【課題】板状部材の一方側の面に凸部および凹部が形成された場合でも適切に保持することができる板状部材の支持装置および支持方法を提供すること。
【解決手段】ウェハＷの外縁に沿った環状の枠体５を備えて保持手段３が構成され、凸部ＷＢ表面に対向する吸引口７から空気を吸入することによって、ウェハＷの凹部ＷＣに吸引力を作用させることなくウェハＷを吸引保持することができ、ウェハＷに作用するストレスを低減させつつウェハＷを適切に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材の撓みを抑制できる支持装置および支持方法ならびに搬送装置および搬送方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＭＳが貼付された板状部材Ｗの搬送装置１は、接着シートＭＳを介して板状部材Ｗを保持する保持手段２と、保持手段２で保持された板状部材Ｗを付勢して板状部材Ｗの面位置を所定位置に維持する面位置維持手段６と、保持手段２を移動させる移動手段３とを備え、面位置維持手段６は、板状部材Ｗを一方側に付勢するかまたは他方側に付勢することで、板状部材Ｗの支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材Ｗの面位置を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハのデバイスが形成された面または形成される面に吸着痕や損傷を生じさせることなくウェハを搬送することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド３０の内部には、段差部２４に設けられた吸着孔３２と、複数の通気用の孔３１，３３とが設けられている。段差部２４は、リブウェハ１０のデバイス面２と重ならない位置に設けられている。第１通気用の孔３１は、吸着孔３２に接続されている。各第１通気用の孔３１同士は互いに独立している。各第１通気用の孔３１には、異なる第２通気用の孔３３が接続されている。各第２通気用の孔３３は、それぞれ異なる配管２５を介して真空発生源２６に連結されている。つまり、複数の吸着孔３２に対する真空系統が互いに独立して設けられている。リブウェハ１０の吸着状態は、搬送ハンド３０の内部に流れる空気の流速に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】幅広い範囲の流量領域において、高い精度で判定を行う。
【解決手段】発熱素子および発熱素子の両側に設けられる一対の温度検出素子を有する流量センサの出力を用いて空気の流量を算出する流量算出部１３１と、流量センサの出力を増幅することで、空気の流量に対する出力電圧の変化の度合いを拡大させる増幅部１３２と、増幅部１３２による増幅率を変更する増幅率変更回路と、増幅部１３２の基準電圧をシフトすることで、空気の流量に対する出力電圧により表される出力特性をシフトさせる出力シフト回路と、増幅率変更回路をオン／オフする第１のスイッチと、出力シフト回路をオン／オフする第２のスイッチと、外部からの信号に応じて第１のスイッチおよび第２のスイッチのオン／オフをそれぞれ制御するスイッチ制御部１３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類に関わらずワークを精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】同心円周上に所定ピッチで複数個の貫通孔が形成さえた、保持面から僅かに突出したパッド７７を先端のＵ形の保持アーム３４に、さらに所定ピッチで複数個有し、当該パッド７７から保護シートに向けて圧縮空気を吹き付けて保持アーム３４の保持面と保護シートとの間に負圧を発生させて保護シートを浮遊させた状態で懸垂保持し、あるいは当該パッド７７で表面の回路の露出したウエハの裏面を吸着保持してそれぞれを搬送する。 （もっと読む）

【課題】吸盤を用いてワークを把持する吸着パッドを用いて把持を行う際に、吸着力の不足により把持が不完全な状態になることや把持ができても移動する際に落下することを防止する。
【解決手段】ワークを把持する吸着パットであって、ワークの一方向に位置する固定部材１１と、固定部材１１のワークに対向する面に密着して取り付けられた中央に減圧空間１７を有する形状自在パッド１２と、減圧空間１７内の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる減圧装置と、を備える。さらに、形状自在パッド１２は、ワークの固定部材１１に対向する面に対して押し付ける押付力によりワークの表面形状をならうようになっている。 （もっと読む）

【課題】 従来、工場等の製造現場で、品物、ワークの物を、確実、かつ安定的に挾持、搬送できる機具として、万能チャックがある。万能チャックは、大小の物を、挾持、搬送する手段として活用されている。しかし、異形、歪等の如く、特殊な形状の物を、挾持、搬送する手段として、希望する器具がないのが現況である。
【解決手段】 作業機械のアームに取付ける本体に、対で枢支した第一アームと、第一アームを駆動するモータと、第二アームとを駆動するモータと、第三アームを駆動するモータと、垂下杆と、垂下杆の先端に設けた挾持具で構成した万能チャックで、第一〜第三アームを、本体と、第一アーム、第二アームに移動可能に構成し、第一〜第三アームの移動を、本体と、第一アーム、第二アームに設けたモータと、モータの駆動で回転する移動機構とする万能チャックである。 （もっと読む）

【課題】多孔質体の塑性変形を抑制することのできる吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着装置１は、吸着面２ａに接着層を介して貼着された、樹脂からなる多孔質体３と、吸着面２ａよりも当該吸着面２ａが面する方向に突出するストッパー４と、を備えている。ストッパー４の吸着面２ａからの高さは、接着層および多孔質体３で規定される厚さと対象物５の厚さの合計以下、接着層および多孔質体３で規定される厚さの７０％以上である。この構成によれば、多孔質体３の変形がストッパー４によって規制されるため、多孔質体３にかかる圧力を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】被搬送物Ｗの搬送中に、ロボットハンド９による被搬送物Ｗの保持状態を安定させて、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体１１に複数の吸着パッド１９が設けられ、ハンド本体１１に複数のロッド状の支持脚２１が吸着パッド１９の軸心方向に平行な方向へ移動可能に設けられ、各支持脚２１は先端側に被搬送物Ｗの表面に接触可能な接触部２１ｆを有し、各支持脚２１は、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させると、コイルバネ２９の付勢力に抗して基端方向へ移動するように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】ワークにそりや局部的な変形を発生させない吸着装置を提供する。
【解決手段】ワーク５を吸着する吸着装置２０であって、吸着板２１と、吸着板２１に設けられワーク５の外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部２２と、多孔質吸着部２２に連通された負圧発生部２５と、を備えている。このため、ワーク５を吸着する部分がワーク５の外形付近であり、吸着する面積が広いためワーク５にそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワーク５に不要な応力をかかることがなく、ワーク５の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡易で、回転板の微小変位に対応可能な、回転板位置調整装置及び方法を提供する。
【解決手段】吸着搬送装置５１と認識カメラ７と制御装置１０とを備えた回転板位置調整装置５０において、上記吸着搬送装置に備わり回転板２の吸着動作を行う吸着ヘッド１は、ヘッド本体１０１と、上記回転板を吸着する金属製の吸着パッド１０２と、上記ヘッド本体と上記吸着パッドとを接合し、かつ上記回転板の姿勢に上記吸着パッドが倣うように変形する接着部１０３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】負圧源の能力を必要以上に大きくすることなく、かつ、段取り工程を設けることなく、大きさの異なるワークを吸着して保持することができるワーク保持装置を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置は、内部に中空部３３ｂが形成された箱状で、ワークＷとの当接面３３ｓと中空部３３ｂと連通する複数の貫通穴５０を有する。各貫通穴５０の軸方向の中間に、直径が貫通穴５０の直径よりも大径の洞部５１を設け、洞部５１に洞部５１の直径よりも小径かつ貫通穴５０の直径よりも大径のボール５２を配置する。 （もっと読む）

【課題】真空度付与装置において高い真空度から低い真空度への切替を速やかに行うことを可能とする真空度切替方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを吸着または離脱させる吸引チャック７に接続されている流路部分８を高い真空度の第１の負圧にある状態から相対的に低い真空度に低圧化するに際し、第２の負圧制御装置４に流路部分８を接続した直後に、オン・オフをわずかな期間オフ状態として、流路部分８に外気を導入し、次に、オン・オフバルブ６をオン状態として、第２の負圧制御装置４から吸引チャック７に至る流路部分の低圧化を果し、しかる後、オン・オフバルブ６をオフ状態としてワークＷを離脱させる、真空度切替方法。 （もっと読む）

【課題】被搬送物Ｗがロボットハンド９から落下することを回避して、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体１１に設けられかつ真空圧を利用して被搬送物を吸着する複数のベローズ型吸着パッド１９と、吸着状態における各ベローズ型吸着パッド１９の軸長を測定する軸長センサ２９と、各軸長センサ２９から測定された各ベローズ型吸着パット１９の軸長に基づいて、搬送中における被搬送物Ｗの姿勢を判定するコントローラ３１と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源８から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ１０により検出し、検出された圧力値Ｐと、予め記憶されている目標負圧Ｐ_０とが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Ｆ_０を第１の制御装置１３で求め、第２の制御装置１４が、目標気体流量Ｆ_０に基づいて流量コントローラ９による流量を目標気体流量Ｆ_０とし、かつ負圧発生装置２に現に供給されている気体流量を流量センサ１１で検出し、第２の制御装置１４において、検出された気体流量Ｆと目標気体流量Ｆ_０とを比較し、気体流量Ｆが気体流量Ｆ_０となるように流量コントローラ９の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】先端部に作業ツールが装着されるアーム機構を大型化させることなくアーム機構を姿勢変更させることのできるアーム駆動機構及びこれを備えたマニピュレータを提供する。
【解決手段】アーム駆動機構は、一対の回転体と、両回転体に掛け渡される無端環状体と、駆動モータにより回転されるスクリューシャフトと、スクリューシャフトに螺合され、無端環状体の一部が固着されたスライダとを備え、他方の回転体が一方の回転体よりも小径に設定され、無端環状体の回転体間にある二つの対向部のうちの一方の外周側が巻き掛けられて他方の回転体側にある対向部を平行にするアイドラを備え、スクリューシャフトが一方の対向部の外周側と対向するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】薄板材料の吸着に際しての空気漏れをなくすとともに薄板材料の取り外しを容易にする。
【解決手段】重ね合わせた一方のプレート３及び他方のプレート２の各々が対向することで形成された吸気通路５３内の空気を吸気孔４３より吸引すると、薄板材料１０の外縁部１０ａが先端側に形成された吸引部５内の、案内部５１に案内されて、案内部５１に連続する吸着部５２に進入し、他方のプレート２の壁面２３１が薄板材料１０の外縁部１０ａに対向し、他方のプレート２の吸着面２２が薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接し、他方のプレート２の通路面２４の終端にある第二段部（平面部）２６の縁部２６１を支点として、一方のプレート３が他方のプレート２側へ撓み、一方のプレート３の吸着面３２が薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１に当接することで薄板材料１０を吸着して保持する、薄板材料の吸着装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】把持体を回転させるための駆動源を定位置に設置することができ、被把持物配置予定位置周りで把持体を無制限に回転させることのできるロボットハンドを提供する。
【解決手段】把持体６１を移動させる第一駆動部６２と、把持体を回転させる第二駆動部６３とを備え、第一駆動部は、スライドシャフト６４と、駆動源の出力でスライドシャフトを軸線方向に往復動させるスライド手段６５と、先端部に把持体が連結された回転レバー６６と、回転レバーを回転可能に支持し、所定位置に位置した状態でスライドシャフトの一端部周りで回転自在に設けられた支持体６７とを備え、第二駆動部は、駆動源の出力を支持体に伝達し、支持体をスライドシャフト周りで回転させる伝達機構とを備え、スライドシャフトは、支持体に支持された回転レバーの基端部を収容する無端円環状の溝が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ベローズ型吸着パッド１９による吸着状態の安定化を図りつつ、ベローズ型吸着パッド１９の吸着力を向上させること。
【解決手段】パッド本体２７にベローズ３１が一体形成され、ベローズ３１は、径方向外側へ突出した複数の山部３３と径方向内側に窪んだ複数の谷部３５を交互に有し、パッド本体２７の軸心方向へ伸縮可能であって、ベローズ３１の内部がパッド本体２７の接続孔２９に連通し、ベローズ３１の各山部３３の内側にワッシャ３９が密着して配設されたこと。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの搬送ハンドを小型、軽量化し、さらに１つのハンドで異なるウェーハ口径でも、ウェーハの撓みや位置ずれを生じさせない最適な吸着位置を選択してウェーハを保持し、ウェーハを目的位置に搬送することができるハンドを提供する。
【解決手段】ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面がウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも１つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられている構成とした。 （もっと読む）