【課題】アームの制御性低下を効果的に抑制するとともに、吸着ＯＮ・ＯＦＦ状態の切替応答性が向上するリンク式ロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームの先端側に配置され且つ吸着用エア供給口Ｃ３を有するエンドエフェクタＣによって搬送対象物を吸着保持可能なリンク式ロボットアーム装置Ｘとして、アーム１の内部に設けたエア管４を介して吸着用エア供給口Ｃ３に接続され、吸着用エア供給口Ｃ３に吸着用エアを供給可能な状態と、吸着用エア供給口Ｃ３への吸着用エア供給を停止する状態との間で切替可能な吸着切替ユニット３を備え、この吸着切替ユニット３を、アーム１のうちアーム長１Ｌの半分１Ｃよりもシータ軸Ｊ３に近い位置に設けた。 （もっと読む）

【課題】ワークへの塵埃の付着を低減し吸着パッドから容易にワークを開放させる技術を提供する。
【解決手段】 吸着機構と押圧機構とを支持する支持部と、吸着機構に設けられ、ワークに当接するパッドと、吸引装置と接続されると共にパッドに設けられ吸引装置によりパッド内のエアを吸引させパッドにワークを吸着させる吸着用吸引路と、押圧機構に設けられ支持部に取り付けられたシリンダの内壁面に沿って摺動可能でありパッドに吸着されたワークを押圧しパッドからワークを取り外すピストンと、ピストンと支持部の間に設けられ弾性力によりピストンを押圧しパッドに吸着されたワークをピストンに押圧させる弾性体と、支持部に設けられると共に吸引装置と接続され吸引装置により弾性力に抗してピストンを吸引して弾性体を収縮させピストン先端をパッドに吸着されたワークから離間させる離間用吸引路とを備えた。 （もっと読む）

【課題】凸部が設けられた半導体ウエハ等の板状部材を支持して搬送する際に、当該支持の安定化を図ることができ、凸部に接触する接触面を当該凸部から簡単に切り離すことができるようにすること。
【解決手段】凸部Ｗ１が設けられた半導体ウエハＷの支持装置１２であり、当該装置は、凸部Ｗ１の先端に接触可能な接触体２６と、半導体ウエハＷに吸引力を付与する吸引手段３０とを含む。接触体２６は、接触面２６Ａ側に貫通する吸引口４０を備えた自粘性を有する材料によって構成されている。接触体２６を無負荷状態で断面視したときに、接触面２６Ａは、吸引口４０に向かって先細となる形状をなす。接触面２６Ａは、半導体ウエハＷを支持したときに、凸部Ｗ１の先端面形状に合わせて変形可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】弾性材料からなる吸着パッドにおける吸引口の位置精度を高め得る吸着装置および搬送装置を提供する。
【解決手段】吸着装置２０には、金属製のホルダ３０と、炭素を含む導電性のゴム等の弾性材料からなる４つの吸着パッド４０ａ〜４０ｄと、各吸着パッド４０ａ〜４０ｄを対応する吸引部３３ａ〜３３ｄに対して押圧した状態でホルダ３０に固定される金属製の固定治具５０とが設けられており、この固定治具５０には、各吸着パッド４０ａ〜４０ｄの吸引口４４が露出する開口が形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を基板に接合する際に、必要な低酸素濃度の環境を効率よく形成して、好適に接合を行うことを可能にする半導体保持装置及びこれを備えた半導体接合装置を提供する。
【解決手段】半導体素子１を保持する保持部３と、この保持部３の周囲に設けられるとともに下方に向かうに従い漸次保持部３の内側に傾斜する傾斜面４ａを有するフード４と、このフード４の保持部３の内側を向く傾斜面４ａに向けて不活性ガス５を吹き出す吹き出し孔６とを備えて半導体保持装置Ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】シートの特性によらずに広く適用でき、シートの重搬送を抑制することができるシート取出装置の提供。
【解決手段】シートＳを重ねて複数枚収容する収容部２からシートＳを取り出すシート取出装置１であって、収容部２には、シートＳが、その直下のシートＳに支持される支持部ｓ１と、その直下のシートＳに支持されない非支持部ｓ２とを有するようにして重ねて収容されており、少なくとも非支持部ｓ２を保持して上記取り出しを行うハンド装置３を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】ワークの変形を抑制してワークを安定して保持することが可能なワーク保持装置を提供する。
【解決手段】シート状のワークＷを保持するワーク保持装置１であって、ワークＷの一端を固定する固定手段１０と、ワークＷの一端を除いた端部に配置されるとともに、ワークＷの面に平行かつワークＷに対して外向きの張力を発生させる張力発生手段２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄物のワークの局所変形を抑制しつつ、ワークを取り出す際の撓みを許容できる真空吸着装置の提供。
【解決手段】吸着面１０ａを有する多孔質体１０と、吸着面１０ａの周囲を気密に閉塞して多孔質体１０を保持するホルダ２０と、吸着面１０ａから吸引を行う吸引装置３０と、ホルダ２０を支持し、吸着面１０ａの水平面に対する傾きを変位自在とするベローズ管４０と、を有する真空吸着装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができ、かつ、半導体ウエハを平らに矯正することができる真空ピンセット。
【解決手段】本体２と、本体２の端部に設けられた支持部３と、一端が支持部３に接続され、他端に吸着部５を備えた複数の先端部材４と、を少なくとも備え、先端部材４と支持部３と本体部２の内部に吸引流路１０ａ〜１０ｃが設けられた、反りを有する平板状の被処理体用Ｗの真空ピンセット１Ａであって、複数の先端部材４は、反りの形状に合わせるように、及び、反りを矯正するように、支持部３に対して可動であることを特徴とする真空ピンセット１Ａ。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の静電破壊の低減化を図る。
【解決手段】吸着パッド１２における支持部１２ｃの肉厚が吸着部１２ａの肉厚より薄く、かつ支持部１２ｃが屈曲可能に形成されていることにより、吸着パッド１２によってＩＣ１３を真空吸着した際に、支持部１２ｃが屈曲することで、ＩＣ１３と接触する吸着部１２ａの滑りを抑えてＩＣ１３の表面と吸着部１２ａとの間で起こる摩擦を低減することができ、ＩＣ１３の表面での帯電を少なくすることができる。その結果、ＩＣ１３の静電気放電による破壊を低減できる。 （もっと読む）

【課題】板状体の大きさや形状に簡単に対応させることができ、しかも、スルーホールを有する板状体であっても確実に吸着させる。
【解決手段】板状体４を吸着させてピックアップするピックアップ装置を構成する際、表面に複数の吸着口２４を有する第一の吸着ユニット２１と、第一の吸着ユニット２１の左右に設けられ、表面に複数の吸着口２４を有する複数の第二の吸着ユニット２２と、第二の吸着ユニット２２をスライドレール３１に沿って離間させるためのリードスクリュー３２を備えるようにする。そして、リードスクリュー３２のネジ山を、第一の吸着ユニット２１に対してそれぞれ逆方向に設定し、リードスクリュー３２をモーター３３で回転させることによって、第二の吸着ユニット２２を同時に離間させる。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、本体２の端部に設けられ、平坦部を有する先端部３と、先端部３の平坦部３ａに設けられた複数の突部４と、を備え、突部４のうち少なくとも１つが、可撓性を有する材料からなる吸着部４であることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ハンドの着脱が簡単で、耐久性に優れたワーク搬送装置におけるハンド着脱機構を提供する。
【解決手段】ロボット先端部に、ハンド装脱着用の前後スライド溝２１を設けたホルダイケール２０を固定し、ホルダイケール２０に内蔵した流体圧シリンダの駆動で、摺動ピストンが前後スライド溝２１に挿入したハンドユニット４０の基端部を押圧固定するワーク搬送装置におけるハンド着脱機構であって、先端係合用のＶ字ブロック２４と、摺動ピストンに一体化したロックピン２８とを前後スライド溝２１内に前後に離間して設け、ハンド基端部の挿入端側にスリット４４を設けて二股状端部４３を構成し、二股の付け根側上面にロックピン２８の先端のすり鉢状ブロック２９と係合するテーパ状係合部４５を設けた。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、この本体２の端部に設けられ、複数の吸着面４〜６を有する吸着部３と、吸着面４〜６毎に少なくとも一つ設けられ、被処理体を吸着する吸着孔７と、を備え、少なくとも一つの吸着面は、一辺に屈曲部１１を有し、被処理体に対して吸着孔７が接近又は離間するように、屈曲部１１を中心に回動可能に構成されていることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 照明装置を追加することなく、アライメント用カメラでワーク端部を明瞭に観察できるワーク端部検出機構及び該ワーク端部検出機構を利用したワーク搬送機構を提供する。
【解決手段】 一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記閉塞部材の下面側に、前記開口部から入射した光を反射するための光反射手段が設けられており、かつ、前記胴部材の開口部側の内径（φ１）よりも、前記閉塞部材側の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク端部検出機構。前記胴部材の内部に空気吸引口を穿設し、胴部材の上部に真空吸着ヘッドを配設することによりワーク端部検出と共に真空吸着によるワーク搬送も可能になる。 （もっと読む）

【課題】吸着状態の誤判断を防ぐことができる吸着装置、当該吸着装置を備えた気相成長装置、および吸着方法を提供すること。
【解決手段】本発明では、吸着部１６を構成する各吸着パッド（図示せず）には、流量センサ６６が接続されており、個々の流量センサ６６は、各吸着パッドとポンプ８２との間の空気の流量を測定する。また、全体用流量センサ６２は、吸着部１６とポンプ８２との間の空気の流量を測定する。制御部５４では、個々の流量センサ６６および全体用流量センサ６２の測定値に応じて、流量センサ６６の測定値の閾値を変更する。変更した閾値に基づいて、吸着部１６の吸着状態の判定を再度行うことによって、実際には基板トレイ３２を吸着しているにも拘らず、基板トレイ３２を吸着していないと誤判断されてしまうのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】搬送中のワークの落下や位置ずれを防止しつつワークの高速な搬送を可能にするカバー付きロボットハンドを提供する。
【解決手段】搬送されるワーク１３を把持するカバー付きロボットハンド１２が、ロボットアーム１１の先端に取り付けられる基部１４と、基部１４に配置され且つワーク１３を把持する把持部１５と、基部１４に配置されたカバー１６と、把持部１５に対するカバー１６の相対位置を変更するカバー位置変更部１６ｄとを具備し、カバー位置変更部１６ｄが、カバー１６の相対位置を、ワーク１３の搬送中にワーク１３の一部を包囲する保護位置と、ワーク１３を把持又は解放する際にワーク１３の把持又は解放を阻害しない開放位置との間で変更する。 （もっと読む）

【課題】積層された多数枚の太陽電池セルのうちの最上層の太陽電池セルのみを破損することなく確実に取り出すとともに、寸法精度を確保して移送する。
【解決手段】水平な下面を有するフラットテーブル４を備え、最上層の太陽電池セルを吸着する位置と上方に退避した位置との間を昇降自在で、太陽電池セルの退避位置と移送位置との間を移送自在なベース３と、フラットテーブル４の幅方向中央を貫通してベース３に対して昇降自在な吸着パッド７と、フラットテーブル４の四隅をそれぞれ貫通するとともに、下端面がフラットテーブル４の下面よりも下方に突出して設けられた規正パッド８とから構成される。そして、吸着パッド７を介して太陽電池セルの幅方向中央部を吸着してフラットテーブル４の下面に接触するように持ち上げるとともに、規正パッド８を介して太陽電池セルの四隅を吸着してフラットテーブル４の下面に沿わせる （もっと読む）

【課題】ワークのクリップ等への嵌め込みや挿入において、位置決め誤差、ワーク誤差を吸収し、クリップ力に負けず確実に嵌め込むことができる移載ハンドを提供する。
【解決手段】ワークをターゲットに嵌め込む移載ハンド１００において、前記ワークを保持する保持部１と前記保持部を移動可能な状態で支持するガイド部３と前記保持部を移動可能方向に加圧する加圧バネ３ｂと前記ガイド部を回転可能な状態で支持する回転支持部４を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができる電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】吸着ノズル２６を着脱自在に保持するノズル保持部２５に、吸着ノズル２６に設けられた被クランプ部２６ｆをクランプする複数のクランプアーム３２およびこれらのクランプアーム３２をクランプ方向に付勢する環状バネ部材３３よりなるクランプ機構と、吸着ノズル２６と連通する吸引開口部２５ｂを真空吸引することによって発生する真空圧によりピストン２９を内側方向に駆動して、補助アーム２７をクランプアーム３２に対して当接させて押圧力を作用させ、クランプ機構による吸着ノズル２６の保持力を補強する保持力補強機構を備える。 （もっと読む）