【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】 位置決め精度を向上するとともに、外部の物体との干渉を防ぐことができる基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 第１および第２アーム部３６，３７は、互いに相対的に旋回可能に設けられる。第１および第２アーム部３６，３７間の関節には、第２旋回駆動手段４２が設けられる。第２旋回駆動手段４２は、第２モータ７６と、第２動力伝達部７７とを有する。第２モータ７６は、第１アーム部３６に固定される固定部７８と、固定部７８に対して、第１アーム部３６の延在方向に略平行な回転軸線Ｌ２２まわりに回転する回転部７９とを有する。第２動力伝達部７７は、第２モータ７６と第２アーム部３７との間に介在し、第２モータ７６の動力を、第２モータ７６の回転部７９から第２アーム部３７に伝達する。このような第２旋回駆動手段４２によって、第１および第２アーム部３６，３７が互いに相対的に旋回駆動される。 （もっと読む）

【課題】小型で装置環境を汚染しない搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１、２は、死点脱出機構５０が簡単な構造で厚みが薄い。また、ハンド部２０の連結部が薄くできるため、ハンド部２０を挿入するゲートバルブの開口を小さくすることができる。その結果、搬送室内のダストが処理室に侵入しにくくなる。第一、第二の回転軸１１、１２が、同心状に配置されているため、装置の設置面積が小さく、また、旋回半径が小さいので、この搬送装置１、２を配置する搬送室を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】別途にセンサを必要とせず、任意の案内面上に拘束することができる作業補助アームを得る。
【解決手段】３軸の変位量に基づきその作業座標が決定されるアームを設け、３軸をそれぞれ対応した３つの変速機を介して差動機構で結合し、３つの変速機の変速比を、指示された案内面以外へのアーム手先の移動を拘束するよう制御装置４１によって制御するようにした作業補助アームであって、３軸の回転角度を検出する回転角度検出器４０と、ユーザにより指示された仮想的な案内面を入力する面指示手段４２とを設け、制御装置４１は、検出された回転角度、及び指示された仮想的な案内面に基づき、現在のアーム手先の位置を含み、かつ前記案内面とは平行ではない補正用案内面を計算する補正用案内面計算手段３０１を含み、補正用案内面計算手段３０１により計算された補正用案内面に沿って、前記アーム手先が動くように３つの変速機の変速比を求める。 （もっと読む）

【課題】突起物がなくても架台の回転を防止し、略ボール状に縮小を変形可能とした。
【解決手段】モータ４を内蔵した架台２と、架台の左右にギアボックス９を介してモータに連繋して回転可能で、内部中空の略半球状の１対の可動輪３と、ギアボックス９内において可動輪３の駆動軸１２と同一軸線上に配置され、可動輪の回転方向に対して常時逆転方向に回転することにより、架台２を静止状態に保持する逆転機構とを備え、駆動軸１２を可動輪３に設けた軸受部１１に対して軸方向に移動可能に連結し、可動輪３同士を軸方向に沿って離接可能に連結した。 （もっと読む）

【課題】ロボットの屈伸動作時や膝関節を屈曲させた姿勢時等にもバランスを維持する。
【解決手段】モータ２０の本体を大腿リンク１０と一体に回動する第１膝部プーリ１２に接続し、モータ軸２０１を下腿リンク１５と一体に回動する第２膝部プーリ１７に接続する。第１膝部プーリ１２と足首関節部５に設けた足首部プーリ１３との径比は１：２で両者にはベルト１４が巻掛けられ、第２膝部プーリ１７と股関節部３に設けた股部プーリ１８との径比も１：２で両者にはベルト１９が巻掛けられる。モータ２０を作動させ両リンク１０、１５間の相対的な回転位置関係を変えると、膝関節部３の回動と股関節部３及び足首関節部５の回動が連動し、足部６と胴体部１とは互いに同じ姿勢を保って互いに近付くように動作する。このため、床面上で膝曲げを行っても胴体部１は直立姿勢を維持したまま下降し、胴体部１による重心はほぼ鉛直下方に作用するためバランスを崩しにくい。 （もっと読む）

【課題】ラジアル荷重及び一方向のアキシアル荷重を２点接触で受けるアンギュラコンタクト玉軸受において、更なる剛性向上を図る。
【解決手段】玉５が外輪１の軌道面２および内輪３の軌道面４と軸受中心線Ｃの互いに反対側で接触し、その少なくとも一方の軌道面２と異なる接触角α１、α２の２点で接触するアンギュラコンタクト玉軸受において、内外輪の軌道面２、４間に前記玉５を総玉入れとし、隣り合う玉５、５間のすきまδの和Σδが玉５の直径を越えないように設定することにより、ラジアル荷重及び一方向のアキシアル荷重を受ける軌道面２、４の２接触点ａ、ｂ；ｃ、ｄの接触応力が可及的に低減され、その結果、２接触点ａ、ｂ；ｃ、ｄにおける弾性変形が抑制される。接触角α１、α３は１５°〜２５°、α２、α４は４０°〜５０°、広がり角β１、β２は２０°以上が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンスを容易に行うことができ、減速機の能力を妨げることなく金属磨耗紛除去の十分な効果を持つと共に、減速機周りのグリースに混入した金属磨耗紛を除去する減速装置およびそれを備えたロボット装置を提供する。
【解決手段】 固定側フランジ１と、固定側フランジ１により締結された減速機２と、減速機２の出力部に締結された可動側フランジ６と、可動側フランジ６に締結された回転機７と、固定側フランジ１と減速機２との間に設けられた第１グリース溜り３と、可動側フランジ６と減速機２との間に設けられた第２グリース溜り８と、を備えた減速装置において、固定側フランジ１と可動側フランジ６には、それぞれ該フランジ１、６の外部とグリース溜り３、８内部とを貫通するネジ穴４、９が設けられ、ネジ穴４、９には金属磨耗粉除去ボルト５が着脱可能に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】関節部において、動力伝達部材であるワイヤや歯車等が作業対象に接触することを回避可能なマニピュレータを提供する。
【解決手段】マニピュレータの作業部１２ａは、操作指令部と、操作指令部に設けられた横ローラ及び縦ローラと、横ローラ及び縦ローラの操作に基づいて回転する２つの駆動プーリと、連結部と、連結部の先端側に設けられた第１回転軸Ｏｙと、該第１回転軸Ｏｙと直交する第２回転軸Ｏｐと、第１回転軸Ｏｙを構成するシャフト１１０に軸支された２つの筒体と、後方部が２つの駆動プーリに巻き掛けられ、前方部が２つの筒体に巻き掛けられたワイヤ５２及び５４とを有する。そして、駆動機構部１０２は一方の筒体の回転に連動して第１回転軸Ｏｙを中心として動作し、エンドエフェクタ１０４は他方の筒体の回転に連動して第２回転軸Ｏｐを中心として動作する。 （もっと読む）

【課題】ロール回転機構の回転角度を容易に認識できるようにする。
【解決手段】マニピュレータ１１０２は、中空のシャフト１０８と、シャフト１０８に設けられたワイヤ５２、５４、５６と、シャフト１０８の一端に設けられ、ワイヤ５２、５４、５６の少なくとも１本によって動作し、先端を指向する軸Ｏｒを中心に回転するロール回転機構を含む先端動作部１１１８を備える作業部１１０６とを有する。ロール回転機構で相対的に回転をする基端側部材の先端側面１１０８ａと先端側部材のカバー１６０のうち、カバー１６０には、先端側面１１０８ａの相対的な回転の程度を示す回転程度認識手段１２０８を有する。先端側面１１０８ａは、カバー１６０の初期の位置を示すアライメントインジケータ１２１０を有する。 （もっと読む）

【課題】処置部の自由度が高いマニピュレータを一段と簡易な構成によって提供する。
【解決手段】処置対象に対して処置を行う処置部（作業部１０）を先端に有する連結部４０の長手方向に沿った方向に対して直交する回動軸１６と、回動軸１６回りに回動自在に支持され、回動軸１６に対して直交する主軸部２０ｂを有する主軸部材２０と、回動軸１６回りに回動自在に支持される歯車１７と、回動軸１６回りに回動自在に支持される歯車１８と、歯車１７と直交して噛み合い、回動軸１６からオフセットした位置で主軸部２０ｂ回りに回動自在に支持される歯車２２と、歯車１８と直交して噛み合い、回動軸１６からオフセットした位置で主軸部１６回りに回動自在に支持される歯車２３と、歯車２２とともに回動する処置部材１１と、歯車２３とともに回動する処置部材１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】作業部のロール動作の操作が容易で、短時間のトレーニングで操作の習得が可能なマニピュレータを提供する。
【解決手段】マニピュレータ１０は、人手で把持される操作指令部１４と、該操作指令部１４に設けられ、指で操作される複合入力部３４と、操作部から延在する連結シャフト４８と、該連結シャフトの先端に設けられた作業部１２とを有する。作業部１２は、ヨー回動機構、ロール回転機構及び開閉機構を有する。複合入力部３４は、ロール回転機構を駆動するシャトルリング１００と、ヨー回動機構を駆動するパッド１３２とを有する。シャトルリング１００は、回動部材であって、左右に設けられた２つのノブ１１０ａ、１１０ｂを有する。パッド１３２はシャフトリング１００の内側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ロボットに取り付けられたスイベルジョイント及び作業用機器並びに配管を取り外すことなく、スイベルジョイントの消耗部品を容易に交換できるロボットシステムを提供すること。
【解決手段】ロボット（マニピュレータ１）の手首部１０にスイベルジョイント２及び作業用機器３が取り付けられているロボットシステムにおいて、手首部１０の回動力はスイベルジョイント２が配置される収容部分Ｋを迂回して作業用機器３側に伝達されるようにしてあり、前記スイベルジョイント２は前記収容部分Ｋから取り出し可能である。 （もっと読む）

【課題】ロボットの基本的なアーム構成は従来と同じ形態でありながら、簡素な駆動系で、作業ツール用の線条体の導出部を最適に位置決めしつつ、作業ツール用機器を前腕に張り出しのないように配置したロボットアーム駆動機構を提供する。
【解決手段】第１手首要素２２用モータ７０は前腕１８と上腕１４との間の領域内に、その回転中心軸が第２軸線２０に垂直になるように配置される。さらに、モータ７０は第１軸線１６より前腕１８の長手方向に沿って前腕先端すなわち手首側にシフトした位置に配置されるので、前腕１８の底部６６上方にワイヤ送給装置３４のための大きな空間を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】比較的小型の構成でかつ高デューティでの動作を行う。
【解決手段】産業用ロボット（１０）が、互いに同心に配置された三つの動力伝達部（２１、２２、２３）と、これら三つの動力伝達部のそれぞれを駆動する三つの駆動手段とを具備し、三つの動力伝達部のうちの少なくとも一つの動力伝達部に対応する駆動手段が少なくとも二つのモータ（３１、３４）を含む。また、三つの動力伝達部および三つの駆動手段の全てが産業用ロボットのベース（１５）に組入れられているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ロボットの関節部に組み込んだ駆動機構からの潤滑剤や塵埃の漏出を確実に防止するとともに、ロボットの外部環境から関節部内への異物の侵入を確実に阻止する。
【解決手段】ロボットの第１関節部１６に設けられる密封装置１０は、第１駆動機構３４に対して複数段に重複するシール部１１６、１１８を形成する。第１シール部１１６は、第１駆動機構３４に与えられる潤滑剤保有部（空所１０８ａ、減速機４２、軸受４４、４６、４８）に隣接して形成される第１の部材間隙１２０をシールする第１の接触シール要素１２２を備える。第１シール部１１６の外側に配置される第２シール部１１８は、第１駆動機構３４の収容空間１０８を画定する第１関節部１６の周囲壁１１０に形成される第２の部材間隙１２４をシールする第２の接触シール要素１２６を備える。 （もっと読む）

【課題】脚で胴体部を支持し、各脚の足部および関節部に車輪を有する移動体であって、同じモータの数で、車輪機能が増し、車輪走行状態、脚歩行状態、いずれにおいても休止しているモータがない移動体を提供する。
【解決手段】移動体１０は、脚１２で胴体部１１を支持し、各脚が関節部で回動可能に連結された上脚１２ａと下脚１２ｂからなり、各脚の足部、関節部、股部に車輪１３を有する。各車輪１３にそれぞれ内蔵されかつブレーキを内蔵する複数のインホイールモータ１５と、各車輪の回転速度を減速する複数の減速機２０と、該減速機による減速速度を連動する連動装置２２とを備え、複数のインホイールモータを同期駆動して各車輪を回転させ、複数のインホイールモータを差動駆動して上脚と下脚を揺動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より狭い作業空間内で周囲との干渉なく作業をすることができるように、手首要素のコンパクト化を図ることできる産業用ロボットの手首駆動構造を提供する。
【解決手段】第１手首要素１０内には、第２手首要素１１と第３手首要素１２とをそれぞれ駆動する二つのサーボモータ１３，１４と、個々のサーボモータの回転速度を所定の減速比で減速する二組のハイポイドギアセット１５，２０と、が設けられ、各組のハイポイドギアセットは、サーボモータにより駆動されるピニオンギア１６，２１と、ピニオンギアに噛合するリングギア１７，２２とからなり、二つのリングギア１７，２２が、第２軸線ｂを共有し、かつ、第２軸線ｂと同軸に配置され、二つの該ピニオンギアの歯すじがそれぞれ対照的に反対方向にねじれている。 （もっと読む）

【課題】作業機構及びマニピュレータの可動範囲、信頼性及び操作性を一層向上させる。
【解決手段】作業部１２ａは、ワイヤ５６が巻き掛けられる筒体１１６よりも前方で、回転軸が筒体１１６と略平行に設けられる歯車体１２６と、歯車体１１４の回転を歯車体１２６に伝達する第１歯車１１８及び第２歯車１３４とを有する。筒体１１６よりも前方でワイヤ５２及びワイヤ５４が巻き掛けられる巻数や被巻回体の主軸部材１２８や歯車体１３０の大きさ等は筒体１１６に対するワイヤ５６の巻回に影響がなく、ワイヤ５６を筒体１１６のより広い領域に巻き掛けられ、歯車体１１４の回転量を大きくすることができる。これにより、歯車体１１４の回転量を大きくすることができるため、歯車体１２６の回転量及び回転トルクを大きく設定できる。 （もっと読む）

【課題】主に上向きの作業を行い、前後左右方向に限られた空間に複数のロボットを稠密設置可能な、干渉域の少ない省スペースな、かつモータ・減速機への負荷を低減することができ、モータ・減速機容量を小さくすることが可能なアーム構造を有する産業ロボットを提供。
【解決手段】固定ベース１上に第１水平軸ａの回りに回転自在に支持された第１垂直アーム２、第１垂直アーム２の先端に第１水平軸ａと直交する第２水平軸ｂの回りに回転自在に支持された第２垂直アーム３、第２垂直アーム３上に支持された軸方向に直線移動可能な第３垂直アーム４及び第３垂直アーム４の上に支持された手首機構５を有する。 （もっと読む）