【課題】ワークの強度の低下を抑えることができ、ワークを健全な状態なまま搬送先に搬送することができる吸着式の搬送装置を提供する。
【解決手段】負圧吸着作用でウェーハ１を吸着する多孔質材からなる吸着パッド１１０をフッ素樹脂製とする。 （もっと読む）

【課題】レンズの自動生産工程において有効なレンズの移送手段を開発することを課題とするものであり、水和状態のレンズを移送するに際してこれに損傷を与えないこと、目的とする位置へ確実に移送することができるとともに、迅速な脱離を行うことのできる移送用プローブを提供すること。並びに前記移送用プローブを用いてレンズを移送する方法を提案すること。
【解決手段】レンズを第一の位置から第二の位置へ移送するプローブであって、プローブの先端がレンズの形状に対応した径と形状を有し、前記先端には負圧によりレンズを吸引する孔を備えるとともに、レンズの脱離時にプローブ先端が分割されて該プローブの一部が前進または後退することによって、レンズとプローブとの接触面積が移送時の８０％以下になることを特徴とするレンズ移送用プローブ。 （もっと読む）

【課題】真空手段の作動及び停止を行なうための圧力設定を成形品毎に行なうことなく、簡単な制御で真空手段によるエネルギー消費量を軽減するとともに、成形品の落下を防止する真空吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着部材に真空圧を作用させる真空手段と、真空手段と吸着部材との連通又は連通の遮断を行なう圧力保持弁と、配管を介して吸着部材内の圧力を検出する圧力検出器と、真空手段及び圧力保持弁の作動を制御する制御手段とを備える。制御手段は、圧力保持弁を開き、真空手段を作動させて、吸着部材によりワークを吸着しているときに、圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となった場合には、圧力保持弁を閉じ、真空手段の作動を停止させ、その後、圧力検出器で検出した圧力が一定幅低下した場合には、圧力保持弁を開き、真空手段を作動させる制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】被吸着面に凹部が形成された吸着対象部品を吸着ノズルで安定して保持すること。
【解決手段】吸着ノズル１は、吸着面と、吸引孔４が設けられた吸着部３を備えている。吸着部３の吸着面は、吸着対象部品（ＦＰＣ用コネクタ）３０の挿入用凹部３４が形成された被吸着面３３に、挿入用凹部３４を横切るようにして接触する。一方、吸引孔４は、吸着部３の吸着面に開口されており、吸着対象部品３０の被吸着面３３に対向する。したがって、吸着ノズル１の吸着面と吸着対象部品３０の被吸着面３３との接触面積を十分に確保することができる。 （もっと読む）

【課題】真空吸着ノズルとフランジの受け部とを強固に接着できるとともに、真空吸着ノズルが帯電して塵埃等が付着して電子部品が汚染したり、真空吸着する電子部品を吹き飛ばしたり、電子部品が静電破壊したりするのを防止できる真空吸着ノズル組み立て体を提供する。
【解決手段】先端に吸着物を真空吸着する吸着面２を備えた半導電性セラミックスからなる真空吸着ノズル１の後端６が導電性または半導電性のフランジ１０の受け部１１に接着されており、金属部材１０１を介して後端６と受け部１１とを接着させた真空吸着ノズル組み立て体７を用いることにより、真空吸着ノズル１が静電気を帯電し、塵埃等が付着することによる電子部品の汚染や静電破壊や吹き飛びを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】横方向のリークを抑制することができ、しかも対象物に吸着痕が付き難くすることが可能な吸着用シートを提供する。
【解決手段】吸着用シート１は、対象物を真空吸着する吸着装置４の吸着面４ａに取り付けられるものであり、基板２と、多孔質体３とを備える。基板２は、一方面２ａおよび他方面２ｂを有し、一方面２ａが吸着面４ａに接触させられる。また、基板２には、複数の貫通孔２１が設けられている。多孔質体３は、１．４ｍｍ以下の厚さを有し、基板２の他方面２ｂに貫通孔２１を塞ぐように貼着されている。 （もっと読む）

【課題】真空発生装置からのエアー配管を不要にし、エアー消費量を低減し、消費電力の低減に寄与できる保持装置を提供すること。
【解決手段】電動モータ３１を回転駆動してスクリュー部材２１を所定方向へ回転させて吸着パッド２３内の空気を吸引して他方端部の通気孔１９ｃから排気することにより吸着パッド内を真空形成してワークを吸着して保持する一方、電動モータを上記と逆方向へ回転駆動してスクリュー部材を上記と逆方向へ回転させて他方端部の通気孔から流入する空気を圧縮して一方端部の通気孔を介して吸着パッド内に供給することにより真空破壊してワークの吸着を解除する。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドによって吸着したシート材の変形や歪みにより、２枚目以降のシート材まで同時に吸着してしまったり、シート材が破損してしまったりすることがある。
【解決手段】吸着パッド１０は、パッド基部１１と、外側に円錐状に拡がったパッド先端部１２とからなり、吸着パッド１０の中央内部には吸着口１６へ向かって突出する分離ロッド１３を設ける。そして、吸着パッド１０がシート材４０を吸着する場合は、真空ポンプ機構から通気孔１５を介して空気の吸引を行う。 （もっと読む）

【課題】セラミック容器に対する部品の溶接等が容易にできる部品の吸着ノズル等を提供する
【解決手段】複数の吸着ノズル１００は、少なくとも第１ノズル構成板１０１と、第１ノズル構成板１０１と対向するように当接する第２ノズル構成板１０２と、を備えるようにし、第１ノズル構成板１０１は、第２ノズル構成板１０２と当接する面に、第１負圧発生溝１１３ａを備え、第２ノズル構成板１０２は、第１ノズル構成板１０１と当接する面に、第２負圧発生溝１１３ｂを備え、第１負圧発生溝１１３ａと第２負圧発生溝１１３ｂを相互に対向させて着接することにより負圧発生孔１１３を形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】ワークからの部品の取り出しを吸着力を変化させることにより行う。
【解決手段】ワークＷに板取りされ加工された部品Ｐｓを取り出す部品取出装置であり、ワークＷに対し移動自在であり、部品Ｐｓを保持する吸着パッドＰａｄを複数箇所に有するアーム２１Ａと、各吸着パッドＰａｄの部品Ｐｓを保持する機能を各吸着パッドＰａｄ毎にオン状態又はオフ状態の切り換え制御を行うとともに、オン状態の場合に各吸着Ｐａｄの部品Ｐｓを保持する保持力を制御する制御手段２７ａとを備える。そして、制御手段２７ａは、吸着パッドＰａｄの部品Ｐｓを保持する力を変化させ、部品ＰｓをワークＷから取り出す制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 板状体、特に太陽電池素子を破損させることなく搬送することが可能で、かつ摺動部に微粒子などの粉塵の侵入を抑制することが可能な吸着搬送装置を提供すること。
【解決手段】 複数の貫通孔が形成される昇降基板と、前記昇降基板の貫通孔を通して下向きに設けられる摺動可能な吸着手段とを備える、板状体の吸着搬送装置であって、前記貫通孔の底面側開口部を囲むように中空状の防塵部材が設けられる、板状体の吸着搬送装置。 （もっと読む）

【課題】取出し対象のワークの周囲にある物との干渉が起こりにくいワーク把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置１は、吸着力によりワーク５を保持可能な吸着パッド２２、および、それが一端に取り付けられた棒状部２１を有する一次捕捉機構２０と、ワーク５を挟み込んで保持する把持爪３１，３２と、駆動装置５０、および駆動装置５０の駆動力を把持爪３１，３２に伝達する伝動機構４０と、を有している。伝動機構４０は、把持爪３１，３２が吸着パッド２２よりベース板１０側に位置する退避位置と、把持爪３１，３２が吸着パッド２２を越えて突出する把持位置との間で、把持爪３１，３２を棒状部２１の軸線方向に移動させ、かつ、把持爪３１，３２を、棒状部２１の軸線方向に把持位置へと移動させるのと同時に、把持爪３１，３２の間の距離を狭めるように移動させる。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドに生じた摩耗や位置ずれを自動的に検知する吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着パッド１０の基準位置Ｌ_０における吸着力Ｆ１を吸着センサ３０が測定し、測定された吸着力Ｆ１が閾値ＴＨより小さいと判定部４２が判定した場合には、駆動部２０が吸着パッド１０を昇降方向または交差方向に所定の変位量を変位させ、変位した位置（変位位置Ｌ_Ｄ）における吸着パッド１０の吸着力Ｆ２を吸着センサ３０が測定するとともに、吸着力Ｆ２が閾値ＴＨより大きいと判定部４２が判定した場合の変位量ΔＬを取得する機能を有する制御部４０を備える吸着装置１００。 （もっと読む）

【課題】ワーク位置決め装置及び高精度の画像認識装置を用いることなく、サイドガイド、ロケートピン等と干渉することなくワークを把持することができ、ワーク搬送中にワークがずれても、ワーク開放時にワークを正確に位置決めすることができ、隣接するワークに干渉することなくワークを正確に並べることができるロボットハンドとこれを用いたワーク位置決め方法を提供する。
【解決手段】ワーク１を把持して搬送し所定位置に移載するためのロボットハンド１０。ロボットのハンド取付部９に取り付けられたハンド本体１２と、ハンド本体に取り付けられワークを着脱可能に把持する把持装置１４と、ワークの位置決め方向にワークより広い間隔で対向して位置する１対の距離センサ１６とを備える。把持装置１４でワーク１を把持し、搬送しながら距離センサ１６でワーク側面までの相対位置を測定してアライメント誤差Δを求め、アライメント誤差に基づきハンド取付部９の位置を補正してワーク１を開放する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトに構成することができると共に、ＩＣデバイスの保持状態を維持したまま、保持形態を非接触保持と吸着保持との間で円滑に切り替えることができる吸引保持ハンド等を提供すること。
【解決手段】ＩＣデバイス１を非接触保持する専用ベルヌーイチャック６２ａと、ＩＣデバイス１を非接触保持および吸着保持が選択的に為される兼用ベルヌーイチャック６２ｂと、専用ベルヌーイチャック６２ａおよび気体供給源１０１を接続した専用チューブ１１１ａと、兼用ベルヌーイチャック６２ｂおよび気体供給源１０１を接続した兼用チューブと、兼用ベルヌーイチャック６２ｂおよび真空吸引源１０２を接続した真空吸引流路と、第２気体供給流路に介設された分岐部開閉バルブ１２５と、真空吸引流路に介設された真空部開閉バルブ１２６と、両開閉手段１２５，１２６を制御する制御装置１０５と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 バキュームパッド装置がぶれることなく安定して被搬送物の搬送を可能とし、バキュームパッドの破損を防止できると共に摩耗を防止可能なバキュームパッド装置の提供。
【解決手段】 ハンド部２にはハンド部２に対し上下方向へ摺動自在なスプリングシフト３を設け、スプリングシフト３とハンド部２との摺動部２１には摺動を停止可能なブレーキ手段５を備え、スプリングシフト３の下方端にはバキュームパッド４を備え、更にスプリングシフト３にはバキュームパッド４を下方へ付勢する付勢力を付与可能なコイルバネ３３を備え、バキュームパッド４はハンド部２が下降されてスプリングシフト３がハンド部２に対し摺動移動されコイルバネ３３により付与される付勢力によって被吸着物に押圧当接されて吸着し、被吸着物を吸着後、ハンド部が上昇する際にブレーキ手段５がスプリングシフト３とハンド部２との摺動を停止可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを安定してハンドリングでき、接触等による半導体ウエハのスクラッチや欠けを防止することができる半導体ウエハ用真空ピンセットを提供する。
【解決手段】ハンドグリップ部と、中心角が１８０度超３６０度未満の開環形状の吸着板、及び前記吸着板に配設される吸着口及び前記複数の吸着口を接続する第1真空吸引経路を有する吸着部と、角度調整機構を有し、前記ハンドグリップ部と前記吸着部とを接続する接続部と、一端が前記第１真空経路に接続され他端が半導体ウエハを吸着する真空吸引力を生成する真空圧源に接続されて、前記真空圧源の生成した前記真空吸引力を前記吸着口に伝達する第２真空吸引経路と、を有し、前記吸着板は、半導体ウエハの半径をＲとした場合に、外周の大きさが０．７１Ｒより大きく０．８５Ｒ未満であり、且つ内周の大きさが０．５Ｒ以上０．６１Ｒ未満であることを特徴とする半導体ウエハ用真空ピンセット。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の板状部材を支持して搬送する際に、当該板状部材の割れや、落下を回避可能な支持装置を提供すること。
【解決手段】凸部Ｗ１が設けられた半導体ウエハＷの支持装置１２であり、当該装置は、凸部Ｗ１の先端に接触可能な接触体２６と、この接触体２６を保持する保持体２５と、半導体ウエハＷに吸引力を付与する吸引手段３０と、接触体２６からウエハＷを切り離す切離手段３１とを含む。接触体２６は、保持体２５に設けられた凹部３３内に受容されたリング状をなし、接触面２６Ａ側に貫通する吸引口４０を備えた自粘性を有する材料によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＢＧテープの貼付け張力によるウェーハの反りを防止して、ウェーハの吸着不良、落下等の不具合のないウェーハの搬送用パッドを提供する。
【解決手段】パッド１を加熱するためのヒータ２と、パッド１の温度制御用センサ２ａと、制御盤３とを備え、裏面研削後のウェーハ７の搬送時の真空吸着に際し、ヒータ２により円形基板１ｃが所定の温度に加熱されたことを温度制御用センサ２ａで検知確認して、パッド１をウェーハ７に当接させることによりウェーハ７のパターン面７ａに貼付けられたＢＧテープ８の貼付け張力を低減させ、ウェーハ７の反りを防止し、ウェーハ７のエッジ部とパッド１との密着状態を良好に保つ。 （もっと読む）

【課題】フィルタを交換する際の作業効率を向上させることができる真空ユニットを提供すること。
【解決手段】ユニット本体を複数連結させる。そして、ユニット本体毎に設けられ、フィルタ１４が収容されているフィルタ室の開口部２０ｃが設けられているフィルタケース１５の側面全体を覆うフィルタカバー２７を備える。そして、フィルタカバー２７は、フィルタ室の開口部２０ｃを閉塞する全ての配管ポート部材２６と係合するように構成されている。 （もっと読む）