【課題】 切断後の板状ワークをより円滑に持ち上げることのできる、板状ワークの取扱方法を提供すること。
【解決手段】 板状ワークの取扱方法は、面状に配列された複数の吸着パッドで吸引して板状ワークを取り扱う。板状ワークの取扱方法では、複数の前記吸着パッドを前記板状ワークに向けて降下させると共に、複数の前記吸着パッドのうちの第１領域内の吸着パッドでの吸引を開始し、複数の前記吸着パッドが前記板状ワーク面に達した時又は達した後に、複数の前記吸着パッドのうちの前記第１領域よりも広い第２領域内の吸着パッドでの吸引を開始し、複数の前記吸着パッドを上昇させて前記板状ワークを持ち上げる。 （もっと読む）

【課題】吸着手段とグリッパとを備えたローディングが可能な長尺材用ロボットハンドの提供と、このロボットハンドを使用した長尺板材曲げ加工システムの提供。
【解決手段】１．ロボットハンド15に吸着手段31とワークの長手方向両端部を把持するグリッパ51とを設け、前記吸着手段をワークの前後方向に移動位置決め可能に設けたことを特徴とする長尺板材曲げ加工用ロボットハンド。２．板材折曲げ加工機へワークを供給するロボットと、掴み換え装置とを備えた長尺板材曲げ加工システムにおいて、前記ロボットハンドがロボットハンド15に吸着手段31とワークの長手方向両端部を把持するグリッパ51とを設け、吸着手段をワークの前後方向に移動位置決め可能に設けてなるこ長尺板材曲げ加工システム。 （もっと読む）

【課題】中央部分が中空のワークであっても、確実に搬送できるとともに、設備を簡素化できる搬送ハンドを提供すること。
【解決手段】第１把持部１１、第２把持部１２、第３把持部１３及び第４把持部１４は、複数のバルブガイドＷａ又はバルブシートＷｂを把持して搬送し、略半円形状の外壁１０１ａと略半円形状の内壁１０１ｂを有する一対の把持手段１０１と、一対の把持手段１０１を相互に近接又は離間させる押圧手段１０２と、を備え、これら一対の把持手段１０１は、押圧手段１０２により近接されることで内壁１０１ｂによってバルブガイドＷａを把持し又は押圧手段１０２により離間されることで外壁１０１ａによってバルブシートＷｂを把持し、複数のバルブガイドＷａ又はバルブシートＷｂの配列方向に沿って、複数連接されている。 （もっと読む）

【課題】凸部が設けられた半導体ウエハ等の板状部材を支持して搬送する際に、当該支持の安定化を図ることができ、凸部に接触する接触面を当該凸部から簡単に切り離すことができるようにすること。
【解決手段】凸部Ｗ１が設けられた半導体ウエハＷの支持装置１２であり、当該装置は、凸部Ｗ１の先端に接触可能な接触体２６と、半導体ウエハＷに吸引力を付与する吸引手段３０とを含む。接触体２６は、接触面２６Ａ側に貫通する吸引口４０を備えた自粘性を有する材料によって構成されている。接触体２６を無負荷状態で断面視したときに、接触面２６Ａは、吸引口４０に向かって先細となる形状をなす。接触面２６Ａは、半導体ウエハＷを支持したときに、凸部Ｗ１の先端面形状に合わせて変形可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬出入を容易に行うことのできるワーク搬出入装置及び乾燥処理装置を提供する。
【解決手段】操作部４と、荷重バランサー装置５と、を有し、操作部４は、エアレギュレータが搭載された箱体状の操作本体６と、操作本体６の前面側に設けられた長尺な棒状のアーム部材７と、固定機構８と、一対の把持部材１０とを有している。アーム部材７は、ワーク３の内周面に挿入されることで、ワーク３を保持可能であって、その保持されたワーク３を軸方向に沿ってスライド可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】搬送装置の重量を軽減する。
【解決手段】本搬送装置１の前記カムリング２０は、それぞれ複数のカム溝形成部分２２と前記カム溝形成部分同士を連結する連結部分２３とからなり、前記カム溝２１はカムリング２０の半径方向に対して傾斜して設けられ、前記カム溝形成部分２２は前記カム溝２１に合わせて半径方向に傾斜した形状であり、前記連結部分２３は前記傾斜部よりも幅狭に形成されている。また、前記カムリング２０をスタンド１０に回転自在に保持する複数のカムリング保持部を、前記カムリングの前記連結部分２３と前記支持体とのそれぞれの対向面に有する。 （もっと読む）

【課題】板状体の大きさや形状に簡単に対応させることができ、しかも、スルーホールを有する板状体であっても確実に吸着させる。
【解決手段】板状体４を吸着させてピックアップするピックアップ装置を構成する際、表面に複数の吸着口２４を有する第一の吸着ユニット２１と、第一の吸着ユニット２１の左右に設けられ、表面に複数の吸着口２４を有する複数の第二の吸着ユニット２２と、第二の吸着ユニット２２をスライドレール３１に沿って離間させるためのリードスクリュー３２を備えるようにする。そして、リードスクリュー３２のネジ山を、第一の吸着ユニット２１に対してそれぞれ逆方向に設定し、リードスクリュー３２をモーター３３で回転させることによって、第二の吸着ユニット２２を同時に離間させる。 （もっと読む）

【課題】支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材の撓みを抑制できる支持装置および支持方法ならびに搬送装置および搬送方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＭＳが貼付された板状部材Ｗの搬送装置１は、接着シートＭＳを介して板状部材Ｗを保持する保持手段２と、保持手段２で保持された板状部材Ｗを付勢して板状部材Ｗの面位置を所定位置に維持する面位置維持手段６と、保持手段２を移動させる移動手段３とを備え、面位置維持手段６は、板状部材Ｗを一方側に付勢するかまたは他方側に付勢することで、板状部材Ｗの支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材Ｗの面位置を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】クランプ部により薄板状物をクランプする際の衝撃を緩和しながら、位置検出器を用いることに起因する電磁アクチュエータの構成の複雑化を抑制することが可能な把持装置を提供する。
【解決手段】この電磁グリッパ（把持装置）１００は、ウエハ９をクランプする方向に移動する可動部２５を含むクランプ部２４と、クランプ部２４の可動部２５をクランプする方向に常時付勢するばね部材３０と、少なくともクランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に推力を発生させる電磁アクチュエータ２２とを備える。また、電磁アクチュエータ２２は、クランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に、ばね部材３０のクランプ方向への付勢力による可動部２５の移動速度を低減する方向に推力を発生させる励磁コイル２７ａ〜２７ｃを有する励磁回路２８を含む。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持面が移動する方向において縮小する非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】非接触搬送装置１０は、ワークＷを保持する保持部材１２と保持部材１２が装着される装着プレート１１とを有している。保持部材１２は、ワークＷに臨む流出面１２ａと、流出面１２ａに開口する旋回室と、旋回室に圧縮空気を導入する導入孔とを有している。一方、装着プレート１１は、相対向する装着面１５ａと裏面１５ｂとを繋ぐ外側面１５ｃを有するプレート本体１５と、気体供給源１３からの圧縮空気が流れる気体流路と、気体流路の経路上に設けられ装着面１５ａに開口し、該気体流路と保持部材１２の導入孔とが連通するかたちに保持部材１２が嵌入される嵌入孔とを有している。装着プレート１１の気体流路には、プレート本体１５の外側面１５ｃに設けられた供給ポート１９を介して圧縮空気が供給される。 （もっと読む）

【課題】小片部材を浮上させて安定保持し運搬すること出来る運搬装置およびその運搬方法を提供する。
【解決手段】気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬装置であって、小片部材の外周近傍を小片部材の厚さ方向に移動可能に配置されるとともに先端付近の側面に設ける気体噴出孔を有する気体噴出体と、気体噴出体を小片部材の外周部の近傍に移動させた状態において、気体噴出孔から小片部材の下面側に気体を噴出して小片部材を浮上させる小片部材浮上手段と、気体噴出体により小片部材を浮上支持した状態で気体噴出体を所定の位置に移動させることにより小片部材を所定の位置に運搬する運搬手段と、所定の位置で噴出する気体を停止して小片部材を落下させる小片部材落下手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】アンパッカー装置による素ガラス投入において、合紙が外れることを防いで動作異常のないアンパッカー装置を提供する。
【解決手段】素ガラス基板と合紙が交互に積み重ねられたデンスパックから素ガラス基板を取り出すアンパッカー装置であって、素ガラス基板を真空吸着する素ガラス基板吸着手段と、合紙を真空吸着する合紙吸着手段と、ガラス基板吸着手段を駆動する駆動手段Ａと、合紙吸着手段を駆動する駆動手段Ｂと、駆動手段Ａと駆動手段Ｂを制御する制御手段と、を備え、更に、合紙吸着手段には、ミストを噴射するミスト噴射ノズルと、合紙を押し当てる加熱された金属バーと、を備えたことを特徴とするアンパッカー装置。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】基板を吸着パッドにより下側に保持して搬送し、基板を真空吸着して保持するワークステージ上に載置するための基板搬送アームにおいて、搬送アームの移動中に基板が吸着パッドから外れたとしても、簡便な手段により落下することを防止する。
【解決手段】複数の吸着パッド１を備え、基板を真空吸着し下側に保持して搬送する基板搬送アーム１０において、回転軸部により回転可能に取り付けられた腕部と、該腕部に取り付けられ該周縁の吸着パッド１の下側に突出する捕手部と、該腕部の先端に位置する滑走部からなる、一対の落下防止具２０、２０が、前記複数の吸着パッド１のうち、周縁に位置する吸着パッド１の一部に隣接して配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】搬送条件に応じて正圧吸引と負圧吸引との少なくとも一方を使用して板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷを厚さ方向両側から挟み込む位置に設けられた第１及び第２の支持手段１１、１２と、これらの支持手段１１、１２を移動可能に設けられた移動手段１３とを備えて構成されている。第１の支持手段１１は、気体を吸引することでウエハＷを吸引して支持する負圧吸引手段１６を備えている。第２の支持手段１２は、ウエハＷに気体を噴出することで当該ウエハＷを吸引して支持する正圧吸引手段２８を備えている。 （もっと読む）

【課題】搬送中の板状部材において、支持手段により支持される面と反対側の面に接触しないようにしつつ、板状部材が支持手段に対して移動することを防止できるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷの一方の面側から当該ウエハＷを吸引支持可能に設けられた支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に設けられた移動手段１２と、支持手段１１に支持されたウエハＷの他方の面側から離れて位置し、支持手段１１の吸引支持を補助可能に設けられた補助手段１３とを備えて構成されている。補助手段１３は、ウエハＷに気体を噴出することでウエハＷを支持手段１１側に付勢可能に設けられ、支持手段１１による吸引力を一定としても、ウエハＷの支持力を増大できる。 （もっと読む）

【課題】板材の搬送において、当該板材との干渉を抑制し、所定位置に正確に板材を配設することのできる搬送ハンド装置を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド５０が、板材８２をマグネット部５４の電磁石６２により吸着して母材８４上にある所定の溶接位置へと搬送した後、当該所定の溶接位置より所定間隔空けた真上位置で当該板材の吸着を解除することでマグネット部及びガイド部５８により板材の姿勢を保持しつつ当該所定の溶接位置に当該板材を落下させて配設する。 （もっと読む）

【課題】単一の支持部材において必要に応じて正圧吸引と負圧吸引とを切り替えて板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷの一方の面側から当該ウエハＷを吸引支持可能に設けられた支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に設けられた移動手段１２とを備えて構成されている。支持手段１１は、単一のアーム部材１５と、この単一のアーム部材１５に設けられた負圧吸引手段１６及び正圧吸引手段１７とを備えている。負圧吸引手段１６は、気体を吸引することでウエハＷを吸引支持可能に設けられる。正圧吸引手段１７は、ウエハＷの一方の面に気体を噴出することによりウエハＷを吸引支持可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】平置きされた種々の形状をなす部材を倒立させ次の工程へと円滑に受け渡しすることのできる部材ハンドリング装置を提供すること。
【解決手段】倒立用ロボットの第２アーム先端に、一平面に複数の電磁石３６の配設されたマグネットハンド３０を設ける。形状の異なる複数の部材のうち最も幅狭な部材よりも小幅な吸着面に形成された電磁石が一平面に複数配設されており、前記部材の形状または重量に応じて選択的に該複数の電磁石のうちの一部または全てを使用して該部材を吸着する。 （もっと読む）

【課題】 わずかに位置誤差があってもワーク搬送装置のロボットハンドが被設置部材に干渉することなくワークを把持、搬送することができるとともに、ワークに把持部を設けなくても搬送できるワーク設置装置とワーク設置方法を提供することである。
【解決手段】 ３次元的に移動可能な把持機構５に取り付けられ、水平方向に移動可能であり、その間に外周面１ｂを開放可能に把持可能な複数のツメ部材１２と複数のツメ部材１２を互いに連動して水平方向に駆動する開閉アクチュエータ１４とを備える。ツメ部材１２はワーク１の外周面１ｂを把持する把持面１２ｂと水平な底面１ｃを支持する支持面１２ｃとを有する。被設置部材２は、上端部に案内テーパ面２ｂを有しワーク１の外周面１ｂと嵌合する嵌合部２ａと、ワーク１の底面１ｃを支持する底面支持部２ｃと、ワーク１が鉛直に下降してその底面１ｃが底面支持部２ｃに載る位置まで複数のツメ部材１２と干渉しないように設けられた切り欠き溝２ｄとを有する。 （もっと読む）