【課題】より少ないコストでロボットを用いた加工作業を行なうことができるようにした、ロボットシステム及び工業製品の製造方法を提供する。
【解決手段】付着材が付着した対象物を保持する保持機構１８を装着したマニピュレータ１０１と、マニピュレータ１０１の動作を制御するコントローラ１０１Ａと、マニピュレータの近傍に配設され対象物の付着材を保持する付着材剥離ユニット１０４と、を有し、コントローラ１０１Ａは、保持機構１８により保持された対象物の付着材を付着材剥離ユニット１０４に所定の進入角度で進入させて対象物と付着材とを剥離させる。 （もっと読む）

【課題】交互に挟まれた状態にある板ガラスと合紙を同時に取り出す際に、安定して両者を吸着保持でき、また、ガラス板からはみ出ている合紙端部の折れ曲がりや癖付き等に対しても確実に吸着保持できる吸着装置を提供すること。
【解決手段】板ガラスＧの一方の平面側を吸着するガラス吸着パッド１１と、ガラス吸着パッド１１が板ガラスＧを吸着する際、板ガラスＧの他方の平面側に位置する合紙Ｐの板ガラスＧの周辺からはみ出た合紙端部を、板ガラスＧの一方の平面側から、板ガラスＧの辺に沿って長手方向に配置され合紙端部に線状に接触する吸着開口部１２ａにより吸着する合紙吸着治具１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】真空チャックに求められる吸着力で、吸着面の一部に載置される被吸着物を確実に吸着する真空チャックを提供する。
【解決手段】大気圧をＰ１、真空チャック１に求められる最小吸着力をＦｍｉｎとし、到達圧力がＰｕ、排気効率がＳｅの真空ポンプ５で背面側が吸引される吸着パッド２が、吸着パッドの単位表面積と該単位表面積内に露出する貫通孔の総開口面積との比である開口率ｎと、多数の貫通孔による吸着パッド全体のコンダクタンスＣが、


を満たす。（１）式を満たす真空チャック１は、被吸着物に覆われない吸着パッド２の一部から空気漏れがあっても、Ｆｍｉｎ以上の吸着力で被吸着物を確実に吸着保持する。 （もっと読む）

【課題】凹凸著しい面で汎用的に簡単に利用できる真空吸着パッドを提供すること。
【解決手段】開閉弁筒体の内側に密着され略中央に真空連通孔を穿設した薄膜構造の弁膜と、前記筒体の開口部に断面凹状の弾性体の筒体が密着され、該弾性体筒体内側底面には前記薄膜の真空連通孔に当接する弾性体台状平滑突部の弁座を設け、また前記弾性筒体の伸張により底部を移動させるための可動板と、前記弾性体筒体内側と真空生成装置とを連通する継ぎ手とが弾性筒体の底面部に設けられ形成された伸縮真空制御室と、前記可動板を弾性体筒体長手方向に、前記弁膜とは逆方向に動かすために可動板に接し設けられた接面検知作動杆とからなり、真空吸着パッドが対象物を吸着する場合の３つの状態遷移に対応した真空開閉弁付き真空吸着パッドとした。 （もっと読む）

【課題】電子部品を載置するトレイなどの高さを適宜自動的に測定することのできる電子部品把持装置及び電子部品検査装置を提供する。
【解決手段】供給側ロボットハンドユニット２０は、電荷を拡散させる材料からなるトレイに載置されたＩＣチップを把持部３２を当接させて把持する当接装置２０Ａと、当接装置２０Ａをトレイに対して上下方向に駆動制御する制御手段とを備える。把持部３２は当接装置２０Ａにて独立した導電性を有するとともに、電荷の拡散に基づいて電荷を拡散させる部材との当接を検出する当接検出装置４０が接続され、制御手段は、電荷を付与された把持部３２をトレイに下降させ、把持部３２のトレイへの当接を検出したとき、把持部３２の上下方向の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】合紙とガラス基板等の板状体を交互に積層してなる積層体を開梱する場合において、周辺環境による合紙折れ曲がり面の状態変化によっても、合紙の吸着不良を発生させずに、合紙除去可能な合紙除去装置を提供する。
【解決手段】合紙と基板が交互に積載され、前記合紙がガラス基板よりも大きく、少なくとも1辺に前記合紙吸着部を有した積層体から、前記合紙と前記基板を１枚ずつ交互に取り出す開梱装置を構成する、前記積層体から前記合紙を複数の吸着パットで真空吸着して取り出す合紙取出ロボットを有する合紙除去装置において、前記合紙の吸着面に対して基板に向かって縦に、少なくとも２個以上の吸着パットを複数列備える合紙取出ロボットを有する。また、複数の前記吸着パットが、個々の真空配管に電磁弁と圧力計とを有しており、予め定められた吸着圧に達しない前記吸着パットの個々の真空引きを停止する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び小径化を図ることによって高密度での配設を可能とし、しかも十分な吸着力を発揮することが可能な部品吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】 先端に吸着ノズルを有すると共に当該吸着ノズルに連通する吸気通路を有する搬送シャフトと、この搬送シャフトが貫通すると共に当該搬送シャフトを周方向へは回転不能に且つ軸方向へは移動自在に保持すると共に、前記搬送シャフトの吸気通路に連通する吸引孔が設けられた円筒状ハウジングとを備え、前記ハウジングは吸着ノズル側の軸方向端部に回転軸受の装着部となる回転軸部を有し、この回転軸部の吸着ノズル側の先端にはキャップ部材が装着され、このキャップ部材には前記搬送シャフトの外周面に摺接するシール部材が内蔵されている。 （もっと読む）

【課題】アンパッカー装置による素ガラス投入において、合紙が外れることを防いで動作異常のないアンパッカー装置を提供する。
【解決手段】素ガラス基板と合紙が交互に積み重ねられたデンスパックから素ガラス基板を取り出すアンパッカー装置であって、素ガラス基板を真空吸着する素ガラス基板吸着手段と、合紙を真空吸着する合紙吸着手段と、ガラス基板吸着手段を駆動する駆動手段Ａと、合紙吸着手段を駆動する駆動手段Ｂと、駆動手段Ａと駆動手段Ｂを制御する制御手段と、を備え、更に、合紙吸着手段には、ミストを噴射するミスト噴射ノズルと、合紙を押し当てる加熱された金属バーと、を備えたことを特徴とするアンパッカー装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリに関する。
【解決手段】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリを提供し、基板吸着アセンブリは、固定フレームと、複数の基板吸着ユニットとを含む。各基板吸着ユニットは、各基板に対応して間隔をおいて固定フレーム上に固設され、各基板吸着ユニットは、真空装置に空圧的に接続し、本体と吸着部とを含む。本体は、真空装置に空圧的に接続し、吸着部は、本体の末端に対称的に設けられ、本体を介して真空装置に空圧的に接続し、基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低気圧源に接続し、基板の吸着に用いる吸着装置に関する。
【解決手段】吸着装置は、吸着本体と、気圧制御装置とを含む。吸着本体は、分布範囲を有し基板に接触する平面と、複数の孔とを含む。これらの孔は、平面上に形成され、実質的に平面の分布範囲内に均等に分布する。気圧制御装置は、制御により、低気圧源とこれらの孔とを空圧的に接続する。基板が平面に接触し、かつ気圧制御装置がこれらの孔と低気圧源とを空圧的に接続すると、基板と吸着本体とは相互に固着する。 （もっと読む）

【課題】コア部材の体積を小さくすることにより熱容量を小さくして放熱性を向上させることが可能な吸着パッドのコア部材を提供する。
【解決手段】コア部材１２は、ワーク１００に当接する吸着面を有し、前記吸着面側から前記吸着面と対向する装着面側へ向けて吸引路１５が設けられるようにした。この吸引路は、前記装着面側においては、開口して流体吸引口１６を形成し、また、この吸引路は、前記吸着面側においては、底部を貫通して前記吸着面に開口する吸引孔によって外部と連通しており、前記流体吸引口を介して前記吸引孔から流体が通過するようにした。更に、前記吸引路の内周面は、前記流体吸引口側へ行くに従って徐々に拡径する拡径部１９を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】比較的簡素で、且つ軽量な構造で多様なワークの保持等に対応できるロボットハンド及びチャックの提供すること。
【解決手段】チャックホルダ１、操作ロッド２、及びチャック爪３からなり、チャックホルダ１は、ワークの保持開放機能を満足すべくチャック爪３が揺動自在に収まる切り込み７と、チャック爪３の基部３ｂ背面を支持する揺動支点を備え、操作ロッド２は、その先端部に側方へ突出した加圧部８を備え、チャックホルダ１の中空部に、操作ロッド２を進退可能に挿通し、操作ロッドの加圧部８とチャックホルダ１の揺動支点で、複数のチャック爪３の基部３ｂを挟持し、各チャック爪３の基部３ｂの内面に、操作ロッド２の進退に伴う加圧部８の進退量を、各チャック爪３の遠心及び向心方向への揺動量に変換するカム部９を備えるチャック。 （もっと読む）

【課題】 搬送手段より移動している上向き凸部を持つ部品と、厚み方向貫通孔を持つ部品との嵌合を確実に行うロボットシステムを提供すること。
【解決手段】 厚み方向貫通孔３８を有する上記ワークＡを把持する把持手段１０と、上記把持手段１０を運行させる移動手段１２と、上記ワークＡの厚み方向貫通孔３８と嵌合する上向き凸部３６を持つワークＢを移動させる搬送手段２０と、上記ワークＢの移動と上記把持手段１０の移動を同速度同方向で並走させる同期制御部１４と、上記ワークＢの上向き凸部３６を撮影する撮像部２６と、上記撮像部が撮影した画像から上記ワークＡの厚み方向貫通孔３８と上記ワークＢの上向き凸部３６が嵌合する際に必要となる上記ワークＢの上向き凸部３６の中心座標４０を求める画像処理部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板を吸着パッドにより下側に保持して搬送し、基板を真空吸着して保持するワークステージ上に載置するための基板搬送アームにおいて、搬送アームの移動中に基板が吸着パッドから外れたとしても、簡便な手段により落下することを防止する。
【解決手段】複数の吸着パッド１を備え、基板を真空吸着し下側に保持して搬送する基板搬送アーム１０において、回転軸部により回転可能に取り付けられた腕部と、該腕部に取り付けられ該周縁の吸着パッド１の下側に突出する捕手部と、該腕部の先端に位置する滑走部からなる、一対の落下防止具２０、２０が、前記複数の吸着パッド１のうち、周縁に位置する吸着パッド１の一部に隣接して配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドのスライダチップなどの微小部品のノズル吸引式による搬送装置において、従来の装置構成に変更を加えることなく、自動的に、ノズル吸着位置のずれによる影響を最小限に抑えて搬送不良を防止することができる搬送装置及び搬送方法を提供する。
【解決手段】ノズル吸着位置がずれた場合であっても、ノズルを回転させてノズル吸着位置のずれの影響が最小限となるノズル回転位置を撮像画像から検出し、その回転位置にて搬送を行うことにより、ノズル吸着位置のずれに対する調整を自動的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】吸着対象体を確実に保持する機能を維持しつつコストの低減を実現し得る吸着台を提供する。
【解決手段】上面８１ａ側に吸気口８１ｈが形成された板状の基体部８１と、通気性を有して吸気口８１ｈを覆うように基体部８１の上面８１ａ側に配置されるシート体８２と、厚み方向に貫通する複数の通気孔８３ｃが形成されると共に一面８３ａが基体部８１の上面８１ａに対向するようにシート体８２を挟んで上面８１ａ側に配置される吸着板８３とを備え、吸着板８３を上面８１ａ側に配置した状態においてシート体８２を介して吸気口８１ｈと通気孔８３ｃとが連通し、吸気口８１ｈから吸気して吸着板８３の他面８３ｂに載置された基板４００を吸着して保持する。 （もっと読む）

【課題】 パラレルロボットにより処理されるワークのピッチを可変にするためのワークピッチ可変装置を提供する。
【解決手段】 各々の下端が連結部３に連結された複数のパラレルリンク対１４、１５、１６によりワークＷに対して処理を行うパラレルロボット１において、処理すべきワークＷのピッチを可変にするためのワークピッチ可変装置４を構築する。この場合に、上下方向に延びる回転可能な回転軸４０と、回転軸４０の下端に連結され、水平方向に延びるレバーアーム４１と、レバーアーム４１の下方において水平面内の一方向に移動自在に設けられ、ワークＷを吸着保持するための複数の吸着パッド５０、５１、６０、６１、７０、７１、８０、８１と、各吸着パッドとレバーアーム４１との間をそれぞれ連結する複数の連結バー４７Ａ、４８Ａ、４７Ｂ、４８Ｂとを設ける。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに基板を真空吸着して搬送する場合において、容易に交換することができるとともに、長時間吸着してもウェハに固着することがなく、安定してウェハを真空吸着することができる真空吸着パッドを提供する。
【解決手段】基板を真空吸着して搬送する基板搬送装置１６の搬送アーム１７（１９）に形成された取付孔２２又は貫通孔に取り付けられて、搬送アーム１７（１９）に設けられた真空吸引路２１と連結されて基板を真空吸着する真空吸着パッド２０であって、第１の開口部４４が形成された上面部４１と、取り付けられたときに取付孔２２または貫通孔と対向し、シール部材３２を装着する装着部４６が形成された側周面部４２とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送できるウェーハ搬送装置及び方法を提供することにある。
【解決手段】ロボットハンド１０が、ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置Ｈ_Ｗよりも大きな高さ寸法Ｈ_Ｙをもつウェーハ位置調整手段１３とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロボットによるビンピッキング作業を良好に行うことができながらも、設備全体の大型化を抑制して小型化の要求に応える。
【解決手段】作業台２上に、直角座標型のロボット３、多数個の部品Ｗをばら積み状態に収容する部品供給箱４、カメラ６、仮置き領域８、部品載置位置７ａを有するコンベア装置７を設ける。ロボット３の手首部１６に、水平方向に延びる軸を中心に回動するプレート１７を設け、このプレート１７に、吸着ノズル１９とチャック２０とをＶ字状に開いた形態（角度θが９０〜１３５度）で一体的に有する複合ハンドツール１８を取付ける。制御装置２１は、部品収容箱４内の部品Ｗをカメラ６によって認識し、吸着ノズル１９により１個ずつピックアップして仮置き領域８に仮姿勢とした上で載置し、チャック２０を用いて仮置き領域８の部品Ｗを最終確定姿勢に変換して部品載置位置７ａに載置する。 （もっと読む）