【課題】保持爪により電気部品を保持して搬送する電気部品保持装置において、保持爪を電気部品に合わせて容易に交換し得るようにする。
【解決手段】チャック本体としての取付部材３６６に、２つの可動子３７４，３７６を備えたリニアモータ３７０を取り付け、各可動子３７４，３７６にそれぞれ保持爪３９８，３９９を取付装置により着脱可能に取り付けて、リニアモータチャック３６２を構成する。そのチャック３６２に電気部品４８０を保持させ、昇降装置とＸＹ移動装置とにより水平なＸＹ平面内の任意の位置へ移動させるとともに、鉛直方向に昇降させる。ＸＹ移動装置の下方に爪収容装置を設け、その爪収容装置とチャック３６２との間において、保持すべき電気部品に合わせて、自動で保持爪３９８，３９９の交換を行わせる。 （もっと読む）

【課題】部品をハンドリングした状態で位置合せ可能なハンドリング装置を提供する。
【解決手段】ハンドリング装置の真空吸着部１１は部品２を真空吸着して保持する。真空吸着部１１に配設された吸着力調整部材１５は、部品２と真空吸着部１１の吸着面１２との間にクリアランスを形成し、真空吸着力を減少させた状態で部品２を保持する。 （もっと読む）

【課題】 基板の両面を同時に保持することにより、保持面積の拡大、保持力の向上を図ると共に、基板受け渡し面のチルト補正の容易化、基板の面精度の維持を可能にし、装置全体の基板搬送スループット向上、および搬送精度の向上を実現する。
【解決手段】 基板８の両面の一方を吸着する第１保持部２，３と、他方に当接してそれを支持する第２保持部６，７と、基板を吸着した第１保持部を第２保持部側へ付勢する付勢手段４，５とで基板保持機構１を構成する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の基板を吸着するときに半導体ウエハ等の基板から発生するパーティクルを吸引したり、大気中の埃を吸引したりして吸引路が詰まることが少なく、基板を確実に吸着できる真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置を提供する。
【解決手段】 板状体７の先端側が二股に分岐し、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に設けられた、気体を吸引して基板８を吸着するための吸着部２と、分岐部の吸着部３と他の吸着部３とをつなぐ吸引路４と、分岐部の吸着部３と吸引路４を介してつながって気体を吸引するための吸引部５とを備えてなる真空ピンセットにおいて、分岐部の吸着部３とをつなぐ吸引路４の途中に断面積が他の部分より大きい部分を有している真空ピンセット１である。吸引路４が詰まることが少なく、確実に基板８を吸着することができる。 （もっと読む）

【課題】エジェクタ式の真空発生装置を作動させるための圧縮空気の使用量を低減する。
【解決手段】装置本体１０にはエジェクタ１３が設けられており、エジェクタ１３はノズル１５と吸引孔１８が形成されたディフューザ１７とを備えている。圧縮空気供給源３２が接続される接続ポート３４とノズル１５との間には給気流路３５が形成され、この給気流路３５は給気制御用電磁弁３１により開閉される。吸引孔１８に連通する真空流路４２には、ワークＷを真空吸着する吸着具４３が真空配管４４により接続される。装置本体１０には給気流路３５から供給される圧縮空気を蓄積するエアタンク４０が設けられており、吸着具４３によるワーク吸着初期段階にはノズル１５に対してエアタンク４０からの圧縮空気が供給される。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡易で、搬送時に搬送対象とする基板に、他の基板が張り付かないような構造の搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、基板３１を真空吸着する吸着パッド、基板３１を押圧する押し棒７、押し棒７を駆動するエアシリンダ１７、エアシリンダ１７および吸着パッドに接続された真空発生器１５を有している。
搬送装置１を用いて基板３１ａを搬送する場合は、まず、吸着パッドを、基板３１ａの上面に接触させる。
次に、真空発生器１５にエアを供給して負圧を発生させ、発生した負圧により、吸着パッドが基板３１ａを真空吸着する。
吸着パッドが基板３１ａを真空吸着すると、基板３１ａを持ち上げつつ、真空発生器１５より排気されたエアを用いて、エアシリンダ１７により押し棒７を移動させて基板３１を押圧、変形させ、基板３１ａと接触していた基板を剥離する。 （もっと読む）

【課題】温度センサを自己加熱によりヒータとしても動作させる超小型で高速応答の安価なヒータ兼温度センサ素子を提供する、この素子を用いた高速で高感度の気流センサを提供する、この気流センサを真空パッドに適用して高速応答にする。さらに、これらを用いた気流検知装置を提供する。
【解決手段】基板から熱分離したカンチレバ状の薄膜にヒータ兼温度センサを形成し２端子とする。そのチップ寸法を１ｍｍ角程度の超小型化する。気流センサとして気流の流入口近傍の微小空間にヒータ兼温度センサ素子を取り付ける。これを真空パッドに適用し、素子を吸着パッド付近に取り付ける。内側と外側に導電膜を形成した導電膜付チューブを提供して電源回路などを有する本体と気流センサとの間の煩雑なワイヤ線を不要にする。更にこの気流センサを用いて、少なくとも増幅回路、演算回路、制御回路を有するコンパクトな気流検知装置とする。 （もっと読む）

【課題】ピッチ系炭素繊維の振動減衰性をさらに向上した搬送用部材を提供する。
【解決手段】高弾性率ピッチ系炭素繊維強化樹脂複合材料（ＣＦＲＰ）層及び該ＣＦＲＰ層を構成するマトリックス樹脂よりも低い引張弾性率を有する柔軟性樹脂層で構成されたＣＦＲＰ製搬送用部材であり、特にピッチ系ＣＦＲＰ層間に前記柔軟性樹脂層が介挿された構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱などの諸要因によって被保持面が変形した被保持体を、より確実に保持した状態で搬送することができる搬送装置、および搬送方法を提供すること。
【解決手段】被保持物の被保持面に対して保持面を当接させて前記被保持物を保持した状態で搬送する搬送アームＡにおいて、該搬送アームＡに、ウエハ吸着孔６が設けられたウエハ支持部２を設けるとともに、該ウエハ支持部２をウエハ支持部２の基端部２ａを中心に所定の幅だけ回動自在に構成した。 （もっと読む）

【課題】先端に吸着物を真空吸着して移送する際に確実に吸着物の滑りや落下がなく、その移送先で吸着面から吸着物を離脱する時間を短縮することができる、移送効率のよい真空吸着ノズルを提供する。
【解決手段】先端に吸着物を真空吸着する吸着面２がセラミックスからなり、吸着面２に吸引孔３を備えた真空吸着ノズルであって、吸着面２の平坦面８に吸着面２の外周から吸引孔３に向かって空気が流れる平均深さが0.5〜30μｍの複数の流路７を有している真空吸着ノズルである。吸着物が小型であっても真空吸着ノズルの吸着面２が確実に吸着物を滑りや落下がなく保持でき、その移送先で吸着面２から吸着物を離脱するときには吸着面２に流路７を有しており空気が流通するようになっているので、吸着物が吸着面２に張り付くこともなく、短時間で吸着物の離脱を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】作業工程のサイクルタイムを削減して作業効率を向上させるとともに、装置の専有面積当たりの生産量の向上をも達成出来る、電子部品の配置装置を提供する。
【解決手段】電子部品を収納部材上の所定の位置に配置する電子部品配置装置であって、電子部品を供給する供給手段１１ａ（ｂ）と、収納部材を保持する収納手段１５ａと、供給手段１１ａ（ｂ）から供給される電子部品を保持し、収納手段に保持される収納部材上の所定の位置まで移動させる２つの移動手段１２ａ（ｂ）と、２つの移動手段１２ａ（ｂ）が互いに所定の距離以内には近づかないように夫々の移動を制御する制御手段１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板を真空吸着したときの載置面の変形を抑え、高精度での基板の研削を可能にするものである。
【解決手段】載置面に基板を吸着保持するための多孔質セラミックスからなる載置部と、基板の外縁部を支持する支持部と、前記載置部及び前記支持部が設置された基台と、を備える真空吸着装置であって、前記基台の少なくとも載置部との接合面が、その略中央が最も高い凸型である。また、基板の真空吸着時における載置面の沈み量の最大値と最小値との差が３μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】ウェーハと一体で操作される保持具を使用する際、簡単な操作にて保持具を保持することができる保持装置を提供する。
【解決手段】保持装置であるチャック１上面にウェーハ４を載せた平板状保持具３を設置した場合、平板状保持具３の端部近傍に設けられた吸引用配管５の吸入口５ａに当接する部分にベローズ６を備え、該ベローズ６はチャック１の上面の端部近傍に設けられた穴１ａの底面にその底面６ａが設置されており、穴１ａの底面からはさらに真空ポンプ（不図示）に連結される配管７ａが設けられ、チャック１の上面の中央には、多孔質アルミナ製の円盤１ｂが、通常のアルミナ製のチャック本体１ｃにはめこまれ、円盤１ｂの底部はチャック１の内部に設けられた中空部１ｄに露出し、中空部１ｄの底部からは円盤１ｂを介して平板状保持具３を真空吸着するための配管７ｂが真空ポンプに連結されている。 （もっと読む）

【課題】製造コストを大幅に低減し、さらに多孔質体からなる載置部と支持部との接合強度を高めて、洗浄時の破損を防止する。また、載置部の多孔質体内に残留した研削屑や脱落砥粒等の汚染物質の十分な除去洗浄を可能とする。
【解決手段】凹部が設けられたセラミックス緻密質焼結体からなる支持部と、セラミックス粉末とガラスから構成された多孔質体の載置部とからなり、前記セラミックス粉末がガラスにより結合されて多孔質体が得られるとともに、前記多孔質体のガラスにより該多孔質体と前記支持部とが接合されて、前記凹部に多孔質体の載置部が形成されてなる真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部との接合界面が実質的に隙間なく一体的に焼成されてなることを特徴とする真空吸着装置。 （もっと読む）

【課題】ピストンに接続された吸着手段がワークを吸着保持する際のワークに加わる衝撃力を極力小さくしたワーク吸着保持方法を提供すること。
【解決手段】ピストンヘッド１２ａの上方の上方空間１５ａと、ピストンヘッド１２ａの下方の下方空間１５ｂと、を有するエアーシリンダ１０を用いたワーク吸着保持方法であって、上方空間１５ａの気圧を大気圧とし、下方空間１５ｂの気圧を大気圧より大きくすることにより、ピストン１２を上昇させた状態から、下方空間１５ｂの気圧を大気圧とし、上方空間１５ａの気圧を所定時間、大気圧より大きくすることにより、ピストン１２の下降を開始させ、所定時間経過後に上方空間１５ａ及び下方空間１５ｂの気圧を大気圧とした状態でピストン１２を下降させて吸着手段１３にワークＷを吸着保持させるワーク吸着保持方法である。 （もっと読む）

【課題】センサ等を使用しなくても、電子部品に対するより小さな荷重管理を可能とし、荷重制御の高精度化を実現可能な保持手段駆動装置、その制御方法及び制御プログラムを提供する。
【解決手段】サーボモータ１８のトルク制御により、駆動部１７を介して操作ロッド１６を高速で下方駆動させ、吸着ノズルを押し下げる。そして、吸着ノズル１１で保持された電子部品３が工程処理部２ａに当接する等して停止し、電子部品３に荷重が加わると吸着ノズル１１を介して操作ロッドの１６の可動接触部１６ａが当該荷重を受け取り、バネ１６ｂにて吸収される（バネ１６ｂは収縮する）。これにより、操作ロッド１６内のロッド１６ｃの位置が下方に移動されるので、制御装置２０は、このロッド１６ｃの位置情報をエンコーダ１９にて取得することで即座にこの可動接触部１６ａを介したバネ１６ｂの収縮を検出し、サーボモータ１８のトルクを制限する。 （もっと読む）

【課題】ロボットに適切な教示を行うことで教示後の実際のロボットの作業中にハンドリング対象となる部品を破損させることのない力表示方法及び力表示装置を提供する。
【解決手段】被操作対象を特定方向の操作量だけ操作し、この操作に伴って被操作対象の受ける反力を操作者にフィードバックさせる教示装置における力表示方法であって、被操作対象の移動方向を規定する各軸に発生する反力を各軸ごとに計測する第１のステップと、各軸に発生して計測した反力の、予め設定された最大許容力に対する割合値を各軸ごとに計算する第２のステップと、計算した割合値をこれに対応する大小関係を表す記号に変換する第３のステップと、変換した記号を表示する第４のステップと、を有している。 （もっと読む）

【課題】電子部品保持手段を介して電子部品に加える荷重を検出するに際し、荷重センサを使用することにより、リアルタイムで当該荷重を検出することが可能な電子部品保持手段の保持手段駆動装置、その制御方法及び制御プログラムを提供する。
【解決手段】駆動ユニット１５は、サーボモータによる送り用の駆動源を備え、この送り用の駆動源のサーボモータの駆動力により操作ロッド１５ａが電子部品のＺ軸方向である上下方向に動作する。この操作ロッド１５ａには、下端部に荷重センサ１５ｅが装着される。この荷重センサ１５ｅは、サーボモータを通じた操作ロッド１５ａの下方移動により吸着ノズル１１と接触することで当該ノズル１１を押し下げる際に操作ロッド１５ａに加わる荷重、すなわち工程処理部２ａに位置決めされる電子部品３に加わる荷重を直接検出する。 （もっと読む）

【課題】ステージ上に格子状に置かれている個片化された電子部品を、効率よくテーブルの上に搬送して千鳥状に配置し、更にテーブルの上から効率よく搬送することである。
【解決手段】個片化された電子部品の搬送装置のテーブルＴＡに、複数の電子部品Ｐのうち市松模様の一の色に相当する位置にある電子部品Ｐを収容する第１の収容部Ｓ１と、市松模様の他の色に相当する位置にある電子部品Ｐを収容する第２の収容部Ｓ２とが、隣接して設けられている。また、テーブルＴＡに２ｐのピッチで千鳥状に収容された複数の電子部品ＰのうちＸ方向に沿う１ライン分（５個）の電子部品Ｐを、一括して吸着して搬送する搬送機構が設けられている。搬送機構には、１ライン分の電子部品Ｐを各々吸着する複数の吸着機構が２ｐのピッチで設けられている。 （もっと読む）

【課題】プレスブレーキへ供給し位置決めするワークを吸着保持する機能のワーク保持手段とワークをクランプする機能のワーク保持手段とを備えたワーク搬送ロボット及びワーク搬入方法を提供する。
【解決手段】ワーク搬送ロボット１にＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動自在に備えたロボットヘッド１５に主回転軸１７を回転自在に備えると共に、当該主回転軸１７の軸心に対して直交する方向のワーク支持面を備えた回転フレーム２３を前記主回転軸１７に一体的に備え、この回転フレーム２３に支持されたワークＷの一辺側を把持自在又は吸着保持自在な第１ワーク保持手段２７を前記回転フレーム２３に備えると共に、前記ワークＷの前記一辺に隣接しかつ前記一辺に交差する方向のワークの他辺側を把持自在又は吸着保持自在の第２ワーク保持手段２９を前記回転フレーム２３に備え、前記第１ワーク保持手段２７又は第２ワーク保持手段２９の一方を、前記ワークの辺に沿う方向であって他方のワーク保持手段に対して接近離反する方向へ移動可能に構成してある。 （もっと読む）