【課題】真空吸着パッドをワークの形状に合う様に傾斜角度を設定できる装置を提供する。
【解決手段】移動盤１上に２つのモータ１０２・２０２を水平面内で直交配置し、第１モータの出力軸に左右に同じ長さの第１アーム１０３を固設し、第２モータの出力軸に左右に同じ長さの第２アーム２０３を固設し、第１アームの両端部に第１リンク１０５ａ，ｂを枢着し、第２アームの両端部に第２リンク２０１を枢着し、真空吸着パッドが載置される定置板３００を備え、定置板を回転自在に支持する支持ビームを定置板の下側に横断状に設け、支持ビームの両端部に第１自在継手１０７ａ，ｂを設け、第１リンクの上端部を該第１自在継手を介して該支持ビームに連結するとともに、定置板の外周縁であって支持ビームと直交する一直線上に突腕部３０７ａ，ｂを突設し、該各突腕部に第２自在継手２０７ａ，ｂを設け、第２リンクの上端部を第２自在継手を介して定置板に連結する。 （もっと読む）

【課題】ロボットによるビンピッキング作業を良好に行うことができながらも、設備全体の大型化を抑制して小型化の要求に応える。
【解決手段】作業台２上に、直角座標型のロボット３、多数個の部品Ｗをばら積み状態に収容する部品供給箱４、カメラ６、仮置き領域８、部品載置位置７ａを有するコンベア装置７を設ける。ロボット３の手首部１６に、水平方向に延びる軸を中心に回動するプレート１７を設け、このプレート１７に、吸着ノズル１９とチャック２０とをＶ字状に開いた形態（角度θが９０〜１３５度）で一体的に有する複合ハンドツール１８を取付ける。制御装置２１は、部品収容箱４内の部品Ｗをカメラ６によって認識し、吸着ノズル１９により１個ずつピックアップして仮置き領域８に仮姿勢とした上で載置し、チャック２０を用いて仮置き領域８の部品Ｗを最終確定姿勢に変換して部品載置位置７ａに載置する。 （もっと読む）

【課題】小さな倣い力で高精度な倣いを実現できる倣い機構を提供する。
【解決手段】摺動保持部２と可動部３との間に、摺動保持部２と摺動部３１の磁力による吸着力と、可動部３の自重及び加圧エアによる静圧とを均衡させることにより静圧空気軸受けを形成する倣い機構１において、可動部３の倣い部３２を、摺動部３１より密度の大きな物質によって構成することにより、可動部３の回転中心Ｃと可動部３の重心Ｇを近づける構成とする。 （もっと読む）

【課題】連結パンタグラフ機構の最大長に合わせて設置していた固定的支持ガイドを省略し、コンパクトなサイズの配列ピッチ変換装置及び配列ピッチ変換方法を提供する。
【解決手段】菱形部材からなるパンタグラフ機構ＰＮＴを複数連結させてなる連結パンタグラフ機構１２ｂにおける各連結ヒンジ部１４に補強棒材を把持するグリッパ１７をそれぞれ取り付け、連結パンタグラフ機構１２ｂを伸縮させることにより、複数の補強棒材における配列ピッチを一括して変換する。連結パンタグラフ機構１２ｂを支持補強する支持部材としての連結パンタグラフ機構１１ａ・１２ａが連結方向に平行に設けられている。連結パンタグラフ機構１１ａ・１２ａは、連結パンタグラフ機構１２ｂの伸縮長さ内において連結パンタグラフ機構１２ｂの伸縮に合わせて一体に伸縮する。 （もっと読む）

【課題】単一の支持部材において必要に応じて正圧吸引と負圧吸引とを切り替えて板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷの一方の面側から当該ウエハＷを吸引支持可能に設けられた支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に設けられた移動手段１２とを備えて構成されている。支持手段１１は、単一のアーム部材１５と、この単一のアーム部材１５に設けられた負圧吸引手段１６及び正圧吸引手段１７とを備えている。負圧吸引手段１６は、気体を吸引することでウエハＷを吸引支持可能に設けられる。正圧吸引手段１７は、ウエハＷの一方の面に気体を噴出することによりウエハＷを吸引支持可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】搬送条件に応じて正圧吸引と負圧吸引との少なくとも一方を使用して板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷを厚さ方向両側から挟み込む位置に設けられた第１及び第２の支持手段１１、１２と、これらの支持手段１１、１２を移動可能に設けられた移動手段１３とを備えて構成されている。第１の支持手段１１は、気体を吸引することでウエハＷを吸引して支持する負圧吸引手段１６を備えている。第２の支持手段１２は、ウエハＷに気体を噴出することで当該ウエハＷを吸引して支持する正圧吸引手段２８を備えている。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において、複数の吸着部材の吸着面高さを容易に一致させて精度よく保持すること、及び被搬送物とは反対の方向に負荷が加えられた場合には容易に十分な変位を生じて負荷の加えられた吸着部材のみを容易に一時的に吸着から離脱可能な吸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の吸着装置は、複数の吸着部材４０を備え、当該吸着部材における吸着面４１に被搬送物２を吸着して保持し、ベース部材２０と、当該ベース部材上に設けられ、且つ上記ベース部材２０に保持される板状保持部材３０とを備え、上記吸着部材４０は、吸着時にかかる圧力に耐える剛性を有し、板状保持部材３０に保持され、その吸着面４１が、ベース部材２０における板状保持部材３０が設けられている側の面とは反対側の面側に位置し、ベース部材２０における板状保持部材３０が設けられている側へ当該板状保持部材３０の弾性変形により変位可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロボットに基づいたサブストレートの大量移送のための改良技術を提供する。
【解決手段】サブストレート取扱いロボット２０は第一アーム２２と第二アーム２６が接続されているアーム駆動機構３４を含む。複数サブストレート・バッチローダー２４が第一アーム２２に接続され、単一面エンド・エフェクタ２８が第二アーム２６に接続されている。複数サブストレート・バッチローダー２４は保持するサブストレート数を示す真空信号を生じる。真空信号インタープリータがサブストレート装荷数に応じて、第一アーム２２の運動を代える。第二アーム２６に接続されている対象物センサー５８は、複数サブストレート・バッチローダー２４に隣接するカセットの中のサブストレート数を査定する。サブストレート装荷順コントローラが、カセットの中のサブストレート数に応じて、アームの運動を制御し、複数サブストレート・バッチローダー２４の完全装荷を促進する。 （もっと読む）

【課題】平面部、段差、凹面、凸面等に対応してワークを把持することができ、ワークへの押付け力を制御することができ、ワークの姿勢を吸着時のままに保持して搬送できるワーク倣い機能付きロボットハンドを提供する。
【解決手段】ワーク１の上面１ａに対し、水平方向に間隔を隔てて配置され、その下面でワークを吸着する複数の吸着部材１２と、各吸着部材をワークの上面に沿って揺動可能に支持するジンバル機構２０と、各吸着部材をワークの上面に向けてそれぞれ付勢し、かつそれぞれの揺動位置で保持する付勢ロック機構３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】三次元集積回路の段数に応じたチップサイズの変化やチップ中心位置のずれに対応することが可能な一括保持トレイを提供する。
【解決手段】一括保持トレイ４６を、第一の吸引経路５５を有する本体部４７と、本体部４７に着脱自在に装着されるアタッチメント４８と、から構成する。アタッチメント４８は、複数のチップ２０を吸着する複数の吸着部５０と、複数の吸着部５０から気体を吸引する第二の吸引経路４９と、を有する。アタッチメント４８を本体部４７に装着するとき、複数の吸着部５０で複数のチップ２０を吸着できるように本体部の４７第一の吸引経路５５がアタッチメント４８の第二の吸引経路４９に繋がる。複数のチップ２０を吸着するアタッチメント４８を本体部４７に対して交換可能にすることで、三次元集積回路の段数毎のチップサイズの変化やチップ中心間ピッチの変化に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】複数のエジェクタ１５をロボットアーム５に搭載した上で、基板Ｗに反り等の変形がある場合でも、ロボットハンド１による保持力を十分に確保して、基板Ｗの移送作業の能率向上を図ること。
【解決手段】ハンド本体７に基板Ｗの裏面を吸着可能な複数の吸着パッド１３が設けられ、各吸着パッド１３がエジェクタ１５に接続され、ハンド本体７における各吸着パッド１３の周縁部に基板Ｗの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔２７が形成され、各吸込孔２７が空気を吸い込む送風器２５に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】フィルム密封ワークを対象とし、あらかじめフィルムの吸着部に穴や切り込みを設けておく必要がなく、別個に切り込み用の装置が不要であり、ばら積みの場合でも、ワークの姿勢にかかわらず把持ができるフィルム密封ワーク用の真空吸着ハンドと真空吸着方法を提供する。
【解決手段】搬送ロボット２のハンド取付部２ａに取り付けられフィルム密封ワーク１の外面を真空吸着する真空吸着カップ１２と、真空吸着カップ１２により吸着されたフィルム密封ワーク１のフィルム１ａに穿孔するフィルム穿孔装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗの重量、ロボットハンド１の加減速が大きくなっても、基板Ｗに傷が発生することを十分に抑えつつ、基板Ｗを移送すること。
【解決手段】ハンド本体７に基板Ｗの裏面当接可能な複数の当接ピン１３が設けられ、ハンド本体７における各当接ピン１３の周縁部に基板Ｗの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔２１が形成され、各吸込孔２１が空気を吸い込む送風器１９に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】構造が単純で、重量、サイズが小さく、様々な形状のワークに適用できるフレキシブル吸着ハンドとフレキシブル吸着方法を提供する。
【解決手段】搬送ロボットのハンド取付部１１に取付けられワークの外面に沿って変形可能なフレキシブル支持部材１３と、フレキシブル支持部材１３に互いに間隔を隔てて取付けられワークを真空吸着する複数の真空吸着パッド１４と、各真空吸着パッド１４に連通されその内部を減圧しワーク１の外面に沿って変形可能な真空減圧チューブ１５と、各真空吸着パッド１４又は各真空減圧チューブ１５に取付けられた複数の落下防止弁１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品の被吸着面が傾いていても、電子部品を確実に真空吸着でき、圧力分布が均一になるように電子部品を押圧できる電子部品移送装置用吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】（ａ）電子部品移送装置に固定される固定部１２と、（ｂ）固定部１２に保持され、固定部１２から突出する先端部２０と、（ｃ）第１部材３０と、（ｄ）第２部材４０とを備える。第２部材４０は、先端部２０及び第１部材３０よりも突出する先端面４２ｓに、電子部品を真空吸着するための吸着孔４８が形成されている。第２部材４０は、先端面４２ｓと平行な第１軸３４を中心に揺動自在に第１部材３０に支持される。第１部材３０は、第２部材４０の先端面４２ｓと平行かつ第１軸３４と交差する第２軸２４を中心に揺動自在に固定部２０に支持される。 （もっと読む）

【課題】薄板状ワークを吸着し、搬送するに際し、ウエハを搬送し、所望位置に載置するまでの過程で別途のデバイスに受け渡す受渡し工程を不要とでき、しかも、ウエハにダメージを与えない、産業用の搬送機械に取り付けられる、ワーク搬送用機器と、このワーク搬送用機器が取付けられた産業用の搬送機械を使用するワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ワーク搬送用機器１０は、薄板状ワークＷを吸着する吸引孔２ａを具備する２以上の把持部材２，…と、２以上の把持部材２，…を一体に固定する本体部材１と、を少なくとも有し、把持部材２のうち、少なくとも吸引孔２ａの開設された領域は本体部材１の側端から張り出して張り出し箇所２’を形成しており、本体部材１のうち、吸着される薄板状ワークＷ側の側面には撓み防止部材１４が配されて張り出し箇所２’を支持しており、少なくとも、該張り出し箇所２’が薄板状ワークＷ側へ撓むのを抑止している。 （もっと読む）

【課題】孔を有する板状のワークを吸着保持することのできる吸着ノズルを提供すること。
【解決手段】本発明の吸着ノズルは、ワークを吸引する吸引面２に互いに離間するように形成された少なくとも二つの負圧吸引用の主開口部３を有する吸着部４と、この主開口部３に連通し、負圧源に接続される管路５を有する吸引本体６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドを所定の真空度にする時間を短縮することができる吸着装置及びワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク搬送装置１は、搬送対象物であるワークｗの表面に配置される吸着パッド２１を真空ポンプ２２により真空引きしてワークｗを把持する吸着装置２と、吸着パッド２１を支持するクロスバー３１とクロスバー３１を移動させる駆動アーム３２と駆動アーム３２を移動可能に支持する支持部材３３とを有する構造部材３と、を備えており、前記吸着装置２は、支持部材３３に形成された真空タンク４と、真空タンク４と吸着パッド２１との間に配置された第一吸気流路５と、第一吸気流路５に配置された電磁弁６と、真空タンク４と真空ポンプ２２との間に配置された第二吸気流路７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】可動ロッドを支持体内で該ロッドがとる各位置で正確にガイド及び摺動させ、その結果捻られず、自滅的な固着作用を発生しない空圧式把持部材用の支持装置を提供すること。
【解決手段】本装置には、固定支持体（支持体）と、該支持体の軸方向に移動する管状ロッド１２と、上記支持体とロッドとの間の戻りバネ１３と、を備える。管状ロッド１２と固定支持体（支持体）の遠位端部との間には、上記ロッドが固定支持体の長手方向で移動中に、該固定支持体に対する該ロッドの捻れ／回転を防止するために設ける、幾つかのガイド手段１４を介在させる。 （もっと読む）

【課題】板状のワークを搬送する際に、その吸着面に凹凸があった場合でも、その凹凸を吸収し、かつワークの湾曲または偏角にも対応して吸着することのできる真空パッドを提供する。
【解決手段】蛇腹状のスカート部２の一端部２ｃに、このスカート部２内を真空にする真空装置からのパイプ９が接続された基部１が気密的に設けられ、蛇腹状のスカート部２内の大径部２ａに、少なくとも一つ以上の貫通穴３ｂが形成された円板状の固定板３が設けられ、蛇腹状のスカート部２の大径部２ａからなる他端部２ｄに、他端部２ｄと当接するとともに、少なくとも一つ以上の貫通穴４ｃが形成された軟質ゴムよりなる円板状のエッジホルダ４が設けられ、エッジホルダ４と固定板３とが一体的に形成されるとともに、エッジホルダ４の外装面４ａには、エッジホルダ４よりも軟らかい軟質ゴムより形成されて平面上のワークの板面に当接する環状のエッジ部５が気密的に設けられている。 （もっと読む）