー部２４Ａの上端部とともに、収穫対象のイチゴを把持する第２フィンガー部２４Ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】低温環境下での半導体デバイスの試験における該デバイスの品種切替作業時間を短縮させることができる試験装置及び品種切替方法を提供することにある。
【解決手段】外部装置に電気接続されるソケットユニット１１０と、半導体デバイス１０７を取り上げるコレットユニット１３０と、コレットユニットをソケットユニットに組み合わせて押圧することにより、コレットユニットにより取り上げられた半導体デバイスをソケットユニットに電気接続するチャックユニット１５０と、チャックユニットの軸方向の移動動作及び軸回りの回転動作のみにより、チャックユニットとコレットユニットの着脱が可能な着脱機構１３６、１５３を備える。これにより、半導体デバイスの品種を切り替えるときに、切替品種に対応するチャックユニットとコレットユニットとを自動的に着脱させて交換することができ、デバイスの品種切替作業時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】パレット上に既に載置された他のワークに影響を与えずに、小型軽量のワークをパレット上に正しく載置するワーク吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】ワーク吸着ヘッド２３は、内管３１、外管３２、飛散防止カバー３３などからなる多重構造となっており、内管３１と外管３２との間に形作られる隙間４１と、外管３２の側面に設けられたエアー排出路４３が構成される。飛散防止カバー３３は、吸着したレンズ１１をパレット１２ｂに載置するときにバネ３４によってパレット１２ｂに押し当てられ、吸着されたレンズ１１をノズル部２７から離脱するときに吸着口３９から吐出されるエアー４８を閉じ込める。飛散防止カバー３３によって閉じ込められたエアー４８は、パレット１２ｂに既に載置された他のレンズ１１に影響を与えないようにエアー排出路４３を通して排出される。 （もっと読む）

【課題】 搬送中に保持ハンドからワークＷが脱落することを防止しつつ、搬送中におけるワークＷの損傷の発生を十分に抑制することができる非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】ハンド本体７の保持面９にベルヌーイチャック１１が設けられ、ベルヌーイチャック１１が作動流体供給源１５に接続した噴出孔１３を有し、ハンド本体７の保持面９にワークＷの周辺部を吸着する複数の吸着ピン１９が設けられ、各エアを吸込み可能かつエアを吸引するエア吸引源２３に接続した吸込孔２１をそれぞれ有し、上方向から非接触で保持されたワークＷに作用する圧力とワークＷの重量がつりあう所定の均衡状態におけるハンド本体７の保持面９とワークＷの表面とのクリアランスＬ分だけハンド本体７の保持面９に対してそれぞれ突出するようになっていること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、作業ツール及び手首が複雑な動きをした場合であっても、手首に配索される線条体の挙動を安定させることができ、線条体の接続信頼性を高めることができる産業用ロボットの線条体処理構造を提供する。
【解決手段】電磁弁ボックス１２を有する前腕７と、一端に前腕７が回動自在に連結され、他端にハンド１５を有する手首８〜９とを備え、ハンド１５に接続するハンドケーブル２０が、電磁弁ボックス１２を経由して、手首８〜９に沿って配索されている産業用ロボットの線条体処理構造において、ハンドケーブル２０を通す導管１３が、前腕７側からハンド１５側にかけて手首８〜９の内部に設けられ、導管１３の一端がハンド１５側で固定され、導管１３の他端が前腕７内部で導管１３の長手方向に摺動可能に挿入されている。 （もっと読む）

【課題】
軽量で、コンパクトで、経済性が優れ、若干の移送対象物のそりなどの変形を容易に吸収でき、短時間に吸着を完了し、移送タクトタイムを大幅に短縮可能な移送装置を提供する。
【解決手段】
（１）支持板２と、（２）支持板２の下面に設けられ、移送対象物７に当接され、略平行して延びている２つの封止部材３と、（３）２つの封止部材の間に設けられている吸引孔と、（４）支持板２と２つの封止部材３と移送対象物７とによって囲まれる空間内を吸引する吸引手段（図示せず）と、を備える移送装置。 （もっと読む）

【課題】真空吸着状態が切れても基板の健全性を維持し、検査時に発見した基板の裏面の汚れ等をクリーニングすることを可能にする。
【解決手段】基板Ａの少なくとも裏面の目視検査を行うための基板検査装置１であって、基板Ａの裏面を真空吸着する吸着保持部６と、該吸着保持部６により吸着された状態の基板Ａの外周縁に接触して半径方向に挟む複数の接触部１０を有する押圧保持部８とを備える基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】最適な吸着タイミングを得て吸着に要する時間を短縮する。
【解決手段】負圧をかける吸引路７に連通するノズル部５とこのノズル部５に連通して下方に開口するノズル室９を設けた本体３と、前記ノズル室９の内部に装着した外筒１１であって、この外筒１１の内部に下方に向けて細くなる第１テーパ面１３とその下部に雌ネジ部１５を設けた外筒１１と、この外筒１１の内部に挿入した内筒１９であって、この内筒１９の外周面に前記第１テーパ面１３に嵌合して当接する第２テーパ面２１とその下部に外筒１１の雌ネジ部１５に螺合して雄ネジ部１５を設け、かつ内部にノズル部５に連通する吸引室２３とその下部にボール受部２５を設け、かつ上端から下方に向けて複数割りの切込み部２９を設けた内筒１９と、前記吸引室２３の中で前記ノズル部５とボール受部２５との間を移動可能に収容されてノズル部５を閉塞可能な球体３５と、で構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数個のワークを一列状に整列させ、列ごとにピッチ変換して移載する際に、複数の異なるピッチ変換によってワークを移載することを可能とし、製品切り換えによる切り換え作業を容易にし、ピッチ変換搬送装置の製作コストを削減する。
【解決手段】ワークの配置ピッチが異なる少なくとも２つの搬送位置間で、ワークを一列に整列させて移載するピッチ変換搬送装置であって、板体の一端辺側から他端辺側に向けて連通し、前記一端辺から他端辺の任意の位置における溝配置ピッチを異なる配置として複数のガイド溝６２が形成された板カム６０と、前記各々のガイド溝６２に沿って移動自在にガイド溝６２に係合して装着された、ワーク支持用のアタッチメント７８と、前記板カム６０と前記アタッチメント７８を、前記板カム６０の一端辺から他端辺に向かう方向に平行なカム動作方向に、相対的に移動させる移動機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 反った基板を出し入れしたり温度変化により基板が形状変化したりすると真空ピンセットの吸着面が基板を傷つけたり、基板の脱着時に汚れを付着したりして、基板から形成される半導体素子等の歩留まりや信頼性を低下させていた。
【解決手段】 板状体７の先端側が二股状に分岐し、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に基板８を吸着する吸着部３を備えるとともに、吸着部３と連通する吸引路４を内設してなる真空ピンセット１において、吸着部３は外側面が吸着面３ａに向かって狭まっており、吸着面３ａの輪郭が曲線であるものとする。吸着面３ａと基板８との接触面積を減少させられるので、基板８を汚染しにくくなる。併せて、吸着面３ａの輪郭が曲線であることから、基板８と接触したとしても線接触にならず点接触となるため、基板８を傷つけるおそれを少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を確実に維持することができると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板を提供する。
【解決手段】金属製の平板体３を少なくとも２枚積層して成る積層体１３と、この積層体１３の上面側に予め定められた間隔を保ちながら配設される複数のスペーサー６とを有し、平板体３は、一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔４を備え、平板体に形成される複数の貫通孔４は、他の平板体に形成される複数の貫通孔４と連通し、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａとは略線状に接触することを特徴とする吸着板２ａによる。 （もっと読む）

【課題】デバイス領域の厚さを所定厚さに形成され外周部に環状の補強部が形成されたウエーハを破損させることなく、また研削されたデバイス領域に対応する裏面に傷を付けることなく吸引保持して搬送することができるウエーハの搬送機構を提供する。
【解決手段】ウエーハの裏面における外周余剰領域が残存されて環状の補強部が形成された第１の形態と、デバイス領域に対応する領域の裏面と僅かな段差(h)をもって形成された第２の形態を有するウエーハを吸引保持して搬送するウエーハの搬送機構であって、環状の補強部のみを吸引保持する環状の第１の吸引面を備えた第１の吸引保持部９２１と、デバイス領域に対応する領域のみを吸引保持する第２の吸引面を備えた第２の吸引保持部９２３とを有する保持パッド９２を具備し、第２の吸引保持部の第２の吸引面は第１の吸引保持部の第１の吸引面と僅かな段差(X)をもって突出して形成されている。 （もっと読む）

【課題】吸着したワークを落下し難くした保持具を提供することを課題とする。
【解決手段】吸着パッド１０は、油を収容しているシリンダ１２と、シリンダ１２内を下室３０と上室３２とに分けるピストン１６と、を備えている。下室３０はワーク吸着側である。また、吸着パッド１０は、ピストン１６が取付られるとともにシリンダ１２を貫通するピストンロッド１８と、下室３０を狭める方向にピストン１６を付勢するコイルバネ２２と、を備えている。また、ピストン１６とシリンダ内壁面１２Ｓとによって、上室３２と下室３０とに連通しオーリング３４が収容される中間室３８が形成されている。ピストン１６には、上室３２と中間室３８とに連通し中間室３８から上室３２へ流れる際の油の流動がオーリング３４によって妨げられる上室側環流孔４２と、上室３２と中間室３８とに連通するオリフィス５０と、形成されている。 （もっと読む）

【課題】内部に異物が付着し難く、清掃作業の頻度を減らすことができる吸着ノズルおよよび表面実装機を提供する。
【解決手段】部品吸着面４９と空気通路とが形成されたノズル本体２２と、ノズル本体２２嵌合用の嵌合孔２６を有し吸着ヘッド３に取付けられるノズルホルダ２１とを備える。ノズル本体２２の係合溝４８に係合してノズル本体２２の移動量を所定量に規制するピン２３と、ノズル本体２２を付勢する圧縮コイルばね２５とを備える。前記圧縮コイルばね２５を、ノズル本体２２の外側でノズル本体２２とノズルホルダ２１との間に弾装する。前記係合溝４８を、ノズル本体２２における空気通路４７の外側に形成する。前記ピン２３を、係合溝４８に係合しかつノズルホルダ２１とノズル本体２２との嵌合部を横切るようにノズルホルダ２１に支持させた。 （もっと読む）

【課題】基板の予備位置決め機構を搬入ステージ、露光ステージに設置することなく、露光ステージに搬送する前に基板の予備位置決めを行うことができ、ピンの設置位置の調整も簡単な基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】前記搬入ステージ３０上の基板Ｗの端面を押動して予備位置決めを行う予備位置決め機構２と、この予備位置決め機構を支持本体１２により支持すると共に、予備位置決めされた基板を吸着して保持し前記露光ステージ４０に搬送する搬送機構２０とを備え、前記予備位置決め機構は、前記支持本体に支持された駆動手段６と、この駆動手段により駆動して前記基板の端面を押動する押動手段２とを有し、前記駆動手段は、円筒形の磁気軸体７と、この磁気軸体を軸周りに回動させる回動手段８と、この回動手段により回動する磁気軸体の周面に対面させて設けた直線状の第１長尺磁気体９Ａおよび第２長尺磁気体９Ｂと、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】支持部材上に剥離可能に設けられた厚みの薄い半導体チップを損傷させずに吸着して持ち上げる。
【解決手段】吸着手段２０を、ホルダー部２１と、ポーラス部２２と、コレット部２３とから構成し、ホルダー部２１に設けたポーラス部２２に、コレット部２３を設けるようにする。かかるコレット部２３に吸着孔２４を設けて、吸着孔２４で吸着する。コレット部２３を設けるに際しては、脱着自在に設けることで、コレット部２３のみを交換して半導体チップ１１の種々の形状、大きさに合わせることができる。特に、吸着孔の設定に際しては、半導体チップの吸着度を変化させた対応も可能である。 （もっと読む）

【課題】保持力の大きいノンコンタクト搬送システムを提供すること。
【解決手段】負圧吸引によりワーク９を保持するとともに、ワーク９との非接触を確保するために、ロードセル３または近接センサ２などのセンサ信号をもとに、ワーク９と吸引パッド１間の距離制御を行い、非接触の吊上げ搬送を実現する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置への基板の搭載および取り外しを自動化することのできる基板ハンドリング装置、基板搭載方法、基板取り出し方法を提供する。
【解決手段】ロボットアームの先端に取り付けられる基板ハンドリング装置であって、ロボットアームに取り付けられた板状保持部材と、板状保持部材に基板保持方向に突出可能に軸支され、先端に基板吸着パッド部１５を備えた基板保持アーム１６と、基板保持アーム１６を板状保持部材から突出しない状態で固定するロック機構と、基板吸着パッド部１５を基板保持アーム１６から突出する方向に付勢する突出機構１８と、基板吸着パッド部１５の基板保持アーム１６からの突出を制限する吸着パッド部２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】薄厚ウエハ吸着時に薄厚ウエハは内周部が先に吸引されて外周部がたれ下がり反ったり曲がったりすることのない薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドを提供。
【解決手段】薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド 1の吸着面11には、第１連通路12と連通する複数の幅広の外周吸着空気室周溝13、131〜136 と第２連通路14と連通する複数の幅狭の内周吸着空気室周溝15、151〜155 とが設けられ、第１連通路12は広い断面積を持つ第１絞り21を介して高い真空度の真空ポンプＨＶＰ30又は低圧空圧ポンプＬＰ40に選択的に接続され、第２連通路14は狭い断面積を持つ第２絞り22を介して低い真空度の真空ポンプＬＶＰ31に又は前記低圧空圧ポンプＬＰ40選択的に接続され、薄厚ウエハ 2を吸着面11に吸着し、所定位置に移載又は搬送し、高い真空度の真空及び低い真空度の真空を破壊し、かつ低圧空圧ポンプＬＰ40を作動させて薄厚ウエハ 2を前記所定位置に載置するようにした。 （もっと読む）

【課題】ウエハ搬送吸着ハンドの吸着面を真空作動させ直接に吸着面にウエハを吸着保持させることがなく、吸着面に接触するウエハの部分が一点となることがなく、抗折力の限界を超えてウエハの割れが発生することがない薄厚ウエハ搬送方法を提供。
【解決手段】テーブル19に薄厚ウエハ 2の一面20をポーラスセラミック吸着板17上に吸着保持し、薄厚ウエハ 2の上面20に薄厚ウエハ搬送吸着ハンド 1の吸着面11を近接して位置決めし、流体連通室18と連通路39を電磁切替弁52を介して真空破壊通路55と選択的に連通させて真空破壊を行い、さらに流体連通室18と連通路39を電磁切替弁54を介して水とエアの混合流体供給源57と選択的に連通させて薄厚ウエハ 2の他面28に均一に水とエアの混合流体を導き薄厚ウエハ 2をわずかに浮かせ（テーブル19上面と吸着面11の距離Ｄは数ｍｍである）、次に浮いた薄厚ウエハ 2を吸着面11に吸着するようにした。 （もっと読む）